JP5968150B2 - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Description
本実施形態に係るウエーハの加工方法(以下、単に加工方法と呼ぶ)を、図1から図5に基づいて説明する。図1は、実施形態に係るウエーハの加工方法の加工対象としてのウエーハを示す斜視図である。図2は、実施形態に係るウエーハの加工方法の検査用改質層形成工程の概要を示す側断面図である。図3(a)は、実施形態に係るウエーハの加工方法の検査用改質層形成工程後のウエーハの斜視図であり、図3(b)は、図3(a)中のIIIb部を拡大して示す斜視図である。図4は、実施形態に係るウエーハの加工方法の検査工程で得られた画像の概要を示す説明図である。図5(a)は、実施形態に係るウエーハの加工方法の改質層形成工程後のウエーハの斜視図であり、図5(b)は、図5(a)中のVb部を拡大して示す斜視図である。
3 撮像手段
D デバイス
K 改質層
L レーザー光線
R 剥離領域
S 分割予定ライン
W ウエーハ
WA 一つのウエーハ
WB 他のウエーハ
WS 表面
WR 裏面
Claims (1)
- 表面に格子状に形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域にデバイスを有する複数のウエーハそれぞれを該分割予定ラインに沿って分割するウエーハの加工方法であって、
表面側を保持手段で保持し、該複数のウエーハのうちの一つのウエーハの裏面からウエーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線を該分割予定ラインに沿って照射して、該分割予定ラインに沿って該一つのウエーハの内部に改質層を形成する検査用改質層形成工程と、
該検査用改質層形成工程において改質層を形成した該一つのウエーハの表面を検査手段によって該分割予定ラインに沿って観察し、該レーザー光線の漏れ光によって反応し表面膜が剥離した剥離領域を検出しX,Y座標値を記憶し、該剥離領域のマッピングデータを取得する検査工程と、
検査工程の後に、表面側を保持手段で保持し、該複数のウエーハのうちの他のウエーハの裏面からウエーハに対して透過性を有する波長のレーザー光線を、該マッピングデータをもとに該剥離領域では停止又は出力を変更させつつ該分割予定ラインに沿って照射して、該分割予定ラインに沿って少なくとも該剥離領域以外の該他のウエーハの内部に改質層を形成する改質層形成工程と、
該改質層が形成された該他のウエーハに外力を付与し、該他のウエーハを該分割予定ラインに沿って分割する分割工程と、
を備えるウエーハの加工方法。
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