JP5791262B2 - 高純度n−メチル−2−ピロリドンの製造方法 - Google Patents

高純度n−メチル−2−ピロリドンの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5791262B2
JP5791262B2 JP2010255166A JP2010255166A JP5791262B2 JP 5791262 B2 JP5791262 B2 JP 5791262B2 JP 2010255166 A JP2010255166 A JP 2010255166A JP 2010255166 A JP2010255166 A JP 2010255166A JP 5791262 B2 JP5791262 B2 JP 5791262B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pyrrolidone
methyl
purity
membrane filtration
composite membrane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010255166A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012062301A (ja
Inventor
家▲栄▼ ▲譫▼
家▲栄▼ ▲譫▼
惠萍 茅
惠萍 茅
哲▲瑜▼ 沈
哲▲瑜▼ 沈
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shanghai Chemical Reagent Research Institute SCRRI
Original Assignee
Shanghai Chemical Reagent Research Institute SCRRI
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shanghai Chemical Reagent Research Institute SCRRI filed Critical Shanghai Chemical Reagent Research Institute SCRRI
Publication of JP2012062301A publication Critical patent/JP2012062301A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5791262B2 publication Critical patent/JP5791262B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C07ORGANIC CHEMISTRY
    • C07DHETEROCYCLIC COMPOUNDS
    • C07D207/00Heterocyclic compounds containing five-membered rings not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom
    • C07D207/02Heterocyclic compounds containing five-membered rings not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom with only hydrogen or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom
    • C07D207/18Heterocyclic compounds containing five-membered rings not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom with only hydrogen or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom having one double bond between ring members or between a ring member and a non-ring member
    • C07D207/22Heterocyclic compounds containing five-membered rings not condensed with other rings, with one nitrogen atom as the only ring hetero atom with only hydrogen or carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom having one double bond between ring members or between a ring member and a non-ring member with hetero atoms or with carbon atoms having three bonds to hetero atoms with at the most one bond to halogen, e.g. ester or nitrile radicals, directly attached to ring carbon atoms
    • C07D207/24Oxygen or sulfur atoms
    • C07D207/262-Pyrrolidones
    • C07D207/2632-Pyrrolidones with only hydrogen atoms or radicals containing only hydrogen and carbon atoms directly attached to other ring carbon atoms
    • C07D207/2672-Pyrrolidones with only hydrogen atoms or radicals containing only hydrogen and carbon atoms directly attached to other ring carbon atoms with only hydrogen atoms or radicals containing only hydrogen and carbon atoms directly attached to the ring nitrogen atom

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
  • Pyrrole Compounds (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)

Description

本発明は高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法に係り、具体的にSEMI C8標準に適合する高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法に係る。
N−メチル−2−ピロリドン(N−methylpyrrolidone、NMPと略称する)は含窒素複素環化合物に属し、重要な工業用化学材料であり、石油化工、農薬、医薬、電子材料などの分野に広範に応用されており、そのうち、電子工業用N−メチル−2−ピロリドンはマイクロ電子工業、半導体業界において、精密機器または配線板の洗浄剤、フォトレジスト剥離液、LCD液晶材料生産用溶剤、及びリチウム電池の電極補助材料などに用いられることができ、その純度及び清浄度が電子製品の製品率、電気性能及び信頼性に対してともに重要な影響を与える。近年来、IT産業の急速な発展にともない、特に集積回路のサイズがコンパクトになり、処理速度が高速化され、高純度N−メチル−2−ピロリドンなどの電子工業用化学品の純度に対する要求が高まっている。
従来技術において、N−メチル−2−ピロリドンはγ−ブチロラクトンを原料としてメチルアミンとアミノリシス反応を行い、N−メチル−4−ヒドロキシブチルアミドを生成し、昇温・加圧・脱水プロセスを通して得る。これはN−メチル−2−ピロリドンの現在唯一の工業製造方法であり、米国GAF、ドイツBASF及び日本三菱化成などの会社の量産にはともに該方法を採用している。次の精製プロセスにおいて、NMPの沸点と原料γ−ブチロラクトンの沸点との差がわずか2℃であるため、精留の方法によって2つを分離するのは非常に難しく、通常に多段精留の方法を用いて高純度の電子工業用試薬を製造している。
米国特許US4965370 欧州特許EP346086A2 日本特許JP06−279401A 日本特許JP08−109167A
米国特許US4965370、欧州特許EP346086A2の方法はNMP(反応体系)にアルカリ金属またはアルカリ金属塩を加えて不純金属イオンを除去し、さらにステップごとに精留を行うことによって高純度NMPを得る。日本特許JP06−279401A及びJP08−109167Aはともに複数回の精留のプロセスによって高純度NMPを得るが、これらの方法はコストが高く、エネルギーの消耗が大きく、プロセスの制御が難しく、危険性が高いため、量産には相応しくない。
本発明が解決する技術課題は、高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法を提供することによって、従来技術方法における複雑な製造プロセスやプロセス制御が困難であるなどの欠点を克服する。
本発明の技術構想は、
本発明は工業用N−メチル−2−ピロリドンを原料とし、事前処理、4A分子篩で吸着・脱水を行った後、それぞれ孔径0.1〜0.2μmの錯化剤複合膜によって2回の膜ろ過を行い、ろ液を減圧精留し、得られた留分を凝縮させた後錯化剤複合微多孔膜によって3パス膜ろ過を行い、所望の生成物を得る。
そのうち、前記錯化剤は金属イオンと錯体イオンを形成できる化合物を指す。
本発明の技術案は、
メチルアミンガスを工業用N−メチル−2−ピロリドンに注入し、20〜40℃下で0.5〜1.5h反応させ、5〜7L/minの流速で4A分子篩吸着塔を通して脱水を行い、ろ過して得られた事前処理液を孔径0.1〜0.2μmの複合膜によって2回の膜ろ過を行い、得られたろ液を20〜80KPa下で減圧精留を行い、精留塔の塔頂から80〜120℃の留分を収集し、得られた留分を凝縮させた後微多孔膜によって3パス膜ろ過を行うことによって所望の生成物を得る。
本発明において、メチルアミンと工業用N−メチル−2−ピロリドンとの質量比が2〜8:1で、好ましくは3〜7:1で、脱水プロセスの温度が20〜40℃に制御される。
本発明における前記精留プロセスは、精留塔の2/3処の軽質留分排出口において、3〜5L/minの流量で軽質留分を排出し、精留塔の塔頂から80〜120℃のN−メチル−2−ピロリドン留分を収集し、留分を冷却して所望の生成物を得る。
本発明において、前記の、事前処理液に対して2回の膜ろ過を行うことに採用されるのは錯化剤複合膜で、好ましくは、1回目の膜ろ過にはβ−シクロデキストリン複合膜が採用され、2回目の膜ろ過には18−クラウン−6複合膜が採用される。
本発明において、前記3パス膜ろ過は18−クラウン−6複合膜を用いて膜ろ過を行う。
前記β−シクロデキストリン複合膜または18−クラウン−6複合膜などの錯化剤複合膜が以下の方法によって製造されることができる。
固相担体カオリンを200〜300メッシュの微粒子に研磨し、粘着剤ポリビニルアルコールと均一に混合し、低温乾燥を行い、800〜900℃の温度下で焼結し、室温まで冷却させ、錯化剤β−シクロデキストリンまたは18−クラウン−6によって浸漬・吸着し、錯化剤と固相担体カオリンとの孔径0.1〜0.2μmの複合膜、すなわちβ−シクロデキストリン複合膜または18−クラウン−6複合膜を得る。
本発明において、原料と接触する、前記高純度N−メチル−2−ピロリドンを製造するプロセスにおける反応装置、及び各プロセス工程の原料搬送パイプはともに高純度石英からなり、使用される貯蔵タンクは高純度パーフロ材料からなる。
そのうち、前記パーフロ材料は炭素原子と連接する水素原子が全てフッ素原子によって置換された高分子材料を指し、例えば四フッ化エチレン、四フッ化エチレン−六フッ化エチレン共重合体などが挙げられる。
本発明の方法により得られた高純度N−メチル−2−ピロリドンの純度が99.8%以上で、水分含有量が0.02%より小さく、0.5μm以上の粉塵粒子が10個/mlより少なく、単一金属イオン含有量が1ppbより小さく、国際半導体設備及び材料組織により設定された化学材料部分8級(SEMI C8)標準に適合する。
従来技術と比べると、本発明の高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法は以下の利点を有する。
1.本発明はN−メチル−2−ピロリドンに対して事前処理を行うことによって、原料に混在されていたγ−ブチロラクトン不純物を有効に除去でき、製品の品質が不安定で、生産コストが高いなどの問題を防止した。
2.本発明はβ−シクロデキストリン複合膜、18−クラウン−6複合膜を用いて膜ろ過を行うことによって、不純金属イオンを有効に除去でき、操作が簡単で、効果がよく、工業化連続生産に適応する。
本発明高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法のプロセスフロー図である。
以下、詳細に説明する。
(一)N−メチル−2−ピロリドン事前処理液の製造
加熱装置、撹拌装置、温度計及びガス分配装置を有する500Lの純石英反応装置1に工業用N−メチル−2−ピロリドン350kgを加え、温度を30±5℃に制御し、且つ撹拌条件下でガス分配装置を介してメチルアミンガスを5L/minの速度で工業用N−メチル−2−ピロリドンに連続的に注入し(仕入れ比としては、メチルアミンガス:工業用NMP=4:1、質量比)、且つ該温度を維持しながら1h反応させ、得られたN−メチル−2−ピロリドンをろ過装置2に注入してろ過を行い、その後30〜40℃下で、6L/minの流速でФ400×600mmの4A分子篩吸着装置3を通過させて脱水を行い、N−メチル−2−ピロリドン事前処理液を得る。
(二)N−メチル−2−ピロリドンの製造方法
0.5MPaの圧力でN−メチル−2−ピロリドン事前処理液を1パス膜ろ過装置4及び2パス膜ろ過装置5に順に注入し、0.1μm孔径のβ−シクロデキストリン複合膜によって1パス膜ろ過を行い、及び0.1μm孔径の18−クラウン−6複合膜によって2パス膜ろ過を行うことによって、不純金属イオン及び固体粒子を除去する。得られたろ液を精留塔6(塔釜500L、塔径300mm、塔高5000mm)内に圧力を加えて注入し、80KPa、塔頂温度120℃の条件で精留を行う。精留プロセスにおいて、精留塔の2/3処の軽質留分排出口において、3〜5L/minの流量で軽質留分を収集し、軽質留分を収集タンク8に保存し(リサイクルする)、精留塔の塔頂から収集したNMP留分を凝縮させて製品留分収集タンク7内に保存し、且つ高純度石英パイプによって3パス膜ろ過装置9に搬送し、0.5MPa圧力で3パス膜ろ過を行い、高純度のN−メチル−2−ピロリドン製品を得、且つ高純度パーフロ貯蔵タンク10内に貯蔵する。
製品に対して純度測定を行い、そのうち、色度はPt−Co標準液を標準液として目視比色法で分析を行い、NMP含量は気相クロマトグラフ法によって分析を行い、水分含量はカールフィッシャー法によって分析し、蒸発残留物は重量法によって分析し、カチオンは誘導結合プラズマ質量分析装置(ICP−MS)によって分析し、アニオンはイオン交換クロマトグラフィーによって分析する。測定機器の名称及び規格番号は表2を参照し、その純度測定結果は表1に示す。
(一)N−メチル−2−ピロリドン事前処理液の製造
加熱装置、撹拌装置、温度計及びガス分配装置を有する純石英反応装置に工業用N−メチル−2−ピロリドン350kgを加え、温度を35±5℃に制御し、撹拌条件下でガス分配装置を介してメチルアミンガスを6L/minの速度で工業用N−メチル−2−ピロリドンに連続的に注入し(仕入れ比としては、メチルアミンガス:工業用NMP=6:1、質量比)、且つ該温度を維持しながら1h反応させ、その後20〜30℃下で、6L/minの流量でФ400×600mmの4A分子篩吸着装置3を通過させて脱水を行い、ろ過してN−メチル−2−ピロリドン事前処理液を得る。
(二)N−メチル−2−ピロリドンの製造方法
0.5MPaの圧力でN−メチル−2−ピロリドン事前処理液を0.1μm孔径のβ−シクロデキストリン複合膜を通過させて1回目の膜ろ過を行い、同一な圧力下で0.2μm孔径の18−クラウン−6複合膜を通過させて2回目の膜ろ過を行い、ろ液を精留塔(塔釜500L、塔径300mm、塔高5000mm)内に圧力を加えて注入し、40KPa、塔頂温度80℃の条件で精留を行い、精留プロセスにおいて、精留塔の2/3処の軽質留分排出口において、3〜6L/minの流量で軽質留分を収集し(リサイクルする)、精留塔の塔頂から収集したNMP留分を凝縮させた後、0.5MPaの圧力で18−クラウン−6複合膜によって3パス膜ろ過を行い、ろ液を収集して所望の生成物を得、且つ純度分析測定を行う。
実施例1の方法で製品純度を測定し、測定結果は下記表1に示す。
Figure 0005791262
Figure 0005791262
表1から分かるように、本発明の方法により得られたN−メチル−2−ピロリドンの純度が99.8%以上で、水分含有量が0.02%より小さく、0.5μm以上の粉塵粒子が10個/mlより少なく、単一金属イオン含有量が1ppbより小さく、国際半導体設備及び材料組織により設定された化学材料部分8級(SEMI C8)標準に適合する。
認識すべきは、前記実施例は本発明の好適な実施例として挙げられたのみであり、本発明はそれらに限定されるではなく、本願技術分野の当業者が実施できる様々な簡単な改善は本発明の保護範囲内に属すべきである。
1 高純度石英反応装置
2 ろ過装置
3 4A分子篩吸着装置
4 1パス膜ろ過装置
5 2パス膜ろ過装置
6 精留塔
7 製品留分収集タンク
8 軽質留分収集タンク
9 3パス膜ろ過装置
10 製品タンク

Claims (7)

  1. 高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法において、
    メチルアミンガスを工業用N−メチル−2−ピロリドンに注入し、20〜40℃下で0.5〜1.5h反応させ、5〜7L/minの流速で4A分子篩を通して吸着・脱水を行い、得られた事前処理液を孔径0.1〜0.2μmの錯化剤複合膜によって2回の膜ろ過を行い、得られたろ液を20〜80KPa下で減圧精留を行い、精留塔の塔頂から80〜120℃の留分を収集し、凝縮させた後18−クラウン−6複合膜によって3回目の膜ろ過を行うことによって所望の生成物を得るステップを含むことを特徴とする高純度N−メチル−2−ピロリドンの製造方法。
  2. メチルアミンと工業用N−メチル−2−ピロリドンとの質量比が2〜8:1であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
  3. メチルアミンと工業用N−メチル−2−ピロリドンとの質量比が3〜7:1であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
  4. 精留塔の下方から2/3の位置にある軽質留分排出口において、3〜5L/minの流量で軽質留分を排出することを特徴とする請求項1に記載の方法。
  5. 前記脱水プロセスの温度が20〜40℃に制御されることを特徴とする請求項1に記載の方法。
  6. 前記の、事前処理液に対して2回の膜ろ過を行うことにおいて、1回目の膜ろ過にはβ−シクロデキストリン複合膜が採用され、2回目の膜ろ過には18−クラウン−6複合膜が採用されることを特徴とする請求項に記載の方法。
  7. 原料と接触する、前記高純度N−メチル−2−ピロリドンを製造する各プロセスにおける反応装置、及び各プロセス工程間の原料搬送パイプはともに高純度石英からなり、使用される生成物貯蔵タンクはともに高純度パーフロ材料からなる貯蔵タンクであることを特徴とする請求項1に記載の方法。
JP2010255166A 2010-09-17 2010-11-15 高純度n−メチル−2−ピロリドンの製造方法 Active JP5791262B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201010284457.1A CN102399179B (zh) 2010-09-17 2010-09-17 超纯n-甲基吡咯烷酮的生产方法
CN201010284457.1 2010-09-17

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012062301A JP2012062301A (ja) 2012-03-29
JP5791262B2 true JP5791262B2 (ja) 2015-10-07

Family

ID=45818326

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010255166A Active JP5791262B2 (ja) 2010-09-17 2010-11-15 高純度n−メチル−2−ピロリドンの製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US8519157B2 (ja)
JP (1) JP5791262B2 (ja)
CN (1) CN102399179B (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102399140B (zh) * 2010-09-17 2015-04-15 联仕(上海)电子化学材料有限公司 一种超纯电子级醋酸的生产方法
CN102863615B (zh) * 2012-10-02 2014-02-19 上海会博新材料科技有限公司 一种对位芳纶聚合用溶剂的深度脱水装置
CN104854663A (zh) 2012-12-14 2015-08-19 株式会社Ihi 磁性体和磁性体的制造方法
US9827602B2 (en) 2015-09-28 2017-11-28 Tesla, Inc. Closed-loop thermal servicing of solvent-refining columns
CN109912485B (zh) * 2019-04-09 2024-05-31 慈溪市赛思德环保科技有限公司 一种nmp废液提纯的方法及***
CN111269163B (zh) * 2020-03-19 2022-11-29 江苏盈天环保科技有限公司 一种于n-甲基吡咯烷酮中去除伽马丁内酯的方法
CN111978184A (zh) * 2020-09-14 2020-11-24 安徽英特力工业工程技术有限公司 一种从nmp粗品中回收甲胺的装置
CN112094216B (zh) * 2020-09-15 2022-07-05 安徽晟捷新能源科技股份有限公司 一种具备吸附功能的高纯度n-甲基吡咯烷酮纯化装置
CN112094217A (zh) * 2020-09-15 2020-12-18 安徽晟捷新能源科技有限公司 一种n-甲基吡咯烷酮的高效环保回收装置及其方法
CN113185441A (zh) * 2021-04-26 2021-07-30 宁波南大光电材料有限公司 一种用于降低n-甲基吡咯烷酮的色度的提纯方法
CN113354568B (zh) * 2021-06-28 2024-04-12 合肥中聚和成电子材料有限公司 一种对电子级氮甲基吡咯烷酮极限除水的方法
CN113651744A (zh) * 2021-06-30 2021-11-16 福建格林韦尔材料科技有限公司 一种高纯度n-甲基吡咯烷酮中杂质去除工艺
CN113429329A (zh) * 2021-07-06 2021-09-24 镇江润晶高纯化工科技股份有限公司 一种半导体级n-甲基吡咯烷酮的纯化方法
CN114181130B (zh) * 2021-12-16 2022-09-20 浙江联盛化学股份有限公司 一种n-甲基吡咯烷酮的提纯方法
CN114907248A (zh) * 2022-06-02 2022-08-16 北京化工大学 锂电池阳极废液中n-甲基吡咯烷酮的回收方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS559009A (en) * 1978-07-05 1980-01-22 Asahi Chem Ind Co Ltd Recovery of n-alkylamide
JP2641501B2 (ja) * 1988-06-10 1997-08-13 東ソー株式会社 N−メチル−2−ピロリドンの精製方法
US4965370A (en) * 1989-08-21 1990-10-23 Phillips Friedman Company N-methyl-2-pyrrolidone purification
JP2936949B2 (ja) * 1993-03-26 1999-08-23 三菱化学株式会社 N−メチル−2−ピロリドンの精製方法
JP3486984B2 (ja) * 1994-10-11 2004-01-13 三菱化学株式会社 N−メチル−2−ピロリドンの精製方法
US5951828A (en) * 1996-05-10 1999-09-14 Basf Aktiengesellschaft Continuous distillation of thermolabile monomers
JPH1171346A (ja) * 1997-08-29 1999-03-16 Tonen Corp N−メチル−2−ピロリドンの精製方法
DE19910504A1 (de) * 1999-03-10 2000-09-14 Basf Ag Verfahren zur Reinigung von N-substituierten Lactamen
CN100398502C (zh) * 2004-02-27 2008-07-02 上海化学试剂研究所 超纯异丙醇的制备方法
CN101391975B (zh) * 2008-11-03 2010-12-08 厦门大学 N-乙烯基吡咯烷酮的分离提纯方法
WO2010057917A1 (en) * 2008-11-24 2010-05-27 Basf Se Process for preparing an n-alkyllactam with improved color quality
CN101508667A (zh) * 2009-03-30 2009-08-19 濮阳迈奇科技有限公司 一种n-甲基吡咯烷酮的提纯方法
CN101696182A (zh) * 2009-09-10 2010-04-21 北京益利精细化学品有限公司 N-甲基吡咯烷酮的纯化方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN102399179B (zh) 2014-06-18
JP2012062301A (ja) 2012-03-29
US8519157B2 (en) 2013-08-27
CN102399179A (zh) 2012-04-04
US20120071670A1 (en) 2012-03-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5791262B2 (ja) 高純度n−メチル−2−ピロリドンの製造方法
CN108794371B (zh) 一种n-甲基吡咯烷酮产品的精制方法
CN113429329A (zh) 一种半导体级n-甲基吡咯烷酮的纯化方法
JP2012062300A (ja) 超高純度電子級化学試薬生産方法
JP5771012B2 (ja) 超高純度過酸化水素水の生産方法およびこれに用いる分子篩の製作方法
JP4722504B2 (ja) N−アルキルボラジンおよびその製造方法
CN114344932A (zh) 一种高纯电子级丙酮生产方法及装置
CN114307368A (zh) 一种高纯电子级乙醇生产方法及装置
WO2018192195A1 (zh) 一种半导体级丙二醇甲醚醋酸酯的制备方法
JP5754024B2 (ja) 電子工業用高純度酢酸の製造方法
CN114949904A (zh) 一种高纯电子级n-甲基-2-吡咯烷酮生产方法及装置
CN103601624B (zh) 一种丙酮的制备方法
TWI704107B (zh) 超純酸液的純化工藝
CN106831526B (zh) 回收、提纯n-甲基吡咯烷酮的装置及方法
CN101870460A (zh) 一种超纯硝酸的制备方法
CN114470958A (zh) 一种高纯电子级甲醇生产方法及装置
CN101941683A (zh) 一种超纯硝酸的连续化制备方法
CN102452671A (zh) 一种连续化生产超纯氨水的方法
CN109912636B (zh) 一种高纯正硅酸乙酯的生产方法
CN211871381U (zh) 一种高纯硫酸生产***
TWI402296B (zh) 聚醯胺酸樹脂與聚亞醯胺樹脂的純化方法
CN116283509A (zh) 一种电子化学品对苯二酚的生产方法
CN105174233B (zh) 一种超净高纯硫酸的生产方法
CN113121583B (zh) 电子级正硅酸乙酯的制备装置及制备方法
CN219058854U (zh) 一种高纯电子级甲苯生产装置

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20131108

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20140930

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20140930

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20141007

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20141105

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20150120

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20150408

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20150721

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20150804

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5791262

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250