JP6901027B2 - 分離された駆動部を備えた2軸memsミラー - Google Patents
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Description
・外部セクションは、第1端部で1以上の支持部のうちの1つに固定され、第2端部で中間セクションに連結され、
・外部セクションは、支持部から中間セクションまで反射器本体の外周の一部分を周る第1方向に延びており、
・内部セクションは、外部セクションと反射器との間に配置され、第1端部で中間セクションに連結され、
・内部セクションは、前記中間セクションから、前記反射機本体の外周の前記一部分の少なくとも一部を周る第2方向であって前記第1方向と反対の第2方向に延びており、
・反射器本体は、中間セクションと、中間セクションに対して遠位側にある内部セクションの第2端部とにおいて、懸架部に連結されており、
・外部セクション上に第1圧電アクチュエータが配置され、内部セクション上に第2圧電アクチュエータが配置されていることを特徴とする。
・第1懸架部の中間セクションおよび第2懸架部の中間セクションは隣接しており、反射器本体の第1側が反射器本体の平面に対して上方に変位するように、第1懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータおよび第2懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータを作動させ、
・第3懸架部の中間セクションおよび第4懸架部の中間セクションは隣接しており、反射器本体の第1側と反対の第2側が反射器本体の平面に対して下方に変位するように、第3懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータおよび第4懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、2つの回転軸のうちの第1回転軸を中心とする反射器本体の振動を引き起こしてもよい。
・反射器本体の第3側が反射器本体の平面に対して上方に変位するように、第1懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータおよび第4懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータを作動させ、
・反射器本体の第3側と反対の第4側が反射器本体の平面に対して下方に変位するように、第2懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータおよび第3懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、2つの回転軸のうちの第2回転軸を中心とする反射器本体の振動を引き起こしてもよい。
・第1懸架部の中間セクションおよび第2懸架部の中間セクションは隣接しており、反射器本体の第1側が反射器本体の平面に対して上方に変位するように、第1懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータおよび第2懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータを作動させ、
・第3懸架部の中間セクションおよび第4懸架部の中間セクションは隣接しており、反射器本体の第1側と反対の第2側が反射器本体の平面に対して下方に変位するように、第3懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータおよび第4懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、2つの回転軸のうちの第1回転軸を中心とする反射器本体の振動を引き起こしてもよい。
・反射器本体の第3側が反射器本体の平面に対して上方に変位するように、第4懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータおよび第1懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータを作動させ、
・反射器本体の第3側と反対の第4側が反射器本体の平面に対して下方に変位するように、第2懸架部の外部セクションの圧電アクチュエータおよび第3懸架部の内部セクションの圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、2つの回転軸のうちの第2回転軸を中心とする反射器本体の振動を引き起こしてもよい。
Claims (17)
- 1以上の支持部と、反射器本体とを備える微小機械反射器システムであって、前記反射器本体は、4つの懸架部によって前記1以上の支持部から懸架され、各懸架部は、外部セクションと、中間セクションと、内部セクションとを有し、
前記外部セクションは、第1端部で前記1以上の支持部のうちの1つに固定され、第2端部で前記中間セクションに連結され、前記支持部から前記中間セクションまで前記反射器本体の外周の一部分を周る第1方向に延びており、
前記内部セクションは、前記外部セクションと前記反射器との間に配置され、第1端部で前記中間セクションに連結され、前記中間セクションから、前記反射機本体の外周の前記一部分の少なくとも一部を周る第2方向であって前記第1方向と反対の第2方向に延びており、
前記反射器本体は、前記中間セクションと、前記中間セクションに対して遠位側にある前記内部セクションの第2端部とにおいて、前記懸架部に連結されており、
前記外部セクション上に第1圧電アクチュエータが配置され、前記内部セクション上に第2圧電アクチュエータが配置されている
微小機械反射器システム。 - 前記反射器本体は、直交する2つの回転軸を中心に部分的に回転し、前記2つの回転軸は、前記反射器本体の平面内に位置し、前記反射器本体の中心で交差している
請求項1に記載の微小機械反射器システム。 - 前記2つの回転軸は、前記懸架部間に位置する
請求項2に記載の微小機械反射器システム。 - 前記懸架部は、前記反射器本体の外周に等間隔に配置され、隣接する懸架部の各対において、前記懸架部は、前記懸架部間に位置する前記回転軸に対して鏡像になるように配置されている
請求項1〜3のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 前記反射器システムは、
第1懸架部の前記中間セクションおよび第2懸架部の前記中間セクションは隣接しており、前記反射器本体の第1側が前記反射器本体の平面に対して上方に変位するように、前記第1懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第2懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させ、
第3懸架部の前記中間セクションおよび第4懸架部の前記中間セクションは隣接しており、前記反射器本体の第1側と反対の第2側が前記反射器本体の平面に対して下方に変位するように、前記第3懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第4懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、前記2つの回転軸のうちの第1回転軸を中心とする前記反射器本体の振動を引き起こす
請求項4に記載の微小機械反射器システム。 - 前記反射器システムは、
前記反射器本体の第3側が前記反射器本体の平面に対して上方に変位するように、前記第1懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第4懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させ、
前記反射器本体の第3側と反対の第4側が前記反射器本体の平面に対して下方に変位するように、前記第2懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第3懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、前記2つの回転軸のうちの第2回転軸を中心とする前記反射器本体の振動を引き起こす
請求項5に記載の微小機械反射器システム。 - 前記懸架部は、前記反射器本体の外周に等間隔に配置され、各懸架部は、隣接する懸架部を90度回転したものである
請求項1〜3のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 前記反射器システムは、
第1懸架部の前記中間セクションおよび第2懸架部の前記中間セクションは隣接しており、前記反射器本体の第1側が前記反射器本体の平面に対して上方に変位するように、前記第1懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第2懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させ、
第3懸架部の前記中間セクションおよび第4懸架部の前記中間セクションは隣接しており、前記反射器本体の第1側と反対の第2側が前記反射器本体の平面に対して下方に変位するように、前記第3懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第4懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、前記2つの回転軸のうちの第1回転軸を中心とする前記反射器本体の振動を引き起こす
請求項7に記載の微小機械反射器システム。 - 前記反射器システムは、
前記反射器本体の第3側が前記反射器本体の平面に対して上方に変位するように、前記第4懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第1懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させ、
前記反射器本体の第3側と反対の第4側が前記反射器本体の平面に対して下方に変位するように、前記第2懸架部の前記外部セクションの前記圧電アクチュエータおよび前記第3懸架部の前記内部セクションの前記圧電アクチュエータを作動させる
ことによって、前記2つの回転軸のうちの第2回転軸を中心とする前記反射器本体の振動を引き起こす
請求項8に記載の微小機械反射器システム。 - 各懸架部は、さらに、前記内部セクションを前記反射器本体に連結する第1ばねと、前記中間セクションを前記反射器本体に連結する第2ばねとを有する
請求項1〜9のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 隣接する懸架部の各対は、単一のばねを介して前記反射器本体に連結されている
請求項1〜9のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 前記反射器本体は、前記反射器本体の両側、かつ懸架部の各対の間に配置された重量領域を有する
請求項1〜11のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 前記懸架部は、前記重量領域を介して前記反射器本体に連結されている
請求項12に記載の微小機械反射器システム。 - 前記懸架部は、ねじりばねを介して前記反射器本体に連結されている
請求項1〜13のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 各懸架部の前記中間セクションは、当該懸架部の前記内部セクションおよび前記外部セクションより剛性が高い
請求項1〜14のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 各懸架部において、前記第1圧電アクチュエータは、前記外部セクションの第1端部近傍または第1端部に配置され、前記第2圧電アクチュエータは、前記内部セクションの第1端部近傍または第1端部に配置されている
請求項1〜15のいずれか1項に記載の微小機械反射器システム。 - 各懸架部において、1以上のセンス電極が、前記圧電アクチュエータと平行に、かつ並んで配置されている
請求項16に記載の微小機械反射器システム。
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