CN117526888B - 弹性波装置及射频前端模组 - Google Patents
弹性波装置及射频前端模组 Download PDFInfo
- Publication number
- CN117526888B CN117526888B CN202311287289.5A CN202311287289A CN117526888B CN 117526888 B CN117526888 B CN 117526888B CN 202311287289 A CN202311287289 A CN 202311287289A CN 117526888 B CN117526888 B CN 117526888B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- area
- region
- opening
- restriction
- length
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 42
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 claims description 55
- 230000026683 transduction Effects 0.000 claims description 19
- 238000010361 transduction Methods 0.000 claims description 19
- 230000001788 irregular Effects 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 16
- 238000001914 filtration Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 34
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 description 19
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 7
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 6
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 230000008719 thickening Effects 0.000 description 4
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 3
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 3
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 238000013461 design Methods 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 239000003989 dielectric material Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000005764 inhibitory process Effects 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000002346 layers by function Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);tantalum(5+) Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ta+5].[Ta+5] BPUBBGLMJRNUCC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910001936 tantalum oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02535—Details of surface acoustic wave devices
- H03H9/02637—Details concerning reflective or coupling arrays
- H03H9/02653—Grooves or arrays buried in the substrate
- H03H9/02661—Grooves or arrays buried in the substrate being located inside the interdigital transducers
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/25—Constructional features of resonators using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
本发明适用于射频滤波领域，公开了一种弹性波装置及射频前端模组，其中，弹性波装置包括压电基底以及设置在压电基底上的至少一个叉指换能器；其中，至少一个叉指换能器包括两个汇流条，两个汇流条沿第一方向相对设置，两个汇流条分别连接有若干个电极指；在第一方向上，两个汇流条之间具有交叉区和两个分别位于交叉区两端的间隙区；交叉区为各电极指沿第二方向相互交叠的区域，第二方向与第一方向正交；在第一方向上，两个汇流条中至少一者设有相隔设置的至少两排开口区域，各开口区域包括至少一个开口；开口区域的声速大于间隙区的声速。本申请实施例的弹性波装置能够有效抑制声波传播过程中产生的横向模态。
Description
技术领域
本发明涉及射频滤波领域，尤其涉及一种弹性波装置及射频前端模组。
背景技术
声表面波(Surface Acoustic Wave，SAW)器件，因具有工作频率高、通频带宽、成本低、体积小等特点，被广泛应用于电子电路、无线通信等***中，可以过滤不必要的讯号及杂讯，以提升收讯品质。
声表面波器件一般包括压电层、汇流条及与汇流条电连接的多个电极指，当声表面波在声表面波器件内传输时，电极指与压电层相配合从而实现声波信号和电信号之间的转换。声表面波器件在工作过程中，除了产生其需要的主模外，还会产生横向模态，横向模态的存在会造成声表面波器件的性能恶化。
发明内容
本发明的第一个目的在于提供一种弹性波装置，其旨在解决相关技术中声表面波器件在工作过程中产生的横向模态造成声表面波器件性能恶化的技术问题。
为达到上述目的，本发明提供的方案是：
一种弹性波装置，包括压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器；其中，所述至少一个叉指换能器包括：
两个汇流条，两个所述汇流条沿第一方向相对设置，两个所述汇流条分别连接有若干个电极指；
在所述第一方向上，两个所述汇流条之间具有交叉区和两个分别位于所述交叉区两端的间隙区；所述交叉区为各所述电极指沿第二方向相互交叠的区域，所述第二方向与所述第一方向正交；
在所述第一方向上，两个所述汇流条中至少一者设有相隔设置的至少两排开口区域，各所述开口区域包括至少一个开口；
所述开口区域的声速大于所述间隙区的声速。
在一些实施例中，所述交叉区包括交叉换能区和两个分别设于所述交叉换能区两端的边缘区，所述交叉换能区的声速大于所述边缘区的声速。
在一些实施例中，同一所述汇流条上相邻的两排所述开口区域中，靠近所述间隙区侧的开口区域的声速小于远离所述间隙区侧的开口区域的声速。
在一些实施例中，同一所述汇流条上相邻的两排所述开口区域中，靠近所述间隙区侧的开口区域内所述开口的面积占比小于远离所述间隙区侧的开口区域内所述开口的面积占比。
在一些实施例中，在所述第一方向上，同一所述汇流条上的开口区域的长度在0.2λ到0.6λ范围内，λ为声波的周期。
在一些实施例中，在所述第一方向上，同一所述汇流条上的相邻两排所述开口区域中，靠近所述间隙区侧的开口区域的长度大于或等于远离所述间隙区侧的开口区域的长度。
在一些实施例中，同一所述开口区域的至少一个所述开口的形状为正多边形、圆形、椭圆形和不规则图形中的一种。
在一些实施例中，在所述第一方向上，同一所述汇流条包括与所述间隙区相邻的第一限制区，以及相邻两排所述开口区域之间的第二限制区，且所述第二限制区至少有一排；
所述第一限制区的声速小于所述间隙区的声速，且所述第二限制区的声速小于所述间隙区的声速；
与所述第二限制区两侧相邻的开口区域的声速大于所述第二限制区的声速。
在一些实施例中，在所述第一方向上，同一所述汇流条中，与所述第一限制区相邻的所述开口区域的长度大于所述第一限制区的长度，与所述第二限制区相邻且远离所述间隙区一侧的所述开口区域的长度大于与所述第二限制区的长度。
在一些实施例中，在所述第一方向上，同一所述汇流条上所述第一限制区的长度大于或等于所述第二限制区的长度，且同一所述汇流条上相邻的两排所述第二限制区中，靠近所述间隙区侧的第二限制区的长度大于或等于远离所述间隙区侧的第二限制区的长度。
在一些实施例中，在所述第一方向上，所述第二限制区的长度在0.05λ到0.35λ范围内，λ为声波的周期。
在一些实施例中，在所述第一方向上，同一所述汇流条中，所述第一限制区的长度大于或等于邻接于所述第一限制区的所述第二限制区的长度，且所述第一限制区的长度小于或等于邻接于所述第一限制区的所述第二限制区的长度的两倍。
在一些实施例中，所述间隙区的长度在0.1λ到0.5λ范围内，λ为声波的周期。
在一些实施例中，所述压电基底包括压电层和衬底，所述叉指换能器设置在所述压电层上，所述压电层覆盖所述衬底。
本发明的第二个目的在于提供一种射频前端模组包括上述的弹性波装置。
本发明提供的弹性波装置具有以下有益效果：
本申请实施例的弹性波装置通过在叉指换能器的两个汇流条的至少一者上设有沿第一方向相隔设置的至少两排开口区域，各开口区域包括至少一个开口，且开口区域的声速大于间隙区的声速。这样，声波在叉指换能器内传播的过程中，产生的横向模态自间隙区往汇流条的方向传播时，横向模态进入汇流条后，横向模态的至少部分在开口区域靠近间隙区侧的边界能够被反射，使横向模态的至少部分不能继续在汇流条上往远离交叉区的方向传播，从而增大了横向模态自间隙区往汇流条传播的难度，进而有效抑制声波传播过程中产生的横向模态。如此，将弹性波装置应用于声表面波器件，如高性能声表面波滤波器时，能够有效降低横向模态对滤波器的驻波及***损耗的影响，减小滤波器因横向模态的存在而导致的能量损耗，进而提高滤波器的性能。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
图1是相关技术中叉指换能器的正视结构示意图；
图2是本发明实施例提供的弹性波装置的一种结构示意图；
图3是本发明实施例提供的弹性波装置的另一种结构示意图；
图4是本发明实施例提供的弹性波装置中叉指换能器的一种结构示意图；
图5是图4所述的叉指换能器中各区域对应的声速分布图；
图6是图4所述的叉指换能器中汇流条的结构示意图；
图7是本发明实施例提供的弹性波装置中叉指换能器的另一种结构示意图；
图8是本发明实施例提供的弹性波装置的实施例一和比较例的导纳曲线对比图；
图9是本发明实施例提供的弹性波装置的实施例一和比较例的导纳实部曲线对比图；
图10是本发明实施例提供的弹性波装置的实施例一和比较例的Q值对比图。
附图标号说明：
A、汇流条区域；A1、外侧汇流条区；C、交叉区；C1、交叉换能区；C2、边缘区；G、间隙区；D、开口区域；D01、第一开口区；D02、第一开口区；M、第一限制区；N、第二限制区；10、弹性波装置；100、压电基底；110、压电层；120、衬底；130、中间层；200、叉指换能器；210、汇流条；211、开口；212、外侧汇流条部；220、电极指；230、加宽部。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
需要说明，本发明实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
还需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件上时，它可以直接在另一个元件上或者可能同时存在居中元件。当一个元件被称为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接另一个元件或者也可以是通过居中元件间接连接另一个元件。
另外，在本发明中涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本发明要求的保护范围之内。
相关技术中的声表面波器件，常规方式无法完全抑制横模，尤其是针对如高性能声表面波器件，其一般包括压电基底和设于压电基底上的叉指换能器，结合图1，目前的叉指换能器包括相对设置的两个汇流条210，对应于图1中的汇流条区域A，沿两个汇流条210的排布方向，两个汇流条210之间具有交叉区C和两个分别位于交叉区C两端的间隙区G。针对高性能声表面波器件而言，由于其压电基底为复合多层材料键合而成，声波的传播特性更不同于常规声表面波谐振器，如果仍然采用常规的叉指换能器，如在指条末端制造低声速区形成声速势阱来抑制横向模态的常规抑制方式，对于横向模态的抑制效果相比于其他声表面波器件会更差；而且，横向模态的能量泄漏到间隙区后，间隙区存在的电场会增强该杂模的幅度，从而目前的叉指换能器将无法抑制滤波器在工作中产生的横向模态，进而横模会在通带造成较大的通带波纹，影响滤波器的驻波及***损耗，导致滤波器性能的恶化。
如图2至图5所示，有鉴于此，本申请的实施例提供一种弹性波装置10，其通过在至少一个叉指换能器200的一个或两个汇流条210上设置至少两排相隔设置的开口区域D。同时，各开口区域D包括至少一个开口211，且开口区域D的声速大于叉指换能器200中位于两个汇流条210之间的间隙区G的声速。这样，声波在叉指换能器200内传播的过程中，产生的横向模态自间隙区G往汇流条210的方向传播时，横向模态到达开口区域D靠近间隙区G侧的边界时，横向模态的至少部分在开口区域D靠近间隙区G侧的边界被反射，从而横向模态的至少部分不能继续在汇流条210上往远离交叉区C的方向传播，进而在一定程度上抑制声波传播过程中产生的横向模态。这样，将弹性波装置10应用于高性能声表面波滤波器时，或是该弹性波装置10作为高性能声表面波滤波器时，能够有效抑制滤波器在工作中产生的横向模态，从而降低横向模态对滤波器的驻波及***损耗的影响，减小滤波器因横向模态的存在而导致的能量损耗，进而提高滤波器的性能。
本实施例中，弹性波装置10可以是具有一个叉指换能器200的声表面波谐振器，也可以是具有一个或多个叉指换能器200的滤波器等设备，即弹性波装置10可包括有多个叉指换能器200，该弹性波装置10中的至少一个叉指换能器200具有如上结构，即可提高弹性波装置10的性能，当然，也可以是该弹性波装置10中的多个叉指换能器200具有如上结构，或是所有叉指换能器200具有如上结构，此处不做具体限制。
如图2至图5所示，本申请实施例提供的弹性波装置10包括压电基底100以及设置在压电基底100上的至少一个叉指换能器200；其中，至少一个叉指换能器200包括两个汇流条210，两个汇流条210沿第一方向相对设置，两个汇流条210之间分别连接有若干个电极指220；在第一方向上，同一叉指换能器200的两个汇流条210之间具有交叉区C和两个分别位于交叉区C两端的间隙区G；交叉区C为各电极指220沿第二方向相互交叠的区域，第二方向与第一方向正交；在第一方向上，两个汇流条210中至少一者设有相隔设置的至少两排开口区域D，各开口区域D包括至少一个开口211，开口区域D的声速大于间隙区G的声速。
本实施例中，一排开口区域D可视为在第二方向上，汇流条210的部分区域。一个汇流条210的区域可对应于图4和图5中的汇流条区域A。
本实施例的弹性波装置10中，设置叉指换能器200来实现声—电换能，且叉指换能器200的两个汇流条210沿第一方向相对设置，第一方向为两个汇流条210的排布方向，还设置两个汇流条210分别连接有若干个电极指220，在电极指220的排布方向，也即图4中的第二方向上，相邻两个电极指220分别连接不同的汇流条210，且一个电极指220仅连接一个汇流条210，也即若干个电极指220依次连接不同汇流条210且相邻电极指220间隔排布，并且，一个电极指220仅连接一个汇流条210。
本实施例中，电极指220的材料可以是单一金属材料或者不同金属的复合或者合金材质，可选的，上述材料可以是铝、钼、铜、金、铂、银、镍、铬、钨等或以上金属的复合或其合金等中的一者。
本实施例中，第二方向与第一方向正交，可以理解，将弹性波装置10水平放置时，第一方向和第二方向均处于同一水平面上，且第一方向和第二方向垂直。在第一方向上，两个汇流条210中至少一者设有相隔设置的至少两排开口区域D，各开口区域D包括至少一个开口211，开口区域D的声速大于间隙区G的声速，从而声波产生的横向模态进入汇流条210后，且自间隙区G向某一汇流条210传播时，会在该汇流条210中的开口区域D靠近间隙区G侧的边界被反射，然后被间隙区G远离交叉区C侧的边界被反射，从而将横向模态限制在该汇流条210所在的区域内，进而有效抑制声波传播过程中产生的横向模态。
可以理解，同一叉指换能器200中，可以在两个汇流条210中的其中一者设置至少两排开口区域D，也可以在两个汇流条210上均设置至少两排开口区域D，其中，两个汇流条210上都设置开口区域D对横向模态的抑制效果优于仅在其中一个汇流条210上设置开口区域D对横向模态的抑制效果。
可以理解地，本申请实施例的弹性波装置10通过在叉指换能器200的两个汇流条210的至少一者上设有沿第一方向相隔设置的至少两排开口区域D，各开口区域D包括至少一个开口211，且开口区域D的声速大于间隙区G的声速。设定声波的传播方向为第二方向，这样，声波在叉指换能器200内传播的过程中，产生的横向模态自间隙区G往汇流条210的方向传播时，横向模态进入汇流条210后，横向模态的至少部分在至少一排开口区域D靠近间隙区G侧的边界被反射，例如，定义在一个存在至少两排开口区域D的汇流条210中，从间隙区G往该汇流条210的方向，与间隙区G距离最小的开口区域D为第一排开口区域D，则横向模态的至少部分在第一排开口区域D靠近间隙区G侧的边界被反射。此时，横向模态的至少部分受到开口区域D靠近间隙区G侧的边界的阻挡，并被开口区域D靠近间隙区G侧的边界改变传播方向，使横向模态的至少部分不能继续在汇流条210上往远离交叉区C的方向传播，从而增大了横向模态自间隙区G往汇流条210传播的难度，进而有效抑制声波传播过程中产生的横向模态。
在两个汇流条210上都设置开口区域D的实施例中，声波在叉指换能器200内传播的过程中，产生的横向模态自间隙区G往交叉区C两侧的汇流条210传播时，交叉区C两侧的横向模态均能够被有效抑制，相比于仅在其中一个汇流条210上设置同样排数的开口区域D，在整体上提高了对横向模态的抑制效果。
本实施例中，对于弹性波装置10上的某一叉指换能器200而言，该叉指换能器200在第二方向上的两侧，还可设置有反射栅结构，从而，将声波限制在叉指换能器200，当然，图2和图3中的多层结构为示例性的示出叉指换能器200和压电基底100的叠层位置关系，并不是对叉指换能器200和压电基底100的具体结构进行限定。
如图4和图5所示，作为一种实施方式，交叉区C包括交叉换能区C1和两个分别设于交叉换能区C1两端的边缘区C2，设置交叉换能区C1的声速大于边缘区C2的声速，同时，间隙区G的声速大于边缘区C2的声速，以此，在同一侧的间隙区G、边缘区C2和交叉换能区C1中形成活塞模式，从而在声波从交叉区C向间隙区G泄露过程中即先进行横向模态的抑制，与后续在汇流条210上设置多个开口区域D共同进行横向模态的抑制，从而进一步提高横向模态的抑制效果，减少弹性波装置10中的能量损耗。
当然，可以理解的是，图4和图5仅为示例性的，其中为方便示意，如在图5中，未全部标示出叉指换能器200中所有结构的附图标记，显然，在图5中未标示附图标记的结构可以在其他附图，如图4中示出，各附图在不冲突的情况下可以共同示意；又如对汇流条210等相关结构进行放大示意，这些都不是对弹性波装置10上的叉指换能器200具体结构的限制，实质上，可视为在已存方案中的叉指换能器200结构，进行如上实施例中所提出的改进，进一步地，图6和图7同样不是对弹性波装置10上的叉指换能器200具体结构的限制。
本实施例中，设置边缘区C2的声速小于交叉换能区C1的声速，可通过在边缘区C2内的每个电极指220上设置质量负载，也即，如对边缘区C2内的每个电极指220进行加厚处理，或是对边缘区C2内的每个电极指220上进行加宽处理，或是在边缘区C2内的每个电极指220上设置介质层，从而降低边缘区C2的声速，或是在交叉换能区C1设置介质层，增加该交叉换能区C1的声速，当然也可以是在边缘区C2内的每个电极指220上同时进行加厚与加宽处理，或是同时进行加厚、加宽以及加介质层处理，当然，以上方式仅为示例性的，在其他实施例中，还可通过边缘区C2内的每个电极指220进行加厚、加宽以及加介质层等处理中的一种或多种处理方式，以降低边缘区C2的声速，此处不做具体限制。
具体地，叉指换能器200还包括设于边缘区C2的加宽部230，以降低边缘区C2的声速，实现交叉换能区C1的声速大于边缘区C2的声速。例如，在每个电极指220上位于边缘区C2的位置进行加宽处理、加厚处理和加介质层处理中的一种或多种组合处理方式，从而在电极指220上对应边缘区C2的位置形成加宽部230。
本实施例中，对边缘区C2上电极指220进行加厚、加宽或加介质层处理所使用的材料可以与电极指220的材料相同，也可以是氧化钽，含硅氧化物等电介质材料，此处不做具体限制。
如图4和图5所示，作为一种实施方式，同一汇流条210上相邻的两排开口区域D中，靠近间隙区G侧的开口区域D的声速小于远离间隙区G侧的开口区域D的声速。
具体地，可参考图5右侧的声速坐标，横坐标为声速大小，纵坐标对应叉指换能器中的各区域，越靠近声速坐标中的横坐标右侧，声速越大。
可以理解，在本实施例中，在第一方向上，同一汇流条210的至少两排开口区域D中，开口区域D的声速随着开口区域D与间隙区G之间的距离增大而增大。也即，在第一方向上，同一汇流条210中的多排开口区域D中，开口区域D距离间隙区G越远，开口区域D的声速越大。这样，可能存在的部分横向模态进入与间隙区距离最小的开口区域D后，自该排开口区域D往远离间隙区G的方向传播时，会逐渐被多排开口区域D靠近间隙区G侧的边界反射，从而加大横向模态自间隙区G往汇流条210方向传播的难度。
具体地，在一个汇流条210中，该汇流条210存在n排开口区域D，n大于等于2，从间隙区G往该汇流条210的方向，依次将n排开口区域D称为D1、D2、D3...Dn，则D1的声速小于D2的声速，D2的声速小于D3的声速，且Dn-1的声速小于Dn的声速。
如图4、图5和图6所示，作为一种实施方式，同一汇流条210上相邻的两排开口区域D中，靠近间隙区G侧的开口区域D内开口211的面积占比小于远离间隙区G侧的开口区域D内开口211的面积占比。
本实施例中，对于叉指换能器200中的一些区域而言，当金属介质均匀时，占空比可以指示该区域的声速，而对于汇流条而言，金属的面积占比可以视为该区域的的占空比，即有金属的面积占比越大，则该区域的声速越低，则对于汇流条区域A内的开口区域D而言，一个开口区域D内的开口211的面积占比越大，则该开口区域D的金属的面积占比则越小，则该区域声速则越大。
以此，本实施例中设置，同一汇流条210上相邻的两排开口区域D中，靠近间隙区G侧的开口区域D内的开口211的面积占比小于远离间隙区G侧的开口区域D内的开口211的面积占比，从而使得同一汇流条210上相邻的两排开口区域D中，靠近间隙区G侧的开口区域D的声速小于远离间隙区G侧的开口区域D的声速，以此，通过同一汇流条210相邻的两排开口区域D存在如上的声速差，能更好的抑制横向模态。
具体地，在一个汇流条210中，该汇流条210存在n排开口区域D，n大于等于2，从间隙区G往该汇流条210的方向，依次将n排开口区域D称为D1、D2、D3...Dn，则D1内开口211的面积占比小于D2内开口211的面积占比，D2内开口211的面积占比小于D3内开口211的面积占比，且Dn-1内开口211的面积占比小于Dn内开口211的面积占比。
本实施例中，对同一汇流条210的多个开口区域D进行如上述开口211的面积占比的设置，可通过对开口区域D内的开口211数量或开口211形状进行设置，或者同时对开口区域D内的开口211数量和开口211形状进行设置。对于单个开口区域D，结合图2和图4，可以理解，开口区域D的面积等于开口区域D在第一方向的宽度与开口区域D在第二方向的长度的乘积，则，该开口区域D的开口211的面积占比为在压电基底100所在平面上，该开口区域D的所有开口211的面积与该开口区域D的面积的比值。
如图4和图5所示，作为一种实施方式，在第一方向上，同一汇流条210上的开口区域D的长度在0.2λ到0.6λ范围内，λ为声波的周期。
本实施例中，通过将开口区域D在第一方向上的长度设定在该数值内，从而能在具有一定面积的汇流条210上布设至少两排开口区域D，在保证叉指换能器200的面积不会过分增大的前提下，能提高限制横向模态的效果，即保证叉指换能器200的小型化以及高性能化。
如图4和图5所示，作为一种实施方式，在第一方向上，同一汇流条210上的相邻两排开口区域D中，靠近间隙区G侧的开口区域D的长度大于或等于远离间隙区G侧的开口区域D的长度。
本实施例中，在具有一定面积的汇流条210上布设的多排开口区域D中，沿汇流条210的排布方向设置靠近间隙区G侧的开口区域D的长度大于或等于远离间隙区G侧的开口区域D的长度，使得靠近间隙区G侧的开口区域D能够消耗大部分的横向模态，从而有效阻止横向模态往远离间隙区G的方向泄漏。
具体地，在具有一定面积的汇流条210上布设的n排开口区域D中，n大于等于2，自间隙区G往该汇流条210的方向，依次将n排开口区域D称为D1、D2、D3...Dn，则D1在第一方向的长度大于或等于D2在第一方向的长度，D2在第一方向的长度大于或等于D3在第一方向的长度，Dn-1在第一方向的长度大于或等于Dn在第一方向的长度。这样，横向模态自间隙区G进入汇流条210后，D1靠近间隙区G侧的边界可以反射大部分横向模态，剩余部分横向模态共同被D2靠近间隙区G侧的边界、D3靠近间隙区G侧的边界、Dn-1靠近间隙区G侧的边界以及Dn靠近间隙区G侧的边界反射，从而增大横向模态泄漏的难度，进一步提高横向模态的抑制效果。
如图4和图7所示，作为一种实施方式，同一开口区域D的至少一个开口211的形状为正多边形、圆形、椭圆形和不规则图形中的一种。
本实施例中，同一开口区域D的多个开口211的形状可在正多边形、圆形、椭圆形和不规则图形中自由选择，这样，在汇流条210上开设开口区域D时，可按实际需要选择开口211的形状。其中，同一排开口区域D内各开口211的形状可以选用同一形状，也可以选用不同的形状。相邻两排开口区域D内各开口211的形状可以选用同一形状，也可以选用不同的形状。示例性的，开口211的形状为矩形，制作简单。
本实施例中的开口211的形状，可以视为从叉指换能器200至压电基底100的方向，一个开口211所展示的形状，可理解为一个开口211在截面上所显示的形状，该截面为开口211的横截面，该截面与压电基底100所在的平面平行。本实施例中，一个叉指换能器200中任意两个开口211的形状大小可以相同也可以不同，此处不做具体限制。
如图4、图5和图6所示，作为一种实施方式，在第一方向上，同一汇流条210包括与间隙区G相邻的第一限制区M，以及相邻两排开口区域D之间的第二限制区N，且第二限制区N至少有一排。第一限制区M的声速小于间隙区G的声速，第二限制区N的声速小于间隙区G的声速；与第二限制区N两侧相邻的开口区域D的声速大于第二限制区N的声速。
本实施例中，同一汇流条210上，沿第一方向，与间隙区G之间距离最小的开口区域D与间隙区G之间的汇流条区域A为第一限制区M，且第一限制区M内不设有开口211；相邻两排开口区域D之间的汇流条区域A为第二限制区N，且第二限制区N内不设有开口211。
即，对于第一限制区M和第二限制区N而言，其实质可视为汇流条210在第二方向上不存在开口211的区域或不存在开口211的部分结构的区域。
本实施例中，在第一方向上，设置第一限制区M的声速小于间隙区G的声速，同时，间隙区G的声速小于与第一限制区M相邻的开口区域D的声速，间隙区G、第一限制区M、与第一限制区M相邻的开口区域D可形成高-低-高的声速差，以此，可将传输至第一限制区M中的横向模态大部分限制于第一限制区M内，该被限制在第一限制区M内的横向模态，不会继续沿间隙区G向汇流条210的方向传播；与第一限制区M相同地，与第二限制区N相邻且靠近间隙区G侧的开口区域D、第二限制区N、与第二限制区N相邻且远离间隙区G侧的开口区域D也可形成高-低-高的声速差，同时，与第二限制区N相邻且靠近间隙区G侧的开口区域D的声速小于与第二限制区N相邻且远离间隙区G侧的开口区域D的声速，以此，可将传输至第二限制区N中的横向模态大部分限制于第二限制区N内。如此，声波产生的横向模态在传播时，大部分横向模态被限制在第一限制区M内，部分横向模态越过第一限制区M后，也会被限制在第二限制区N内，甚至被完全限制。
也即在横向模态自间隙区G向汇流条210传播的过程中，经历如上所示出的间隙区G、第一限制区M、与第一限制区M相邻的开口区域D之间的声速差，以及，第二限制区N与第二限制区N两侧相邻的开口区域D之间的声速差，横向模态进入第一限制区M后，由于间隙区G、第一限制区M、与第一限制区M相邻的开口区域D之间的声速差，大部分横向模态被限制在第一限制区M内，部分越过第一限制区M的横向模态，继续在汇流条210传播进入第二限制区N后，由于第二限制区N与第二限制区N两侧相邻的开口区域D的声速差，也会被限制在第二限制区N内。
具体地，结合图5和图7，对第一限制区M和第二限制区N如何进行横向模态限制进行说明，在汇流条210内设置两排开口区域D的实施例中，声波产生的横向模态自间隙区G向汇流条210传播过程中，横向模态进入汇流条210后，首先进入至第一限制区M，并继续沿着间隙区G向汇流条210的方向传播，横向模态在到达与第一限制区M相邻的开口区域D的边界，由于与第一限制区M相邻的开口区域D的声速大于第一限制区M的声速，大部分横向模态会被与第一限制区M相邻的开口区域D的边界反射会第一限制区M，反射的横向模态传播方向改变，传播至与第一限制区M相邻的间隙区G的边界，同样因为与第一限制区M相邻的间隙区G的声速大于第一限制区M的声速，传播方向改变的横向模态，会被与第一限制区M相邻的间隙区G的边界反射，同时，存在与第一限制区M相邻的开口区域D的声速大于与第一限制区M相邻的间隙区G的声速，在第一限制区M内发生反射的声波会来回在与第一限制区M相邻的开口区域D的边界、与第一限制区M相邻的间隙区G的边界发生反射，从而该部分横向模态被限制在第一限制区M内，不会传播至与第一限制区M相邻的开口区域D。
若存在部分横向模态越过第一限制区M后，会进入与第一限制区M相邻的开口区域D内继续向汇流条210传播，再结合图7，定义同一汇流条210位于第二限制区N两侧的两排开口区域D中，位于第一限制区M与第二限制区N之间的开口区域D为第一开口区D01，邻接于第二限制区N远离第一限制区M侧的开口区域D为第二开口区D02。那么，若存在部分横向模态越过第一限制区M进入第一开口区D01继续向汇流条210传播，这部分横向模态进入第二限制区N并继续沿着间隙区G向汇流条210的方向传播，横向模态在到达第二开口区D02的边界时，由于第二开口区D02的声速大于第二限制区N的声速，这部分横向模态会被第二开口区D02邻接第二限制区N的边界反射回第二限制区N，反射的这部分横向模态传播方向被改变，传播至第一开口区D01靠近第二限制区N侧的边界，同样因为第一开口区D01的声速大于第二限制区N的声速，传播方向被改变的横向模态，会被第一开口区D01靠近第二限制区N侧的边界反射，同时，存在第二开口区D02的声速大于第一开口区D01的声速，在第二限制区N内发生反射的声波会来回在第二开口区D02靠近第二限制区N侧的边界、第一开口区D01靠近第二限制区N侧的边界发生反射，从而越过第一限制区M的这部分横向模态被限制在第二限制区N内，不会传播至与第二限制区N相邻且远离第一限制区M的开口区域D。
进一步地，被限制在第一限制区M和/或第二限制区N的横向模态由于多次反射，甚至对应的横向模态在第一限制区M和/或第二限制区N传播路线可形成封闭环路，从而横向模态在第一限制区M内和第二限制区N内被限制，从而横向模态不会与声波的主模态发生耦合影响主模态的传播，也不会发生泄露，而横向模态被限制在第一限制区M和/或第二限制区N，可减少能量泄露。
如图6和图7所示，在一个实施例中，在第一方向上，同一汇流条210还包括外侧汇流条部212，对应于图4至图6中的外侧汇流条区A1或图7中的外侧汇流条区A1，外侧汇流条部212邻接于距离间隙区G最远的开口区域D。在上述设置两排开口区域D的实施例中，外侧汇流条部212邻接于第二开口区D02远离第二限制区N的一侧。在一个实施例中，结合图5，第一限制区M和第二限制区N均由金属材料制作而成，以实现第一限制区M小于邻接于第一限制区M的开口区域D的声速，以及实现第二限制区N的声速小于位于第二限制区N两侧的开口区域D的声速。
即，本实施例中的叉指换能器200中的一个汇流条210包括至少两排开口区域D、第一限制区M、至少一个第二限制区N以及外侧汇流条部212。
如图4和图6所示，作为一种实施方式，在第一方向上，同一汇流条210中，与第一限制区M相邻的开口区域D的长度大于第一限制区M的长度，与第二限制区N相邻且远离间隙区G一侧的开口区域D的长度大于第二限制区N的长度。
本实施例中，通过在同一汇流条210内对第一限制区M、第二限制区N和开口区域D进行如上的长度设置，可以在具有一定面积的汇流条210上合理排布第一限制区M、至少一排第二限制区N和至少两排开口区域D，使得横向模态逐步被限制在第一限制区M和第二限制区N内，还能在保证叉指换能器200面积不会过分增大的前提下，提高限制横向模态的效果。
具体地，在一个汇流条210中，该汇流条210存在n排开口区域D，一排第一限制区M，n-1排第二限制区N，n大于等于2，从间隙区G往该汇流条210的方向，依次将n排开口区域D称为D1、D2、D3、...、Dn，第一限制区M称为M1，依次将n-1排第二限制区N称为N1、N2...Nn-1，那么，D1的长度大于M1的长度，D2的长度大于N1的长度，D3的长度大于N2的长度，Dn的长度大于Nn-1的长度。
如图4和图6所示，作为一种实施方式，在第一方向上，同一汇流条210上第一限制区M的长度大于或等于第二限制区N的长度，且，同一汇流条210上相邻的两排第二限制区N中，靠近间隙区G侧的第二限制区N的长度大于或等于远离间隙区G侧的第二限制区N的长度。本实施例中，在具有一定面积的汇流条210上形成的第一限制区M和至少一排第二限制区N中，第一限制区M能将大部分的横向模态限制在内，同时，距离间隙区G近的第二限制区N将剩余横向模态中的大部分限制在内，如此，可在一定程度上减少了往远离间隙区G方向传播的横向模态，并加大横向模态的传播难度，从而有效阻止横向模态往远离间隙区G的方向泄漏，减少能量损耗，提高Q值。
具体地，在一个汇流条210中，该汇流条210存在一排第一限制区M，以及n排第二限制区N，n大于等于2，从间隙区G往该汇流条210的方向，依次将一排第一限制区M和n排第二限制区N称为M1，以及N1、N2、...、Nn，那么，M1的长度大于N1的长度，N1的长度大于N2的长度，Nn-1的长度大于Nn的长度。
如图4和图5所示，作为一种实施方式，在第一方向上，第二限制区N的长度在0.05λ到0.35λ范围内，λ为声波的周期。本实施例中，通过将第二限制区N设定在该数值内，从而能在具有一定面积的汇流条210上可以布设至少一排第二限制区N，在保证叉指换能器200的面积不会过分增大的前提下，并能提高限制横向模态的效果，即保证叉指换能器200的小型化以及高性能化。
如图4和图5所示，作为一种实施方式，在第一方向上，同一汇流条210中，第一限制区M的长度大于或等于至少一排第二限制区N中邻接于第一限制区M的第二限制区N的长度，且第一限制区M的长度小于或等于至少一排第二限制区N中邻接于第一限制区M的第二限制区N的长度的两倍。
可以理解，本实施例中，在第一方向上，同一汇流条210中，定义第一限制区M的长度为L1，定义至少一排第二限制区N中邻接于第一限制区M的第二限制区N的长度为L2，其中，L2≤L1≤2*L2。这样，在具有一定面积的汇流条210上可以合理布设第一限制区M和第二限制区N，从而在一定程度提高限制横向模态的效果。
如图4所示，作为一种实施方式，间隙区G的长度在0.1λ到0.5λ范围内，λ为声波的周期。本实施例中，通过将间隙区G设定在该数值内，提高横向模态自间隙区G向交叉区C传播的难度，从而提高抑制横向模态的效果。
如图2和图5所示，作为一种实施方式，压电基底100包括压电层110和衬底120，叉指换能器200设置在压电层110上，压电层110覆盖所述衬底120。
本实施例中，压电基底100可以是单层结构也可以是多层结构，结合图3，压电基底100是单层结构时，压电基底100作为叉指换能器200的压电层110。结合图2，压电基底100是多层结构时，压电基底100至少包括压电层110和衬底120，叉指换能器200设置在压电层110上，压电层110覆盖衬底120。衬底120承载压电层110和叉指换能器200。通常，叉指换能器200的上表面覆盖一层保护层，避免叉指换能器200被外界环境中的水汽等物质污染。
在一个实施例中，压电基底100是多层结构时，压电层110与衬底120之间还设置有中间层130，中间层130的层数可以是一个也可以是多个。示例性的，中间层130为功能层，例如，中间层130为低声速层或低声阻抗层，此时可设置衬底120为高声速层或高声阻抗层，以在压电层110下方形成声反射结构，减小声波能量的纵向泄漏。
结合图2至图5，本实施例中，在汇流条210设置的至少两排开口区域D，以将横向模态限制在第一限制区M和第二限制区N的方案可以应用在单层结构的压电基底100中，也可应用在多层结构的压电基底100中，在单层结构的压电基底100中设置边缘区C2的声速小于交叉换能区C1，可以抑制大部分横向模态，在此情况下，在汇流条210设置的至少两排开口区域D的方案，可以进一步提高横向模态的抑制效果；在多层结构的压电基底100中设置边缘区C2的声速小于交叉换能区C1，其无法抑制多层结构的压电基底100产生的横向模态，在此情况下，在汇流条210设置的至少两排开口区域D的方案，能够有效地抑制横向模态。
结合图2、图4和图5，本申请实施例还提供一种射频前端模组，其包括上述的弹性波装置10。可以理解，本申请实施例的射频前端模组，由于使用上述的弹性波装置10，这样，声波在叉指换能器200内传播的过程中，产生的横向模态自间隙区G向汇流条210的方向传播时，横向模态进入汇流条210后，横向模态的至少部分在开口区域D靠近间隙区G侧的边界被反射，使横向模态的至少部分不能继续在汇流条210上往远离交叉区C的方向传播，增大了横向模态自间隙区G往汇流条210传播的难度，从而有效抑制声波传播过程中产生的横向模态，减少弹性波装置10的能量损耗，提高射频前端模组的性能。
基于上述实施例提供的弹性波装置10，进行参数设计，选取众多实施例中的实施例一，并将实施例一与比较例进行对比，使本申请实施例的效果更直观。
实施例一的设计参数如下：
结合图4和图5，限定声速分布范围：定义边缘区C2的声速为V1，交叉换能区C1的声速为V2，第一限制区M的声速为V3，第二限制区N的声速为V4，汇流条210的声速为V5，间隙区G的声速为V6，开口区域D的声速为V7，且，V1＜V2＝V3＝V4＝V5＜V6＜V7。声波从低声速区到高声速区，在高声速区的边界会被反射，设置开口区域D的声速最大，有利于开口区域D靠近间隙区G侧的边界将声波产生的横向模态反射回第一限制区M和第二限制区N，从而有利于将横向模态限制在第一限制区M和第二限制区N，进而减少横模泄露。
结合图4、图5和图6，开口区域D的排数设置三排，则自间隙区G往远离交叉区C的方向，将汇流条210依次划分为：第一限制区M、第一排开口区域D、第一排第二限制区N、第二排开口区域D、第二排第二限制区N、第三排开口区域D和外侧汇流条部212。在第一方向上，定义第一限制区M的长度为L1，定义第一排第二限制区N的长度为L2，定义第二排第二限制区N的长度为L3，定义第一排开口区域D的长度为d1，定义第二排开口区域D的长度为d2，定义第三排开口区域D的长度为d3。其中，0.05λ≤L3≤L2≤0.35λ，L2≤L1≤2L2；0.2λ≤d3≤d2≤d1≤0.6λ，L1≤d1，L2≤d2，L3≤d3，λ为声波的周期。
同时，定义第一排开口区域D的声速为Vi，定义第二排开口区域D的声速为Vii，定义第三排开口区域D的声速为Viii，且，Vi≤Vii≤Viii。定义间隙区G的长度为g1，0.1λ≤g1≤0.5λ。
比较例：
结合图1和图2，在比较例中，具有压电基底，以及目前叉指换能器200基本结构中的两个汇流条210、交叉区C和间隙区G，但不在汇流条210上设置开口区域D。
结合图8，为本申请实施例一提供的弹性波装置10与比较例的导纳曲线对比图，图示中虚线曲线指代的是比较例的导纳曲线图，实线曲线指代的是实施例一的导纳曲线图，横坐标均为频率，单位为GHz，纵坐标为导纳，单位为dB，为便于查看，将图8中的比较例的曲线沿纵坐标下移了20dB。从图8中可以看出，比较例的导纳曲线为非光滑的曲线，其在谐振点与反谐振点之间产生很多毛刺，而实施例一的导纳曲线在谐振点与反谐振点之间较为光滑，曲线整体也较为光滑，证明实施例一的弹性波装置10较好的抑制了横向模态。
结合图9，为本申请实施例一提供的弹性波装置10与比较例的导纳实部对比图，图示中虚线曲线指代的是比较例的导纳曲线图，实线曲线指代的是实施例一的导纳曲线图，横坐标均为频率，单位为GHz，纵坐标为导纳实部，单位为dB，为便于查看，也将图9中的比较例的曲线沿纵坐标下移了20dB。从图9中可以看出，比较例的导纳曲线在谐振点后存在的尖峰幅度较大，证明在比较例中存在较强的横模。而实施例一中，导纳曲线在谐振点后的尖峰得到了一定程度的减弱，可证明此处的横模得到了较好的抑制。
结合图10，为本申请实施例一提高的弹性波装置10与比较例的Q值(品质因数)对比图，图示中虚线曲线指代的是比较例的导纳曲线图，实线曲线指代的是实施例一的导纳曲线图。从图10中可以看出，沿纵坐标，实施例一的曲线基本位于比较例曲线的上方，且实施例一能够达到的纵坐标数值也较大，同时，实施例一中的频率点对应的纵坐标值多数大于比较例中的纵坐标数值。这说明实施例一的弹性波装置10能够有效抑制横向模态，从而减少横向模态的泄漏，减少能量的损耗，提高Q值，提高弹性波装置10的性能。
以上所述仅为本发明的优选实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是在本发明的发明构思下，利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本发明的专利保护范围内。
Claims (14)
1.一种弹性波装置，其特征在于，包括：压电基底以及设置在所述压电基底上的至少一个叉指换能器；其中，所述至少一个叉指换能器包括：
两个汇流条，两个所述汇流条沿第一方向相对设置，两个所述汇流条分别连接有若干个电极指；
在所述第一方向上，两个所述汇流条之间具有交叉区和两个分别位于所述交叉区两端的间隙区；所述交叉区为各所述电极指沿第二方向相互交叠的区域，所述第二方向与所述第一方向正交；
在所述第一方向上，两个所述汇流条中至少一者设有相隔设置的至少两排开口区域，各所述开口区域包括至少一个开口；
所述开口区域的声速大于所述间隙区的声速；
同一所述汇流条上相邻的两排所述开口区域中，靠近所述间隙区侧的开口区域的声速小于远离所述间隙区侧的开口区域的声速。
2.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，所述交叉区包括交叉换能区和两个分别设于所述交叉换能区两端的边缘区，所述交叉换能区的声速大于所述边缘区的声速。
3.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，同一所述汇流条上相邻的两排所述开口区域中，靠近所述间隙区侧的开口区域内所述开口的面积占比小于远离所述间隙区侧的开口区域内所述开口的面积占比。
4.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，同一所述汇流条上的开口区域的长度在0.2λ到0.6λ范围内，λ为声波的周期。
5.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，同一所述汇流条上的相邻两排所述开口区域中，靠近所述间隙区侧的开口区域的长度大于或等于远离所述间隙区侧的开口区域的长度。
6.如权利要求1所述的弹性波装置，其特征在于，同一所述开口区域的至少一个所述开口的形状为正多边形、圆形、椭圆形和不规则图形中的一种。
7.如权利要求1-6任一项所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，同一所述汇流条包括与所述间隙区相邻的第一限制区，以及相邻两排所述开口区域之间的第二限制区，且所述第二限制区至少有一排；
所述第一限制区的声速小于所述间隙区的声速，且所述第二限制区的声速小于所述间隙区的声速；
与所述第二限制区两侧相邻的开口区域的声速大于所述第二限制区的声速。
8.如权利要求7所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，同一所述汇流条中，与所述第一限制区相邻的所述开口区域的长度大于所述第一限制区的长度，与所述第二限制区相邻且远离所述间隙区一侧的所述开口区域的长度大于与所述第二限制区的长度。
9.如权利要求7所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，同一所述汇流条上所述第一限制区的长度大于或等于所述第二限制区的长度，且同一所述汇流条上相邻的两排所述第二限制区中，靠近所述间隙区侧的第二限制区的长度大于或等于远离所述间隙区侧的第二限制区的长度。
10.如权利要求7所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，所述第二限制区的长度在0.05λ到0.35λ范围内，λ为声波的周期。
11.如权利要求7所述的弹性波装置，其特征在于，在所述第一方向上，同一所述汇流条中，所述第一限制区的长度大于或等于邻接于所述第一限制区的所述第二限制区的长度，且所述第一限制区的长度小于或等于邻接于所述第一限制区的所述第二限制区的长度的两倍。
12.如权利要求1-6任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述间隙区的长度在0.1λ到0.5λ范围内，λ为声波的周期。
13.如权利要求1-6任一项所述的弹性波装置，其特征在于，所述压电基底包括压电层和衬底，所述叉指换能器设置在所述压电层上，所述压电层覆盖所述衬底。
14.一种射频前端模组，其特征在于，包括如权利要求1-13中任一项所述的弹性波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311287289.5A CN117526888B (zh) | 2023-10-07 | 2023-10-07 | 弹性波装置及射频前端模组 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202311287289.5A CN117526888B (zh) | 2023-10-07 | 2023-10-07 | 弹性波装置及射频前端模组 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN117526888A CN117526888A (zh) | 2024-02-06 |
| CN117526888B true CN117526888B (zh) | 2024-06-21 |
Family
ID=89757392
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202311287289.5A Active CN117526888B (zh) | 2023-10-07 | 2023-10-07 | 弹性波装置及射频前端模组 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN117526888B (zh) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113940000A (zh) * | 2019-06-14 | 2022-01-14 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
| CN116667812A (zh) * | 2023-07-11 | 2023-08-29 | 唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司 | 声表面波谐振器及其制造方法 |
Family Cites Families (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6179594B2 (ja) * | 2013-05-29 | 2017-08-16 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| CN107534428B (zh) * | 2015-04-24 | 2020-12-18 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
| WO2021065684A1 (ja) * | 2019-09-30 | 2021-04-08 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| JP2021077956A (ja) * | 2019-11-06 | 2021-05-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置及びフィルタ装置 |
| WO2022014276A1 (ja) * | 2020-07-17 | 2022-01-20 | 株式会社村田製作所 | 弾性波装置 |
| CN116508261A (zh) * | 2020-12-18 | 2023-07-28 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置及梯型滤波器 |
| CN114520638B (zh) * | 2022-02-18 | 2023-03-28 | 无锡市好达电子股份有限公司 | 一种声波换能器结构 |
| CN218941067U (zh) * | 2022-11-17 | 2023-04-28 | 苏州声芯电子科技有限公司 | 一种叉指换能器及其声表面波谐振器 |
| CN115733463A (zh) * | 2022-11-24 | 2023-03-03 | 浙江星曜半导体有限公司 | 声表面波谐振器 |
| CN116032242B (zh) * | 2023-03-30 | 2023-08-25 | 阿尔伯达(苏州)科技有限公司 | 一种具有寄生模态抑制层的声表面波谐振器 |
| CN116566353A (zh) * | 2023-06-08 | 2023-08-08 | 中国电子科技集团公司第二十六研究所 | 一种抑制声表面波器件横向能量泄露的方法 |
-
2023
- 2023-10-07 CN CN202311287289.5A patent/CN117526888B/zh active Active
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN113940000A (zh) * | 2019-06-14 | 2022-01-14 | 株式会社村田制作所 | 弹性波装置 |
| CN116667812A (zh) * | 2023-07-11 | 2023-08-29 | 唯捷创芯(天津)电子技术股份有限公司 | 声表面波谐振器及其制造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN117526888A (zh) | 2024-02-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN109698681B (zh) | 弹性波装置 | |
| US9035725B2 (en) | Acoustic wave device | |
| US10171061B2 (en) | Elastic wave device | |
| US6404101B1 (en) | Surface acoustic wave device | |
| US8106726B2 (en) | Elastic surface wave device comprising dummy electrodes | |
| US8421560B2 (en) | Boundary acoustic wave resonator and ladder filter | |
| KR100680675B1 (ko) | 탄성 표면파 장치 | |
| JP6573836B2 (ja) | 弾性波共振器、フィルタ、及びデュプレクサ | |
| US7915976B2 (en) | Surface acoustic wave resonator and ladder-type filter | |
| KR102082798B1 (ko) | 탄성파 장치 | |
| CN112532205B (zh) | 一种弹性表面波谐振器和滤波器以及天线共用器 | |
| US20060139126A1 (en) | Surface acoustic wave (SAW) resonator SAW filter and SAW antenna duplexer using the SAW resonator | |
| CN109787579B (zh) | 一种具有减小杂散功能的saw谐振器 | |
| CN114268294B (zh) | 包含混合加权型反射栅的saw器件及混合加权型反射栅 | |
| CN117526888B (zh) | 弹性波装置及射频前端模组 | |
| CN219659684U (zh) | 谐振器、滤波器以及射频前端模组 | |
| US6650207B1 (en) | Longitudinally coupled surface acoustic wave filter with linearly weighted reflectors | |
| JP3890740B2 (ja) | 弾性表面波導波路構造及びそれを用いたデバイス | |
| JP6178972B2 (ja) | ローパス特性を有する電子音響フィルタ | |
| CN116979927A (zh) | 滤波器及电子设备 | |
| JP4345768B2 (ja) | 表面波装置 | |
| CN117155335A (zh) | 一种声表面波谐振器及制备方法、滤波器 | |
| CN116248073A (zh) | 声表面波滤波器及射频芯片 | |
| JP4011035B2 (ja) | 弾性表面波フィルタおよびデュプレクサ | |
| JPWO2010140456A1 (ja) | 弾性波共振子、ラダー型フィルタ及びデュプレクサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |