JP6251647B2 - マスク検査装置及びマスク検査方法 - Google Patents
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Description
2 ステージ
3 オートローダ制御回路
3A オートローダ
4 ステージ制御回路
4A,4B,4C モータ
5 レーザ測長装置
5A 位置回路
6 光源
7 ビームスプリッタ
8 光学系
8a ミラー
8b,8c 対物レンズ
9 光学系
9a ミラー
9b ビームスプリッタ
9c 対物レンズ
11,11A TDIセンサ
12 センサアンプ
13 展開回路
14 参照回路
15,15A オフライン比較回路
15a,15b バッファメモリ
15c 参照画像学習・作成推定再設定回路
15d 比較回路
15e CD寸法確認回路
15f 欠陥判定閾値決定回路
15g パイプライン実行回路
16 リアルタイム比較回路
16A 参照画像管理回路
17 光量監視回路
17A 光量センサ
20 制御計算機
21 記憶装置
22 表示装置
100,100A マスク検査装置
101 光学画像取得部
301 CADデータ
302 設計中間データ
303 フォーマットデータ
310 レビュー装置
320 欠陥情報リスト
330 修正装置
Claims (10)
- マスクに光を照射して前記マスクに形成されたパターンの欠陥を検査するマスク検査装置であって、
前記マスクに光を照射して光学画像を取得する光学画像取得部と、
前記マスクの設計データから、検査条件を推定して参照画像を生成する参照画像生成部と、
前記光学画像と前記参照画像を、オフラインで比較するオフライン比較部とを備え、
前記オフライン比較部は、前記参照画像を格納する参照画像領域と、前記光学画像を格納する光学画像領域と、前記格納された参照画像と前記格納された光学画像をオフラインで比較する比較部と、前記オフラインでの比較の前に、前記格納された参照画像と前記格納された光学画像の所定の検索領域での差分を求め、前記差分がある閾値より大きい場合には、前記差分に応じて前記検査条件を再設定する検査条件再設定部を有することを特徴とするマスク検査装置。 - 前記検査条件の推定は、参照画像学習・作成推定であることを特徴とする請求項1に記載のマスク検査装置。
- 前記所定の検索領域は、検査領域がある一定の領域に到達したときの特定領域であり、前記特定領域での前記差分が前記ある閾値より大きい場合は欠陥とし、また、前記欠陥の数がある閾値より大きいときに、前記参照画像学習・作成推定に所定のポイントを加えることを特徴とする請求項2に記載のマスク検査装置。
- 前記特定領域での差分は、前記検索領域の斜めパターン混在、縦横パターン混在、縦又は横パターンのみ、の順番での優先順位で求めたものであることを特徴とする請求項3に記載のマスク検査装置。
- 前記オフライン比較部は、前記格納された参照画像と前記格納された光学画像から、各パターンのCD寸法を確認するCD寸法確認部と、前記確認されたCD寸法に応じて、前記各パターンの前記比較の閾値を決定する欠陥判定閾値決定部を有することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のマスク検査装置。
- 前記オフライン比較部は、前記格納された参照画像と前記格納された光学画像が、ある一定領域に達したときに、前記比較部での比較を実行させるパイプライン実行部を有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のマスク検査装置。
- 前記参照画像生成部では、前記光学画像の取得時に、前記参照画像を離散的に生成し、前記離散的に生成された参照画像と前記光学画像をリアルタイムで比較するリアルタイム比較部を有することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のマスク検査装置。
- 前記離散的に生成された参照画像の作成状況を、一定間隔で確認し、前記作成状況に応じて、前記参照画像の作成領域を管理する参照画像管理部を有することを特徴とする請求項7に記載のマスク検査装置。
- 前記照射された光の光量を測定する光量センサと、前記測定された光量の低下量が、ある閾値より大きい場合に、前記検査を中止する光量監視部を有することを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載のマスク検査装置。
- マスクに光を照射して前記マスクに形成されたパターンの欠陥を検査するマスク検査方法であって、
前記マスクに光を照射して取得した光学画像を格納し、前記マスクの設計データから、検査条件を推定して生成した参照画像を格納するステップと、
前記格納された参照画像と前記格納された光学画像から、所定の検索領域での差分を求め、前記差分がある閾値より大きい場合には、前記差分に応じて前記検査条件を再設定するステップと、
前記格納された参照画像と前記格納された光学画像をオフラインで比較し、欠陥を判定するステップとを含むことを特徴とするマスク検査方法。
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