JP5786758B2 - 液体吐出装置の製造方法 - Google Patents
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Description
以下、本発明の好適な第1実施形態について説明する。
次に、本発明の好適な第2実施形態について説明する。ただし、第2実施形態は、第1実施形態と一部が異なっているだけであるので、以下では、主に第1実施形態と異なる部分について説明する。
次に、本発明の好適な第3実施形態について説明する。ただし、第3実施形態は、第1、第2実施形態と一部が異なっているだけであるので、以下では、主に第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。
13a〜13c 貫通孔
15 ノズル
17、18 スリット
19 撥水膜
21 流路ユニット
31〜35 プレート
36 ノズルプレート
36a ノズル形成部
111、211 プレート
212 流路形成孔
213 溝
Claims (7)
- ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートと積層されており、内部に前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路形成体と、を有する流路ユニットを備え、
前記流路形成体が、
ノズルプレートに接合された第1流路形成体と、
前記第1流路形成体の前記ノズルプレートと反対側の面に接合された第2流路形成体と、を有する液体吐出装置の製造方法であって、
前記ノズルプレートと、前記第1流路形成体と、前記第2流路形成体とを互いに積層させて接合する接合工程、を備え、
前記第2流路形成体は、さらに、前記第1流路形成体との接合面の、前記ノズルプレートと前記流路形成体との積層方向に関して、前記ノズルプレートの前記ノズルが形成される部分であるノズル形成部と重なる部分に、凹部が形成されたものであって、
前記接合工程において、前記第1流路形成体のうち、前記積層方向に関して前記ノズル形成部と重なる部分を、前記接合面のうち前記凹部が形成された部分に接合し、前記第1流路形成体の他の部分を、前記接合面のうち前記凹部が形成されている部分以外の部分に接合することで、前記ノズルプレートが、前記ノズル形成部において他の部分よりも前記流路形成体側に位置するように湾曲した液体吐出装置を製造し、且つ、
前記接合工程において、前記凹部内を減圧させることによって、前記ノズルプレートを、前記ノズル形成部が他の部分よりも前記流路形成体側にくるように湾曲させることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記第1流路形成体は、さらに、前記ノズル形成部と接合される部分のすぐ外側の部分に、前記第1流路形成体を前記積層方向に貫通するスリットが形成されるものであることを特徴とする請求項1に記載の液体吐出装置の製造方法。
- ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートと積層されており、内部に前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路形成体とを有する流路ユニットを備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記流路形成体は、さらに、前記ノズルプレートの、前記ノズルプレートと前記流路形成体との積層方向に関して、前記ノズルプレートの前記ノズルが形成される部分であるノズル形成部と重なる部分に、前記ノズルプレートとの接合面に開口を有し、少なくともその一部分が前記液体流路の前記ノズルに接続される部分となる、前記積層方向から見て前記ノズルの全周を取り囲む領域まで延びた開口部が形成されたものであり、且つ、前記ノズルプレートに接合される接合プレートを含むものであって、
前記ノズルプレートと、前記流路形成体とを接合する接合工程、を備え、
前記接合工程において、前記ノズル形成部を前記開口部側に湾曲させた状態で、前記ノズルプレートを前記接合面に接合することで、前記ノズルプレートが、前記ノズル形成部において他の部分よりも前記流路形成体側に位置するように湾曲した液体吐出装置を製造し、
前記接合工程よりも前に、前記接合プレートに、その両面からハーフエッチングを行うことにより、前記開口部として、
前記接合プレートの前記ノズルプレートと反対側の面に開口を有しており、前記液体流路の前記ノズルに接続される部分を形成する流路形成部と、
前記接合プレートの前記ノズルプレート側の面に開口を有するとともに、当該開口と反対側において前記流路形成部と接続されており、前記積層方向から見て前記流路形成部の全周を取り囲む領域まで延びた接続部と、を有する前記開口部を形成する開口部形成工程をさらに備え、
前記接合工程において、前記開口部側に湾曲させた前記ノズル形成部を前記接続部の壁面に接合することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - ノズルが形成されたノズルプレートと、前記ノズルプレートと積層されており、内部に前記ノズルに連通する液体流路が形成された流路形成体とを有する流路ユニットを備えた液体吐出装置の製造方法であって、
前記流路形成体は、さらに、前記ノズルプレートの、前記ノズルプレートと前記流路形成体との積層方向に関して、前記ノズルプレートの前記ノズルが形成される部分であるノズル形成部と重なる部分に、前記ノズルプレートとの接合面に開口を有し、少なくともその一部分が前記液体流路の前記ノズルに接続される部分となる、前記積層方向から見て前記ノズルの全周を取り囲む領域まで延びた開口部が形成されたものであって、
前記ノズルプレートと、前記流路形成体とを接合する接合工程、を備え、
前記接合工程において、前記ノズル形成部を前記開口部側に湾曲させた状態で、前記ノズルプレートを前記接合面に接合することで、前記ノズルプレートが、前記ノズル形成部において他の部分よりも前記流路形成体側に位置するように湾曲した液体吐出装置を製造し、且つ、
前記接合工程において、前記開口部内を減圧することによって、前記ノズル形成部を前記開口部側に湾曲させることを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記接合工程において、前記ノズルが形成される前の状態の前記ノズルプレートを前記流路形成体に接合し、
前記接合工程で前記ノズルプレートと前記流路形成体の少なくとも一部とを接合した後に、前記ノズルプレートに前記ノズルを形成するノズル形成工程、をさらに備えていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。 - 前記ノズル形成工程よりも前に、前記ノズルプレートの前記流路形成体と反対側の面である液体吐出面に撥水膜を形成する撥水膜形成工程、をさらに備えていることを特徴とする請求項5に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記ノズルプレートが合成樹脂材料により構成されたものであることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。
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