JP6104720B2 - プローブユニットおよび基板検査装置 - Google Patents
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Description
2 プローブユニット
6 検査部
11 プローブ
21 先端部
31 先端部側支持部
32 基端部側支持部
34 プランジャ
35 挿通ピン
43,44支持板
53,54支持孔
53a,54a中心軸
63a 支持孔
63b,64b挿通孔
64a 凹部
71 本体部
71a 基端部
71b 先端部
72 コイルスプリング
73 ボール
100 基板
S 内面
Claims (3)
- 接触対象に先端部を接触させて電気信号の入出力を行うためのプローブと、当該プローブを支持する支持部とを備えたプローブユニットであって、
前記支持部は、前記プローブの前記先端部を支持する先端側支持体と、前記プローブの基端部側を支持する基端部側支持体とを備え、
前記基端部側支持体は、支持孔を有して当該支持孔に挿通させた前記プローブの前記基端部を支持する複数の支持板を備えて当該支持孔の中心軸同士が予め決められた第1の位置ずれ量だけ位置ずれした第1姿勢を維持可能に構成されると共に、前記第1姿勢が解除されたときに前記中心軸同士の位置ずれ量が前記第1の位置ずれ量よりも小さい第2姿勢に前記各支持板を変更させる姿勢変更機構を備えて構成され、
前記各支持板は、前記第1姿勢の状態において互いに連通する挿通孔がそれぞれ形成されて当該各挿通孔に挿通ピンが挿通されている状態において前記第1姿勢を維持可能に構成され、
前記姿勢変更機構は、隣接する2つの前記支持板のうちの一方の支持板に形成されて底部に向かうに従って直径が小さくなる円錐状の内面を有する凹部と、当該各支持板のうちの他方の支持板に支持されると共に前記凹部の前記内面を当該凹部の深さ方向に沿って押圧して前記中心軸同士の位置ずれ量が小さくなる向きに前記一方の支持板を移動させて当該各支持板を前記第1姿勢から前記第2姿勢に変更させる押圧部とを備えて構成されているプローブユニット。 - 前記押圧部は、略円筒状の本体部と、当該本体部内の基端部側に収容された付勢部材と、前記本体部内に収容されて前記付勢部材によって当該本体部の先端部に向けて付勢されている球状体とを備えて構成され、
前記本体部は、前記他方の支持板に形成された支持孔に挿通させられた状態で当該他方の支持板によって支持されている請求項1記載のプローブユニット。 - 請求項1または2記載のプローブユニットと、前記接触対象としての基板の導体部に接触させた前記プローブユニットの前記プローブを介して入力した電気信号に基づいて当該基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
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