JP4306611B2 - インクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
この構成によると、複数枚の金属プレートの金属拡散接合の後で、ノズルプレートを金属プレート組に接着剤で接合するため、予め撥水膜が形成されたノズルプレートを接合する場合に、拡散接合時の高温状態により撥水膜が破壊される虞がない。
表層プレートの平面度が均一に保たれているため、表層プレートにアクチュエータユニットを確実に密着させて接着することができる。また、表層プレートとアクチュエータユニットとの間に介在する接着剤の厚みのばらつきが小さくなり、その接着剤の厚みのばらつきに起因して生じるインクの液滴速度のばらつきを抑制して、印字品質を向上させることができる。
また、第5の発明のインクジェットヘッドの製造方法は、第1又は第2の発明において、前記表層プレートを前記金属プレート組に接合する工程の前に、前記アクチュエータユニットを、前記表層プレートに接着剤で接合する工程を備えたことを特徴とする。
このように、アクチュエータユニットが、その表面に圧電シートが配置される金属製の振動板を含んでいる場合に、流路ユニットの金属プレート組を構成する複数枚の金属プレートを先に金属拡散接合により接合してから、金属プレート組に振動板を接着剤で接合するため、振動板が部分的に撓むことがなく、振動板の平面度を均一にすることができる。
振動板の平面度が均一に保たれているため、振動板に圧電シートを確実に密着させて接着することができる。また、振動板と圧電シートとの間に介在する接着剤の厚みのばらつきが小さくなり、その接着剤の厚みのばらつきに起因して生じるインクの液滴速度のばらつきを抑制して、印字品質を向上させることができる。
また、第9の発明のインクジェットヘッドの製造方法は、第6又は第7の発明において、前記振動板を前記金属プレート組に接合する工程において、前記圧電シートを、前記振動板に接着剤で接合することを特徴とする。これにより、製造工程をより簡略化することができる。
また、第10の発明のインクジェットヘッドの製造方法は、第6又は第7の発明において、前記振動板を前記金属プレート組に接合する工程の前に、前記圧電シートを、前記振動板に接着剤で接合する工程を備えたことを特徴とする。
尚、個別電極35と共通電極34は、共に、例えばAg−Pd系などの金属材料からなる。
図10に示すように、この第2実施形態のインクジェットヘッド101は、流路ユニット4と、この流路ユニット4の表面に配置されたアクチュエータユニット91とを備えている。ここで、流路ユニット4は、前記第1実施形態の流路ユニット4(図6参照)と同様のものであり、9枚の金属プレート22〜30が積層された構造を有する。
さらに、金属製の振動板92が共通電極を兼ねている必要は必ずしもなく、振動板92とは別に、常にグランド電位に保持された共通電極が複数の個別電極95と対向するように設けられていてもよい。
4 流路ユニット
5a 副マニホールド
8 ノズル
10 圧力室
21 アクチュエータユニット
22 キャビティプレート
23 ベースプレート
24 アパーチャプレート
25 サプライプレート
26〜29 マニホールドプレート
30 ノズルプレート
41〜44 圧電シート
60 金属プレート組
91 アクチュエータユニット
92 振動板
93 圧電シート
101 インクジェットヘッド
111 金属プレート組
Claims (10)
- 金属製の表層プレートと、積層状の複数枚の金属プレートからなり且つ前記表層プレートと接合される金属プレート組とを有し、共通インク室とこの共通インク室から圧力室を経てノズルに至る複数の個別インク流路とを含む流路ユニットと、
前記表層プレートに配置される積層状の複数枚の圧電シートを有するアクチュエータユニットと、
を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記金属プレート組を構成する複数枚の金属プレートを、金属拡散接合により接合する工程と、
前記表層プレートを、金属拡散接合された前記金属プレート組に接着剤で接合する工程と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記流路ユニットは、前記金属プレート組の前記表層プレートの反対側に接合されるとともに、複数のノズルが形成され且つその表面に撥水膜が形成された金属製のノズルプレートを有し、
前記表層プレートを前記金属プレート組に接合する工程において、前記ノズルプレートを、前記金属プレート組に接着剤で接合することを特徴とする請求項1に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記表層プレートを前記金属プレート組に接合する工程の後に、前記アクチュエータユニットを、前記表層プレートに接着剤で接合する工程を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記表層プレートを前記金属プレート組に接合する工程において、前記アクチュエータユニットを、前記表層プレートに接着剤で接合することを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記表層プレートを前記金属プレート組に接合する工程の前に、前記アクチュエータユニットを、前記表層プレートに接着剤で接合する工程を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 積層状の複数枚の金属プレートからなる金属プレート組を有し、共通インク室とこの共通インク室から圧力室を経てノズルに至る複数の個別インク流路とを含む流路ユニットと、
前記金属プレート組に接合される金属製の振動板と、この振動板に配置された圧電シートとを有するアクチュエータユニットと、
を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記金属プレート組を構成する複数枚の金属プレートを、金属拡散接合により接合する工程と、
前記振動板を、金属拡散接合された前記金属プレート組に接着剤で接合する工程と、
を備えたことを特徴とするインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記流路ユニットは、前記金属プレート組の前記振動板の反対側に接合されるとともに、複数のノズルが形成され且つその表面に撥水膜が形成された金属製のノズルプレートを有し、
前記振動板を前記金属プレート組に接合する工程において、前記ノズルプレートを、前記金属プレート組に接着剤で接合することを特徴とする請求項6に記載のインクジェットヘッドの製造方法。 - 前記振動板を前記金属プレート組に接合する工程の後に、前記圧電シートを、前記振動板に接着剤で接合する工程を備えたことを特徴とする請求項6又は7に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板を前記金属プレート組に接合する工程において、前記圧電シートを、前記振動板に接着剤で接合することを特徴とする請求項6又は7に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
- 前記振動板を前記金属プレート組に接合する工程の前に、前記圧電シートを、前記振動板に接着剤で接合する工程を備えたことを特徴とする請求項6又は7に記載のインクジェットヘッドの製造方法。
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