JP4877925B2 - ステージ装置 - Google Patents
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Description
該ステージ上に回動可能に支持されたθテーブルと、
前記ステージ上面の中央と前記θテーブルの下面中心との間で垂直方向に起立するピボット軸と、
前記θテーブルが前記ピボット軸の軸回りに回転するように前記ピボット軸を軸承する軸受と、
前記θテーブルの側方に設けられ、前記θテーブルの側面を前記ピボット軸の軸回りに駆動する一対のθリニアモータと、
前記θテーブルの下面より垂下方向に延在形成された複数の支柱と、
該支柱の下端に前記ステージ上を空気圧により浮上して移動するエアパッドと、
を備え、
前記θテーブルは、前記一対のθリニアモータの駆動により前記ピボット軸を中心に前記ステージ上を非接触で回動するように支持されることを特徴とする。
該ステージ上に回動可能に支持されたθテーブルと、
前記ステージ上面の中央と前記θテーブルの下面中心との間で垂直方向に起立するピボット軸と、
前記θテーブルが前記ピボット軸の軸回りに回転するように前記ピボット軸を軸承する軸受と、
前記θテーブルの側方に設けられ、前記θテーブルの側面を前記ピボット軸の軸回りに駆動する一対のθリニアモータと、
前記θテーブルの下面より垂下方向に延在形成された複数の支柱と、
該支柱の下端に前記定盤上を空気圧により浮上して移動するエアパッドと、
を備え、
前記θテーブルは、前記一対のθリニアモータの駆動により前記ピボット軸を中心に前記ステージ上を非接触で回動するように支持されることを特徴とする。
20 定盤
28 Y方向ガイドレール
30 ステージ
32 スライダ
34,70 エアパッド
36 Yステージ
38 Xステージ
40 θテーブル
50 Yリニアモータ
52 マグネットヨーク
54 コイルユニット
60 支柱
74 θリニアモータ
76 マグネットヨーク
78 コイルユニット
80 ピボット軸
82 軸受
200 高さ調整機構
210 支持プレート
212 エアパッド
220 レベリングユニット
230 下部ブロック
240 上部ブロック
250 アクチュエータ
232,242 傾斜部
234,244 凹部
246 貫通孔
270 支柱
Claims (6)
- 定盤上を移動するステージと、
該ステージに回動可能に支持されたθテーブルと、
前記ステージ上面の中央と前記θテーブルの下面中心との間で垂直方向に起立するピボット軸と、
前記θテーブルが前記ピボット軸の軸回りに回転するように前記ピボット軸を軸承する軸受と、
前記θテーブルの側方に設けられ、前記θテーブルの側面を前記ピボット軸の軸回りに駆動する一対のθリニアモータと、
前記θテーブルの下面より垂下方向に延在形成された複数の支柱と、
該支柱の下端に前記ステージ上を空気圧により浮上して移動するエアパッドと、
を備え、
前記θテーブルは、前記一対のθリニアモータの駆動により前記ピボット軸を中心に前記ステージ上を非接触で回動するように支持されることを特徴とするステージ装置。 - 定盤上を移動するステージと、
該ステージに回動可能に支持されたθテーブルと、
前記ステージ上面の中央と前記θテーブルの下面中心との間で垂直方向に起立するピボット軸と、
前記θテーブルが前記ピボット軸の軸回りに回転するように前記ピボット軸を軸承する軸受と、
前記θテーブルの側方に設けられ、前記θテーブルの側面を前記ピボット軸の軸回りに駆動する一対のθリニアモータと、
前記θテーブルの下面より垂下方向に延在形成された複数の支柱と、
該支柱の下端に前記定盤上を空気圧により浮上して移動するエアパッドと、
を備え、
前記θテーブルは、前記一対のθリニアモータの駆動により前記ピボット軸を中心に前記ステージ上を非接触で回動するように支持されることを特徴とするステージ装置。 - 前記軸受は、前記ピボット軸の上端または下端の外周を軸承するクロスローラベアリングであることを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。
- 前記ステージは、Y方向に移動するYステージと、Y方向と直交するX方向に移動するXステージとを有し、
前記θリニアモータの固定子を前記Yステージ上に設け、
前記θリニアモータの可動子を前記θテーブルの側面に設けたことを特徴とする請求項1又は2に記載のステージ装置。 - 前記ピボット軸は、前記θテーブルの下面に対向するように配置された支持プレートに支持され、
前記支持プレートは、高さ位置を調整する高さ調整機構を介して支持されたことを特徴とする請求項1乃至4の何れかに記載のステージ装置。 - 前記高さ調整機構は、前記θテーブルの下面より垂下方向に延在形成された支柱に設けられ、前記支柱を介して前記支持プレートの高さ位置を昇降させることを特徴とする請求項5に記載のステージ装置。
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- 2006-03-02 JP JP2006056723A patent/JP4877925B2/ja not_active Expired - Fee Related
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