JP5957220B2 - 板状ワークの割れ判断方法 - Google Patents
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Description
W1:表面 D:デバイス S:ストリート
W2:裏面
T:保護テープ T1:基材 T2:粘着剤
30:対応痕 31:割れ
5:剥離用テープ 50:基材 51:粘着層
60、61:印
1:研削装置
3a:第一の研削手段 3b:第二の研削手段
10a、10b:カセット載置領域
100a、100b:ウェーハカセット
11:搬出入手段 12:位置合わせテーブル
13a:第一の搬送手段 13b:第二の搬送手段
14a、14b、14c:保持手段 140:保持部
15:ターンテーブル 16:壁部
17:第一の研削送り手段
170:ガイドレール 171:ボールネジ 172:モータ 173:昇降部
18:第二の研削送り手段
180:ガイドレール 181:ボールネジ 182:モータ 183:昇降部
3a:第一の研削手段 3b:第二の研削手段
190、191:スピンドルハウジング
200、201:スピンドル 200a、201a:モータ
210、211:ホイールマウント
230、231:研削ホイール 230a、231a:砥石
25:洗浄手段
Claims (4)
- 板状ワークの一方の面に貼り付けられた保護テープを保持する保持手段と、該保持手段に保持された板状ワークの他方の面を研削する研削手段と、から少なくとも構成される研削装置を用い、
該研削装置で研削された板状ワークに貼り付けられた該保護テープに剥離用テープを貼り付ける剥離用テープ貼付け工程と、
該剥離用テープとともに該保護テープを該板状ワークから剥離する保護テープ剥離工程と、
を少なくとも遂行し、
該板状ワークに貼り付けられていた該保護テープの粘着剤に転写される凹凸形状によって、該板状ワークが割れた原因を判断するワーク割れ判断方法。 - 前記剥離用テープに印を付けて、前記板状ワークと該板状ワークから剥離した前記保護テープとの対応関係を管理することにより、該板状ワークが割れた原因を究明する請求項1に記載のワーク割れ判断方法。
- 前記保護テープに印を付けて、前記板状ワークと該板状ワークから剥離させた該保護テープとの関係を管理することにより、該板状ワークが割れた原因を究明する請求項1に記載のワーク割れ判断方法。
- 前記板状ワークから剥離した前記保護テープを剥離した順に重ねて置くことで、該板状ワークと該板状ワークから剥離した該保護テープとの関係を管理することにより、該板状ワークが割れた原因を究明する請求項1に記載のワーク割れ判断方法。
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