JP6101557B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
3 保持テーブル
4 移動部
5 切削手段
6 吸引回収手段
51 切削ブレード
61 可撓性管状部材
611 開口部
62 エジェクタ
621 真空吸引口
622 エア排出口
623 エア供給口
63 収容ボックス
71 保持テーブル
72 保持面
73 逃げ溝
74 吸引孔
81 分割予定ライン
84 裏面
85 保持テープ
86 環状フレーム
Claims (3)
- 表面に分割予定ラインによって複数のデバイスが区画された被加工物の裏面側を保持する保持テーブルと、該保持テーブルに保持された被加工物を該分割予定ラインに沿って分割する切削手段とを備える切削装置であって、
該切削手段で切削されて個片化された複数のデバイスを該保持テーブル上から吸引する吸引回収手段を備え、
該吸引回収手段は、エア供給口及びエア排出口及び真空吸引口を有し且つ該エア排出口と該真空吸引口が直線上に配設されたエジェクタと、可撓性を有する材質で管状に形成され一端が該エジェクタの該真空吸引口に接続され他端が下方に開口した開口部を有する可撓性管状部材と、該エジェクタの該エア排出口から排出された該複数のデバイスを収容するための収容ボックスと、該可撓性管状部材の該開口部を該保持テーブルの上面に吸引保持された被加工物の上方に近接させ且つ被加工物全面に渡って移動させる移動部と、を備える切削装置。 - 該保持テーブルは、表面に分割予定ラインによって複数のデバイスが区画された被加工物の裏面に環状フレームに装着された保持テープが貼着された状態で被加工物の裏面側を吸引保持し、
該切削加工後において、該可撓性管状部材の該開口部を、該保持テープ上の切削後の複数のデバイスの上方に近接させるとともに該保持テープが該デバイスを粘着する力に打ち勝つ吸引力により該デバイスを吸引することにより、該保持テープから該デバイスを剥離し該収容ボックスに該デバイスを収容すること、を特徴とする請求項1記載の切削装置。 - 該保持テーブルは、表面に分割予定ラインによって複数のデバイスが区画された被加工物の該複数のデバイスの裏面をそれぞれ吸引保持する複数の吸引孔と、該複数の分割予定ラインに沿って形成された複数の逃げ溝と、該吸引孔に電磁弁を介して連通した吸引源とを備え、
該切削加工後において、該開口部を該保持テーブルに吸引保持された複数のデバイスの上方に近接させると共に該デバイス裏面の吸引を解除し、該開口部に該デバイスが吸引され該収容ボックスに該デバイスを収容すること、を特徴とする請求項1記載の切削装置。
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