JP5610492B2 - SiC半導体素子およびその作製方法 - Google Patents
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Description
また従来から、SiCの熱酸化やCVD法を用いて絶縁膜を形成したり、また形成した絶縁膜をNO,N 2 O,NH3ガスなどにより絶縁膜とSiCの界面を窒化することなどが行われており、界面における欠陥を少なくして、チャネル移動度を向上させている。しかしながら、SiCのMIS(MOS)FETのチャネル移動度(Si面)は、界面を窒化した場合でも、40−50cm2/Vsと小さく、更なるチャネル移動度の向上が切望されている。
また、上記特許文献2では、界面を窒化することにより界面準位密度が低減し、チャネル移動度が向上するものの、上述したようにチャネル移動度は40cm2/Vs程度である。
また、上記特許文献3では、ゲート絶縁膜(ゲート酸化膜)に対してH2Oを含んだ雰囲気で熱処理を施すことにより、チャネル移動度が向上するものの、チャネル移動度は50cm2/Vs程度である。更に、効果のあるプロセス条件の範囲が狭いという問題もある。
リンが含まれることで、絶縁膜である酸化膜(SiO2)中のSiの一部はリン(P)に置き換わり、リン(P)はネットワークを構成する周囲の酸素原子(O)と3配位で結合する。SiO2中に存在するSi−Si結合(O欠損)が欠陥となることが知られているが、そのようなSiをリン(P)が置き換えたために欠陥が消滅することにより、絶縁膜とSiCの界面欠陥(界面準位密度)が低減できると推察する。また、4つの周囲の酸素原子(O)と結合していたSi(4配位)の一部がリン(P)に置き換わることでネットワークを構成する酸素原子(O)に対して3配位となり、酸化膜の歪が緩和されたことも欠陥消滅に影響していると推察する。
なお、上記絶縁膜はSiCとの界面に形成すればよく、SiCのシリコン面、カーボン面および側壁面などいずれの結晶面にも好適に適用できる。
ここで、絶縁膜には、酸化膜や窒化膜が含まれる。
SiC半導体基板と絶縁膜との界面の界面準位密度は、伝導帯端からのエネルギーが0.2〜0.6eVの範囲で1×1011cm−2eV−1以下である。
SiC半導体基板と絶縁膜との界面の界面準位密度は、伝導帯端からのエネルギーが0.2〜0.6eVの範囲で5×1011cm−2eV−1以下であり、かつ、半導体素子のチャネル移動度は、35cm2/Vs以上である。
SiC半導体基板と絶縁膜との界面の界面準位密度は、伝導帯端からのエネルギーが0.2〜0.6eVの範囲で1×1011cm−2eV−1以下であり、かつ、半導体素子のチャネル移動度が、85cm2/Vs以上である。
また、他の観点からは、SiC半導体基板に熱処理によってリンが添加されていないことが好ましい態様である。SiC半導体基板側の不純物濃度の増加を招くからである。
また、上記の絶縁膜に対するリンの添加が熱処理によって行われることにより、SiC側にリンが進入せず、SiC側の不純物濃度を変化されない、或いは、増加を回避することができる。例えば、MIS(MOS)チャネルを有する場合には、MIS(MOS)チャネルにはリンが進入せず、MIS(MOS)チャネルに不純物としてのリンを変化させない、或いは、増加させることがない。
また、熱処理で絶縁膜にリンを添加させた場合、SiCとの界面に達したリンは、SiC側にはほとんど添加されない。これは、SiC中におけるリンの拡散係数が非常に小さいためである。したがって、SiC側の不純物濃度(実効アクセプタ濃度または実効ドナー濃度)の変化はほとんどなく、このこともチャネル移動度や閾値電圧の変動の回避につながる。
絶縁膜とSiCの界面欠陥が低減できているため、ゲート絶縁膜として用いることで、MIS(MOS)FET等のチャネル移動度の向上が図れ、トランジスタのオン抵抗の低減につながることになるからである。
絶縁膜とSiCの界面欠陥が低減できているため、表面パッシベーション膜として用いることで、SiC表面、すなわちSiCと絶縁膜の界面におけるキャリアの再結合が押さえられ、リーク電流の低減やバイポーラトランジスタおよびサイリスタなどにおける増幅率の向上につながることになるからである。
本発明のSiC半導体素子の作製方法は、下記の(ステップS10)および(ステップS20)を少なくとも備える構成とされる。
(ステップS10)SiCからなる半導体基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程
(ステップS20)上記の絶縁膜に熱処理によりリンを添加するリン添加工程
また、上記(ステップS20)のリン添加工程において、熱処理で絶縁膜にリンを添加させるのは、リンをSiC側に添加させないためである。熱処理で絶縁膜にリンを添加させた場合、SiCとの界面に達したリンは、SiC側にはほとんど添加されない。その理由は、SiC中におけるリンの拡散係数が非常に小さいためである。リンをSiC側に添加させないことで、SiC側の不純物濃度(実効アクセプタ濃度または実効ドナー濃度)の変化はほとんど起こらず、チャネル移動度や閾値電圧の変動の回避につながる。
(ステップS15)形成した上記の絶縁膜に対して、NOやN2Oなどの酸化窒素ガスを用いて界面窒化および残留炭素の除去を行う界面窒化工程
(ステップS30)水素アニールを用いて未結合手を終端する終端工程
不活性ガスは、例えば、窒素ガスやアルゴンガスが好適に用いられる。
リン添加工程の後に、不活性ガスを用いてアニール処理を行うことにより、絶縁膜中をリンが拡散していき、絶縁膜とSiC半導体の界面にまでリンを確実に到達させることが可能となるからである。
塩化ホスホリル(POCl3)溶液のバブリングは、例えば、常温以下の塩化ホスホリル(POCl3)溶液に窒素を用いてバブリングする。そして、バブリングしたガスと酸素ガスと窒素ガスの混合した雰囲気で、950〜1100℃の温度範囲で10分程度、熱処理を行う。
なお、(ステップS20)のリン添加工程は、上記方法以外にも、
ターシャリーブチルホスフィン(TBP)などのリンを含んだガスや、
溶液を気化させた原料を使用した雰囲気中にて熱処理することによっても可能である。
また、本発明を用いた表面パッシベーション膜は、リーク電流の低減や増幅率の向上が図れるといった効果を有する。
これらの抵抗値のうち、特に支配的なのが、界面21のチャネル抵抗値Rchである。
SiCのMOSFETの界面のチャネル移動度(μch)を従来の10cm2/Vs程度から100cm2/Vs程度まで性能向上することで、本来の4H−SiCの高いポテンシャルを活用できることとなる。
先ず、n型シリコン面の4H−SiCをドライ酸化により、1200℃、160分で55nmの絶縁膜である酸化膜を形成した試料を準備した。その試料に、2.25slmの窒素ガス、1.0slmの酸素ガスおよび15℃に保ったPOCl3溶液に0.75slmの窒素をバブリングしたガスを混合した雰囲気で、950℃で10分間、熱処理を行った。その後、引き続き同一温度で、窒素雰囲気中で30分間、熱処理を行った。これにより、SiC上の絶縁膜にのみリンを添加することができた。同様に、熱処理の温度を1000℃、1050℃および1100℃においてSiC基板上の絶縁膜へのリンの添加を行った。
次に、第2の比較例として、実施例1とは熱処理の温度を変更し、その他の点は実施例1と同様な処理を行ってSiC半導体素子を作成した。具体的には、n型シリコン面の4H−SiCをドライ酸化により、1200℃、160分で55nmの絶縁膜である酸化膜を形成した試料を準備した。その試料に、2.25slmの窒素ガス、1.0slmの酸素ガスおよび15℃に保ったPOCl3溶液に0.75slmの窒素をバブリングしたガスを混合した雰囲気で、900℃で10分間、熱処理を行った。その後、引き続き同一温度で、窒素雰囲気中で30分間、熱処理を行った。
ゲート電極の形成について説明する。ゲート電極は、アルミニウム、タングステン、モリブデンなどの金属や、N型ポリシリコンあるいはP型ポリシリコンなどのいずれの材料でも構わない。ここでは、ゲート電極としてアルミニウムを使用した。さらに、このゲート電極の上にWSi2膜、MoSi2膜、あるいはTiSi2膜などのシリサイド膜を形成しても構わない。さらに、この後に、裏面電極としてアルミニウムを形成した。
図9は、MOSFETのチャネル長/幅(L/W)は、10/200μmであり、図10は、MOSFETのチャネル長/幅(L/W)は、30/200μmであり、図11は、MOSFETのチャネル長/幅(L/W)は、50/200μmであり、図12は、MOSFETのチャネル長/幅(L/W)は、100/200μmである。
このように、実施例1の作製方法を用いることにより、チャネルのサイズ(チャネル長/幅)に関係なく、MOSFETのチャネル移動度が向上でき、それに伴いオン抵抗値がチャネル移動度に反比例して低減できるのである。
なお、図14において、リンがSiC側にまで少し入っているように見えるが、これは濃度の高いほうから測定したために起こる見かけ上のものであり、SiC側に熱処理によって添加されたリンは存在していない。
さらに、界面欠陥を低減させ、チャネル移動度を向上させる方法としては、図15のフローに示すように、酸化窒素ガス(例えば、NOガス)による界面窒化および残留炭素の除去を行う界面窒化工程(S15)、H2アニールによる末結合手の終端を行う終端工程(S30)のステップを、実施例1のプロセスに加える。
11 ゲート電極
12 ソース電極
13 ドレイン電極
20 ゲート絶縁膜
21 界面
30 リン
Claims (11)
- 少なくともSiC半導体基板と、基板に接する絶縁膜を備える半導体素子において、前記絶縁膜にリンを含み、前記SiC半導体基板と前記絶縁膜との界面のリンの密度が1×1021cm−3以上であり、前記SiC半導体基板と前記絶縁膜との界面の界面準位密度が、伝導帯端からのエネルギーが0.2〜0.6eVの範囲で1×1011cm−2eV−1以下であることを特徴とするSiC半導体素子。
- 前記半導体素子のチャネル移動度が、85cm2/Vs以上であることを特徴とする請求項1に記載のSiC半導体素子。
- 前記絶縁膜において、膜厚方向に、SiC半導体基板との界面までリン濃度が一様に分布していることを特徴とする請求項1又は2に記載のSiC半導体素子。
- 前記絶縁膜がゲート絶縁膜として用いられることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載のSiC半導体素子。
- 前記絶縁膜が表面パッシベーション膜として用いられることを特徴とする請求項1〜4のいずれかのSiC半導体素子。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のSiC半導体素子の作製方法であって、
SiCからなる半導体基板上に絶縁膜を形成する絶縁膜形成工程、
前記絶縁膜に熱処理によってリンを添加するリン添加工程、
を少なくとも備え、
前記リン添加工程は、前記絶縁膜に対して、分子量90以上のリン化合物をリン源としてバブリングし、800〜1100℃の温度で熱処理を行う、ことを特徴とするSiC半導体素子の作製方法。 - 請求項6に記載のSiC半導体素子の作製方法において、さらに、
形成した前記絶縁膜に対して、酸化窒素ガスを用いて界面窒化および残留炭素の除去を行う界面窒化工程、
水素アニールを用いて未結合手を終端する終端工程、
を備えたSiC半導体素子の作製方法。 - 前記リン添加工程の後に、不活性ガスを用いてアニール処理を行う不活性ガスアニール工程を含む、ことを特徴とする請求項6又は7に記載のSiC半導体素子の作製方法。
- 前記リン添加工程は、前記絶縁膜に対して、塩化ホスホリル(POCl3)溶液をバブリングし、酸素および不活性ガスの混合ガス雰囲気で、950〜1100℃の温度で熱処理を行う、ことを特徴とする請求項6〜8のいずれかに記載のSiC半導体素子の作製方法。
- 前記リン添加工程は、前記絶縁膜に対して、塩化ホスホリル(POCl3)溶液をバブリングし、酸素および不活性ガスの混合ガス雰囲気で、800〜1100℃の温度で熱処理を行い、前記不活性ガスアニール工程は950〜1100℃の温度で行うことを特徴とする請求項8に記載のSiC半導体素子の作製方法。
- 前記不活性ガスが窒素ガスまたはアルゴンガスであることを特徴とする請求項8〜10のいずれかに記載のSiC半導体素子の作製方法。
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