JP6092713B2 - 光偏向器 - Google Patents
光偏向器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6092713B2 JP6092713B2 JP2013112342A JP2013112342A JP6092713B2 JP 6092713 B2 JP6092713 B2 JP 6092713B2 JP 2013112342 A JP2013112342 A JP 2013112342A JP 2013112342 A JP2013112342 A JP 2013112342A JP 6092713 B2 JP6092713 B2 JP 6092713B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semi
- optical deflector
- piezoelectric
- piezoelectric actuator
- annular
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 113
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 16
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 6
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 6
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 4
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009471 action Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
- G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
- G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/42—Piezoelectric device making
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
- Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
- Micromachines (AREA)
Description
Claims (4)
- 表側において光を反射するミラー部と、
軸線を揃えて前記ミラー部の両側から延び出る1対のトーションバーと、
前記ミラー部の各半部の外側にそれぞれ配設され、両トーションバーに結合して、前記トーションバーを軸線の回りに往復回転させる1対の半環状圧電アクチュエータと、
静止時の前記ミラー部の表側と対峙する方向視において前記1対のトーションバーの軸線に対して直交する直線上の位置で各半環状圧電アクチュエータを支持する支持体とを備え、
前記半環状圧電アクチュエータは、
前記方向視でミラー部の中心の回りの角度であって、前記半環状圧電アクチュエータが前記ミラー部を往復回転させている状態にある時に前記半環状圧電アクチュエータに生じる振動定在波の節が生じる角度位置、又は前記1対の半環状圧電アクチュエータが共通で全周一体の仮想圧電膜を有すると仮定して前記ミラー部に前記トーションバーの軸線周りに所定の回転力を付与したときに前記仮想圧電膜に生じる分極分布において分極の極性が周方向両側で逆となっている角度位置で周方向に区分され、各周方向区分に個別の圧電膜を有し、
前記1対の半環状圧電アクチュエータの周方向区分に対し、前記方向視で所定の周方向区分から時計方向に順番に1番から番号付けしたときの奇数番の周方向区分の圧電膜と偶数番の周方向区分の圧電膜とは、相互に逆位相の駆動電圧を供給されるようになっている
ことを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
各半環状圧電アクチュエータは、全部の周方向区分に圧電膜を有し、前記ミラー部の往復回転時に、全部の周方向区分の圧電膜に駆動電圧を供給されるようになっていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1記載の光偏向器において、
前記半環状圧電アクチュエータは、前記ミラー部の往復回転時に、前記トーションバー側の端の周方向区分のみに駆動電圧を供給されるようになっていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の光偏向器において、
前記方向視で、前記半環状圧電アクチュエータの幅は、前記支持体との結合部位における幅よりも前記トーションバーとの結合部位における幅の方が増大されていることを特徴とする光偏向器。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013112342A JP6092713B2 (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 光偏向器 |
US14/282,906 US9395536B2 (en) | 2013-05-28 | 2014-05-20 | Optical deflector including separated piezoelectric portions on piezoelectric actuators and its designing method |
EP14170118.5A EP2808719B1 (en) | 2013-05-28 | 2014-05-27 | Optical deflector including separated piezoelectric portions on piezoelectric actuators |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013112342A JP6092713B2 (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 光偏向器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014232180A JP2014232180A (ja) | 2014-12-11 |
JP6092713B2 true JP6092713B2 (ja) | 2017-03-08 |
Family
ID=50972441
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013112342A Active JP6092713B2 (ja) | 2013-05-28 | 2013-05-28 | 光偏向器 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9395536B2 (ja) |
EP (1) | EP2808719B1 (ja) |
JP (1) | JP6092713B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020195385A1 (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイスおよびマイクロミラーデバイスの駆動方法 |
WO2020218586A1 (ja) | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイス |
WO2021240965A1 (ja) | 2020-05-25 | 2021-12-02 | スタンレー電気株式会社 | 光走査装置 |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5916667B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2016-05-11 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
JP5916668B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2016-05-11 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
WO2016052547A1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
WO2016052548A1 (ja) * | 2014-09-30 | 2016-04-07 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
JP6560897B2 (ja) | 2015-05-20 | 2019-08-14 | スタンレー電気株式会社 | 圧電膜の積層体とその製造方法及び光スキャナ |
JP6741933B2 (ja) * | 2015-10-02 | 2020-08-19 | ミツミ電機株式会社 | 光走査モジュール、光走査制御装置 |
JP6023379B2 (ja) * | 2016-04-26 | 2016-11-09 | ヤフー株式会社 | 評価装置、評価方法及び評価プログラム |
IT201600079604A1 (it) * | 2016-07-28 | 2018-01-28 | St Microelectronics Srl | Struttura oscillante con attuazione piezoelettrica, sistema e metodo di fabbricazione |
IT201600131849A1 (it) * | 2016-12-28 | 2018-06-28 | St Microelectronics Srl | Dispositivo mems con azionamento piezoelettrico, sistema mems proiettivo includente il dispositivo mems e relativo metodo di comando |
EP3761100A4 (en) * | 2018-02-27 | 2021-11-03 | Pioneer Corporation | OPTICAL DEFLECTOR |
DE102018215528A1 (de) | 2018-09-12 | 2020-03-12 | Robert Bosch Gmbh | Mikromechanisches Bauteil und Herstellungsverfahren für ein mikromechanisches Bauteil |
DE102018220422A1 (de) * | 2018-11-28 | 2020-05-28 | Robert Bosch Gmbh | Aktuationseinrichtung für ein mikromechanisches Bauelement, mikromechanisches Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines mikromechanisches Bauelements |
CN116547229A (zh) * | 2020-11-12 | 2023-08-04 | 华为技术有限公司 | 用于扫描仪技术领域的带振镜的偏转设备 |
JP2022081999A (ja) * | 2020-11-20 | 2022-06-01 | セイコーエプソン株式会社 | 光学デバイスの駆動方法、光学システム、及び、表示装置 |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4146127B2 (ja) * | 2002-01-16 | 2008-09-03 | セイコーインスツル株式会社 | 圧電アクチュエータ及びそれを備えた電子機器 |
US8780053B2 (en) * | 2007-03-21 | 2014-07-15 | Northwestern University | Vibrating substrate for haptic interface |
JP4984117B2 (ja) | 2006-07-13 | 2012-07-25 | スタンレー電気株式会社 | 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 |
US8553306B2 (en) | 2007-03-15 | 2013-10-08 | Ricoh Company, Ltd. | Optical deflector and optical device |
JP5310566B2 (ja) | 2008-01-10 | 2013-10-09 | コニカミノルタ株式会社 | マイクロスキャナ装置およびマイクロスキャナ装置の制御方法 |
JP5172364B2 (ja) | 2008-01-16 | 2013-03-27 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
JP5105527B2 (ja) | 2008-01-21 | 2012-12-26 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
JP5414187B2 (ja) | 2008-03-18 | 2014-02-12 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器 |
US20110141538A1 (en) * | 2008-08-22 | 2011-06-16 | Konica Minolta Opto, Inc. | Drive device |
JP5493735B2 (ja) * | 2009-01-30 | 2014-05-14 | 株式会社リコー | 偏向ミラー、光走査装置、画像形成装置、および画像投影装置 |
US9771042B2 (en) * | 2009-06-19 | 2017-09-26 | Tk Holdings Inc. | Occupant classification system |
JP2011013621A (ja) * | 2009-07-06 | 2011-01-20 | Ricoh Co Ltd | 光偏向器、画像形成装置及び画像投影装置 |
WO2012176492A1 (ja) | 2011-06-21 | 2012-12-27 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 共振駆動アクチュエーター、マイクロスキャナおよび光学機器 |
JP5857602B2 (ja) | 2011-10-03 | 2016-02-10 | ミツミ電機株式会社 | 光走査装置 |
JP5916668B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2016-05-11 | 富士フイルム株式会社 | ミラー駆動装置及びその駆動方法 |
-
2013
- 2013-05-28 JP JP2013112342A patent/JP6092713B2/ja active Active
-
2014
- 2014-05-20 US US14/282,906 patent/US9395536B2/en active Active
- 2014-05-27 EP EP14170118.5A patent/EP2808719B1/en active Active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2020195385A1 (ja) | 2019-03-28 | 2020-10-01 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイスおよびマイクロミラーデバイスの駆動方法 |
WO2020218586A1 (ja) | 2019-04-26 | 2020-10-29 | 富士フイルム株式会社 | マイクロミラーデバイス |
WO2021240965A1 (ja) | 2020-05-25 | 2021-12-02 | スタンレー電気株式会社 | 光走査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9395536B2 (en) | 2016-07-19 |
EP2808719B1 (en) | 2021-08-25 |
US20140355088A1 (en) | 2014-12-04 |
JP2014232180A (ja) | 2014-12-11 |
EP2808719A1 (en) | 2014-12-03 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6092713B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP6903875B2 (ja) | 光走査装置、プロジェクタ装置およびヘッドアップディスプレイ装置 | |
US9519137B2 (en) | Optical deflector including inner frame with circumferential rib and branch ribs | |
JP6333079B2 (ja) | 光スキャナ | |
JP6055701B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP6901027B2 (ja) | 分離された駆動部を備えた2軸memsミラー | |
US20180039074A1 (en) | Optical scanning apparatus | |
JP2016197265A (ja) | 光学反射素子 | |
KR100813257B1 (ko) | 스캔 장치 및 그 방법 | |
US20230194855A1 (en) | Micromirror device and optical scanning device | |
JP6966954B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP6686480B2 (ja) | 光偏向器及び画像投影装置 | |
JP7395001B2 (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
JP5554895B2 (ja) | 揺動構造体、及び揺動構造体を用いた揺動体装置 | |
JP6808506B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2005250078A (ja) | 光偏向器 | |
JP6880385B2 (ja) | 光走査装置 | |
JP2011175177A (ja) | 光走査装置 | |
JP6648443B2 (ja) | 光偏向器、2次元画像表示装置、光走査装置及び画像形成装置 | |
JP6130734B2 (ja) | 光偏向器 | |
JP2023039222A (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
JP2023039221A (ja) | マイクロミラーデバイス及び光走査装置 | |
KR101733872B1 (ko) | 성능이 개선된 멤스 자이로스코프 | |
JP7027689B2 (ja) | 光偏向装置および画像投影装置 | |
US20240027746A1 (en) | Movable device, projection apparatus, head-up display, laser headlamp, head-mounted display, and object recognition apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160322 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161214 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170124 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170209 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6092713 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |