JP5651298B2 - プラズマ援用反応性薄膜形成装置およびそれを用いた薄膜形成方法 - Google Patents
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Description
あるいはまた、特許文献1に示されているプラズマCVD法による薄膜半導体の形成方法では、薄膜の構成材料となるガス(TiCl4、SiH4、Zn(C2H5)2など)を、プラズマを利用して分解、励起し、基板表面での化学反応を経て薄膜を堆積させる方法であるため、原料には反応性のある材料を用いる。
この発明の目的は、プラズマを用いて活性化した原料を反応させて薄膜を形成するプラズマ援用反応性薄膜形成装置において、薄膜中に意図した不純物を容易に制御して添加することができるプラズマ援用反応性薄膜形成装置およびそれを用いた薄膜形成方法を提供することである。
上記の目的を達成するため、プラズマ発生用コイル(もしくは誘発電極やアンテナとも称す)を、薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質(単体もしくは化合物)、またはその元素を含む物質でその元素以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質(化合物もしくは混合物)にて、一部または全体を構成または被覆することにより構成した。
そして、上記プラズマ発生用コイルに高周波電力を供給して上前記チャンバ内にプラズマを発生させ、上記蒸発源によって蒸発される上記ドープすることを意図する元素を含まない上記原料の元素と上記気体導入口から導入される気体の元素とがプラズマ雰囲気中で活性化し、上記プラズマ発生用コイルの表面がスパッタリングされて飛び出す上記物質の元素とともに、上記基板加熱用ヒータによって成膜温度に加熱された上記基板の表面において反応し、上記ドープすることを意図する元素をドープした薄膜を成膜するように構成した。
そのため、プラズマによってイオン化または励起状態にされた粒子または電子によって、コイル表面がスパッタリングされて、薄膜中に添加したい元素のみまたはその元素と薄膜を構成する元素が発生するので、薄膜中に取り込まれる不純物濃度を制御できる。
〔プラズマ援用反応性薄膜形成装置〕
この発明によるプラズマ援用反応性薄膜形成装置の実施例を図1によって詳細に説明する。図1はそのプラズマ援用反応性薄膜形成装置の構成を示す模式的な断面図である。このプラズマ援用反応性薄膜形成装置は、銅(Cu)をドープした酸化亜鉛(ZnO)薄膜を成膜するための装置である。
ルツボ6にはそれを加熱して亜鉛を蒸発させるためのルツボヒータ8が取り付けられており、その加熱温度を確認するための温度センサ12も備えている。
(b)薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質、またはその元素を含む物質でそれ以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質41にて芯線40が被覆されている。
(d)薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質、またはその元素を含む物質でそれ以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質41で一部分が被覆され、それ以外の部分は薄膜を構成する元素である物質42で構成されている。
(e)薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質、またはその元素を含む物質でそれ以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質41で構成された部分を露出し、それ以外の部分は、薄膜を構成する元素である物質42で被覆されて構成されている。
したがってこの場合、原料の元素はZnで、導入される気体の元素はOであり、ドープすることを意図する元素はCuで、薄膜を構成する元素はZnOである。
次に、この発明による薄膜形成方法の実施例として、上記プラズマ援用反応性薄膜形成装置およびプラズマ発生用コイルを用いて、CuをドープしたZnO薄膜を形成する工程について、詳細に説明する。
プラズマ発生用コイルとしてZnOで被覆したステンレスコイルを用いて作成したZnO薄膜、この発明によるプラズマ発生用コイル4であるCuで一部を覆ったZnOで被覆したステンレスコイルを用いて作成したZnO薄膜、この発明によるプラズマ発生用コイル4であるCuコイルを用いて作成したZnO薄膜のそれぞれの不純物濃度の評価を、二次イオン質量分析(SIMS)法によって行った。
すなわち、基板上へ薄膜を成膜する際に、プラズマ発生用コイルを構成する物質中に含まれるドープを意図する元素からなる物質の量(表面積)と、プラズマ発生用コイルに印加する高周波電力との少なくとも一方を制御することにより、成膜する薄膜中のドープ量(不純物濃度)を制御することができる。
以上、この発明を実施例について説明したが、これに限らず、同じ観点に基づけば、II−VI族化合物またはそれにI族、III族、IV族、V族、VII族またはVIII族の元素を加えた化合物の薄膜も作製可能であると考えられる。
これらのうち、ドープすることを意図する元素が、Cu、Ag、Si、Cr、Ni、Fe、C、Mnのうちのいずれかの元素であり、薄膜を構成する元素がZn、Mg、Al、Ga、Inのうちのいずれかひとつあるいは複数の元素とO又はNとで化合物を構成する薄膜については、前述のように具体例を示している。
3:基板マスク 4:プラズマ発生用コイル 5:シャッタ
6:ルツボ(蒸発源) 7:気体導入口
8:ルツボヒータ 9:排気口
10:チャンバ 11,12:温度センサ 40:芯線
41:薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質、またはその元素を含む物質でそれ以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質
42:薄膜を構成する元素である物質
43:導電性の低い物質 44:導電性の芯線(網状)
45:導電性の芯線(中空パイプ状)
Claims (5)
- 気体導入口と排気口を有するチャンバと、その排気口から前記チャンバ内の気体を排気する真空ポンプとを備え、
前記チャンバ内に、薄膜成長の下地となる基板を保持する基板マスクと、その基板を加熱するための基板加熱用ヒータと、薄膜の原料を供給するための蒸発源と、該蒸発源と前記基板マスクとの間に配置されたプラズマ発生用コイルとが設けられたプラズマ援用反応性薄膜形成装置において、
前記プラズマ発生用コイルが、薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質、またはその元素を含む物質で該元素以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質によって、一部または全体が構成されるか被覆されてなり、
前記プラズマ発生用コイルに高周波電力を供給して前記チャンバ内にプラズマを発生させ、前記蒸発源によって蒸発される前記ドープすることを意図する元素を含まない前記原料の元素と前記気体導入口から導入される気体の元素とがプラズマ雰囲気中で活性化し、前記プラズマ発生用コイルの表面がスパッタリングされて飛び出す前記物質の元素とともに、前記基板加熱用ヒータによって成膜温度に加熱された前記基板の表面において反応し、前記ドープすることを意図する元素をドープした薄膜を成膜するように構成したことを特徴とするプラズマ援用反応性薄膜形成装置。 - 請求項1に記載のプラズマ援用反応性薄膜形成装置において、
前記ドープすることを意図する元素は、Cu、Ag、Si、Cr、Ni、Fe、C、Mnのうちのいずれかの元素であり、前記薄膜を構成する元素は、Zn、Mg、Al、Ga、Inのうちのいずれかひとつあるいは複数の元素とO又はNとで化合物を構成することを特徴とするプラズマ援用反応性薄膜形成装置。 - プラズマ援用反応性薄膜形成装置におけるチャンバ内に、薄膜の原料となる物質を詰めた蒸発源と薄膜を蒸着させる基板とを対向させて配設し、
前記蒸発源と前記基板との間に、薄膜にドープすることを意図する元素からなる物質、またはその元素を含む物質で該元素以外の構成元素が薄膜を構成する元素である物質によって、一部または全体が構成されるか被覆されてなるプラズマ発生用コイルを配置し、
前記チャンバ内を真空に近い減圧状態にした後、前記基板と前記蒸発源をそれぞれ加熱し、前記プラズマ発生用コイルに高周波電力を供給してプラズマを発生させ、
前記蒸発源によって蒸発される前記ドープすることを意図する元素を含まない前記原料の元素と前記チャンバ内に導入される気体の元素とをプラズマ雰囲気中で活性化させ、前記プラズマ発生用コイルの表面がスパッタリングされて飛び出す前記物質の元素とともに、成膜温度に加熱された前記基板の表面において反応させ、前記ドープすることを意図する元素をドープした薄膜を成膜することを特徴とするプラズマ援用反応性薄膜形成装置を用いた薄膜形成方法。 - 請求項3に記載の薄膜形成方法において、
前記ドープすることを意図する元素は、Cu、Ag、Si、Cr、Ni、Fe、C、Mnのうちのいずれかの元素であり、前記薄膜を構成する元素は、Zn、Mg、Al、Ga、Inのうちのいずれかひとつあるいは複数の元素とO又はNとで化合物を構成することを特徴とするプラズマ援用反応性薄膜形成装置を用いた薄膜形成方法。 - 請求項3又は4に記載の薄膜形成方法において、前記基板上へ薄膜を成膜する際に、前記プラズマ発生用コイルを構成する物質中に含まれるドープを意図する元素からなる物質の量と、前記プラズマ発生用コイルに印加する高周波電力との少なくとも一方を制御することにより、成膜する薄膜中の不純物濃度を制御することを特徴とするプラズマ援用反応性薄膜形成装置を用いた薄膜形成方法。
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