JP6813084B2 - 弾性波装置の製造方法 - Google Patents
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Description
第1の内側バスバー及び第2の内側バスバーの幅:0.85μm
第1の電極指及び第2の電極指の幅(幅広部以外):1μm
第1の電極指の幅広部及び第2の電極指の幅広部の幅:1.4μm
第1の電極指の幅広部及び第2の電極指の幅広部の長さ:1μm
波長:4μm
交叉幅:40μm
第1の電極指及び第2の電極指の対数:150対
2…圧電基板
3…IDT電極
3a〜3e…第1〜第5の金属層
4a…第1の内側バスバー
4b…第1の電極指
4c…第1の接続電極
5a…第2の内側バスバー
5b…第2の電極指
5c…第2の接続電極
6,7…第1,第2の外側バスバー
8,9…第1,第2の開口部
13a,13b…反射器
14,15…第1,第2のバスバー
16,17…幅広部
18,19…第1,第2の誘電体膜
22…レジストパターン
23…金属膜
33…IDT電極
34,35…第1,第2のバスバー
34c,35c…第3,第4の接続電極
38,39…第3,第4の開口部
44,45…第1,第2のバスバー
44b,45b…第1,第2の電極指
44c,45c…第1,第2の接続電極
48,49…第1,第2の開口部
51…弾性波装置
52…縦結合共振子型弾性波フィルタ
53A〜53C…第1〜第3のIDT電極
56A〜56C…第1の外側バスバー
57A〜57C…第2の外側バスバー
58…配線電極
59a…入力端子
59b…出力端子
59c…グラウンド端子
61…弾性波装置
62A〜62C…第1〜第3の弾性波共振子
68…配線電極
104c,105c…第1,第2の接続電極
114c,115c…第1,第2の接続電極
118,119…第1,第2の開口部
124c,125c…第3,第4の接続電極
134,135…第1,第2のバスバー
134c,135c…第1,第2の電極
Claims (8)
- 互いに対向し合う第1のバスバー及び第2のバスバーと、前記第1のバスバーに一端が接続されている複数の第1の電極指と、前記第2のバスバーに一端が接続されており、かつ前記複数の第1の電極指と互いに間挿し合っている複数の第2の電極指と、を含むIDT電極を有する弾性波装置の製造方法であって、
圧電基板を用意する工程と、
前記圧電基板上に、第1の内側バスバーと、前記第1の内側バスバーに一端が接続されている前記複数の第1の電極指と、前記第1の内側バスバーに対向する第2の内側バスバーと、前記第2の内側バスバーに一端が接続されている前記複数の第2の電極指と、前記第1の内側バスバーの前記複数の第1の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第1の接続電極と、前記第2の内側バスバーの前記複数の第2の電極指が接続されている側とは反対側に一端が接続されている複数の第2の接続電極と、をリフトオフ法により形成する工程と、
前記複数の第1の接続電極の一部を覆うように、前記圧電基板上に第1の外側バスバーを形成することにより、前記第1の外側バスバー、前記複数の第1の接続電極及び前記第1の内側バスバーにより囲まれた複数の第1の開口部を有する前記第1のバスバーを形成する工程と、
前記複数の第2の接続電極の一部を覆うように、前記圧電基板上に第2の外側バスバーを形成することにより、前記第2の外側バスバー、前記複数の第2の接続電極及び前記第2の内側バスバーにより囲まれた複数の第2の開口部を有する前記第2のバスバーを形成する工程と、
を備え、
前記第1の接続電極を形成する工程において、前記圧電基板上に、前記第1の接続電極の、前記第1の内側バスバーに接続されている側とは反対側の端部に接続されている、前記第1の接続電極が延びる方向に交叉する方向に延びる第3の接続電極を形成する、弾性波装置の製造方法。 - 前記第1の接続電極及び前記第3の接続電極を形成する工程において、複数の前記第3の接続電極を、互いにギャップを隔てて形成する、請求項1に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第1の接続電極及び前記第3の接続電極を形成する工程において、前記第3の接続電極、前記複数の第1の接続電極及び前記第1の内側バスバーにより囲まれた複数の第3の開口部を形成するように、かつ前記第3の開口部の前記第1の接続電極が延びる方向に沿う寸法が、前記第1の開口部の前記第1の接続電極が延びる方向に沿う寸法より長くなるように、前記第3の接続電極を形成する、請求項1に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第1の接続電極及び前記第2の接続電極が、前記第1の電極指及び前記第2の電極指が延びる方向と平行な方向に延びている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 前記第1の接続電極及び前記第2の接続電極が、前記第1の電極指及び前記第2の電極指が延びる方向と交叉する方向に延びている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。
- 弾性波伝搬方向を第1の方向とし、前記第1の電極指及び前記第2の電極指が延びる方向を第2の方向としたときに、前記IDT電極が、前記第1の電極指と前記第2の電極指とが前記第1の方向において重なり合っている部分である交叉領域を有し、
前記交叉領域が、前記第2の方向中央側に位置している中央領域と、前記中央領域の前記第2の方向両側に配置されている第1のエッジ領域及び第2のエッジ領域と、を有し、
前記第1のエッジ領域が前記第1の内側バスバー側に位置しており、前記第2のエッジ領域が前記第2の内側バスバー側に位置しており、
前記第1のエッジ領域及び前記第2のエッジ領域における音速が、前記中央領域における音速よりも低い、請求項1〜5のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。 - 前記圧電基板上に、前記第1の外側バスバーに接続するように配線電極を形成する工程をさらに備え、
前記配線電極を形成する工程を、前記第1の外側バスバーを形成する工程と同時に行う、請求項1〜6のいずれか1項に記載の弾性波装置の製造方法。 - 前記圧電基板上に、前記配線電極に接続するように端子を形成する工程をさらに備え、
前記端子を形成する工程を、前記第1の外側バスバー及び前記配線電極を形成する工程と同時に行う、請求項7に記載の弾性波装置の製造方法。
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