JP5430697B2 - 塗布方法及び塗布装置 - Google Patents
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Description
51 ライン状塗布ユニット(LCT)
62 ステージ
64 インクジェット式レジストノズル(インクジェットノズル)
68 Yガイドレール
70 Xガイドレール
72 Y方向駆動部
74 キャリッジ
76 ライン状レジスト塗布膜
80 ステージ
82 長尺型レジストノズル(長尺ノズル)
84 塗布処理部
86 レジスト液供給機構
88 ノズル移動機構
100 面状レジスト塗布膜
102 温風ヒータ
110 先行レジスト塗布膜
112 面状レジスト塗布膜
114 合成レジスト塗布膜
G ガラス基板(被処理基板)
RE 塗布領域
Claims (7)
- 処理液を線状に吐出する第1のノズルを被処理基板の周縁部の上方で相対的に移動させて、前記基板上の周縁部に設定されている非製品領域の中にライン状の塗布膜を形成するライン状塗布工程と、
処理液を帯状に吐出する長尺型の第2のノズルを前記基板と平行でかつノズル長手方向と直交する方向に相対的に移動させて、前記基板上で前記ライン状の塗布膜の内側の領域に面状の塗布膜を形成する面状塗布工程と
を有し、
前記面状塗布工程において前記基板上に塗布された処理液が前記ライン状の塗布膜との付着による引力によって前記基板の周辺側へ広がるように、前記ライン状塗布工程において前記ライン状塗布膜のプロファイルが選定される、
塗布方法。 - 前記面状塗布工程の開始時に前記第2のノズルより前記基板上に着液された処理液が前記ライン状の塗布膜と一体化して前記第2のノズルと前記基板との間のギャップを塞ぐように、前記ライン状塗布膜のプロファイルが選定される、請求項1に記載の塗布方法。
- 前記ライン状塗布膜のプロファイルは、その塗布膜の膜厚、ライン幅および基板上の位置の中の少なくとも1つを含む、請求項1または請求項2に記載の塗布方法。
- 処理液を線状に吐出する第1のノズルを有し、処理液を線状に吐出する前記第1のノズルを被処理基板の周縁部の上方で相対的に移動させて、前記基板上の周縁部に設定されている非製品領域の中にライン状の塗布膜を形成するライン状塗布部と、
処理液を帯状に吐出する長尺型の第2のノズルを有し、処理液を帯状に吐出する前記第2のノズルを前記基板と平行でかつノズル長手方向と直交する方向に相対的に移動させて、前記基板上で前記ライン状の塗布膜の内側の領域に面状の塗布膜を形成する面状塗布部と
を有し、
前記面状塗布部により前記基板上に塗布された処理液が前記ライン状塗布部により形成された前記ライン状の塗布膜との付着による引力によって前記基板の周辺側へ広がるように、前記ライン状塗布部により前記ライン状塗布膜のプロファイルが制御される、
塗布装置。 - 被処理基板と長尺形ノズルの吐出口とを微小なギャップを隔ててほぼ水平に対向させ、前記基板に対して前記ノズルより処理液を吐出させながら前記ノズルを相対的に水平方向で移動させる塗布走査を行って、前記基板上に前記処理液の面状塗布膜を形成する塗布方法であって、
前記基板上の前記塗布走査が終了する位置付近で、かつ前記基板上の周縁部に設定されている非製品領域の中に、前記塗布走査に先立って前記処理液からなる先行の塗布膜を所望のパターンで形成し、
前記塗布走査によって前記基板上に形成される面状塗布膜の終端に前記先行塗布膜が前記非製品領域の中で合わさって、前記先行塗布膜が前記面状塗布膜の拡張部分となるようにする塗布方法。 - 前記基板は矩形であり、前記先行塗布膜は前記基板上の塗布走査が終了する側の角隅部に形成される、請求項5に記載の塗布方法。
- 被処理基板と長尺形ノズルの吐出口とを微小なギャップを隔ててほぼ水平に対向させ、前記基板に対して前記ノズルより処理液を吐出させながら前記ノズルを相対的に水平方向で移動させる塗布走査を行って、前記基板上に前記処理液の面状塗布膜を形成する面状塗布処理部と、
前記基板上の前記塗布走査が終了する位置付近で、かつ前記基板上の周縁部に設定されている非製品領域の中に、前記面状塗布処理部の前記塗布走査に先立って前記処理液からなる先行の塗布膜を所望のパターンで形成する先行塗布膜形成部と
を有し、前記面状塗布処理部の塗布走査により前記基板上に形成される面状塗布膜の終端に前記先行塗布膜が前記非製品領域の中で合わさって、前記先行塗布膜が前記面状塗布膜の拡張部分となるようにする塗布装置。
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