JP6880385B2 - 光走査装置 - Google Patents
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Description
まず、第1実施形態に係る光走査装置について説明する。図1及び図2は、第1実施形態に係る光走査装置の一例を示す斜視図であり、図1はパッケージカバーを取り外した状態の光走査装置を示し、図2はパッケージカバーを取り付けた状態の光走査装置を示している。
第2実施形態に係る光走査装置について説明する。図11は、第2実施形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す上面側の斜視図である。図12は、第2実施形態に係る光走査装置の光走査部の一例を示す下面側の斜視図である。
110 ミラー
120 ミラー支持部
122 スリット
125 リブ
130A 梁
130B 梁
140A 連結梁
140B 連結梁
150A 第1の駆動梁
150B 第1の駆動梁
151A 駆動源
151B 駆動源
160 可動枠
170A 第2の駆動梁
170B 第2の駆動梁
171A 駆動源
171B 駆動源
172A 連結梁
172B 連結梁
175A リブ
175B リブ
176A リブ
176B リブ
180 固定枠
190A 端子群
190B 端子群
191 圧電センサ
192 圧電センサ
195 圧電センサ
196 圧電センサ
200 セラミックパッケージ
300 パッケージカバー
300A 開口部
1000 光走査装置
Claims (4)
- 光反射面を有するミラーと、
前記ミラーを支持する可動枠と、
前記可動枠を両側から支持する一対の駆動梁と、
前記駆動梁に設けられ、前記光反射面の中心を通る所定の軸周りに前記可動枠を揺動させる駆動源と、
前記駆動梁を支持する固定枠と、
を有し、
前記駆動梁は、前記所定の軸に垂直な方向に延在する偶数個の梁が、隣接する梁と端部で連結され、全体としてジグザグ状の形状を有し、
前記駆動梁は、その端部が前記可動枠と接続して該可動枠を支持しており、
前記可動枠と前記駆動梁の前記端部とが接続される可動枠接続部は、前記所定の軸を含むようにして、前記所定の軸に対して、前記固定枠と前記駆動梁とが接続される固定枠接続部が配置される側とは略反対側に配置され、
前記固定枠接続部は、前記所定の軸から離れた位置に配置されている、
光走査装置。 - 前記一対の駆動梁を構成する各駆動梁は、前記光反射面の中心を通り前記所定の軸に垂直な直線を対象軸とする線対称の配置関係にある、
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記一対の駆動梁を構成する各駆動梁は、前記光反射面の中心を対称点とする点対称の配置関係にある、
請求項1に記載の光走査装置。 - 前記駆動梁は、前記所定の軸に垂直な方向に延在する連結梁を含み、前記連結梁の端部が前記可動枠と接続されている、
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の光走査装置。
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