JP5406507B2 - 平面移動ステージ装置 - Google Patents
平面移動ステージ装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5406507B2 JP5406507B2 JP2008285464A JP2008285464A JP5406507B2 JP 5406507 B2 JP5406507 B2 JP 5406507B2 JP 2008285464 A JP2008285464 A JP 2008285464A JP 2008285464 A JP2008285464 A JP 2008285464A JP 5406507 B2 JP5406507 B2 JP 5406507B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- stage
- plane
- moving stage
- planar
- guide mechanism
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Machine Tool Units (AREA)
Description
2 定盤
2a 支持面
3 ステージ
4 第1静圧軸受
5 第1フレーム
6 第2静圧軸受
6a 基部
6b 焼結層
7 第2フレーム
8、9 X方向直動案内
11、12 Y方向直動案内
13 X方向駆動源
14 X方向駆動用ねじ
15 Y方向駆動源
16 Y方向駆動用ねじ
18 ナット
19 ボルト
20 球座
21 駆動モータ
22 駆動モータ
23 測定対象物台座
24 測定対象物
25 Oリング
Claims (8)
- 平面上を、該平面に対して平行な方向の力を受けることによって移動可能な平面移動ステージと、
該平面移動ステージの底面を、前記平面から浮上させた状態で支持する浮上支持手段と、
前記平面移動ステージを囲繞すると共に、前記平面移動ステージに、非接触で、前記平面に対して平行な方向の力を付与する第1のステージ駆動手段と、
前記第1のステージ駆動手段を前記平面に対して平行な第1の方向に案内する第1の案内機構と、
前記第1の案内機構に対して平行な方向に設けられる第1の駆動用ねじと、
前記第1のステージ駆動手段に固着されると共に前記第1の駆動用ねじに螺合し、該第1の駆動用ねじを回転させて移動することによって前記第1のステージ駆動手段を前記第1の案内機構に沿って移動させる第1の駆動源と、
前記第1の案内機構及び前記第1の駆動用ねじが設けられる第2のステージ駆動手段と、
前記第2のステージ駆動手段を、前記平面に対して平行かつ前記第1の方向に対して垂直な第2の方向に案内する第2の案内機構と、
前記第2の案内機構に対して平行な方向に設けられる第2の駆動用ねじと、
前記第2のステージ駆動手段に固着されると共に前記第2の駆動用ねじに螺合し、該第2の駆動用ねじを回転させて移動することによって前記第2のステージ駆動手段を前記第2の案内機構に沿って移動させる第2の駆動源とを備えることを特徴とする平面移動ステージ装置。 - 前記平面移動ステージは、直方体状に形成され、前記第1のステージ駆動手段は、該平面移動ステージを囲繞するようにフレーム状に形成されることを特徴とする請求項1に記載の平面移動ステージ装置。
- 前記第1のステージ駆動手段は、前記平面移動ステージの、前記平面に対して垂直な軸線回りの位置決めを行う調芯手段を備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の平面移動ステージ装置。
- 前記浮上支持手段は、前記平面移動ステージの底面に固定されて前記平面に対して空気を吹き出す静圧軸受を備えることを特徴とする請求項1、2又は3に記載の平面移動ステージ装置。
- 前記静圧軸受は、浮上状態にある前記平面移動ステージを前記平面に向かって吸引する吸引手段を備えることを特徴とする請求項4に記載の平面移動ステージ装置。
- 前記静圧軸受は、銅合金又は炭素材料を表面材料とすることを特徴とする請求項4又は5に記載の平面移動ステージ装置。
- 前記第1のステージ駆動手段は、前記平面移動ステージに対して空気を吹き出す静圧軸受を備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の平面移動ステージ装置。
- 前記平面は、定盤の表面であることを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の平面移動ステージ装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008285464A JP5406507B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 平面移動ステージ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008285464A JP5406507B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 平面移動ステージ装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010110860A JP2010110860A (ja) | 2010-05-20 |
JP5406507B2 true JP5406507B2 (ja) | 2014-02-05 |
Family
ID=42299844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008285464A Expired - Fee Related JP5406507B2 (ja) | 2008-11-06 | 2008-11-06 | 平面移動ステージ装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5406507B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5617341A (en) * | 1979-07-23 | 1981-02-19 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Alignment stage for step and repeat exposure |
JPS60127932A (ja) * | 1983-12-13 | 1985-07-08 | Omron Tateisi Electronics Co | Xyステ−ジ |
JPH07115053A (ja) * | 1993-10-15 | 1995-05-02 | Canon Inc | 移動ステージ装置 |
JP3483452B2 (ja) * | 1998-02-04 | 2004-01-06 | キヤノン株式会社 | ステージ装置および露光装置、ならびにデバイス製造方法 |
JP4483430B2 (ja) * | 2004-06-25 | 2010-06-16 | オイレス工業株式会社 | 静圧気体軸受パッドと隙間調節部材との組み合わせ構造及びこれを用いた静圧気体軸受機構 |
-
2008
- 2008-11-06 JP JP2008285464A patent/JP5406507B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010110860A (ja) | 2010-05-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101087529B1 (ko) | 스테이지장치 | |
JP4782710B2 (ja) | ステージ装置 | |
CN100580545C (zh) | 用于样本检测和处理的高分辨率动态定位机构 | |
JPH06226570A (ja) | 平行移動装置およびこれを用いた露光装置のレンズ移動装置 | |
JP5594404B1 (ja) | テーブル装置、搬送装置、半導体製造装置、及びフラットパネルディスプレイ製造装置 | |
JP5541398B1 (ja) | テーブル装置、及び搬送装置 | |
JP2015196222A (ja) | テーブル装置、及び搬送装置 | |
JP4877925B2 (ja) | ステージ装置 | |
CN112129234A (zh) | 一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台 | |
CN101326625B (zh) | 台架装置 | |
JP2007232648A (ja) | ステージ装置 | |
JP5406507B2 (ja) | 平面移動ステージ装置 | |
JP2007331087A (ja) | ステージ装置 | |
CN210486802U (zh) | 一种用于大尺寸晶圆厚度检测平台 | |
JP5751279B2 (ja) | テーブル装置、搬送装置、及び半導体製造装置 | |
JP6610083B2 (ja) | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 | |
JP5940797B2 (ja) | 半導体ウエハ検査装置 | |
JP2023114174A (ja) | テーブル装置 | |
JP5292668B2 (ja) | 形状測定装置及び方法 | |
KR101800765B1 (ko) | 테이블 장치 및 반송 장치 | |
JP4231436B2 (ja) | 移動ステージ、xyステージ、ヘッドキャリッジおよび、磁気ヘッドあるいは磁気ディスクのテスタ | |
JP6520073B2 (ja) | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 | |
JP6256242B2 (ja) | テーブル装置、測定装置、半導体製造装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び工作機械 | |
TW200426854A (en) | Stage device | |
JP2008064626A (ja) | 回転位置決めテーブル装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110912 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130311 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130508 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130626 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130912 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20131007 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20131029 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20131101 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5406507 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |