JP6122311B2 - 粘着テープ切断方法および粘着テープ片切断装置 - Google Patents
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Description
すなわち、ワーク全面に貼り付けられた粘着テープを切断する粘着テープ切断方法であって、
前記ワークに形成されたノッチを覆って貼り付けられた粘着テープの当該ノッチ部分を残しつつ、第1切断機構に備わった第1切断刃をワーク外径に沿わせて当該粘着テープを切断する第1切断過程と、
前記ノッチと同形状の第2切断刃を備えた第2切断機構によって、前記ワーク全面に貼り付けられた粘着テープのうち、前記ノッチ部分の粘着テープを切り抜く第2切断過程と、
前記ワーク形状に切り抜かれた粘着テープを回収するテープ回収過程と、
を備えたことを特徴とする。
前記ワークに形成されたノッチを覆って貼り付けられた粘着テープの当該ノッチ部分を残しつつ、ワーク外径に第1切断刃を沿わせて当該粘着テープを切断する第1切断機構と、
前記ノッチと同形状の第2切断刃によって、前記ワーク全面に貼り付けられた粘着テープのうち、ノッチ部分を覆う粘着テープを切り抜く第2切断機構と、
前記ワーク形状に切り抜かれた粘着テープを回収するテープ回収機構と、
を備えたことを特徴とする。
当該検出器からの検出信号に基づいて、ノッチ部分の切断不良を判別する判別部を備えていてもよい。
5 … テープ供給部
7 … 貼付けユニット
8 … 第1切断機構
9 … 剥離ユニット
10 … テープ回収部
11 … 第2切断機構
41 … カッタ(第1切断刃)
50 … 保持テーブル
64 … カッタ(第2切断刃)
65 … 吸引ノズル
T … 粘着テープ
V … ノッチ部分
W … 半導体ウエハ
Claims (10)
- ワーク全面に貼り付けられた粘着テープを切断する粘着テープ切断方法であって、
前記ワークに形成されたノッチを覆って貼り付けられた粘着テープの当該ノッチ部分を残しつつ、第1切断機構に備わった第1切断刃をワーク外径に沿わせて当該粘着テープを切断する第1切断過程と、
前記ノッチと同形状の第2切断刃を備えた第2切断機構によって、前記ワーク全面に貼り付けられた粘着テープのうち、前記ノッチ部分の粘着テープを切り抜く第2切断過程と、
前記ワーク形状に切り抜かれた粘着テープを回収するテープ回収過程と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ切断方法。 - 請求項1に記載の粘着テープ切断方法において、
前記第2切断過程は、ノッチ部分を吸引しながら粘着テープを切り抜く
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。 - 請求項1または請求項2に記載の粘着テープ切断方法において、
前記第2切断過程の後、ノッチ部分の粘着テープの切断不良を検査する検査過程を備えた
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。 - 請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の粘着テープ切断方法において、
前記第2切断過程は、少なくともノッチ部分の粘着テープの基材側を保持しつつ、粘着層側から基材側に向けて第2切断刃を突き刺して粘着テープを切断する
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。 - 請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の粘着テープ切断方法において、
前記第2切断過程は、第1切断刃および第2切断刃のうち少なくとも第2切断刃を加熱器で加熱しながら粘着テープを切り抜く
ことを特徴とする粘着テープ切断方法。 - ワーク全面に貼り付けられた粘着テープを切断する粘着テープ切断装置であって、
前記ワークに形成されたノッチを覆って貼り付けられた粘着テープの当該ノッチ部分を残しつつ、ワーク外径に第1切断刃を沿わせて当該粘着テープを切断する第1切断機構と、
前記ノッチと同形状の第2切断刃によって、前記ワーク全面に貼り付けられた粘着テープのうち、ノッチ部分を覆う粘着テープを切り抜く第2切断機構と、
前記ワーク形状に切り抜かれた粘着テープを回収するテープ回収機構と、
を備えたことを特徴とする粘着テープ切断装置。 - 請求項6に記載の粘着テープ切断装置において、
前記ノッチ部分を吸引する吸引機構を備えた
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。 - 請求項7に記載の粘着テープ切断装置において、
前記吸引機構は、第2切断刃のノッチ形状に凹入する凹部内に収納されるとともに、当該第2切断刃の先端に向けて吸引口が向けられたノズルを有する
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。 - 請求項6ないし請求項8のいずれかに記載の粘着テープ切断装置において、
前記第2切断刃を加熱する加熱器を備えた
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。 - 請求項6ないし請求項9のいずれかに記載の粘着テープ切断装置において、
前記ノッチ部分の粘着テープの切断の有無を検出する検出器と、
当該検出器からの検出信号に基づいて、ノッチ部分の切断不良を判別する判別部を備えた
ことを特徴とする粘着テープ切断装置。
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