JP4984117B2 - 2次元光スキャナ、それを用いた光学装置および2次元光スキャナの製造方法 - Google Patents
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Description
1a、1e 熱酸化膜
1b、1d 単結晶シリコン層
1c 酸化シリコン層
1f ハードマスク
1g 溝
1com 共通基板
1L 辺
2、12 内部可動枠
2M、2m1、2m2 構造体
3 可動基板
3m 反射膜
4a、4b、14a、14b 第1のトーションバー
6a、6b、16a、16b 第2のトーションバー
5a、5b、5c、5d、15a、15b 第1の圧電振動板
7a、7b、7c、7d、17a、17b 第2の圧電振動板
8a、8b、8c、8d、9a、9b、9c、9d 圧電素子
10m1 下部電極
10m2 上部電極
10p 圧電膜
13 ミラー部
15ap、15bp、17ap、17bp 引き出し電極
101、201、301 2次元光スキャナ
302 レーザ光源
303、304 レンズ群
305 投影面
Claims (13)
- 共通基板と該共通基板上に形成された反射膜とを有するミラー部と、
前記共通基板とその下に接続された構造体とを含んで形成され、前記ミラー部を内包する開口を有する内部可動枠と、
前記共通基板とその下に接続されたベース層とを含んで形成され、前記内部可動枠を内包する開口を有する支持体と、
前記共通基板を含んで形成され、第1の軸上で前記ミラー部を回動可能に支持する一対の第1のトーションバーと、前記第1のトーションバー両側に接続され、その表面上に圧電素子を有し、前記第1のトーションバーに回動トルクを印加する第1の圧電振動板とを含み、前記ミラー部と前記内部可動枠とを連結する第1の連結部と、
前記共通基板を含んで形成され、前記第1の軸と交差する第2の軸上で前記内部可動枠を回動可能に支持する一対の第2のトーションバーと、前記第2のトーションバー両側に接続され、その表面上に圧電素子を有し、前記第2のトーションバーに回動トルクを印加する第2の圧電振動板とを含み、前記内部可動枠と前記支持体とを連結する第2の連結部と
を有する2次元光スキャナ。 - 前記第1の圧電振動板が、前記第1のトーションバーと前記内部可動枠とを接続し、
前記第2の圧電振動板が、前記第2のトーションバーと前記支持体とを接続する請求項1に記載の2次元光スキャナ。 - 前記ミラー部が、第1の対向辺と第2の対向辺とを有する形状を有し、
前記内部可動枠が、前記第1の対向辺と略平行な第1の対向枠部と前記第2の対向辺と略平行な第2の対向枠部とを有する形状を有し、
前記支持体が、前記第1の対向枠部と略平行な第1の対向開口辺と前記第2の対向枠部と略平行な第2の対向開口辺とを有する開口を有し、
前記第1のトーションバーが、前記第1の対向辺と前記第1の対向枠部とを接続し、
前記第2のトーションバーが、前記第2の対向枠部と前記第2の対向開口辺とを接続し、
前記第1の圧電振動板が、前記第1のトーションバーと前記第2の対向枠部とを接続し、
前記第2の圧電振動板が、前記第2のトーションバーと前記第1の対向開口辺とを接続する請求項2に記載の2次元光スキャナ。 - 前記第1の圧電振動板が、前記一対の第1のトーションバー同士を接続し、
前記第2の圧電振動板が、前記第2のトーションバー同士を接続する請求項1に記載の2次元光スキャナ。 - 前記ミラー部が、略円形の形状を有し、
前記内部可動枠が、略円環の形状を有し、
前記支持体が、前記内部可動枠を内包する略円形の開口を有し、
前記第1の圧電振動板が、前記ミラー部を囲む一対の略半円環状の形状を有し、
前記第2の圧電振動板が、前記内部可動枠を囲む一対の略半円環状の形状を有する請求項4に記載の2次元光スキャナ。 - 前記第1の圧電振動板が、その中間点で前記内部可動枠に接続され、
前記第2の圧電振動板が、その中間点で前記支持体に接続される請求項5に記載の2次元光スキャナ。 - 前記第1の圧電振動板の表面上に形成された圧電素子に対し、前記第1のトーションバーの内側に軸支された構成物体の機械的共振周波数もしくはそれに近い周波数の電圧であって、該第1のトーションバーを挟む圧電素子間で互いに位相が異なる電圧を印加するとともに、
前記第2の圧電振動板の表面上に形成された圧電素子に対し、前記第2のトーションバーの内側に軸支された構成物体の機械的共振周波数もしくはそれに近い周波数の電圧であって、該第2のトーションバーを挟む圧電素子間で互いに位相が異なる電圧を印加する
ことによって、前記内部可動枠及びミラー部に回転トルクを与え、前記第1および第2のトーションバーをそれぞれ通る軸の回りを所定角度で揺動させる請求項1〜6のいずれか1項に記載の2次元光スキャナ。 - 前記互いに位相が異なる電圧の位相差が180°である請求項7に記載の2次元光スキャナ。
- 前記第1の圧電振動板の表面上に形成された圧電素子に印加する交流電圧の周波数が5kHz〜30kHz、前記第2の圧電振動板の表面上に形成された圧電素子に印加する交流電圧の周波数が50Hz〜500Hzである請求項7または8に記載の2次元光スキャナ。
- 前記第1および第2の圧電振動板の表面上に形成された圧電素子が、SOI基板上に直接積層された下部電極/圧電膜/上部電極を含む請求項1〜9のいずれか1項に記載の2次元光スキャナ。
- 前記圧電膜が、アーク放電プラズマを利用した反応性イオンプレーティング法によって成膜された膜である請求項10に記載の2次元光スキャナ。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の2次元光スキャナを用いた光学装置。
- 共通基板と該共通基板上に形成された反射膜とを有するミラー部と、
前記共通基板とその下に接続された構造体とを含んで形成され、前記ミラー部を内包する開口を有する内部可動枠と、
前記共通基板とその下に接続されたベース層とを含んで形成され、前記内部可動枠を内包する開口を有する支持体と、
前記共通基板を含んで形成され、第1の軸上で前記ミラー部を回動可能に支持する一対の第1のトーションバーと、前記第1のトーションバー両側に接続され、その表面上に圧電素子を有し、前記第1のトーションバーに回動トルクを印加する第1の圧電振動板とを含み、前記ミラー部と前記内部可動枠とを連結する第1の連結部と、
前記共通基板を含んで形成され、前記第1の軸と交差する第2の軸上で前記内部可動枠を回動可能に支持する一対の第2のトーションバーと、前記第2のトーションバー両側に接続され、その表面上に圧電素子を有し、前記第2のトーションバーに回動トルクを印加する第2の圧電振動板とを含み、前記内部可動枠と前記支持体とを連結する第2の連結部と
を有する2次元光スキャナの製造方法であって、
前記構造体および前記支持体を形成するために、
支持体作製用マスクおよび構造体作製用マスクをエッチングマスクとして、前記共通基板の下に接続されたベース層をエッチングする工程と、
前記支持体作製用マスクをエッチングマスクとして前記ベース層をエッチングする工程と
を含む2次元光スキャナの製造方法。
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