JP6232741B2 - 小型紫外線照射装置 - Google Patents
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Description
特開2011−165540号公報(特許文献1)には、このようなエキシマランプを備えた紫外線照射装置が記載されており、筐体内に、エキシマランプを複数配置した光源部と、当該エキシマランプに給電するための電装部(トランス)とが隔壁によって隔離されて設置された構造が示されている。
このような隔壁部は、光源部から放射される紫外光や、周囲の酸素が紫外光を受けて生成されるオゾンから、電装部を保護するために設けられているものである。
前記電装部には、エキシマランプを点灯する昇圧トランスのほか、当該トランスを冷却するための冷却手段として熱交換器や送風ファンが設けられている。
例えば、特開2011−181535号公報(特許文献2)に記載の小型の紫外線照射装置は、筐体内が、隔壁によってエキシマランプが収容されるランプ収容室と、電装部を備える回路室とに隔離された構造が示されており、当該ランプ収容室にはガス供給管を介して不活性ガスよりなる洗浄用ガスが供給されている。
しかしながら、このような気密構造とすることは、装置の構成や製造工程を煩雑化してしまう。例えば、光源部と電装部を電気的に接続する場合、各々の収容場所の気密性を確保しつつ配線する必要があり、その作業が煩雑で、かつその構造も複雑になる。
また、前記光出射口に、ガラス窓が設けられていることを特徴とする。
本発明の小型紫外線照射装置1は、筐体2の内部に区画壁3が設けられ、該区画壁3の一端部(当接端部)3aは、筐体2の一方の側壁2aに当接し、他端部(開放端部)3bと他方の側壁2bとの間には連通路4が形成されている。前記筐体2はこの区画壁3により、電装体収納室5とランプ収納室6とに区画されている。
そして、電装体収納室5には電装体7が収納され、また、ランプ収納室6には長尺状の発光管8aを有するエキシマランプ8が収納されている。このとき、前記区画壁3は、エキシマランプ8の発光管8aの放電領域にまで全長に亘って延在している。
また、図1および図2(B)に示されるように、前記エキシマランプ8はランプ収納室6内において、ランプ保持具9によって支持されている。
また、図3に示すように、前記電装体収納室5の前記区画壁3が当接する側の側壁2aには吸気口11が設けられており、そして、前記ランプ収容室5側の側壁2cの連通路側4には、排気口12が設けられている。
また、前記電装体収納室5の吸気口11には送風手段13が配置されていて、該送風手段13によって電装体収納室5内に吸引された冷却風は、前記区画壁3と筐体2の側壁2bとの間に形成された連通路4を経てランプ収納室6内に流入し、排気口12から排気される。
図3に示すように、電装体7からエキシマランプ8への配線15は、前記連通路4を利用して敷設されている。
一方、送風手段13によって冷却風が吸気口11から電装体収納室5内に吸引され、電装体7を冷却しつつ連通路4に流れる。この冷却風は前記連通路4からランプ収納室6側に向かい、この間に配線15を冷却しつつ排気口12から排気される。
このとき、エキシマランプ8の周囲では、雰囲気中の酸素に紫外線が作用してオゾンが生成されるが、前記連通路4から排気口12に向かって冷却風が流れるので、この流れによってオゾンはランプ8周辺から排気口12側に吸引され、ここから外部に排気されるので、電装室5内の電装体7にオゾンが作用してこれを劣化することがない。
また、吸気口11と排気口12とが、筐体2のほぼ反対側に離間して設けられるので、排気口12から排気されたオゾンが吸気口11に再び取り込まれて筐体2内に流入することもない。
その結果、図5に示すように、エキシマランプ8の発光管8aの一端側は冷却風によって低温となるが、該発光管8aの放電領域はガラス管16で覆われているので、熱がこもって高温となる。これにより、ランプ8の発光管8aの長手方向において温度分布が生じることになる。エキシマランプ8からの紫外線により、ガラス管16の内部にはオゾンが生成されるが、この温度勾配に基づく熱対流によってオゾンが低温側に流れるため、冷却風の流路による吸引作用に加えて、この温度勾配による熱対流が作用して、オゾンの排気が更に効果的に行われるようになる。
即ち、区画壁3は、筐体2内に水平に設けられていて、その下方を電装体収容室5とし、上方をランプ収容室6としているものである。この場合も、区画壁3の開放端部3bと筐体2の側壁2bとの間に連通路4が形成されており、一方、排気口12は筐体2の上壁2cに形成されている。
そして、エキシマランプ8は前記区画壁3上にランプ保持具9を介して支持されている。
また、この実施例においては、筐体2の上壁2cに光出射口10が形成されていて、当該光出射口10には石英ガラス製の窓部材17が嵌め込まれている。
また、図6の実施例以外の実施例においても、光出射口10に別体の石英ガラス製の窓部材を嵌め合わせることも可能である。
更には、送風手段13を吸気口11に設けるものとしたが、排気口12側に吸引手段を設けて筐体2内に冷却風を導入する構造としてもよい。
図7(A)には単一の開口、(B)には複数の縦長の開口、(C)には複数の小さな丸開口の例が示されている。勿論、形状はこれに限られない。
更に、ランプにガラス管を被嵌させたことにより、該ガラス管内に温度勾配が形成され、前記冷却風による吸引作用に加えて、この温度勾配による熱対流作用が作用して、ランプ周辺のオゾンを効果的に排気口から排気させることができる。
このように、筐体内を、区画壁により、吸気口―電装体収容室―連通路―ランプ収容室―排気口という通風経路を構成したので、コンパクトで構造の簡単な小型紫外線照射装置を実現することができた。
2 筐体
2a、2b、2d 側壁
2c 上壁
3 区画壁
3a 当接端部
3b 開放端部
4 連通路
5 電装体収容室
6 ランプ収容室
7 電装体
8 エキシマランプ
8a 発光管
9 保持具
10 光出射口
11 吸気口
12 排気口
13 送風手段
15 配線
16 ガラス管
17 窓部材
Claims (3)
- 筺体内部にエキシマランプと、該エキシマランプに給電する電装体とが配置され、前記筐体には光出射口が形成されてなる小型紫外線照射装置において、
前記筐体の一方の側壁に当接し、他方の側壁との間には連通路が形成されるように紫外線を遮光する区画壁を設け、
該区画壁によって前記筐体内を、電装体収納室とランプ収納室とに区画して、前記電装体収納室内の前記電装体と前記ランプ収納室内の前記エキシマランプとを、前記連通路を経て給電線で接続し、
前記電装体収納室における前記連通路からみて前記区画壁が当接する側に吸気口を設け、前記ランプ収納室における前記連通路側に排気口を設け、
前記吸気口から冷却風を前記電装体収納室内に導入して前記電装体を冷却するとともに、前記ランプ収納室内で発生するオゾンを前記排気口から排出するようにしたことを特徴とする小型紫外線照射装置。
- 前記エキシマランプの周囲には、両端が開放されたガラス管が被嵌されていることを特徴とする請求項1に記載の小型紫外線照射装置。
- 前記光出射口に、ガラス窓が設けられていることを特徴とする請求項1または2に記載の小型紫外線照射装置。
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