JP6024046B2 - マクロ観察装置 - Google Patents
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Description
[ウェハクランプ回転台の構成と動作]
ウェハクランプ回転台10の構成および動作について、図1,図2,図4各図を参照して説明する。ウェハクランプ回転台10は、図1に示したように、平面形状がリング形状をなし、その中空部2において、ウェハWの縁辺(エッジ)をクランプして保持する。図1に示したように、ウェハクランプ回転台10上にはウェハクランプ機構30、ウェハ受けバー11及びウェハクランプ回転台10の位置決め用ブロック12が取り付けられている。クランプ機構30は、中空部2にウェハWを保持するためのクランプバー31の動作機構で、4箇所のウェハ受けバー11に載置された状態のウェハWを確実に把持する役割を果たす。詳細構成と動作とは後述する。
ウェハクランプ回転台10の回転円板13にウェハWを保持させるために、ウェハクランプ機構30が回転円板13上に設けられている。このウェハクランプ機構30はXθ軸(図1)に対して対称な位置に配置された同機能を有する2組のクランプ機構から構成されている。ウェハWは、それぞれのクランプ機構30の先端に位置するクランプバー31で、その縁位置が保持される。
以下、ウェハクランプ回転台10をXθ軸回りに無限回転させるXθ軸回り回転駆動部40の構成について説明する。Xθ軸回り回転駆動部40は、図3及び図6各図に示したように、Xθ軸固定板5に支持されたクランプ開閉用シリンダ39等が装備された部位の下側のボックス41内に収容されている。
本発明のマクロ観察装置1では、Yθ軸はウェハ面と平行でXθ軸を含む平面と同一平面において、Xθ軸と直交する軸で、観察装置1のXθ軸固定板5を所定角度だけ回動させる際の回動軸として設定されている。このときXθ軸固定板5は、図2に示したように、一端がYθ軸回り回転駆動部50の内のアーム部材(第2アーム55)の一部に、他端がYθ軸回り回転駆動部50と反対側に位置するサポートフレーム1に設けられた軸受ベアリング51に回動可能に支持されている。
2 中空部
5 Xθ軸固定板
10 ウェハクランプ回転台
11 ウェハ受けバー
13 回転円板
14 回転台座
16 回転円板駆動ローラ
20 回転駆動源
21,42,52 電動モータ
30 ウェハクランプ機構
31 クランプバー
32 スライド板
35 引張バネ
36 リンク部材
37A クランプ開閉用プレート
40 Xθ軸回り回転駆動部
43,53 減速機
50 Yθ軸回り回転駆動部
51 平行リンク機構
Claims (3)
- 観察対象の基板の外形より大きな開口が形成された、回転台座部と該回転台座部に対して同心回転可能な回転円板とからなり、前記回転円板上に保持手段を介して位置決めして前記基板の縁部を保持し、前記基板を含む平面に直交し、前記基板中心を通る中心軸(θ軸)と、前記基板を含む平面と平行な平面内において設定された、前記直交する2軸(Xθ軸,Yθ軸)との3軸方向に独立して回転可能な回転台と、
出力軸が前記Xθ軸と一致し、初期状態で前記Xθ軸を含む平面から上方に位置する前記回転円板を、伝達手段を介して前記中心軸(θ軸)回りに回転可能な第1の駆動手段と、
出力軸が前記Xθ軸と一致し、初期状態で前記Xθ軸を含む平面から所定距離だけ上方に位置する前記回転台座部を、連結手段を介して支持して、前記所定距離を半径として前記回転台をXθ軸回りに回転可能な第2の駆動手段と、
前記第1の駆動手段の出力軸と前記第2の駆動手段の出力軸とで、前記Xθ軸回りに回転可能に支持された回転台と部材両端位置で前記第1の駆動手段と前記第2の駆動手段とを固定支持する固定部材を、前記Yθ軸回りに所定角度範囲に回動可能な第3の駆動手段と、
前記固定部材と、前記第3の駆動手段とを支持するフレームと、を備えたことを特徴とするマクロ観察装置。 - 前記保持手段は、前記回転円板上に設けられた前記基板を把持するクランプ機構であることを特徴とする請求項1に記載のマクロ観察装置。
- 前記クランプ機構は、前記Xθ軸を挟んで対称をなして配置されたクランプバーが前記Xθ軸に平行に往復スライドして前記基板が保持される一方、前記固定部材上に配置されたクランプ駆動部材の動作により開放されることを特徴とする請求項2に記載のマクロ観察装置。
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