JP6104668B2 - 情報記録媒体用ガラス基板の製造方法、及びキャリア - Google Patents
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Description
式(I)中、Fはフラッタリング特性(単位:nm)であり、aはガラス基板の外半径を示し、νはガラス基板のポアソン比を示し、Eはガラス基板のヤング率を示し、ξはガラス基板の減衰係数を示し、hはガラス基板の厚みを示し、λ4はモデル関数パラメータである。この場合、ガラス基板の外半径および厚みを一定にすれば、ポアソン比は化学組成による差があまりなく、フラッタリング特性Fは、最右辺により関係付けられる。
まず、原料ガラスとして、SiO2、Al2O3、R2O(R=K、Na、Li)を主成分としたアルミノシリケートガラスを用いて、円盤加工工程を行った。具体的には、原料ガラスを、公知の方法により、溶融し、得られた溶融ガラスをプレス成形して、外径が67mmの円盤状のガラス素板を得た。また、このガラス素板の厚みが、1.0mmとなるように成形した。
実施例2及び実施例3は、研磨工程におけるキャリアとして、表1に示す熱伝導率のキャリアを用いること以外、実施例1と同様である。
比較例1は、研磨工程におけるキャリアとして、従来から用いられているキャリアを用いること以外、実施例1と同様である。具体的には、キャリアとしては、エポキシ樹脂とガラス繊維とを配合することに得られたキャリア、すなわち、ガラスエポキシからなるキャリアを用いた。
比較例2は、定盤の温度調整をしたこと以外、比較例1と同様である。なお、実施例1〜3及び比較例1は、このような定盤の温度調整をしていなかった。
上記実施例及び比較例を、以下の方法により評価した。
各実施例及び比較例において、得られたガラス基板の複数個所の厚みを、株式会社ミツトヨ製のマイクロメータを用いて、測定した。具体的には、ガラス基板の内周側端部付近、中央部付近、外周端部付近等、様々な箇所を10箇所程度の厚みを測定した。その最大値と最小値との差を算出した。その差を、板厚差として評価した。
フラッタリング特性は、図5に示すような方法で測定した。具体的には以下のような測定方法である。
表1から、熱伝導率が2W/m・K以上のキャリアを用いた場合(実施例1〜3)は、熱伝導率が2W/m・K未満のキャリアを用いた場合と比較して、板厚差が小さく、フラッタリング特性に優れたガラス基板が得られることがわかった。
10 ガラス素板
10a 貫通孔
11 装置本体部
12 上定盤
13 下定盤
14 キャリア
14a 素板保持用孔
15 研磨パッド
16 研磨液供給部
17 研磨液
40 測定対象物
41 エアスピンドルモータ
42 レーザ振動計
101 情報記録媒体用ガラス基板
102 磁性膜
110 液貯留部
110a 液貯留部本体
110b 液供給管
110e 吐出口
120 液回収部
120a 液回収部本体
120b 液回収管
120c 液戻し管
Claims (4)
- キャリアで保持されたガラス素板を、2枚の研磨パッドで狭持し、前記ガラス素板上に研磨液を供給した状態で、前記ガラス素板と前記研磨パッドとを相対的に移動させて、前記ガラス素板の両主表面を同時に研磨する研磨工程を備え、
前記キャリアの熱伝導率が、2W/m・K以上であり、
前記キャリアが、樹脂と炭素繊維とを含有し、前記炭素繊維の含有量によって、前記熱伝導率が調整されたキャリアであることを特徴とする情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。 - 前記キャリアの熱伝導率が、5W/m・K以上である請求項1に記載の情報記録媒体用ガラス基板の製造方法。
- 基板保持用孔を有し、前記基板保持用孔にはめ込んで配置された素板を、2枚の研磨パッドで挟持し、前記素板上に研磨液を供給した状態で、前記素板と前記研磨パッドとを相対的に移動させて、前記素板の両主表面を同時に研磨する際に用いられるキャリアであって、
前記キャリアは、樹脂と炭素繊維とを含有し、
前記キャリアの熱伝導率が、2W/m・K以上であることを特徴とするキャリア。 - 前記キャリアの熱伝導率が、5W/m・K以上である請求項3に記載のキャリア。
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