JPH0946163A - 弾性表面波フイルタ - Google Patents
弾性表面波フイルタInfo
- Publication number
- JPH0946163A JPH0946163A JP7214094A JP21409495A JPH0946163A JP H0946163 A JPH0946163 A JP H0946163A JP 7214094 A JP7214094 A JP 7214094A JP 21409495 A JP21409495 A JP 21409495A JP H0946163 A JPH0946163 A JP H0946163A
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- Japan
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- electrode
- comb
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- surface acoustic
- acoustic wave
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- Pending
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- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明の目的は、弾性表面波フイルタの特性
改善のため櫛形電極を変更した場合に生ずる導波路内に
起こる伝送時間の差を補正するための補正電極が必要に
なるが、この補正電極を省略することである。 【構成】 櫛形電極の交差部での電極の対策は行わない
で、交差部以外の場所での電極の対策を実施して、交差
部内のでの伝搬速度の均一性が保たれるようにして、伝
搬速度を補正する必要を無くして目的を達成した。
改善のため櫛形電極を変更した場合に生ずる導波路内に
起こる伝送時間の差を補正するための補正電極が必要に
なるが、この補正電極を省略することである。 【構成】 櫛形電極の交差部での電極の対策は行わない
で、交差部以外の場所での電極の対策を実施して、交差
部内のでの伝搬速度の均一性が保たれるようにして、伝
搬速度を補正する必要を無くして目的を達成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】弾性表面波フイルタの性能向上の
技術に関する。
技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般的に、図３の如く櫛形電極が相対し
た２つのバスバーから一定間隔で延びて相互に交差し合
った状態に配置されていた。この相互に交差した櫛形電
極の交差した部分が弾性表面波の導波路となる。この櫛
形電極の先端が四角になっていると、交差部内の電界強
度の分布が平坦にならずグラフに示すように、櫛形電極
の先端部付近で強くなると言う不具合な特性を示す。こ
れ等を改善するために、既に実公平２−１５３９０公報
や特開平７−１５２７２公報等がある。
た２つのバスバーから一定間隔で延びて相互に交差し合
った状態に配置されていた。この相互に交差した櫛形電
極の交差した部分が弾性表面波の導波路となる。この櫛
形電極の先端が四角になっていると、交差部内の電界強
度の分布が平坦にならずグラフに示すように、櫛形電極
の先端部付近で強くなると言う不具合な特性を示す。こ
れ等を改善するために、既に実公平２−１５３９０公報
や特開平７−１５２７２公報等がある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】一般的に従来技術の対
策は何れも、交差部内に於ける電極に対策を講じて特性
の改善を図っていたが、交差部内で電極の対策（電極の
幅，長さ，形状等）を行うと、交差部内での伝搬速度に
不均一を生じる。伝搬速度の不均一を生ずる原因は、導
体が有る場所と導体の無い場所では伝搬速度が異なるた
めに、一定区間内の伝搬経路の導体の有る部分と、導体
の無い部分の比率が導波路内のどの伝搬経路でも同じに
なるよう補正するために、伝搬経路の中で導体の多い部
分と同じになるように、伝搬経路の中で導体の少ない部
分に補正金属を取り付けて補正をおこなわなければなら
ないと言う課題があった。
策は何れも、交差部内に於ける電極に対策を講じて特性
の改善を図っていたが、交差部内で電極の対策（電極の
幅，長さ，形状等）を行うと、交差部内での伝搬速度に
不均一を生じる。伝搬速度の不均一を生ずる原因は、導
体が有る場所と導体の無い場所では伝搬速度が異なるた
めに、一定区間内の伝搬経路の導体の有る部分と、導体
の無い部分の比率が導波路内のどの伝搬経路でも同じに
なるよう補正するために、伝搬経路の中で導体の多い部
分と同じになるように、伝搬経路の中で導体の少ない部
分に補正金属を取り付けて補正をおこなわなければなら
ないと言う課題があった。
【０００４】
【課題を解決する手段】課題を解決するために、櫛形電
極の交差部での電極の対策は行わないで、交差部以外の
場所での電極の対策を実施して、交差部内での伝搬速度
の均一性が保たれるようにして、伝搬速度を補正する必
要を無くして課題を解決した。
極の交差部での電極の対策は行わないで、交差部以外の
場所での電極の対策を実施して、交差部内での伝搬速度
の均一性が保たれるようにして、伝搬速度を補正する必
要を無くして課題を解決した。
【０００５】
【実施例】図１に本発明による櫛形電極配置の実施例を
示す。圧電基板１の上に櫛形電極２とバスバー３櫛形電
極４を形成している。なお、←印は表面波の進行方向を
表す。電極の幅及び間隔長は、それぞれλ／４である。
（λは弾性表面波の波長を示す） 櫛形電極は表面波の伝搬方向に多数対並んでいる正規型
であるが、説明を容易にするために図１ではλ／４正規
型櫛形電極の１対を抜き出して説明する。
示す。圧電基板１の上に櫛形電極２とバスバー３櫛形電
極４を形成している。なお、←印は表面波の進行方向を
表す。電極の幅及び間隔長は、それぞれλ／４である。
（λは弾性表面波の波長を示す） 櫛形電極は表面波の伝搬方向に多数対並んでいる正規型
であるが、説明を容易にするために図１ではλ／４正規
型櫛形電極の１対を抜き出して説明する。
【０００６】２つのバスバー３から櫛形電極４が相互に
一定間隔で延び出し相互に交差し合う状態に配置されて
いる。この櫛形電極２の先端に、電極の延長方向に（実
施例では３個で記載した）浮電極４を配置する。浮電極
４の幅は電極の幅に同一で、櫛形電極やダミー電極と浮
電極４の間隔は使用周波長λの１／１０より小さくす
る。
一定間隔で延び出し相互に交差し合う状態に配置されて
いる。この櫛形電極２の先端に、電極の延長方向に（実
施例では３個で記載した）浮電極４を配置する。浮電極
４の幅は電極の幅に同一で、櫛形電極やダミー電極と浮
電極４の間隔は使用周波長λの１／１０より小さくす
る。
【０００７】図２は、図１の櫛形電極構造の場合の電界
強度の特性を示す。図３の従来技術の電界強度の特性と
比較すると、電極先端の効果が抑圧されて平坦な電界強
度の特性になっていることが解る。
強度の特性を示す。図３の従来技術の電界強度の特性と
比較すると、電極先端の効果が抑圧されて平坦な電界強
度の特性になっていることが解る。
【０００８】図４に電極に重み付けを行ったアポタイズ
型について、本発明の技術を適用した実施例を示す。電
極の幅及び間隔長は、λ／４である。各櫛形電極の先端
に浮電極４を設けている。浮電極４の先に、対向するバ
スバー迄存在する電極はダミー電極５である。アポタイ
ズ型の場合の導波路は、図４に示すように一番交差の深
い電極の先端の内側である。従って交差の浅い電極の先
端は導波路内に有ることになる。
型について、本発明の技術を適用した実施例を示す。電
極の幅及び間隔長は、λ／４である。各櫛形電極の先端
に浮電極４を設けている。浮電極４の先に、対向するバ
スバー迄存在する電極はダミー電極５である。アポタイ
ズ型の場合の導波路は、図４に示すように一番交差の深
い電極の先端の内側である。従って交差の浅い電極の先
端は導波路内に有ることになる。
【０００９】ここで浮電極の構造に注目する。浮電極の
間のギャップＧは、導波路を通る弾性表面波の波長λの
１／１０より小さく選ばれている。即ち、Ｇ＜λ／１０
で表される。このように、波長に対して充分小さいスリ
ットは、導波路を通る弾性表面波の伝搬速度には影響を
殆ど与えない。また、櫛形電極２の交差が浅く浮電極の
先端が導波路に有る場合でも、浮電極４の先にダミー電
極５が設けられているので、やはり導波路を通る弾性表
面波の伝搬速度には影響を与えない。
間のギャップＧは、導波路を通る弾性表面波の波長λの
１／１０より小さく選ばれている。即ち、Ｇ＜λ／１０
で表される。このように、波長に対して充分小さいスリ
ットは、導波路を通る弾性表面波の伝搬速度には影響を
殆ど与えない。また、櫛形電極２の交差が浅く浮電極の
先端が導波路に有る場合でも、浮電極４の先にダミー電
極５が設けられているので、やはり導波路を通る弾性表
面波の伝搬速度には影響を与えない。
【００１０】図５にλ／８正規型の櫛形電極の実施例を
示す。図１に対比して基本的な一組を抜き出して示し
た。基本的にはλ／４に同じであるが、櫛形電極の幅及
び電極間長がλ／８である櫛形電極が一対ごとに交差し
ている構造である。図には示さないがアポタイズ型につ
いても、λ／４アポタイズ型に同じであが、櫛形電極の
幅及び電極間長がλ／８である櫛形電極が一対ごとに交
差している構造の櫛形電極の交差部の隣接する電極の長
さ異なる構造である。これらの各櫛形電極の先端部に、
電極の延長方向に（実施例では３個で記載した）浮電極
４を配置する。浮電極４の幅は電極の幅に同一で、櫛形
電極やダミー電極と浮電極４の間隔は使用周波長λの１
／１０より小さくする。
示す。図１に対比して基本的な一組を抜き出して示し
た。基本的にはλ／４に同じであるが、櫛形電極の幅及
び電極間長がλ／８である櫛形電極が一対ごとに交差し
ている構造である。図には示さないがアポタイズ型につ
いても、λ／４アポタイズ型に同じであが、櫛形電極の
幅及び電極間長がλ／８である櫛形電極が一対ごとに交
差している構造の櫛形電極の交差部の隣接する電極の長
さ異なる構造である。これらの各櫛形電極の先端部に、
電極の延長方向に（実施例では３個で記載した）浮電極
４を配置する。浮電極４の幅は電極の幅に同一で、櫛形
電極やダミー電極と浮電極４の間隔は使用周波長λの１
／１０より小さくする。
【００１１】図６に浮電極の他の実施例を示す。三角形
の底辺を電極の幅として、高さを底辺の１．５倍以下と
して、底辺を電極の先端に向かい合わせるように配置す
る。ダミー電極は、浮電極の三角形に合わせて逆三角形
の切り込みを入れる。各々のスリットは、λ／１０以下
のギャップとすることも前記浮電極と同じである。この
浮電極は、λ／４の正規型、アポタイズ型またはλ／８
の正規型、アポタイズ型の何れにも適用できる。
の底辺を電極の幅として、高さを底辺の１．５倍以下と
して、底辺を電極の先端に向かい合わせるように配置す
る。ダミー電極は、浮電極の三角形に合わせて逆三角形
の切り込みを入れる。各々のスリットは、λ／１０以下
のギャップとすることも前記浮電極と同じである。この
浮電極は、λ／４の正規型、アポタイズ型またはλ／８
の正規型、アポタイズ型の何れにも適用できる。
【００１２】基板の材質は、水晶、タンタル酸リチウ
ム、ニオブ酸リチウム等弾性表面波に使用できる材質に
は、全て適用できる。
ム、ニオブ酸リチウム等弾性表面波に使用できる材質に
は、全て適用できる。
【００１３】
【発明の効果】本発明によりλ／４の正規型、アポタイ
ズ型、またはλ／８の正規型、アポタイズ型の弾性表面
波フイルタについて、櫛形電極の交差部に於ける電界強
度の特性を平坦に改善するのに、伝搬速度の補正電極を
省略出来たので、小型化、高性能化が図られただけでな
く、生産性と信頼性が向上しコストダウンも実現でき
た。
ズ型、またはλ／８の正規型、アポタイズ型の弾性表面
波フイルタについて、櫛形電極の交差部に於ける電界強
度の特性を平坦に改善するのに、伝搬速度の補正電極を
省略出来たので、小型化、高性能化が図られただけでな
く、生産性と信頼性が向上しコストダウンも実現でき
た。
【図１】本発明の実施例を示すパターン図である。
【図２】本発明の実施例を示す電界強度のグラフであ
る。
る。
【図３】従来技術の実施例を示す電界強度のグラフであ
る。
る。
【図４】本発明の実施例を示すλ／４アポタイズ型のパ
ターン図である。
ターン図である。
【図５】本発明の実施例を示すλ／８正規型のパターン
図である。
図である。
【図６】本発明の実施例を示す浮電極のパターン図であ
る。
る。
１ 基板 ２ 櫛形電極 ３ バスバー ４ 浮電極 ５ ダミー電極
Claims (4)
- 【請求項１】 基板上に２つのバスバーから延びた櫛形
電極の幅及び電極間長がλ／４である櫛形電極が相互に
交差している構造の弾性表面波フイルタにおいて、該櫛
形電極の延びる方向の先端に浮電極を具備することを特
徴とする弾性表面波フイルタ。 - 【請求項２】 基板上に２つのバスバーから延びた櫛形
電極の幅がλ／４である櫛形電極が相互に交差している
構造の該櫛形電極の交差部の隣接する電極の長さが全て
の櫛形電極において異なる構造の弾性表面波フイルタに
おいて、該櫛形電極の延びる方向の先端に浮電極を具備
することを特徴とする弾性表面波フイルタ。 - 【請求項３】 基板上に２つのバスバーから延びた櫛形
電極の幅及び電極間長がλ／８である櫛形電極が一対ご
とに交差している構造の弾性表面波フイルタにおいて、
該櫛形電極の延びる方向の先端に浮電極を具備すること
を特徴とする弾性表面波フイルタ。 - 【請求項４】 基板上に２つのバスバーから延びた櫛形
電極の幅及び電極間長がλ／８である櫛形電極が一対ご
とに交差している構造の該櫛形電極の交差部の隣接する
電極の長さが異なる構造の弾性表面波フイルタにおい
て、該櫛形電極の延びる方向の先端に浮電極を具備する
ことを特徴とする弾性表面波フイルタ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7214094A JPH0946163A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | 弾性表面波フイルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7214094A JPH0946163A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | 弾性表面波フイルタ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0946163A true JPH0946163A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16650134
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7214094A Pending JPH0946163A (ja) | 1995-07-31 | 1995-07-31 | 弾性表面波フイルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0946163A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004328196A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス |
| JP2010268474A (ja) * | 2005-01-21 | 2010-11-25 | Chiba Univ | 弾性表面波装置 |
| JP2014502809A (ja) * | 2010-12-22 | 2014-02-03 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電子音響共振器 |
| WO2023156107A1 (en) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 | Rf360 Singapore Pte. Ltd. | Surface-acoustic-wave (saw) filter with an electrical conductor having a floating potential |
-
1995
- 1995-07-31 JP JP7214094A patent/JPH0946163A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004328196A (ja) * | 2003-04-23 | 2004-11-18 | Fujitsu Media Device Kk | 弾性表面波デバイス |
| JP2010268474A (ja) * | 2005-01-21 | 2010-11-25 | Chiba Univ | 弾性表面波装置 |
| JP2014502809A (ja) * | 2010-12-22 | 2014-02-03 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | 電子音響共振器 |
| WO2023156107A1 (en) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 | Rf360 Singapore Pte. Ltd. | Surface-acoustic-wave (saw) filter with an electrical conductor having a floating potential |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040706 |