JP2002359277A - ウェハのノッチ合せ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ウェハを、真空吸引力を用いることなく、簡単
な構造でクランプすることができるようにしたウェハの
ノッチ合せ装置を提供する。 【解決手段】ウェハ支持部７Ａ，７Ｂ，…を備えたウェ
ハ保持具５を主軸１４の上端に取り付け、主軸を回転駆
動して、ウェハ２を保持させたウェハ保持具５を回転さ
せる。ウェハ２が回転する過程でノッチセンサによりウ
ェハ２の外周に形成されたノッチを検出し、検出したノ
ッチの位置を基準位置に合せる。ウェハ保持具５に設け
る１つのウェハ支持部７Ａにクランプ具７０３を設け、
電磁ソレノイド７０の出力軸７０ａの変位を、主軸１４
を貫通させたクランプ駆動軸５２と、リンク機構６１
と、スライド板５０とを通してクランプ具７０３に伝達
して、クランプ具７０３をクランプ位置とアンクランプ
位置とに変位させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウェハ等の
ウェハの外周に形成されているノッチの位置を基準位置
に合せるために用いるノッチ合せ装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣ等の半導体素子の製造過程において
は、多数の半導体ウェハをカセット内に積み重ねて収納
して、該カセットをプロセス装置等に搬入し、プロセス
装置等の内部でカセットからウェハを一枚ずつ取り出し
て所定の保持手段の上に移送する。またプロセス装置等
で処理が終了したウェハは、元のカセットに戻すか、ま
たは他のカセットに収納して装置から搬出する。

【０００３】ウェハをカセットからプロセス装置等に搬
入する際には、ウェハの向きを常に一定にする必要があ
る。そのため、ウェハの外周部には、その向きを識別す
る指標（目印）として、Ｕ字形またはＶ字形などの切欠
きからなるノッチが形成されている。ウェハをカセット
からプロセス装置等に搬入する際には、ウェハの外周の
ノッチの位置を基準位置に合せておく必要がある。

【０００４】本明細書では、ウェハのノッチの位置を基
準位置に合せることを「ノッチ合せ」と呼んでいる。

【０００５】なおウェハの外周にオリフラ（オリエンテ
ーション・フラット）と呼ばれるフラットな切欠きを設
けて、このオリフラをウェハの位置合せの指標とするこ
とも行われているが、本発明においては、ウェハの位置
合せの指標としてノッチを用いる場合を対象とする。

【０００６】通常、ウェハを収納するカセットや、ウェ
ハに対して各種の処理を行うプロセス装置等には、ウェ
ハのノッチ合せを行う機能が備わっていないため、ウェ
ハを移送する経路の途中に、ノッチ合せ装置を配置し
て、このノッチ合せ装置によりウェハのノッチの位置を
基準位置に合せるようにしている。

【０００７】ウェハのノッチ合せ装置は、円板状のウェ
ハの外周部を周方向に間隔を隔てた複数の位置で下方か
ら受け止めて支持する複数のウェハ支持部を有して垂直
方向に伸びる主軸の上端に中心部が取り付けられたウェ
ハ保持具と、ウェハ保持具を回転させるべく主軸を回転
駆動する回転駆動機構と、ウェハ保持具に保持されたウ
ェハがウェハ保持具とともに回転する過程で該ウェハの
外周に形成されたノッチを検出するノッチセンサとを備
えていて、ノッチセンサによりウェハのノッチを検出し
た後、そのノッチの位置を基準位置に合せる動作を行う
ようになっている。

【０００８】またこの種のノッチ合せ装置においては、
ウェハをウェハ保持具に保持させた際に、ウェハの中心
位置が基準の位置に一致するように機械的に位置決めさ
れるようになっている。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のノッチ合せ装置
においては、ウェハをウェハ保持具に保持させた状態
で、ウェハの位置がずれないように、ウェハをウェハ保
持具に対してクランプする装置を設けておく必要があ
る。

【００１０】従来のノッチ合せ装置においては、ウェハ
をクランプするために、真空吸引力を利用したクランプ
装置を用いていたが、真空吸引力を利用したクランプ装
置を動作させるためには真空ポンプを必要とするだけで
なく、クランプ装置と真空ポンプとの間を接続する配管
類やバルブ類を設ける必要があるため、装置の構造が複
雑になって大形になる上に、コストが高くなるという問
題があった。

【００１１】また従来は、ウェハの表裏両面の外周寄り
の一定幅の領域が未処理領域となっていて、この未処理
領域に保持具を当接させたりクランプ具を当接させたり
することができたが、最近では、ウェハの表裏両面の外
周寄りの部分に物を当てがうことは許されなくなる傾向
にある。例えば直径が３００［mm］のウェハの場合、ウ
ェハを保持したりクランプしたりする際に、保持具やク
ランプ具を当接させることが許されるのは、ウェハの外
周の下面側の面取り部と該ウェハの下面との間の境界を
形成する外周縁部と、ウェハの外周面のみであり、外周
部の面取り部にも物を当てがうことは許されない。この
ように、保持具やクランプ具を当てがうことが許される
部分が制限されているウェハを、真空吸引力によりクラ
ンプすることは容易ではない。

【００１２】なお本明細書では、ウェハの外周の下面側
の面取り部と該ウェハの下面との間の境界を形成する外
周縁部をウェハの下面側外周縁部と呼ぶ。またウェハの
外周の上面側の面取り部と該ウェハの上面との間の境界
を形成する外周縁部をウェハの上面側外周縁部と呼ぶ。

【００１３】本発明の目的は、真空吸引力を用いること
なく、電磁ソレノイドを駆動源として用いて、簡単でコ
ンパクトな構造でウェハのクランプ機構を実現できるよ
うにしたウェハのノッチ合せ装置を提供することにあ
る。

【００１４】

【課題を解決するための手段】本発明は、円板状のウェ
ハの外周部を周方向に間隔を隔てた複数の位置で下方か
ら受け止めて支持する複数のウェハ支持部を有して垂直
方向に伸びる主軸の上端に中心部が取り付けられたウェ
ハ保持具と、このウェハ保持具を回転させるべく主軸を
回転駆動する回転駆動機構と、ウェハ保持具に保持され
たウェハがウェハ保持具とともに回転する過程で該ウェ
ハの外周に形成されたノッチを検出するノッチセンサと
を備えて、ノッチセンサにより検出されたウェハのノッ
チの位置を基準位置に合せる動作を行うウェハのノッチ
合せ装置に係わるものである。

【００１５】上記ウェハ保持具に設けられた各ウェハ支
持部は、ウェハの下面側外周縁部を下方から受け止める
ウェハ受部と該ウェハ受部により受け止められたウェハ
の外周面に接して該ウェハを径方向に位置決めする径方
向位置決め部とを備えていて、ウェハを、その下面側外
周縁部及び外周面のみに接して位置決め保持する。

【００１６】本発明においては、複数のウェハ支持部の
うちの少なくとも一つに設けられる径方向位置決め部
を、支持すべきウェハの外周面に当接して該ウェハをク
ランプした状態になるクランプ位置と該クランプを解除
した状態になるアンクランプ位置との間を支持すべきウ
ェハの径方向に沿って変位し得るように設けられたクラ
ンプ具により構成する。

【００１７】また、主軸の軸心部を貫通させたクランプ
駆動部材を通して電磁ソレノイドの出力軸の変位をクラ
ンプ具に伝達して、クランプ具をクランプ位置とアンク
ランプ位置とに変位させるクランプ具駆動装置を設け、
このクランプ具駆動装置とクランプ具とにより、ウェハ
をクランプするクランプ装置を構成する。

【００１８】上記のように、少くとも一つのウェハ支持
部の径方向位置決め部をクランプ具により構成して、ウ
ェハ保持具を回転させる主軸の軸心部を貫通させたクラ
ンプ駆動部材を通して電磁ソレノイドの出力軸の変位を
クランプ具に伝達する構造にすると、真空吸引力を用い
ることなく、簡単でコンパクトな構造で、ウェハをクラ
ンプしたり、アンクランプしたりすることができる。

【００１９】なお本明細書において、「電磁ソレノイド
の出力軸の変位」は、電磁ソレノイドが励磁されたとき
にその出力軸に生じる変位だけでなく、電磁ソレノイド
が消勢されて復帰バネの付勢力等により該出力軸に生じ
る変位をも包含する。

【００２０】上記のように電磁ソレノイドをクランプ装
置の駆動源として用いると、真空ポンプ及び真空を供給
するための配管やバルブ類を設ける必要がなくなるた
め、装置の構成を簡単にして、装置の小形化を図ること
ができる。

【００２１】また上記のように構成すると、ウェハの外
周部をクランプ具によりクランプするため、表裏両面の
外周寄りの部分にクランプ具を当接させることが許容さ
れないウェハも問題なくクランプすることができる。

【００２２】ウェハを安定に保持するため、上記ウェハ
支持部は少くとも３つ（好ましくは３つ）設けるのが望
ましい。

【００２３】またクランプ具駆動装置は、主軸の軸心部
をスライド自在に貫通した状態で設けられて、主軸とと
もに回転し得るように支持されたクランプ駆動軸と、ク
ランプ駆動軸の軸線方向の変位を前記径方向の変位に変
換してクランプ具に伝達する変位伝達機構と、直線変位
を生じる出力軸を有する電磁ソレノイドと、クランプ具
をクランプ位置とアンクランプ位置とに変位させるべ
く、電磁ソレノイドの出力軸の直線変位をクランプ駆動
軸に伝達するクランプ駆動機構とを備えた構成とするこ
とができる。

【００２４】ウェハを安定に保持するためには、ウェハ
を３点で支持するようにするのが好ましい。ウェハを３
点で支持する場合には、等角度間隔で放射状に設けられ
た３つの腕部を有する保持具本体と該保持具本体の３つ
の腕部のそれぞれの先端に設けられて円板状のウェハの
外周部を下方から受け止めて支持する３つのウェハ支持
部とを有するウェハ保持具を設けて、該ウェハ保持具の
保持具本体の中心部を、垂直方向に伸びる主軸の上端に
取り付ける。

【００２５】この場合、ウェハ保持具の一つのウェハ支
持部に設けられた径方向位置決め部を、支持すべきウェ
ハの外周面に当接して該ウェハをクランプするクランプ
位置と該クランプを解除するアンクランプ位置との間を
径方向に沿って変位可能なクランプ具により構成する。

【００２６】また、クランプ具駆動装置は、主軸の軸心
部をスライド自在に貫通した状態で設けられて、該主軸
とともに回転するように支持されたクランプ駆動軸と、
主軸の軸線方向に沿ったクランプ駆動軸の直線変位を支
持すべきウェハの径方向の変位に変換してクランプ具に
伝達する変位伝達機構と、直線変位を生じる出力軸を有
する電磁ソレノイドと、クランプ具をクランプ位置とア
ンクランプ位置とに変位させるべく電磁ソレノイドの出
力軸の変位をクランプ駆動軸に伝達するクランプ駆動機
構とを備えた構成とする。

【００２７】上記変位伝達機構は、ウェハ保持具に保持
されるウェハの径方向にスライドし得るようにウェハ保
持具に支持されて一端がクランプ具に連結されたスライ
ド板と、主軸の上端から突出したクランプ駆動軸の上端
とスライド板の他端との間に設けられてクランプ駆動軸
の直線変位を径方向の変位に変換してスライド板に伝達
するリンク機構とにより構成することができる。

【００２８】上記のクランプ具駆動装置においては、ク
ランプ駆動軸を主軸とともに回転させながら、軸線方向
に変位させる必要がある。そのためには、主軸の軸線方
向に沿って変位するように、主軸を支持するフレームに
スライド自在に支持されたスライド軸と、主軸の下端側
に配置されてスライド軸に連結された可動板とを設け
て、該可動板にクランプ駆動軸の下端を軸受を介して回
転自在に支持するとともに、電磁ソレノイドが励磁され
たときにクランプ具をアンクランプ位置側に変位させる
方向にクランプ駆動軸を駆動するべく電磁ソレノイドの
出力軸とスライド軸とを連結する連結部材と、電磁ソレ
ノイドが消勢されたときにクランプ具をクランプ位置側
に変位させるように可動板を付勢するバネとを設けて、
スライド軸と、可動板及び軸受と、連結部材と、バネと
により前記クランプ駆動機構を構成するのが好ましい。

【００２９】本発明の好ましい態様では、軸線を垂直方
向に向けた状態で固定フレームに回転自在に支持された
回転体と、この回転体の軸心部を貫通した状態で設けら
れて該回転体にスプラインを介してスラスト自在に結合
されるとともに垂直方向に変位し得るように設けられた
可動フレームに軸受を介して回転自在に支持された主軸
と、等角度間隔で放射状に設けられた３つの腕部を有し
て主軸の上端に中心部が取り付けられた保持具本体と、
保持具本体の３つの腕部のそれぞれの先端に設けられた
ウェハ支持部とを備えて、各ウェハ支持部が、円板状の
ウェハの下面側外周縁部を下方から受け止めるウェハ受
部と該ウェハの外周面に接して該ウェハを径方向に位置
決めする径方向位置決め部とを有しているウェハ保持具
と、ウェハ保持具を主軸とともに回転させるべく回転体
を回転駆動する回転駆動機構と、可動フレームを主軸と
ともに上下方向に駆動する昇降機構と、ウェハ保持具が
主軸とともに下降したときに該ウェハ保持具に保持され
ているウェハを受け取って該ウェハの外周部を仮保持す
る少くとも３つのウェハ仮保持具と、ウェハ保持具に保
持されたウェハが該ウェハ保持具とともに回転する過程
で該ウェハの外周部に形成されているノッチを検出する
ノッチセンサとが設けられる。

【００３０】この場合、ウェハ保持具の一つのウェハ支
持部に設けられる径方向位置決め部を、支持すべきウェ
ハの外周面に当接して該ウェハをクランプするクランプ
位置と該クランプを解除するアンクランプ位置との間を
径方向に沿って変位可能な状態で保持具本体に支持され
たクランプ具により構成する。

【００３１】また、クランプ具駆動装置は、主軸の軸心
部をスライド自在に貫通した状態で設けられて、主軸に
スプラインを介して結合されたクランプ駆動軸と、クラ
ンプ駆動軸のスラスト方向の直線変位を径方向の変位に
変換してクランプ具に伝達する変位伝達機構と、直線変
位を生じる出力軸を有する電磁ソレノイドと、クランプ
具をクランプ位置とアンクランプ位置とに変位させるべ
く電磁ソレノイドの出力軸の変位をクランプ駆動軸に伝
達するクランプ駆動機構とを備えた構成とする。

【００３２】この場合も、変位伝達機構は、ウェハ保持
具に保持されるウェハの径方向にスライドし得るように
保持具本体に支持されて一端がクランプ具に連結された
スライド板と、主軸の上端から突出したクランプ駆動軸
の上端とスライド板の他端との間に設けられてクランプ
駆動部材の直線変位を径方向の変位に変換してスライド
板に伝達するリンク機構とにより構成することができ
る。

【００３３】また、上記のように構成する場合も、主軸
の軸線方向に沿ってスライドするように、可動フレーム
にスライド自在に支持されたスライド軸と、主軸の下端
側に配置されてスライド軸に連結された可動板とを設け
て、該可動板にクランプ駆動軸の下端を軸受を介して回
転自在に支持するのが好ましい。

【００３４】この場合、電磁ソレノイドが励磁されたと
きにクランプ具をアンクランプ位置側に変位させる方向
にクランプ駆動軸を駆動するべく電磁ソレノイドの出力
軸とスライド軸とを連結する連結部材と、電磁ソレノイ
ドが消勢されたときにクランプ具をクランプ位置側に変
位させるように可動板を付勢するバネとを設けて、これ
らスライド軸と、可動板及び軸受と、連結部材と、バネ
とによりクランプ駆動機構を構成するのが好ましい。

【００３５】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
形態を説明する。図１ないし図１６は本発明に係わるノ
ッチ合せ装置の実施形態を示したもので、図１は本発明
の一実施形態の外観を示す斜視図、図２は図１のノッチ
合せ装置にウェハを保持させた状態を示す斜視図であ
る。

【００３６】また図３は、図１のノッチ合せ装置に保持
されたウェハを受け取るためにロボットのハンドがノッ
チ合せ装置に向けて移動する際の一過程を示した斜視
図、図４は同ロボットのハンドをノッチ合せ装置に保持
されたウェハの下に挿入した状態を示した斜視図であ
る。

【００３７】更に図５（Ａ）及び（Ｂ）は、ノッチ合せ
装置に設けるウェハ支持部の構造を示す断面図、図６
（Ａ）及び（Ｂ）は図５（Ｂ）に示したウェハ支持部の
構造を示す断面図び上面図である。図７は本発明に係わ
るノッチ合せ装置の一実施形態において主軸を上昇させ
た状態を示した縦断面図、図８は同実施形態において主
軸を下降させた状態を示した縦断面図である。

【００３８】また図９は、本発明の実施形態においてウ
ェハをアンクランプした状態を、図７及び図８の断面に
対して９０度異なる面で断面して示した縦断面図、図１
０は同実施形態においてウェハをクランプした状態を、
図７及び図８の断面に対して９０度異なる面で断面して
示した縦断面図、図１１及び図１２はそれぞれ図９及び
図１０の要部の拡大図である。

【００３９】更にまた、図１３（Ａ）及び（Ｂ）はそれ
ぞれ本実施形態でクランプ具に連結されたスライド板と
クランプ駆動軸との間に設ける変位変換機構の正面図及
び側面図、図１４は、本発明の実施形態で用いるクラン
プ駆動機構の断面図、図１５（Ａ）は本発明の実施形態
において主軸の上限位置及び下限位置を検出するために
用いる検出装置の構成を示した正面図、図１５（Ｂ）は
本発明の実施形態においてクランプ具駆動装置に設ける
可動板の上限位置及び下限位置を検出するために用いる
検出装置の構成を示した要部の正面図、図１６（Ａ）及
び（Ｂ）はそれぞれ本発明の実施形態においてクランプ
駆動軸とスライド板との間に設ける変位変換機構の変形
例を示した縦断面図及び横断面図である。

【００４０】図１ないし図４において、１は本発明に係
わるノッチ合せ装置、２はウェハ、３はウェハ搬送ロボ
ットのハンドである。

【００４１】ノッチ合せ装置１は、箱形のハウジング４
を備えていて、ハウジング４の上方には、後記する回転
駆動機構と昇降機構とにより駆動されて回転運動と昇降
運動とを行うウェハ保持具５が配置されている。

【００４２】図示のウェハ保持具５は、等角度間隔（１
２０度間隔）で放射状に設けられた３つの腕部６Ａない
し６Ｃを有する保持具本体６と、保持具本体６の３つの
腕部６Ａないし６Ｃのそれぞれの先端に取り付けられた
ウェハ支持部７Ａないし７Ｃとを備えている。

【００４３】またハウジング４の一端の上部には、ウェ
ハ保持具５に保持されたウェハ２を通過させる凹部８ａ
を備えたセンサ保持具８が取り付けられている。このセ
ンサ保持具８には、凹部８ａ内を通過するウェハ２を間
にして上下に対向するレーザ発光素子と受光素子とから
なるノッチセンサ（図示せず。）が取り付けられてい
る。

【００４４】ハウジング４の上部にはまた、ウェハ仮保
持具９Ａないし９Ｃが取り付けられている。これらの仮
保持具は、ウェハ保持具５に保持されたウェハ２のノッ
チ２ｎが、たまたまウェハ支持部７Ａないし７Ｃのいず
れかの位置に一致しているか、またはいずれかのウェハ
支持部の近傍に位置していて、ノッチ２ｎの検出に失敗
した場合や、ノッチ２ｎの位置を基準位置に合せてウェ
ハを停止させた状態でウェハ保持具５がロボットのハン
ド３と干渉する向きにある場合等に、ウェハ保持具５の
向きを変更するために、ウェハ保持具５からウェハ２を
受け取って仮保持するために用いられる。

【００４５】ウェハ仮保持具９Ａないし９Ｃは１２０°
間隔で配置されていて、ハウジング４の上部の対称位置
から両側に突出するように設けられた対の腕部１０Ａ及
び１０Ｂに取り付けられ、他の一つの仮保持具９Ｃはセ
ンサ保持具８の凹部８ａ内に取り付けられている。

【００４６】図７ないし図１０に示されているように、
ハウジング４の上面板４ａの中央部に円形の貫通孔４ｂ
が形成されている。ハウジング４内には、該ハウジング
に対して固定された固定フレーム１１が配置され、この
固定フレームには、中心軸線を垂直方向に向けた孔部１
１ａが形成されている。孔部１１ａは、その中心軸線を
ハウジングの上面板の貫通孔４ｂに一致させた状態で設
けられていて、この孔部１１ａ内に、中心軸線を垂直方
向に向けたほぼ円筒状の回転体１２がベアリング１３を
介して回転自在に支持されている。

【００４７】回転体１２の中心部を軸線方向にスライド
自在に貫通した状態で主軸１４が設けられている。主軸
１４は、軸線方向の変位が自在な状態で回転体１２と一
体に回転するように、回転体１２にボールスプラインを
介して結合されている。回転体１２の上端には歯付きプ
ーリ１５がネジ１６により固定され、固定フレーム１１
に取り付けられた回転駆動用電動機１６の回転軸の上端
に取り付けられた歯付きプーリ１７とプーリ１５とに歯
付きベルト１８が掛け渡されている。回転駆動用電動機
１６により、プーリ１７，１５及びベルト１８を介して
回転体１２及び主軸１４が回転駆動される。

【００４８】主軸１４の上端には、開口部を上方に向け
て、かつ中心軸線を主軸１４の中心軸線に一致させた状
態で配置されたほぼカップ状のカップリング部材１９が
取り付けられている。カップリング部材１９はその中央
部にボス部１９ａを有していて、該ボス部１９ａが主軸
１４の上端に接続され、カップリング部材１９の上端
に、保持具本体６が取り付けられている。保持具本体６
は、その中心軸線を主軸１４の中心軸線と一致させた状
態で配置されて、ネジ２０によりカップリング部材１９
に締結されている。

【００４９】カップリング部材１９内に配置される部品
の組み立てや点検等を行うことができるようにするた
め、保持具本体６の中心部に孔６ａ（図９，図１０参
照）が形成されている。この孔６ａは、保持具本体６に
ネジ２０´により締結された蓋板２１により閉じられて
いる。

【００５０】電動機１６と、プーリ１５及び１７とベル
ト１８とにより、ウェハ保持具５を主軸１４とともに回
転させるべく、回転体１２を回転駆動する回転駆動機構
２５（図７及び図８参照）が構成されている。

【００５１】ハウジング４内にはまた垂直方向に変位さ
せられる可動フレーム３０が配置され、可動フレーム３
０は、軸受３１を介して主軸１４に結合されている。

【００５２】可動フレーム３０を駆動するため、下半部
にネジ３５ａを有するネジ棒３５が、その軸線を垂直方
向に向けた状態で配置され、ネジ棒３５は、軸受３６Ａ
ないし３６Ｃにより固定フレーム１１に回転自在に支持
されている。ネジ棒３５のネジ部３５ａは、可動フレー
ム３０に取り付けられたボールナット３８に螺合されて
いる。

【００５３】固定フレーム１１にはまた昇降駆動用電動
機４０が取り付けられ、電動機４０の回転軸に歯付きプ
ーリ４１が取り付けられている。歯付きプーリ４１とネ
ジ棒３５の上端に取り付けられた歯付きプーリ４２とに
歯付きベルト４３が掛け渡され、電動機４０と、プーリ
４１，４２と、ベルト４３と、ネジ棒３５と、ナット３
８とにより、可動フレーム３０を主軸１４とともに上下
方向に駆動する昇降機構４５が構成されている。

【００５４】この昇降機構においては、電動機４０によ
り、プーリ４１、ベルト４３及びプーリ４２を介してネ
ジ棒３５が回転駆動される。このネジ棒の回転に伴って
可動フレーム３０が上下に移動させられ、可動フレーム
３０とともに主軸１４が上下に移動させられて、ウェハ
保持具５が上下動させられる。図７は主軸１４を上限位
置まで上昇させた状態を示し、図８は主軸１４を下限位
置まで下降させた状態を示している。

【００５５】ウェハ２は、ウェハ保持具５のウェハ支持
部７Ａないし７Ｃにより下方から受け止められた状態で
保持される。図示のウェハ２は直径が３００［mm］の円
板状の半導体ウェハで、その外周にはＶ字形のノッチ
（切欠き）２ｎが形成され、その外周部の厚み方向の両
端の角部は全周に亘って面取りされている。

【００５６】図５（Ａ），（Ｂ）は、ウェハ支持部７Ａ
〜７Ｃにより支持されたウェハの断面を示したもので、
同図において２ａ及び２ｂはそれぞれウェハの下面及び
上面、２ｃはウェハの外周面、２ｄ及び２ｅはそれぞれ
ウェハの外周部に形成された下面側及び上面側の面取り
部、２ｆはウェハの下面２ａと面取り部２ｄとの間の境
界を形成する外周縁部（下面側外周縁部）、２ｇはウェ
ハの上面２ｂと面取り部２ｅとの間の境界を形成する外
周縁部（上面側外周縁部）である。

【００５７】このウェハ２を支持する際に、物を接触さ
せることが許容される部分は、外周面２ｃと下面側外周
縁部２ｆとの２か所のみであり、ウェハの下面２ａ及び
面取り部２ｄに位置決め部材や保持部材等を接触させる
ことは禁止されている。

【００５８】そのため、各ウェハ支持部は、円板状のウ
ェハ２の下面側外周縁部２ｆを下方から受け止めるウェ
ハ受部Ｒと、ウェハ２の外周面２ｃに接してウェハ２を
径方向に位置決めする径方向位置決め部Ｄとにより構成
される。

【００５９】ウェハ受部Ｒは、水平面に対してウェハ２
の面取り部２ｄよりも小さい傾斜角をもって傾斜した環
状の傾斜位置決め面Ｒａを有する部分で、傾斜位置決め
面Ｒａにウェハ２の下面側外周縁部２ｆを線接触させる
ことにより、ウェハ２を下方から受け止める。

【００６０】また径方向位置決め部Ｄは、ウェハ受部Ｒ
の上に受け止められて支持されたウェハ２の外周面２ｃ
に沿うように形成された円筒面状の位置決め面Ｄａを有
していて、位置決め面Ｄａをウェハ２の外周面２ｃに当
接させることによりウェハ２を径方向に位置決めする。

【００６１】図５（Ａ）に示したように、ウェハ支持部
７Ｂ，７Ｃは、ウェハ受部Ｒと径方向位置決め部Ｄとを
一体に有する部材７０１からなっていて、保持具本体６
の腕部６Ｂ及び６Ｃの先端に固定されている。これら２
つのウェハ支持部７Ｂ，７Ｃの径方向位置決め部Ｄの位
置決め面Ｄａにウェハ２の外周面２ｃを当接させること
により、ウェハ２の中心を基準の中心位置に一致させる
ことができるようになっている。

【００６２】また図５（Ｂ）に示したように、他の一つ
のウェハ支持部７Ａのウェハ受部Ｒは、上端に傾斜位置
決め面Ｒａを有して保持具本体６の腕部６Ａの先端に固
定された支持部材７０２により構成されている。またウ
ェハ支持部７Ａの径方向位置決め部Ｄは、支持すべきウ
ェハ２の外周面に当接して該ウェハをクランプするクラ
ンプ位置と該クランプを解除するアンクランプ位置との
間をウェハの径方向に沿って変位可能な状態で保持具本
体に支持されたクランプ具７０３からなっている。クラ
ンプ具７０３は、支持すべきウェハ２の外周面２ｃに当
接する位置決め面Ｄａを前面に有する中実の部材からな
っていて、腕部６Ａの先端に取り付けられた断面コの字
形の枠部材６０１の内側に、支持すべきウェハ２の径方
向に所定距離だけ変位し得る状態で配置されている。

【００６３】本実施形態では、図５（Ｂ）及び図６
（Ａ）に見られるように、保持具本体６の腕部６Ａの下
部に径方向に伸びるガイド溝６０２が形成されていて、
このガイド溝６０２内にスライド板５０がスライド自在
に嵌合され、スライド板５０の先端にクランプ具７０３
が固定されている。スライド板５０をガイド溝６０２内
に保持するため、腕部６Ａの下面に保持板５１がネジ止
めされている。スライド板５０は保持板５１の上をスラ
イドして、支持すべきウェハ２の径方向に往復変位す
る。

【００６４】図示の例では、枠部材６０１の端部壁６０
１ａが、クランプ具７０３のストッパとなっている。ク
ランプ具７０３は、図５（Ｂ）に示すように、その位置
決め面Ｄａがウェハ２の外周面２ｃに接触して外周面２
ｃを押圧した状態になるクランプ位置と、位置決め面Ｄ
ａがウェハ２の外周面２ｃから離れた状態になるアンク
ランプ位置との間を変位させられる。

【００６５】図９ないし図１２に示したように、主軸１
４の軸心部をスライド自在に貫通させてクランプ駆動軸
５２が設けられている。クランプ駆動軸５２は、主軸１
４と一体になって回転しながら軸線方向に変位し得るよ
うに、スプラインを介して主軸１４に結合されている。
クランプ駆動軸５２の下端は、可動フレーム３０の下方
に配置された可動板５３に軸受５４を介して結合され、
クランプ駆動軸５２の上端はカップリング部材１９内に
導入されている。

【００６６】クランプ駆動軸５２の軸線方向の変位を、
支持すべきウェハの径方向の変位に変換してスライド軸
５０に伝達するため、図１３に示した変位変換機構がカ
ップリング部材１９内に設けられている。図示の例で
は、カップリング部材１９内にブラケット５５が固定さ
れていて、このブラケット５５にＬ字形のリンク５６の
中間部がピン５７を介して支持され、リンク５６の一端
がクランプ駆動軸５２の上端にピン５８を介して連結さ
れている。リンク５６の他端はスライド板５０の後端部
に固定された連結部材５９にピン６０を介して連結され
ている。リンク５６とピン５７，５８及び６０と連結部
材５９とにより、クランプ駆動軸５２の上限方向の変位
を支持すべきウェハ２の径方向の変位に変換してスライ
ド板５０に伝達する変位変換機構（この例ではリンク機
構）６１が構成されている。この変位変換機構６１とス
ライド板５０とにより、主軸１４の軸線方向に沿ったク
ランプ駆動軸５２の直線変位を、支持すべきウェハ２の
径方向の変位に変換してクランプ具７０３に伝達する変
位伝達機構が構成されている。

【００６７】本発明では、クランプ具７０３を駆動する
ために、図１４に示すような電磁ソレノイド７０を用い
る。電磁ソレノイド７０は、図示しない励磁コイルと該
励磁コイルが励磁されたときに変位を生じる可動鉄心と
を備えたもので、その可動鉄心に連結された出力軸７０
ａを上方に向けた状態で可動フレーム３０に取り付けら
れている。

【００６８】可動フレーム３０にはまた、軸線を垂直方
向に向けたスライド軸７１が上下にスライド自在に支持
され、スライド軸７１と電磁ソレノイド７０の出力軸７
０ａとが連結部材７２を介して連結されている。スライ
ド軸７１の下端は可動板５３に連結され、スライド軸７
１に嵌合されたバネ７３が可動フレーム３０と可動板５
３との間に圧縮された状態で配置されている。バネ７３
により可動板５３が常時下方に付勢されている。

【００６９】図示の電磁ソレノイド７０は、励磁された
際にその出力軸７０ａを上方に変位させるように構成さ
れている。電磁ソレノイド７０が励磁されて、その出力
軸７０ａが上方に変位すると、スライド軸７１がバネ７
３の付勢力に抗して上方に変位させられ、クランプ駆動
軸５２が可動板５３とともに上方に変位させられる。こ
のクランプ駆動軸５２の変位は変換機構６１を介してス
ライド板５０に伝達されるため、スライド板５０がウェ
ハ２の外径側に変位してクランプ具７０３をアンクラン
プ位置側に変位させる。図１０及び図１２は、電磁ソレ
ノイド７０が励磁されることにより、可動板５３及びク
ランプ駆動軸５２が上限位置まで駆動されて、クランプ
具７０３がアンクランプ位置側の極限位置まで変位した
状態を示している。

【００７０】電磁ソレノイド７０が消勢されたときに
は、バネ７３の付勢力によりクランプ駆動軸５２が下方
に変位させられる。クランプ駆動軸５２が下方に変位す
ると、クランプ駆動軸５２の変位が変位伝達機構６１を
介して伝達されるスライド板５０がウェハ２の径方向の
内側に変位させられる。これによりクランプ具７０３が
ウェハ２の外周面２ｃに当接した状態になるクランプ位
置まで変位してウェハ２をクランプする。図９及び図１
１は、電磁ソレノイド７０が消勢されて、クランプ駆動
軸５２及び可動板５３が下限位置まで変位させられた状
態を示している。クランプ具７０３のクランプ力は、バ
ネ７３の付勢力のみにより与えられる。

【００７１】上記のように、本実施形態では、クランプ
具７０３をアンクランプ位置に変位させるために電磁ソ
レノイド５５の駆動力を用い、バネ７３の付勢力をクラ
ンプ具７０３をクランプ位置に変位させるために用いて
いる。

【００７２】図示の例では、連結部材７２と、スライド
軸７１と、可動板５３と、軸受５４と、バネ７３とによ
り、クランプ具をクランプ位置とアンクランプ位置とに
変位させるべく、電磁ソレノイド７０の出力軸の直線変
位をクランプ駆動軸５２に伝達するクランプ駆動機構７
５が構成されている。

【００７３】そして、電磁ソレノイド７０と、上記クラ
ンプ駆動機構７５と、クランプ駆動軸５２と、このクラ
ンプ駆動軸の軸線方向の変位をウェハの径方向の変位に
変換してクランプ具７０３に伝達する前記変位伝達機構
とにより、電磁ソレノイド７０の出力軸の変位を主軸の
軸心部を貫通させたクランプ駆動軸（クランプ駆動部
材）５２を通してクランプ具７０３に伝達して、クラン
プ具をクランプ位置とアンクランプ位置とに変位させる
クランプ具駆動装置が構成されている。

【００７４】可動フレーム３０の上限位置と下限位置と
を検出して、昇降用電動機４０への通電を制御するた
め、図１５（Ａ）に示す位置検出装置が設けられてい
る。この位置検出装置は、可動フレーム３０に取り付け
られたドグ８０及び８１と、可動フレーム３０が上限位
置に達したときにドグ８０を検出して可動フレームが上
限位置に達したことを示す検出信号を発生する位置セン
サ８２と、可動フレームが下限位置に達したときにドグ
８１を検出して可動フレームが下限位置に達したことを
示す検出信号を発生する位置センサ８３とからなってい
る。位置センサ８２及び８３は固定フレーム１１に適宜
の手段により取り付けられている。

【００７５】またクランプ具７０３がクランプ位置にあ
るかアンクランプ位置にあるかを検出するために図１５
（Ｂ）に示すような位置検出装置が設けられている。こ
の位置検出装置は、可動板５３に取り付けられたドグ８
５及び８６と、可動板５３が上限位置に達してクランプ
具がアンクランプ位置に達したときにドグ８５を検出し
てクランプ具がアンクランプ位置に達したことを示す検
出信号を発生する位置センサ８７と、可動板５３が下限
位置に達してクランプ具がクランプ位置に達したときに
ドグ８６を検出してクランプ具がクランプ位置に達した
ことを示す検出信号を発生する位置センサ８８とからな
っている。位置センサ８７は可動フレーム３０に取り付
けられ、位置センサ８８は、可動フレーム３０に上端を
固定した取り付け具８９の下端に取り付けられている。

【００７６】上記のノッチ合せ装置１においては、昇降
機構４５により、ウェハ保持具５を、仮保持具９Ａ〜９
Ｃと干渉しない位置まで上昇させることができるように
なっている。

【００７７】ウェハのノッチ合せを行う際には、電磁ソ
レノイド７０を励磁してクランプ具７０３をアンクラン
プ位置に変位させ、ウェハ保持具５を仮保持具９Ａ〜９
Ｃと干渉しない位置まで上昇させた状態で、ウェハ搬送
ロボットのハンド３（図３及び図４参照）の上に保持さ
れたウェハ２を、ウェハ支持部７Ａ〜７Ｃの上方に搬送
する。ウェハ２がウェハ支持部７Ａ〜７Ｃと整合する位
置に達したところでハンド３を下降させ、ハンド３のク
ランプを解放して、ウェハ２をウェハ支持部７Ａ〜７Ｃ
に渡す。このときウェハ２の外周面２ｃを径方向位置決
め部Ｄの内側に落とし込み、ウェハ２の下面側外周縁部
２ｆをウェハ支持部７Ａ〜７Ｃの受け部Ｒの上に載せ
る。次いで電磁ソレノイド７０を消勢してバネ７３の付
勢力によりクランプ具７０３をクランプ位置側に変位さ
せる。これにより、クランプ具７０３をウェハ２の外周
面２ｃに当接させてウェハ２をクランプする。このとき
ウェハ２は予め取り付け位置が正確に調整された２つの
ウェハ支持部７Ｂ及び７Ｃの径方向位置決め部Ｄに当接
させられるため、ウェハ２の中心が基準位置に一致する
ように自動的に位置決めされる。

【００７８】上記のようにしてウェハ２をウェハ保持具
５に保持させてその中心を基準位置に一致させた後、電
動機１６を駆動して主軸１４を回転させ、ウェハ２を回
転させる。ウェハ２が回転する過程でノッチセンサによ
りウェハ２の外周に形成されたノッチ２ｎを検出する。
ノッチ２ｎの位置が検出された場合には、検出したノッ
チ２ｎの位置を基準位置に一致させるようにウェハ保持
具５を回転させて停止させる。

【００７９】ノッチ２ｎの位置がたまたまウェハ支持部
７Ａ〜７Ｃのいずれかの位置に一致していて、ノッチ２
ｎの位置を検出することができなかった場合には、昇降
用電動機４０を駆動して主軸１４を下降させ、電磁ソレ
ノイド７０を励磁してウェハ２をアンクランプした後、
ウェハ２を仮保持具９Ａ〜９Ｃにウェハを仮保持させ
る。仮保持部９Ａ〜９Ｃは、ウェハ支持部７Ｂ及び７Ｃ
と同様に、ウェハ２の外周面２ｃと下面側外周縁部２ｆ
との２か所のみに接触してウェハを保持する構造にして
おく。

【００８０】ウェハ２を仮保持具９Ａ〜９Ｃに保持させ
た後、主軸１４を更に下降させて、仮保持具に保持され
たウェハ２と干渉しない位置までウェハ保持具５を下降
させた後、電動機１６を回転させてウェハ保持具５を予
め定めた一定の角度だけ回転させる。これにより、ウェ
ハ支持部７Ａ〜７Ｃをノッチ２ｎの位置からずらし、ノ
ッチ位置の検出を可能にする。その後、主軸１４を上昇
させてウェハ支持具５を上昇させて、仮保持具９Ａ〜９
Ｃに仮保持されているウェハをウェハ支持部７Ａ〜７Ｃ
に保持させ、電磁ソレノイド７０を消勢してウェハ２を
クランプする。その後、主軸１４を更に上昇させてウェ
ハ保持具５を仮保持具９Ａ〜９Ｃと干渉しない位置まで
上昇させ、その位置でウェハ保持具５を回転させてノッ
チ２ｎの検出を行う。

【００８１】ノッチ２ｎの位置が検出された後、検出さ
れたノッチの位置を基準位置に一致させた状態で電動機
１６を停止させてウェハ保持具５を停止させる。このよ
うにしてウェハ保持具を停止させた状態で、ウェハ保持
具５の位置が、ウェハ２を受け取りに来るロボットのハ
ンド３と干渉する位置にあるときには、ノッチの位置が
検出されなかった場合と同様に、主軸１４を下降させて
ウェハ２を仮保持具９Ａ〜９Ｃに仮保持させた後、ウェ
ハ保持具５を所定角度回転させてウェハ保持具５をロボ
ットのハンド３と干渉しない向き（例えば図４に示した
向き）に向ける。その後、主軸１４を上昇させて、ウェ
ハ２をウェハ保持具５に保持させ、電磁ソレノイド７０
を消勢してクランプ具７０３をクランプ位置に変位させ
た後、主軸１４を更に上昇させて、ウェハ２をロボット
のハンドと干渉しない位置に停止させる。この状態で、
電磁ソレノイド７０を励磁してウェハをアンクランプ
し、図４に示すようにロボットのハンド３をウェハ２の
下方に挿入する。ハンド３を上昇させてウェハ２をハン
ド３に移行させた後、ハンド３を後退させて、ウェハを
次工程に搬送する。

【００８２】上記のように、一つのウェハ支持部７Ａの
径方向位置決め部Ｄをクランプ具７０３により構成し
て、ウェハ保持具５を回転させる主軸１４の軸心部を貫
通させたクランプ駆動軸（クランプ駆動部材）５２を通
して電磁ソレノイド７０の駆動力をクランプ具７０３に
伝達する構造にすると、真空吸引力を用いることなく、
簡単な構造で、ウェハ２をクランプしたり、アンクラン
プしたりすることができる。

【００８３】上記のように電磁ソレノイド７０をクラン
プ装置の駆動源として用いると、真空ポンプ及び真空を
供給するための配管やバルブ類を設ける必要がなくなる
ため、装置の構成を簡単にして、装置の小形化を図るこ
とができる。

【００８４】また上記のように、ウェハ２の外周面をク
ランプ具によりクランプするようにすると、表裏両面の
外周寄りの部分にクランプ具を当接させることが許容さ
れないウェハも問題なくクランプすることができる。

【００８５】上記の例では、クランプ駆動軸５２の変位
をウェハの径方向の変位に変換する機構として、図１３
に示したようなリンク機構を用いたが、他の変位変換機
構を用いることもできる。例えば、図１６に示すよう
に、クランプ駆動軸５２の上端にラック５２ａを形成し
て、このラックをカップリング部材１９に回転自在に支
持したピニオン９０に噛み合せ、スライド板５０の後端
部に形成した二股状部分５０ａの下面に形成したラック
５０a1，５０a1をピニオン９０に噛み合せるようにして
もよい。

【００８６】図１６に示すように、ラックとピニオンと
により変位変換機構を構成した場合には、電磁ソレノイ
ド７０を励磁してその出力軸を上方に変位させることに
より、クランプ駆動軸５２を上方に変位させたときに、
スライド板５０がウェハの外径側に変位し、クランプ具
７０３がアンクランプ位置に変位する。また電磁ソレノ
イド７０を消勢してバネ７３の付勢力によりクランプ駆
動軸５２を下方に変位させたときに、スライド板５０が
ウェハの内径側に変位してクランプ具７０３がクランプ
位置側に変位する。

【００８７】上記の例では、電磁ソレノイド７０を励磁
したときにクランプ具７０３をアンクランプ位置側に変
位させるようにしたが、電磁ソレノイド７０として励磁
されたきに出力軸７０ａが後退する形式のものを用いる
とともに、電磁ソレノイドの出力軸７０ａを前進位置に
復帰させるバネを設けて、電磁ソレノイド７０が励磁さ
れたときにクランプ具７０３をクランプ位置に変位さ
せ、電磁ソレノイド７０が消勢されたときにクランプ具
７０３をアンクランプ位置に変位させるようにしてもよ
い。この場合、ウェハ２に無理な力が加わらないように
するため、スライド軸７１を可動板５３にスライド自在
に結合して、電磁ソレノイド７０の出力軸が後退したと
きにバネ７３を介して可動板５３が下方に駆動されるよ
うにしておくのが好ましい。

【００８８】ウェハを安定に支持するためには、上記の
例のように、ウェハ保持具５に３つのウェハ支持部７Ａ
〜７Ｃを設けて、ウェハを３点支持するのが好ましい
が、本発明では、ウェハ保持具に更に多くのウェハ支持
部を設けることを妨げない。

【００８９】また上記の例では、複数個設けられるウェ
ハ支持部のうちの一つのウェハ支持部にクランプ具を設
けたが、複数のウェハ支持部にそれぞれクランプ具を設
けるようにしてもよい。

【００９０】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、少くと
も一つのウェハ支持部の径方向位置決め部をクランプ具
により構成して、ウェハ保持具を回転させる主軸の軸心
部を貫通させたクランプ駆動部材を通して電磁ソレノイ
ドの駆動力をクランプ具に伝達する構造にしたので、真
空吸引力を用いることなく、簡単な構造で、ウェハをク
ランプしたり、アンクランプしたりすることができると
いう利点が得られる。

【００９１】また本発明によれば、電磁ソレノイドをク
ランプ装置の駆動源として用いたので、真空ポンプや真
空を供給するための配管及びバルブ類を設ける必要性を
なくして、装置の構成を簡単にし、装置の小形化を図る
ことができる。

【００９２】また本発明では、ウェハの外周面をクラン
プ具によりクランプするため、表裏両面の外周寄りの部
分にクランプ具を当接させることが許容されないウェハ
も問題なくクランプすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係わるノッチ合せ装置の一実施形態の
外観を示す斜視図である。

【図２】図１のノッチ合せ装置にウェハを保持させた状
態を示す斜視図である。

【図３】図１のノッチ合せ装置に保持されたウェハを受
け取るためにロボットのハンドがノッチ合せ装置に向け
て移動する際の一過程を示した斜視図である。

【図４】ロボットのハンドを図１のノッチ合せ装置に保
持されたウェハの下に挿入した状態を示した斜視図であ
る。

【図５】（Ａ）及び（Ｂ）は、本発明の実施形態で用い
るウェハ支持部の構造を示した断面図である。

【図６】（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ図５（Ｂ）のウェ
ハ支持部の構造を示した正面図及び平面図である。

【図７】本発明の一実施形態において主軸を上昇させた
状態を示した縦断面図である。

【図８】本発明の一実施形態において主軸を下降させた
状態を示した縦断面図である。

【図９】本発明の実施形態においてウェハをアンクラン
プした状態を、図６及び図７の断面に対して９０度異な
る面で断面して示した縦断面図である。

【図１０】本発明の実施形態においてウェハをクランプ
した状態を、図７及び図８の断面に対して９０度異なる
面で断面して示した縦断面図である。

【図１１】図９の要部の拡大図である。

【図１２】図１０の要部の拡大図である。

【図１３】（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ本実施形態でク
ランプ具に連結されたスライド板とクランプ駆動軸との
間に設ける変位変換機構の正面図及び側面図である。

【図１４】本発明の実施形態で用いるクランプ駆動機構
の断面図である。

【図１５】（Ａ）は本発明の実施形態において主軸の上
限位置及び下限位置を検出するために用いる検出装置の
構成を示した正面図、（Ｂ）は本発明の実施形態におい
てクランプ具駆動装置に設ける可動板の上限位置及び下
限位置を検出するために用いる検出装置の構成を示した
要部の正面図である。

【図１６】（Ａ）及び（Ｂ）はそれぞれ本発明の実施形
態でクランプ具に連結されたスライド板とクランプ駆動
軸との間に設ける変位変換機構の変形例を示した縦断面
図及び横断面図である。

【符号の説明】

１…ウェハのノッチ合せ装置、２…ウェハ、３…ロボッ
トのハンド、４…ハウジング、５…ウェハ保持具、６…
保持具本体、６Ａ〜６Ｃ…保持具本体の腕部、７Ａ〜７
Ｃ…ウェハ支持部、Ｒ…ウェハ受部、Ｄ…径方向位置決
め部、７０３…クランプ具、９Ａ〜９Ｃ…ウェハ仮保持
具、１１…固定フレーム、３０…可動フレーム、１４…
主軸、１９…カップリング部材、２５…回転駆動機構、
３１…軸受、４５…昇降機構、５０…スライド板、５２
…クランプ駆動軸、５３…可動板、５４…軸受、６１…
変位変換機構、７０…電磁ソレノイド、７１…スライド
軸、７３…バネ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA02 FA12 HA05 HA24 HA27 HA29 HA58 HA59 JA01 JA02 JA05 JA14 JA15 JA28 JA32 JA35 KA02 KA11 KA14 LA06 LA12 LA13 LA14 LA16

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 円板状のウェハの外周部を周方向に間隔
   を隔てた複数の位置で下方から受け止めて支持する複数
   のウェハ支持部を有して垂直方向に伸びる主軸の上端に
   中心部が取り付けられたウェハ保持具と、前記ウェハ保
   持具を回転させるべく前記主軸を回転駆動する回転駆動
   機構と、前記ウェハ保持具に保持されたウェハが前記ウ
   ェハ保持具とともに回転する過程で該ウェハの外周に形
   成されたノッチを検出するノッチセンサとを備えて、前
   記ノッチセンサにより検出された前記ウェハのノッチの
   位置を基準位置に合せる動作を行うウェハのノッチ合せ
   装置において、 前記ウェハ保持具に設けられた各ウェハ支持部は、前記
   ウェハの下面側外周縁部を下方から受け止めるウェハ受
   部と該ウェハ受部により受け止められたウェハの外周面
   に接して該ウェハを径方向に位置決めする径方向位置決
   め部とを有し、 前記複数のウェハ支持部のうちの少なくとも一つに設け
   られた径方向位置決め部は、支持すべきウェハの外周面
   に当接して該ウェハをクランプした状態になるクランプ
   位置と該クランプを解除した状態になるアンクランプ位
   置との間をウェハの径方向に沿って変位し得るように設
   けられたクランプ具からなり、 電磁ソレノイドの出力軸の変位を前記主軸の軸心部を貫
   通させたクランプ駆動部材を通して前記クランプ具に伝
   達して、前記クランプ具を前記クランプ位置とアンクラ
   ンプ位置とに変位させるクランプ具駆動装置が設けられ
   ていること、 を特徴とするウェハのノッチ合せ装置。
2. 【請求項２】 円板状のウェハの外周部を下方から受け
   止めて支持する少なくとも３つのウェハ支持部を等角度
   間隔で有して垂直方向に伸びる主軸の上端に中心部が取
   り付けられたウェハ保持具と、前記ウェハ保持具を回転
   させるべく前記主軸を回転駆動する回転駆動機構と、前
   記ウェハ保持具に保持されたウェハが前記ウェハ保持具
   とともに回転する過程で該ウェハの外周に形成されたノ
   ッチを検出するノッチセンサとを備えて、前記ノッチセ
   ンサにより検出された前記ウェハのノッチの位置を基準
   位置に合せる動作を行うウェハのノッチ合せ装置におい
   て、 前記ウェハ保持具に設けられた各ウェハ支持部は、前記
   ウェハの下面側外周縁部を下方から受け止めるウェハ受
   部と該ウェハ受部により受け止められたウェハの外周面
   に接して該ウェハを径方向に位置決めする径方向位置決
   め部とを有し、 前記ウェハ保持具の少なくとも一つのウェハ支持部に設
   けられた径方向位置決め部は、支持すべきウェハの外周
   面に当接して該ウェハをクランプした状態になるクラン
   プ位置と該クランプを解除した状態になるアンクランプ
   位置との間をウェハの径方向に沿って変位し得る状態で
   前記ウェハ保持具に支持されたクランプ具からなり、 前記主軸の軸心部をスライド自在に貫通した状態で設け
   られて、前記主軸とともに回転し得るように支持された
   クランプ駆動軸と、前記クランプ駆動軸の軸線方向の変
   位を前記径方向の変位に変換して前記クランプ具に伝達
   する変位伝達機構と、直線変位を生じる出力軸を有する
   電磁ソレノイドと、前記クランプ具を前記クランプ位置
   とアンクランプ位置とに変位させるべく、電磁ソレノイ
   ドの出力軸の直線変位を前記クランプ駆動軸に伝達する
   クランプ駆動機構とを備えたクランプ具駆動装置が設け
   られていること、 を特徴とするウェハのノッチ合せ装置。
3. 【請求項３】 等角度間隔で放射状に設けられた３つの
   腕部を有する保持具本体と該保持具本体の３つの腕部の
   それぞれの先端に設けられて円板状のウェハの外周部を
   下方から受け止めて支持する３つのウェハ支持部とを有
   して、垂直方向に伸びる主軸の上端に前記保持具本体の
   中心部が取り付けられたウェハ保持具と、前記ウェハ保
   持具を回転させるべく前記主軸を回転駆動する回転駆動
   機構と、前記ウェハ保持具に保持されたウェハが前記ウ
   ェハ保持具とともに回転する過程で該ウェハの外周に形
   成されたノッチを検出するノッチセンサとを備えて、前
   記ノッチセンサにより検出された前記ウェハのノッチの
   位置を基準位置に合せる動作を行うウェハのノッチ合せ
   装置において、 前記ウェハ保持具に設けられた各ウェハ支持部は、前記
   ウェハの下面側外周縁部を下方から受け止めるウェハ受
   部と該ウェハ受部により受け止められたウェハの外周面
   に接して該ウェハを径方向に位置決めする径方向位置決
   め部とを有し、 前記ウェハ保持具の一つのウェハ支持部に設けられた径
   方向位置決め部は、支持すべきウェハの外周面に当接し
   て該ウェハをクランプするクランプ位置と該クランプを
   解除するアンクランプ位置との間を径方向に沿って変位
   可能なクランプ具からなり、 前記主軸の軸心部をスライド自在に貫通した状態で設け
   られて、前記主軸とともに回転するように支持されたク
   ランプ駆動軸と、前記主軸の軸線方向に沿った前記クラ
   ンプ駆動軸の直線変位を前記径方向の変位に変換して前
   記クランプ具に伝達する変位伝達機構と、直線変位を生
   じる出力軸を有する電磁ソレノイドと、前記クランプ具
   を前記クランプ位置とアンクランプ位置とに変位させる
   べく前記電磁ソレノイドの出力軸の直線変位を前記クラ
   ンプ駆動軸に伝達するクランプ駆動機構とを備えたクラ
   ンプ具駆動装置が設けられていること、 を特徴とするウェハのノッチ合せ装置。
4. 【請求項４】 前記変位伝達機構は、前記ウェハ保持具
   に保持されるウェハの径方向にスライドし得るように前
   記ウェハ保持具に支持されて一端が前記クランプ具に連
   結されたスライド板と、前記主軸の上端から突出した前
   記クランプ駆動軸の上端と前記スライド板の他端との間
   に設けられて前記クランプ駆動軸の直線変位を前記径方
   向の変位に変換して前記スライド板に伝達するリンク機
   構とからなっている請求項２または３に記載のウェハの
   ノッチ合せ装置。
5. 【請求項５】 前記主軸の軸線方向に沿って変位するよ
   うに前記可動フレームにスライド自在に支持されたスラ
   イド軸と、前記主軸の下端側に配置されて前記スライド
   軸に連結された可動板とが設けられて、該可動板に前記
   クランプ駆動軸の下端が軸受を介して回転自在に支持さ
   れるとともに、前記電磁ソレノイドが励磁されたときに
   前記クランプ具をアンクランプ位置側に変位させる方向
   に前記クランプ駆動軸を駆動するべく前記電磁ソレノイ
   ドの出力軸と前記スライド軸とを連結する連結部材と、
   前記電磁ソレノイドが消勢されたときに前記クランプ具
   をクランプ位置側に変位させるように前記可動板を付勢
   するバネとが設けられて、前記スライド軸と、前記可動
   板及び軸受と、前記連結部材と、前記バネとにより前記
   クランプ駆動機構が構成されていること、 を特徴とする請求項４に記載のウェハのノッチ合せ装
   置。
6. 【請求項６】 軸線を垂直方向に向けた状態で固定フレ
   ームに回転自在に支持された回転体と、 前記回転体の軸心部を貫通した状態で設けられて前記回
   転体にスプラインを介してスラスト自在に結合されると
   ともに垂直方向に変位し得るように設けられた可動フレ
   ームに軸受を介して回転自在に支持された主軸と、 等角度間隔で放射状に設けられた３つの腕部を有して前
   記主軸の上端に中心部が取り付けられた保持具本体と、
   前記保持具本体の３つの腕部のそれぞれの先端に設けら
   れたウェハ支持部とを備えていて、各ウェハ支持部が、
   円板状のウェハの下面側外周縁部を下方から受け止める
   ウェハ受部と該ウェハの外周面に接して該ウェハを径方
   向に位置決めする径方向位置決め部とを有しているウェ
   ハ保持具と、 前記ウェハ保持具を前記主軸とともに回転させるべく前
   記回転体を回転駆動する回転駆動機構と、 前記可動フレームを前記主軸とともに上下方向に駆動す
   る昇降機構と、 前記ウェハ保持具が前記主軸とともに下降したときに該
   ウェハ保持具に保持されているウェハを受け取って該ウ
   ェハの外周部を仮保持する少くとも３つのウェハ仮保持
   具と、 前記ウェハ保持具に保持されたウェハが該ウェハ保持具
   とともに回転する過程で該ウェハの外周部に形成されて
   いるノッチを検出するノッチセンサと、 を具備し、 前記ウェハ保持具の一つのウェハ支持部に設けられた径
   方向位置決め部は、支持すべきウェハの外周面に当接し
   て該ウェハをクランプするクランプ位置と該クランプを
   解除するアンクランプ位置との間を径方向に沿って変位
   可能な状態で前記保持具本体に支持されたクランプ具か
   らなり、 前記主軸の軸心部をスライド自在に貫通した状態で設け
   られて、前記主軸にスプラインを介して結合されたクラ
   ンプ駆動軸と、前記クランプ駆動軸のスラスト方向の直
   線変位を前記径方向の変位に変換して前記クランプ具に
   伝達する変位伝達機構と、直線変位を生じる出力軸を備
   えた電磁ソレノイドと、前記クランプ具を前記クランプ
   位置とアンクランプ位置とに変位させるべく前記電磁ソ
   レノイドの出力軸の直線変位を前記クランプ駆動軸に伝
   達するクランプ駆動機構とを備えたクランプ具駆動装置
   が更に設けられていること、 を特徴とするウェハのノッチ合せ装置。
7. 【請求項７】 前記変位伝達機構は、前記ウェハ保持具
   に保持されるウェハの径方向にスライドし得るように前
   記保持具本体に支持されて一端が前記クランプ具に連結
   されたスライド板と、前記主軸の上端から突出した前記
   クランプ駆動軸の上端と前記スライド板の他端との間に
   設けられて前記クランプ駆動部材の直線変位を前記径方
   向の変位に変換して前記スライド板に伝達するリンク機
   構とからなっている請求項６に記載のウェハのノッチ合
   せ装置。
8. 【請求項８】 前記主軸の軸線方向に沿って変位するよ
   うに前記可動フレームにスライド自在に支持されたスラ
   イド軸と、前記主軸の下端側に配置されて前記スライド
   軸に連結された可動板とが設けられて、該可動板に前記
   クランプ駆動軸の下端が軸受を介して回転自在に支持さ
   れるとともに、前記電磁ソレノイドが励磁されたときに
   前記クランプ具をアンクランプ位置側に変位させる方向
   に前記クランプ駆動軸を駆動するべく前記電磁ソレノイ
   ドの出力軸と前記スライド軸とを連結する連結部材と、
   前記電磁ソレノイドが消勢されたときに前記クランプ具
   をクランプ位置側に変位させるように前記可動板を付勢
   するバネとが設けられて、 前記スライド軸と、前記可動板及び軸受と、前記連結部
   材と、前記バネとにより前記クランプ駆動機構が構成さ
   れていること、 を特徴とする請求項６または７に記載のウェハのノッチ
   合せ装置。