JP5578126B2 - 液体吐出装置、液体吐出装置の製造方法、及び、アクチュエータ装置の製造方法 - Google Patents
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第2の発明に係る液体吐出装置は、複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側に積層されたカバー層とを含む圧電体であって、前記カバー層によって前記流路ユニットと反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の片側の面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に形成されており、前記引出部に接続された複数の表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとは、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着され、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極が形成されていることを特徴とする。
第4の発明に係る液体吐出装置の製造方法は、複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側に積層されたカバー層とを含む圧電体であって、前記カバー層によって前記流路ユニットと反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の片側の面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとが、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着された液体吐出装置の製造方法であって、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面、及び、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面のうち少なくとのいずれか片方の面に接着剤を塗布するとともに、平坦な押圧面で前記第一面を前記流路ユニットに向けて押圧して、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成された表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする。
第9の発明に係るアクチュエータの装置の製造方法は、基材と、前記基材と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の前記基材と反対側に積層されたカバー層とを含む圧電体であって、前記カバー層によって前記基材と反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の片側の面に形成された共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面に、前記共通電極との間に前記圧電層を挟むようにそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有する圧電アクチュエータとを備え、前記基材と前記圧電アクチュエータとが、前記基材の前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記基材との対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着されたアクチュエータ装置の製造方法であって、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、前記基材の前記圧電体との対向面、及び、前記圧電体の前記基材との対向面のうち少なくとのいずれか片方の面に接着剤を塗布するとともに、平坦な押圧面で前記第一面を前記基材に向けて押圧して、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする。
10 圧力室
15 ノズル
21 流路ユニット
22 圧電アクチュエータ
41 振動板
42 圧電層
42A 上面
42B〜42E 縁
43 個別電極
44 共通電極
45 表面電極
46 スルーホール
47、50 表面電極列
48、49、51、52 隙間
71 カバー層
71A 上面
72 表面電極
74 スルーホール
Claims (9)
- 複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層を含む圧電体であって、前記圧電層によって前記流路ユニットと反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の前記第一面と反対側の面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記第一面の前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に形成されており、前記引出部に接続された複数の表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、
前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとは、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着され、
前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。 - 複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側に積層されたカバー層とを含む圧電体であって、前記カバー層によって前記流路ユニットと反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の片側の面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に形成されており、前記引出部に接続された複数の表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、
前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとは、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着され、
前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極が形成されていることを特徴とする液体吐出装置。 - 複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層を含む圧電体であって、前記圧電層によって前記流路ユニットと反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の前記第一面と反対側の面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記第一面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとが、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着された液体吐出装置の製造方法であって、
前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、
前記流路ユニットの前記圧電体との対向面、及び、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面のうち少なくとのいずれか片方の面に接着剤を塗布するとともに、平坦な押圧面で前記第一面を前記流路ユニットに向けて押圧して、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、
前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成された表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 複数のノズルと、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室とを含む液体流路が形成された流路ユニットと、
前記複数の圧力室と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の前記流路ユニットと反対側に積層されたカバー層とを含む圧電体であって、前記カバー層によって前記流路ユニットと反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の片側の面に形成されており、前記複数の圧力室にまたがって連続的に延びた共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面の、前記複数の圧力室と対向する部分にそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとが、前記流路ユニットの前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着された液体吐出装置の製造方法であって、
前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、
前記流路ユニットの前記圧電体との対向面、及び、前記圧電体の前記流路ユニットとの対向面のうち少なくとのいずれか片方の面に接着剤を塗布するとともに、平坦な押圧面で前記第一面を前記流路ユニットに向けて押圧して、前記流路ユニットと前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、
前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成された表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする液体吐出装置の製造方法。 - 前記表面電極形成工程において、隣接する前記表面電極列の間の隙間の幅が、各表面電極列における前記表面電極の間の隙間の幅よりも大きくなるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする請求項3又は4に記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記表面電極形成工程において、複数の前記表面電極列を構成する前記表面電極が一定の配列間隔で配列され、且つ、隣接する前記表面電極列における前記表面電極の位置が、前記配列間隔の半分の長さだけ互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。
- 前記圧電体が、前記流路ユニットと反対側の面が前記第一面となった前記圧電層を含んでおり、
前記複数の個別電極が、前記第一面に形成されており、
前記表面電極形成工程において、前記第一面に、複数の前記表面電極と同時に、前記複数の個別電極を形成することを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載の液体吐出装置の製造方法。 - 基材と、
前記基材と対向するように配置された圧電層を含む圧電体であって、前記圧電層によって前記基材と反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の前記第一面と反対側の面に形成された共通電極と、前記圧電層の前記第一面に、前記共通電極との間に前記圧電層を挟むようにそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有する圧電アクチュエータと、を備え、前記基材と前記圧電アクチュエータとが、前記基材の前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記基材との対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着されたアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、
前記基材の前記圧電体との対向面、及び、前記圧電体の前記基材との対向面のうち少なくとのいずれか片方の面に接着剤を塗布するとともに、平坦な押圧面で前記第一面を前記基材に向けて押圧して、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、
前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。 - 基材と、
前記基材と対向するように配置された圧電層と、前記圧電層の前記基材と反対側に積層されたカバー層とを含む圧電体であって、前記カバー層によって前記基材と反対側の面である第一面が形成された圧電体と、前記圧電層の片側の面に形成された共通電極と、前記圧電層の前記共通電極と反対側の面に、前記共通電極との間に前記圧電層を挟むようにそれぞれ形成された複数の個別電極と、前記共通電極を前記第一面に引き出す引出部と、前記第一面に形成されており、前記引出部に接続された表面電極とを有する圧電アクチュエータとを備え、前記基材と前記圧電アクチュエータとが、前記基材の前記圧電体との対向面と、前記圧電体の前記基材との対向面との間に配置され、前記圧電体の縁部と重なる位置まで延びた接着剤によって接着されたアクチュエータ装置の製造方法であって、
前記第一面の、前記圧電体の縁と前記複数の個別電極との間に位置する部分に、前記表面電極を複数形成する表面電極形成工程と、
前記基材の前記圧電体との対向面、及び、前記圧電体の前記基材との対向面のうち少なくとのいずれか片方の面に接着剤を塗布するとともに、平坦な押圧面で前記第一面を前記基材に向けて押圧して、前記基材と前記圧電アクチュエータとを接着剤で接着する接着工程と、を備え、
前記表面電極形成工程において、前記表面電極が前記圧電体の前記第一面の縁に沿って複数設けられることによって形成される表面電極列が、前記縁から前記第一面の中央に向かって複数列形成され、且つ、隣接する前記表面電極列における、前記表面電極の間に形成された隙間の位置が互いにずれるように、複数の前記表面電極を形成することを特徴とするアクチュエータ装置の製造方法。
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