JP2017084923A - ウェーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ウェーハ11の裏面11bを研削して第1の厚さに薄化する第1研削ステップと、ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザービームLBの集光点をウェーハ内部に位置付けてウェーハの裏面側から分割予定ライン13に沿ってレーザービームを照射し、ウェーハ内部に改質層19を形成する改質層形成ステップと、ウェーハの裏面を研削してウェーハを第2の厚さに薄化すると共にウェーハを個々のデバイス15に分割する第2研削ステップと、を備える。改質層形成ステップは、分割予定ラインに沿ってウェーハの厚さ方向に重なる複数の改質層を形成し、改質層から表面11a及び裏面に伸展する亀裂21で改質層部分の膨張に起因するウェーハの反りを抑制する反り抑制ステップを含む。
【選択図】図3
Description
11 半導体ウェーハ
12 研削ユニット
13 分割予定ライン
15 デバイス
17 保護部材
19 改質層
20 研削ホイール
21 亀裂
23 デバイスチップ
24 研削砥石
26 チャックテーブル
28 レーザービーム照射ユニット
30 集光器
Claims (2)
- 表面に設定された交差する複数の分割予定ラインに区画された各領域にそれぞれデバイスが形成され、平行に隣接する分割予定ラインの間隔が3mm以下に設定されたウェーハの加工方法であって、
ウェーハの表面に保護部材を貼着する保護部材貼着ステップと、
該保護部材貼着ステップを実施した後、ウェーハの裏面を研削してウェーハを第1の厚さに薄化する第1研削ステップと、
該第1研削ステップを実施した後、ウェーハに対して透過性を有する波長のレーザービームの集光点をウェーハ内部に位置付けてウェーハの裏面側から該分割予定ラインに沿って該レーザービームを照射し、ウェーハ内部に改質層を形成する改質層形成ステップと、
該改質層形成ステップを実施した後、ウェーハの裏面を研削してウェーハを第2の厚さに薄化すると共にウェーハを個々のデバイスチップに分割する第2研削ステップと、を備え、
該改質層形成ステップは、該分割予定ラインに沿ってウェーハの厚さ方向に重なる複数の改質層を形成し、該改質層から表面及び裏面に伸展する亀裂で改質層部分の膨張に起因するウェーハの反りを抑制する反り抑制ステップを含むことを特徴とするウェーハの加工方法。 - 該反り抑制ステップは、一部又は全ての該分割予定ラインで実施する請求項1記載のウェーハの加工方法。
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