JP6134565B2 - 検査方法および検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 111
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 75
- 230000007547 defect Effects 0.000 claims description 175
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 159
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 48
- 230000001172 regenerating effect Effects 0.000 claims description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 238000013461 design Methods 0.000 description 25
- 230000008569 process Effects 0.000 description 20
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 15
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 11
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 9
- 238000011161 development Methods 0.000 description 7
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000012552 review Methods 0.000 description 5
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 4
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 230000007261 regionalization Effects 0.000 description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 2
- 230000006870 function Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000008929 regeneration Effects 0.000 description 2
- 238000011069 regeneration method Methods 0.000 description 2
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000013139 quantization Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
- G06T7/0004—Industrial image inspection
- G06T7/0008—Industrial image inspection checking presence/absence
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/60—Analysis of geometric attributes
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T7/00—Image analysis
- G06T7/70—Determining position or orientation of objects or cameras
- G06T7/73—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods
- G06T7/74—Determining position or orientation of objects or cameras using feature-based methods involving reference images or patches
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/20—Special algorithmic details
- G06T2207/20081—Training; Learning
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T2207/00—Indexing scheme for image analysis or image enhancement
- G06T2207/30—Subject of image; Context of image processing
- G06T2207/30108—Industrial image inspection
- G06T2207/30148—Semiconductor; IC; Wafer
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- Geometry (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Image Processing (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
Description
前記光学画像に対応する参照画像を生成する工程と、
前記光学画像と前記参照画像とをダイ−トゥ−データベース方式によって比較し、欠陥が検出された光学画像について該欠陥に関する情報を保存する工程と、
前記参照画像に前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を反映させて参照画像を再生成する工程と、
前記ダイ−トゥ−データベース方式による比較で欠陥が検出された光学画像と、該光学画像に対応する前記再生成された参照画像とを、ダイ−トゥ−データベース方式によって再比較し、前記欠陥が検出された光学画像から再度欠陥が検出された場合には該欠陥に関する情報を保存し、前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像には欠陥がないとする工程とを有することを特徴とする検査方法に関する。
前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める工程とを有することが好ましい。
この場合、任意の大きさのブロック単位で前記パターンの寸法の平均値を算出して前記寸法分布を求めることが好ましい。
前記光学画像に対応する参照画像を生成する参照画像生成部と、
前記光学画像と前記参照画像とをダイ−トゥ−データベース方式によって比較する比較部と、
前記比較部で欠陥が検出された光学画像について該欠陥に関する情報を保存する保存部とを有し、
前記参照画像生成部は、前記参照画像に前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を反映させて参照画像を再生成し、
前記比較部は、前記ダイ−トゥ−データベース方式による比較で欠陥が検出された光学画像と、該光学画像に対応する前記再生成された参照画像とを、ダイ−トゥ−データベース方式によって再比較し、
前記欠陥が検出された光学画像から再度欠陥が検出された場合には、該欠陥に関する情報が前記保存部に保存され、前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像について保存された前記欠陥に関する情報が削除されることを特徴とする検査装置に関する。
前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める寸法分布取得部とを有することが好ましい。
(1)記憶工程
ダイ−トゥ−データベース比較方式による検査の場合、欠陥判定の基準となるのは、設計パターンデータから生成する参照画像である。検査装置100では、マスク101のパターン形成時に用いた設計パターンデータが磁気ディスク装置109に記憶される。
展開工程においては、図1の展開回路111が、磁気ディスク装置109から制御計算機110を通して設計パターンデータを読み出し、読み出されたマスク101の設計パターンデータを2値ないしは多値のイメージデータ(設計画像データ)に変換する。このイメージデータは参照回路112に送られる。
フィルタ処理工程では、図1の参照回路112によって、図形のイメージデータである設計パターンデータに適切なフィルタ処理が施される。その理由は、次の通りである。
寸法測定工程では、光学画像からパターンの寸法(CD)が測定される。図1の検査装置100では、寸法測定回路125が、センサ回路106から出力されたマスク採取データ204を用いて、この画像におけるパターン線幅の寸法(CD)を測定する。このとき、位置回路107から送られた、XYθテーブル102上でのマスク101の位置情報が加味される。尚、パターンの寸法(CD)は、パターンの線幅でもよく、パターンの線間距離でもよい。
寸法測定回路125でパターンの寸法(CD)が求められると、得られたデータはマップ作成回路126へ送られる。マップ作成回路126では、蓄積されたCD値から、マスク面内での寸法分布を表すCDマップが作成される。このマップによれば、マスク101の検査領域において、パターンの線幅が細くなっている領域や太くなっている領域を容易に把握することができる。例えば、パターンの描画に使用される描画装置にマスクの特定部分で線幅が細くなる傾向があれば、そうした傾向を把握可能である。
図2に示すように、光学画像取得工程で取得されたマスク採取データ204は、比較回路108へ送られる。また、参照回路112からは、参照データが比較回路108へ送られる。比較回路108は、第1の比較部108aと第2の比較部108bとを有しており、第1の比較部108aにおいて、マスク採取データ204と参照データとが、ダイ−トゥ−データベース方式によって比較される。具体的には、撮像されたストライプデータが検査フレーム単位に切り出され、検査フレーム毎に、欠陥判定の基準となるデータと適切な比較判定アルゴリズムを用いて比較される。そして、両者の差が所定の閾値を超える場合に欠陥と判定される。欠陥に関する情報は、マスク検査結果205に保存される。例えば、制御計算機110によって、欠陥の座標、欠陥判定の根拠となった光学画像などが、マスク検査結果205として磁気ディスク装置109に保存される。
ところで、マスクの製造工程では、レジストパターンをマスクとして下層の遮光膜等をエッチングすることで、ウェハに転写するパターンを形成している。この際、マスク面内でのレジスト膜や遮光膜の面積の違いが原因となって、レジストパターンの寸法が設計データの寸法と異なってしまう現象(ローディング効果)が起こる。その結果、マスクの面内でパターン寸法に分布が生じる。
次に、第1の比較部108aで欠陥が検出された光学画像と、この光学画像に対応する再生成された参照画像とを、比較回路108の第2の比較部108bでダイ−トゥ−データベース比較する。ここで、再生成された参照画像には、マスク面内における寸法のばらつきが反映されているので、パターンの線幅バイアス(偏差)がキャンセルされた状態で、光学画像と参照画像を比較することができる。比較の結果、欠陥が検出されなければ、第1の比較部108aで検出された欠陥は疑似欠陥であり、本来欠陥として検出されるべきものではなかったと判断できる。
以下に、本願出願当初の特許請求の範囲に記載の発明を付記する。
[C1]
試料に形成されたパターンの光学画像を取得する工程と、
前記光学画像に対応する参照画像を生成する工程と、
前記光学画像と前記参照画像とをダイ−トゥ−データベース方式によって比較し、欠陥が検出された光学画像について該欠陥に関する情報を保存する工程と、
前記参照画像に前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を反映させて参照画像を再生成する工程と、
前記ダイ−トゥ−データベース方式による比較で欠陥が検出された光学画像と、該光学画像に対応する前記再生成された参照画像とを、ダイ−トゥ−データベース方式によって再比較し、前記欠陥が検出された光学画像から再度欠陥が検出された場合には該欠陥に関する情報を保存し、前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像には欠陥がないとする工程とを有することを特徴とする検査方法。
[C2]
前記光学画像のパターンの寸法を測定する工程と、
前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める工程とを有することを特徴とする[C1]に記載の検査方法。
[C3]
前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める工程は、任意の大きさのブロック単位で前記パターンの寸法の平均値を算出して前記寸法分布を求める工程であることを特徴とする[C2]に記載の検査方法。
[C4]
前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像について保存された前記欠陥に関する情報を、再比較によって欠陥が検出された光学画像の欠陥に関する情報と区別して保存することを特徴とする[C1]〜[C3]のいずれか1項に記載の検査方法。
[C5]
前記参照画像を再生成する工程では、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布と併せて、前記光学画像のパターンの寸法を測定するのに使用した装置のオフセット量が反映されることを特徴とする[C2]〜[C4]のいずれか1項に記載の検査方法。
[C6]
試料に形成されたパターンの光学画像を取得する光学画像取得部と、
前記光学画像に対応する参照画像を生成する参照画像生成部と、
前記光学画像と前記参照画像とをダイ−トゥ−データベース方式によって比較する比較部と、
前記比較部で欠陥が検出された光学画像について該欠陥に関する情報を保存する保存部とを有し、
前記参照画像生成部は、前記参照画像に前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を反映させて参照画像を再生成し、
前記比較部は、前記ダイ−トゥ−データベース方式による比較で欠陥が検出された光学画像と、該光学画像に対応する前記再生成された参照画像とを、ダイ−トゥ−データベース方式によって再比較し、
前記欠陥が検出された光学画像から再度欠陥が検出された場合には、該欠陥に関する情報が前記保存部に保存され、前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像について保存された前記欠陥に関する情報が削除されることを特徴とする検査装置。
[C7]
前記試料の面内における前記パターンの寸法分布は外部から入力されることを特徴とする[C6]に記載の検査装置。
100 検査装置
101 マスク
102 XYθテーブル
103 光源
104 拡大光学系
105 フォトダイオードアレイ
106 センサ回路
107 位置回路
108 比較回路
108a 第1の比較部
108b 第2の比較部
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
111 展開回路
112 参照回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 磁気テープ装置
116 フレキシブルディスク装置
117 CRT
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
125 寸法測定回路
126 マップ作成回路
130 オートローダ
170 照明光学系
201 CADデータ
202 設計中間データ
203 フォーマットデータ
204 マスク採取データ
205 マスク検査結果
207 欠陥情報リスト
500 レビュー装置
600 修正装置
Claims (6)
- 試料に形成されたパターンの光学画像を取得する工程と、
前記光学画像に対応する参照画像を生成する工程と、
前記光学画像と前記参照画像とをダイ−トゥ−データベース方式によって比較し、欠陥が検出された光学画像について該欠陥に関する情報を保存する工程と、
前記光学画像のパターンの寸法を測定する工程と、
前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める工程と、
前記参照画像に前記試料の面内における前記パターンの前記寸法分布を反映させて参照画像を再生成する工程と、
前記ダイ−トゥ−データベース方式による比較で欠陥が検出された光学画像と、該光学画像に対応する前記再生成された参照画像とを、ダイ−トゥ−データベース方式によって再比較し、前記欠陥が検出された光学画像から再度欠陥が検出された場合には該欠陥に関する情報を保存し、前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像には欠陥がないとする工程とを有することを特徴とする検査方法。 - 前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める工程は、任意の大きさのブロック単位で前記パターンの寸法の平均値を算出して前記寸法分布を求める工程であることを特徴とする請求項1に記載の検査方法。
- 前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像について保存された前記欠陥に関する情報を、再比較によって欠陥が検出された光学画像の欠陥に関する情報と区別して保存することを特徴とする請求項1または2のいずれか1項に記載の検査方法。
- 前記参照画像を再生成する工程では、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布と併せて、前記光学画像のパターンの寸法を測定するのに使用した装置のオフセット量が反映されることを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1項に記載の検査方法。
- 試料に形成されたパターンの光学画像を取得する光学画像取得部と、
前記光学画像に対応する参照画像を生成する参照画像生成部と、
前記光学画像と前記参照画像とをダイ−トゥ−データベース方式によって比較する比較部と、
前記比較部で欠陥が検出された光学画像について該欠陥に関する情報を保存する保存部と、
前記光学画像のパターンの寸法を測定する寸法取得部と、
前記光学画像のパターンの寸法から、前記試料の面内における前記パターンの寸法分布を求める寸法分布取得部と、
を有し、
前記参照画像生成部は、前記参照画像に前記試料の面内における前記パターンの前記寸法分布を反映させて参照画像を再生成し、
前記比較部は、前記ダイ−トゥ−データベース方式による比較で欠陥が検出された光学画像と、該光学画像に対応する前記再生成された参照画像とを、ダイ−トゥ−データベース方式によって再比較し、
前記欠陥が検出された光学画像から再度欠陥が検出された場合には、該欠陥に関する情報が前記保存部に保存され、前記欠陥が検出された光学画像から欠陥が検出されない場合には、該光学画像について保存された前記欠陥に関する情報が削除されることを特徴とする検査装置。 - 前記試料の面内における前記パターンの寸法分布は外部から入力されることを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013084256A JP6134565B2 (ja) | 2013-04-12 | 2013-04-12 | 検査方法および検査装置 |
US14/245,153 US9230317B2 (en) | 2013-04-12 | 2014-04-04 | Inspection method and inspection apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013084256A JP6134565B2 (ja) | 2013-04-12 | 2013-04-12 | 検査方法および検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014206466A JP2014206466A (ja) | 2014-10-30 |
JP6134565B2 true JP6134565B2 (ja) | 2017-05-24 |
Family
ID=51686846
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013084256A Active JP6134565B2 (ja) | 2013-04-12 | 2013-04-12 | 検査方法および検査装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9230317B2 (ja) |
JP (1) | JP6134565B2 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6368081B2 (ja) | 2013-11-06 | 2018-08-01 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 計測装置 |
JP6259642B2 (ja) | 2013-11-06 | 2018-01-10 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 計測装置 |
JP6513982B2 (ja) * | 2015-03-16 | 2019-05-15 | 株式会社東芝 | 欠陥検査装置並びに欠陥検査装置の管理方法及び管理装置 |
JP6527808B2 (ja) * | 2015-10-27 | 2019-06-05 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 検査方法および検査装置 |
JP6637375B2 (ja) | 2016-04-28 | 2020-01-29 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査方法及びパターン検査装置 |
JP2018060141A (ja) * | 2016-10-07 | 2018-04-12 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 参照画像確認方法、マスク検査方法およびマスク検査装置 |
JP6878247B2 (ja) * | 2017-11-02 | 2021-05-26 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査方法およびパターン検査装置 |
JP7036574B2 (ja) * | 2017-11-10 | 2022-03-15 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | パターン検査装置及びパターン検査方法 |
JP7072844B2 (ja) * | 2018-03-30 | 2022-05-23 | 東レエンジニアリング先端半導体Miテクノロジー株式会社 | ウェハパターンのエッジと基準パターンのエッジとの乖離量と基準パターンのスペース幅との関係を示す補正線を生成する方法および装置、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP2020148615A (ja) | 2019-03-13 | 2020-09-17 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 参照画像生成方法およびパターン検査方法 |
JP7344706B2 (ja) * | 2019-08-06 | 2023-09-14 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 電子ビーム検査装置 |
CN111352750B (zh) * | 2020-03-04 | 2023-08-18 | 云南电网有限责任公司电力科学研究院 | 一种用于输电线路多源影像缺陷隐患识别的方法及*** |
JP7443268B2 (ja) * | 2021-01-05 | 2024-03-05 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 欠陥検査方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3485052B2 (ja) * | 1999-12-16 | 2004-01-13 | 日本電気株式会社 | 参照画像作成方法、パターン検査装置及び参照画像作成プログラムを記録した記録媒体 |
JP4834244B2 (ja) | 2000-06-21 | 2011-12-14 | 株式会社東芝 | 寸法検査方法及びその装置並びにマスクの製造方法 |
JP3824542B2 (ja) | 2002-01-25 | 2006-09-20 | 株式会社東芝 | 線幅検査方法とその装置 |
JP2007192652A (ja) * | 2006-01-19 | 2007-08-02 | Advanced Mask Inspection Technology Kk | パターン検査装置、パターン検査方法、及び検査対象試料 |
JP4448181B2 (ja) * | 2008-03-18 | 2010-04-07 | アドバンスド・マスク・インスペクション・テクノロジー株式会社 | パターン検査方法、パターン検査装置及びプログラム |
WO2009152046A1 (en) * | 2008-06-11 | 2009-12-17 | Kla-Tencor Corporation | Systems and methods for detecting design and process defects on a wafer, reviewing defects on a wafer, selecting one or more features within a design for use as process monitoring features, or some combination thereof |
-
2013
- 2013-04-12 JP JP2013084256A patent/JP6134565B2/ja active Active
-
2014
- 2014-04-04 US US14/245,153 patent/US9230317B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014206466A (ja) | 2014-10-30 |
US20140307945A1 (en) | 2014-10-16 |
US9230317B2 (en) | 2016-01-05 |
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A621 | Written request for application examination |
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RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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