JP5594404B1 - テーブル装置、搬送装置、半導体製造装置、及びフラットパネルディスプレイ製造装置 - Google Patents

Abstract

【課題】テーブルが目標軌道から外れてしまうことを抑制できるテーブル装置を提供する。
【解決手段】テーブル装置は、所定面内において移動可能な第１部材と、第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、少なくとも一部が第１部材に配置され、第１部材の移動により所定面と直交する第１軸と平行な方向に第２部材が移動するように第２部材をガイドする第１ガイド装置と、第２部材に支持されるテーブルと、テーブルの少なくとも一部に接続される第３部材と、第３部材との間に気体を供給可能な第１供給口を有し、第１供給口から供給される気体により第３部材との間に気体軸受を形成して、第１軸と平行な方向に第３部材を移動可能に支持する軸受部材と、第１軸と平行となるように配置され、第２部材とテーブルとを連結する平行ピンを含み、テーブルを支持する支持装置と、を備え、テーブルは、支持装置を介して第２部材に支持される。
【選択図】図１

Description

本発明は、テーブル装置、搬送装置、半導体製造装置、及びフラットパネルディスプレイ製造装置に関する。

搬送装置において、例えば特許文献１に開示されているような、移動可能なテーブルを備えるテーブル装置が使用される。

特開２００４−１９５６２０号公報

テーブル装置において、テーブルを目標軌道で移動しようとしたにもかかわらず、そのテーブルが目標軌道から外れてしまうと、そのテーブル装置を備える搬送装置の性能が低下する可能性がある。例えば、鉛直方向に関してテーブルを真っ直ぐに移動しようとしたにもかかわらず、そのテーブルが真っ直ぐに移動されないと、テーブルの位置決め精度が低下し、そのテーブルに載っている物体が望みの位置に配置されない可能性がある。

本発明は、テーブルが目標軌道から外れたり、位置決め精度が低下したりすることを抑制できるテーブル装置及び搬送装置を提供することを目的とする。

上記の目的を達成するための本発明のテーブル装置は、所定面内において移動可能な第１部材と、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、少なくとも一部が前記第１部材に配置され、前記第１部材の移動により前記所定面と直交する第１軸と平行な方向に前記第２部材が移動するように前記第２部材をガイドする第１ガイド装置と、前記第２部材に支持されるテーブルと、前記テーブルの少なくとも一部に接続される第３部材と、前記第３部材との間に供給される気体により前記第３部材との間に気体軸受を形成して、前記第１軸と平行な方向に前記第３部材を移動可能に支持する軸受部材と、前記第１軸と平行となるように配置され、前記第２部材と前記テーブルとを連結する平行ピンを含み、前記テーブルを支持する支持装置と、を備え、前記テーブルは、前記支持装置を介して前記第２部材に支持される。

従って、第３部材と軸受部材との間に形成される気体軸受によって、第３部材が接続されたテーブルは、目標軌道で移動可能である。例えば、軸受部材が第３部材を第１軸と平行な方向に真っ直ぐに移動するように、第３部材を移動可能に支持（ガイド）することにより、その第３部材が接続されたテーブルは、第１軸と平行な方向に真っ直ぐに移動可能である。すなわち、気体軸受を形成可能な軸受部材により、第３部材及びテーブルの移動における真直性の低下が抑制される。つまり、第３部材と軸受部材との間に気体軸受が形成されることにより、軸受部材は、非接触で第３部材を支持する。これにより、第３部材は、円滑に第１軸と平行な方向に移動可能である。軸受部材が第３部材と接触すると、第３部材の移動に対して抵抗力が発生する可能性がある。その結果、テーブル及び第３部材を真っ直ぐに移動しようとしたにもかかわらず、テーブル及び第３部材が真っ直ぐに移動しない可能性がある。また、軸受部材が第３部材と接触すると、第３部材の移動により振動が発生する可能性がある。第３部材に振動が発生すると、テーブルも振動し、その結果、テーブルの位置決め精度が低下する可能性がある。本発明においては、軸受部材が第３部材を非接触で移動可能に支持するため、テーブル及び第３部材は真っ直ぐに移動可能である。また、振動の発生が抑制される。その結果、テーブルの位置決め精度の低下が抑制され、テーブル及びそのテーブルに支持される物体を目標位置に配置することができる。また、本発明によれば、支持装置は、平行ピンを含み、第２部材とテーブルとは、平行ピンを介して連結される。これにより、テーブルと支持装置（平行ピン）との相対位置、及び第２部材と支持装置（平行ピン）との相対位置が確保され、テーブルと支持装置とのがたつき、又は第２部材と支持装置とのがたつきが抑制される。また、本発明によれば、テーブルは、平行ピンを含む支持装置によって柔軟に支持される。これにより、例えば、第２部材が望まれない移動（振動）をしても、支持装置により、その望まれない移動（振動）がテーブルに伝達されることが抑制される。

本発明のテーブル装置では、前記軸受部材は、前記第３部材の側面との間に気体を供給する第１供給口を有し、前記第１軸と平行な方向に関する前記第３部材の移動範囲において、前記第１供給口は、前記第３部材の側面と対向し続ける。

従って、第３部材の移動範囲において、第３部材と軸受部材との間に気体軸受を形成し続けることができ、第３部材と軸受部材との非接触状態を維持することができる。

本発明のテーブル装置では、前記第１軸と平行な方向に関して、前記第３部材の寸法は、前記軸受部材の寸法よりも大きい。

従って、軸受部材の上端部から突出する第３部材とテーブルとを円滑に接続することができる。また、軸受部材の下端部からも第３部材が突出することによって、軸受部材の上端部側と下端部側との質量（重量）のバランスが向上する。これにより、第３部材は、真っ直ぐに移動可能である。

本発明のテーブル装置では、前記第３部材の移動範囲において、前記第１軸と平行な方向に関して、前記第３部材の中心は、前記軸受部材の一端部と他端部との間に配置され続ける。

従って、第３部材の移動中においても、軸受部材の上端部側と下端部側との質量（重量）のバランスが向上するため、第３部材は、真っ直ぐに移動可能である。

本発明のテーブル装置では、前記水平面と平行な前記第３部材の断面の外形は円形である。

従って、第３部材の製造において、高い加工精度を容易に得ることができ、目標形状を容易に得ることができる。そのため、その第３部材の側面と軸受部材との間に形成される間隙の寸法が不均一になることが抑制される。したがって、第３部材と軸受部材との間に形成される気体軸受の性能の低下が抑制され、第３部材が目標軌道から外れて移動されることが抑制される。

本発明のテーブル装置では、前記第３部材は少なくとも２つ配置され、前記テーブルの第１部位及び前記第１部位とは異なる前記テーブルの第２部位のそれぞれに接続される。

従って、テーブルに接続された複数の第３部材により、例えばテーブルの回転が抑制される。これにより、テーブルの位置決め精度が向上する。

本発明のテーブル装置では、前記第１部材が前記所定面内の第２軸と平行な方向に移動され、前記第２軸と平行な方向に関する前記第２部材の移動を抑制する抑制部材を備える。

従って、第２軸と平行な方向に第１部材が移動しても、第２部材が第２軸と平行な方向に移動することが抑制される。これにより、第２軸と平行な方向に関する第１部材の移動が、第１軸と平行な方向に関する第２部材の移動に効率良く変換される。

本発明のテーブル装置では、少なくとも一部が前記抑制部材に配置され、前記第２部材を前記第１軸と平行な方向にガイドする第２ガイド装置を有する。

従って、第２部材は、第２ガイド装置にガイドされて第１軸と平行な方向に移動可能である。第２部材が第１軸と平行な方向に移動することにより、その第２部材に支持されているテーブルも、第２部材と一緒に第１軸と平行な方向に移動可能である。

本発明のテーブル装置では、前記第３部材は、上面及び下面を有し、前記上面側の少なくとも一部が前記テーブルに接続され、前記第１部材を移動するための動力を発生するアクチュエータと、前記第３部材の下面が面する空間に面するように配置され、前記空間に気体を供給する第２供給口を有する重力補償装置と、を備える。

従って、第２供給口から第３部材の下面に面する空間に供給された気体により、アクチュエータに対するテーブルの重量の作用が低減される。すなわち、重力補償装置が、重力の作用によりテーブルからアクチュエータに伝達される力が低減されるように、第２供給口から空間に気体を供給するので、アクチュエータにかかる負荷が低減される。そのため、アクチュエータの発熱が抑制され、アクチュエータの周囲の部材の熱変形が抑制される。また、テーブル装置の部材の熱変形が抑制されるため、テーブルの位置決め精度の低下が抑制され、テーブル装置の性能の低下が抑制される。

本発明のテーブル装置では、少なくとも一部が前記第３部材及び前記軸受部材の周囲に配置され、前記軸受部材を支持する支持部材を備え、前記第２供給口は、前記第３部材の下面と前記支持部材の内面とによって規定される空間に気体を供給する。

従って、第３部材の下面と支持部材の内面とによって閉じられた空間に気体が供給されるので、第２供給口から供給された気体によって空間の圧力を良好に調整することができる。

本発明のテーブル装置では、前記重力補償装置は、前記下面が面する空間の圧力が前記支持部材の外側の空間の圧力よりも高くなるように、前記第２供給口から気体を供給する。

従って、重力補償装置は、テーブルの自重による鉛直方向下向きへの力を打ち消すように、第３部材及びテーブルに対して上向きの力を加えることができる。そのため、アクチュエータにかかる負荷が低減される。

上記の目的を達成するための本発明の搬送装置は、上記のテーブル装置を備える。

従って、搬送装置は、テーブルに支持されている物体を目標位置に搬送することができる。

上記の目的を達成するための本発明の半導体製造装置は、上記のテーブル装置を備える。

従って、半導体製造装置は、目標位置に配置された物体を処理できるので、その物体から不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。なお、半導体製造装置は、例えば露光装置を含み、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。

上記の目的を達成するための本発明のフラットパネルディスプレイ製造装置は、上記のテーブル装置を備える。

従って、フラットパネルディスプレイ製造装置は、目標位置に配置された物体を処理できるので、その物体から不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。なお、フラットパネルディスプレイ製造装置は、例えば露光装置を含み、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

本発明のテーブル装置及び搬送装置によれば、テーブルが目標軌道から外れてしまうことが抑制され、位置決め精度の低下が抑制される。

図１は、本実施形態に係るテーブル装置の一例を示す正面図である。 図２は、図１のＡ−Ａ線矢視図である。 図３は、本実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側面図である。 図４は、本実施形態に係るテーブル装置の一例を示す側面図である。 図５は、図１の一部を拡大した図である。 図６は、本実施形態に係るガイド装置の一例を示す図である。 図７は、本実施形態に係る気体軸受の一例を示す断面図である。 図８は、本実施形態に係る気体軸受の一例を示す断面図である。 図９は、本実施形態に係るテーブル装置の動作の一例を示す図である。 図１０は、本実施形態に係る支持装置の一例を示す図である。 図１１は、本実施形態に係る気体軸受の一例を示す断面図である。 図１２は、本実施形態に係る搬送装置及び半導体製造装置の一例を示す図である。 図１３は、本実施形態に係る搬送装置及び検査装置の一例を示す図である。

以下、本発明に係る実施形態について図面を参照しながら説明するが、本発明はこれに限定されない。以下で説明する各実施形態の要件は、適宜組み合わせることができる。また、一部の構成要素を用いない場合もある。以下の説明においては、ＸＹＺ直交座標系を設定し、このＸＹＺ直交座標系を参照しつつ各部の位置関係について説明する。水平面内の一方向をＸ軸方向、水平面内においてＸ軸方向と直交する方向をＹ軸方向、Ｘ軸方向及びＹ軸方向のそれぞれと直交する方向（すなわち鉛直方向）をＺ軸方向とする。また、Ｘ軸、Ｙ軸、及びＺ軸まわりの回転（傾斜）方向をそれぞれ、θＸ、θＹ、及びθＺ方向とする。Ｘ軸は、ＹＺ平面と直交する。Ｙ軸は、ＸＺ平面と直交する。Ｚ軸は、ＸＹ平面と直交する。

図１は、本実施形態に係るテーブル装置１００の一例を示す図である。図２は、図１のＡ−Ａ線矢視図である。図３は、図１のテーブル装置１００を−Ｘ側から見た図である。図４は、図１のテーブル装置１００を＋Ｘ側から見た図である。図５は、図１の一部を拡大した図である。

テーブル装置１００は、物体Ｓを支持可能なテーブル１０と、ＸＹ平面内（水平面内）において移動可能な第１部材１と、第１部材１に対して相対移動可能な第２部材２と、少なくとも一部が第１部材１に配置され、第１部材１の移動によりＺ軸方向に第２部材２が移動するように第２部材２をガイドするガイド装置４と、テーブル１０の少なくとも一部に接続される第３部材３と、第３部材３との間に気体軸受５Ｇを形成して、Ｚ軸方向に第３部材３を移動可能に支持する軸受部材５と、テーブル１０を柔軟に支持する支持装置１９と、を備えている。軸受部材５は、第３部材３との間に気体を供給可能な供給口１５を有し、その供給口１５から供給される気体により、第３部材３との間に気体軸受５Ｇを形成して、その第３部材３を非接触支持する。テーブル１０は、支持装置１９を介して第２部材２に支持される。

また、テーブル装置１００は、軸受部材５を支持する支持部材６と、第１部材１を移動するための動力を発生するアクチュエータ７と、アクチュエータ７に対するテーブル１０の重量の作用を低減するための重力補償装置６０と、を備えている。重力補償装置６０は、気体を供給可能な供給口６２を有し、その供給口６２から気体を供給して、アクチュエータ７に対するテーブル１０の重量の作用を低減する。

また、テーブル装置１００は、ベース部材８を備えている。本実施形態において、ベース部材８は、第１ベース部材８１と、第１ベース部材８１を支持する第２ベース部材８２とを含む。ベース部材８は、例えばテーブル装置１００が設置される施設（例えば工場）の床面などに配置される。

テーブル１０は、第２部材２に支持される。第３部材３は、テーブル１０の少なくとも一部に接続される。テーブル１０は、＋Ｚ方向を向く上面１０Ａと、上面１０Ａの反対方向（−Ｚ方向）を向く下面１０Ｂとを有する。物体Ｓは、テーブル１０の上面１０Ａに載せられる。上面１０Ａは、物体Ｓを支持可能である。

第１部材１、第２部材２、及び第３部材３のそれぞれは、テーブル１０の下面１０Ｂ側（−Ｚ側）に配置される。第２部材２は、テーブル１０の下面１０Ｂ側（−Ｚ側）において、テーブル１０を支持する。第３部材３は、テーブル１０の下面１０Ｂに接続される。

第１部材１、第２部材２、及び第３部材３のそれぞれは、可動部材である。第１部材１、第２部材２、及び第３部材３のそれぞれは、テーブル１０の下方の空間（−Ｚ側の空間）において移動する。第１部材１、第２部材２、及び第３部材３のそれぞれは、ベース部材８の上方の空間（＋Ｚ側の空間）において移動する。

第１部材１は、ＸＹ平面内において移動可能である。本実施形態において、第１部材１は、Ｘ軸方向に移動可能である。ＸＺ平面内における第１部材１の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。図１及び図５に示すように、第１部材１は、ＸＹ平面と平行な下面１Ｂと、ＸＹ平面に対して傾斜する斜面１Ｇと、Ｚ軸と平行な側面１Ｓとを有する。斜面１Ｇ及び側面１Ｓは、下面１Ｂよりも上側（＋Ｚ側）に配置される。斜面１Ｇは、＋Ｘ方向に向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する。斜面１Ｇの下端部と下面１Ｂの−Ｘ側の端部とが結ばれる。斜面１Ｇの上端部と側面１Ｓの上端部とが結ばれる。側面１Ｓの下端部と下面１Ｂの＋Ｘ側の端部とが結ばれる。

第２部材２は、第１部材１に移動可能に支持される。第１部材１と第２部材２とは相対移動可能である。第２部材２は、第１部材１の上方（＋Ｚ側）において、第１部材１に対して相対移動する。

第２部材２は、少なくともＺ軸方向に移動可能である。本実施形態においては、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、第２部材２がＺ軸方向に移動する。ＸＺ平面内における第２部材２の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。図１及び図５に示すように、第２部材２は、ＸＹ平面と平行な上面２Ａと、ＸＹ平面に対して傾斜する斜面２Ｇと、Ｚ軸と平行な側面２Ｓとを有する。上面２Ａは、側面２Ｓ及び斜面２Ｇよりも上側（＋Ｚ側）に配置される。斜面２Ｇは、＋Ｘ方向に向かって上方（＋Ｚ方向）に傾斜する。本実施形態において、斜面１Ｇと斜面２Ｇとは平行である。斜面２Ｇの上端部と上面２Ａの＋Ｘ側の端部とが結ばれる。斜面２Ｇの下端部と側面２Ｓの下端部とが結ばれる。側面２Ｓの上端部と上面２Ａの−Ｘ側の端部とが結ばれる。

ガイド装置４は、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に第２部材２が移動するように第２部材２をガイドする。ガイド装置４の少なくとも一部は、第１部材１に配置される。本実施形態において、ガイド装置４は、第１部材１に配置されたレール４１と、第２部材２に配置され、レール４１を移動可能なスライダ４２とを含む。レール４１は、第１部材１の斜面１Ｇに配置される。スライダ４２は、第２部材２の斜面２Ｇに配置される。

ガイド装置４は、直動型の軸受を含む。本実施形態において、ガイド装置４は、転がり軸受を含む。転がり軸受は、転動体を有する。転動体は、玉及びころの一方又は両方を含む。すなわち、転がり軸受は、玉軸受及びころ軸受の一方又は両方を含む。本実施形態において、ガイド装置４は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。

図６は、本実施形態に係るガイド装置４の一例を示す図である。レール４１は、上方を向く表面４１Ａと、表面４１Ａの両側に配置される側面４１Ｂと、側面４１Ｂのそれぞれに形成された溝４１Ｃとを有する。スライダ４２は、レール４１の表面４１Ａと対向可能な第１対向面４２Ａと、レール４１の側面４１Ｂと対向可能な第２対向面４２Ｂと、少なくとも一部がレール４１の溝４１Ｃに配置される転動体（玉）４２Ｔとを有する。玉４２Ｔは、溝４１Ｃの内面に接触しつつ転がる。溝４１Ｃに沿って玉４２Ｔが転がることによって、スライダ４２はレール４１を円滑に移動可能である。

本実施形態において、レール４１は、ＸＹ平面に対して傾斜するように、第１部材１（斜面１Ｇ）に配置される。レール４１は、レール４１の表面４１ＡがＸＹ平面に対して傾斜するように配置される。図５に示すように、本実施形態において、ＸＹ平面に対するレール４１（表面４１Ａ）の傾斜角度はθである。角度θは、０度よりも大きく、９０度よりも小さい。スライダ４２は、第１対向面４２Ａとレール４１の表面４１Ａとが平行となるように、第２部材２（斜面２Ｇ）に配置される。本実施形態において、スライダ４２は、第２部材２の斜面２Ｇに２つ配置される。なお、スライダ４２は、第２部材２に１つ配置されてもよい。３つ以上の複数のスライダ４２が第２部材２に配置されてもよい。

第２部材２は、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、Ｚ軸方向に移動するようにガイド装置４にガイドされる。第１部材１が−Ｘ方向に移動すると、第２部材２は＋Ｚ方向に移動（上昇）する。第１部材１が＋Ｘ方向に移動すると、第２部材２は−Ｚ方向に移動（下降）する。テーブル１０は、第２部材２に支持されている。そのため、Ｚ軸方向に関する第２部材２の移動（昇降）により、テーブル１０も、第２部材２と一緒に移動（昇降）する。すなわち、第２部材２が＋Ｚ方向に移動（上昇）すると、テーブル１０は第２部材２と一緒に＋Ｚ方向に移動（上昇）する。第２部材２が−Ｚ方向に移動（下降）すると、テーブル１０は第２部材２と一緒に−Ｚ方向に移動（下降）する。

なお、ガイド装置４において、第１部材１の斜面１Ｇにスライダ４２が配置され、第２部材２の斜面２Ｇにレール４１が配置されてもよい。

第１部材１の外形は、ほぼ三角形（くさび形）である。第２部材２の外形も、ほぼ三角形（くさび形）である。すなわち、本実施形態において、テーブル装置１００は、所謂、くさび型昇降装置を含む。第１部材１を、くさび部材（第１くさび部材）１と称してもよい。第２部材２を、くさび部材（第２くさび部材）２と称してもよい。

アクチュエータ７は、第１部材１をＸＹ平面内において移動可能である。アクチュエータ７は、第１部材１を移動するための動力を発生する。アクチュエータ７は、第１部材１がＸＹ平面内において移動するように動力を発生する。本実施形態においては、アクチュエータ７の作動により、第１部材１はＸ軸方向に移動する。アクチュエータ７は、回転モータを含み、供給される電力により作動する。図１及び図２に示すように、アクチュエータ７と第１部材１とは、動力伝達装置１１を介して接続される。アクチュエータ７の動力（駆動力）は、動力伝達装置１１を介して、第１部材１に伝達される。

本実施形態において、動力伝達装置１１は、アクチュエータ７の回転運動を直線運動に変換する。本実施形態において、アクチュエータ（回転モータ）７のシャフトは、θＸ方向に回転する。動力伝達装置１１は、θＸ方向の回転運動を、Ｘ軸方向の直線運動に変換して、第１部材１に伝達する。第１部材１は、動力伝達装置１１を介して伝達されるアクチュエータ７の動力（駆動力）により、Ｘ軸方向に移動する。

本実施形態において、動力伝達装置１１は、ボールねじ１１Ｂを含む。ボールねじ１１Ｂは、アクチュエータ７の作動により回転するねじ軸と、第１部材１に接続され、ねじ軸の周囲に配置されるナットと、ねじ軸とナットとの間に配置されるボールとを含む。ボールねじ１１Ｂのねじ軸は、支持軸受１２により回転可能に支持される。本実施形態において、ボールねじ１１Ｂは、θＸ方向に回転する。ボールねじ１１ＢがθＸ方向に回転することにより、ナット及びそのナットが接続されている第１部材１がＸ軸方向に移動（直線移動）する。

アクチュエータ（回転モータ）７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を一方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、第１部材１が＋Ｘ方向に移動する。アクチュエータ（回転モータ）７がボールねじ１１Ｂのねじ軸を逆方向に回転すると、そのねじ軸の回転により、第１部材１が−Ｘ方向に移動する。すなわち、アクチュエータ７の回転方向（ボールねじ１１Ｂのねじ軸の回転方向）に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動方向（＋Ｘ方向及び−Ｘ方向のいずれか一方の方向）が決定される。第１部材１の移動方向に基づいて、Ｚ軸方向に関する第２部材２（テーブル１０）の移動方向（−Ｚ方向及び＋Ｚ方向のいずれか一方の方向）が決定される。

図１及び図５に示すように、テーブル装置１００は、第１部材１をガイドするガイド装置９を有する。ガイド装置９は、第１部材１をＸ軸方向にガイドする。ガイド装置９は、アクチュエータ７の作動により、Ｘ軸方向に第１部材１が移動するように第１部材１をガイドする。ガイド装置９の少なくとも一部は、ベース部材８に配置される。本実施形態において、ガイド装置９は、ベース部材８に配置されたレール９１と、第１部材１に配置され、レール９１を移動可能なスライダ９２とを含む。レール９１は、ベース部材８の上面に配置される。スライダ９２は、第１部材１の下面１Ｂに配置される。

ガイド装置９は、直動型の軸受を含む。本実施形態において、ガイド装置９は、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含む。第１部材１は、アクチュエータ７の作動により、Ｘ軸方向に移動するようにガイド装置９にガイドされる。ガイド装置９は、図６を参照して説明したガイド装置４と同等の構造である。ガイド装置９についての詳細な説明は省略する。

なお、ガイド装置９において、ベース部材８の上面にスライダ９２が配置され、第１部材１の下面１Ｂにレール９１が配置されてもよい。

テーブル装置１００は、Ｘ軸方向に関する第２部材２の移動を抑制する抑制部材１３を備えている。抑制部材１３は、第１部材１及び第２部材２よりも−Ｘ側に配置される。Ｘ軸方向に関して、第２部材２の少なくとも一部は、第１部材１と抑制部材１３との間に配置される。抑制部材１３は、ベース部材８に固定される。

例えば−Ｘ方向への第１部材１の移動により、第２部材２が第１部材１と一緒に−Ｘ方向へ移動する可能性がある。また、＋Ｘ方向への第１部材１の移動により、第２部材２が第１部材１と一緒に＋Ｘ方向へ移動する可能性がある。本実施形態においては、抑制部材１３により、第２部材２がＸ軸方向に移動することが抑制される。これにより、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動が、Ｚ軸方向に関する第２部材２の移動に効率良く変換される。

また、抑制部材１３は、Ｘ軸方向に作用する第２部材２からの力を受け止める。そのため、第３部材３及び軸受部材５に対して第２部材２からＸ軸方向に関する力が作用することが抑制される。これにより、第３部材３と軸受部材５との間の間隙の寸法が維持され、気体軸受５Ｇは第３部材３をＺ軸方向にガイド可能である。

本実施形態において、テーブル装置１００は、少なくとも一部が抑制部材１３に配置され、第２部材２をガイドするガイド装置１４を有する。ガイド装置１４は、第２部材２をＺ軸方向にガイドする。図１及び図５に示すように、本実施形態において、ガイド装置１４は、抑制部材１３に配置されたレール１４１と、第２部材２に配置され、レール１４１を移動可能なスライダ１４２とを含む。スライダ１４２は、第２部材２の側面２Ｓに配置される。レール１４１は、スライダ１４２と対向するように、抑制部材１３の側面１３Ｓに配置される。

ガイド装置１４は、直動型の軸受を含む。本実施形態において、ガイド装置１４は、直動型の転がり軸受を含む。ガイド装置１４が、図６を参照して説明したような、直動型玉軸受（linear ball bearing）を含んでもよい。

なお、ガイド装置１４において、抑制部材１３の側面１３Ｓにスライダ１４２が配置され、第２部材２の側面２Ｓにレール１４１が配置されてもよい。

なお、本実施形態において、ガイド装置４は、転動体を有する転がり軸受を含むこととした。ガイド装置４が、転動体を有しない直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、ガイド装置４が、スライダを有しなくてもよい。例えば、第２部材２がＺ軸方向に移動するように、第１部材１に設けられたレールに沿って第２部材２の斜面２Ｇが移動されてもよい。この場合、第１部材１に設けられたレールが、第２部材２をガイドするガイド装置として機能する。同様に、ガイド装置９が、直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、ガイド装置９が、スライダを有しなくてもよい。同様に、ガイド装置１４が、直動型のすべり軸受を含んでもよいし、直動型の気体軸受を含んでもよい。なお、ガイド装置１４が、スライダを有しなくてもよい。

第３部材３は、Ｚ軸方向に移動可能である。第３部材３は、気体軸受５Ｇを形成可能な軸受部材５に移動可能に支持される。軸受部材５は、第３部材３をＺ軸方向に移動可能に支持する。第３部材３と軸受部材５との間に気体が供給されることによって、その第３部材３と軸受部材５との間に気体軸受５Ｇが形成される。第３部材３と軸受部材５との間に気体軸受５Ｇが形成されることにより、第３部材３は、軸受部材５に非接触支持される。

図７は、第３部材３、軸受部材５、及び支持部材６のＸＺ平面と平行な断面図である。図８は、第３部材３、軸受部材５、及び支持部材６のＸＹ平面と平行な断面図である。本実施形態において、第３部材３は、Ｚ軸方向に長い棒状の部材である。第３部材３は、＋Ｚ方向を向く上面３Ａと、−Ｚ方向を向く下面３Ｂと、上面３Ａと下面３Ｂとを結ぶ側面（外面）３Ｃとを有する。図８に示すように、本実施形態において、ＸＹ平面と平行な第３部材３の断面の外形は、円形である。すなわち、第３部材３は、Ｚ軸方向に長い円柱状の部材である。第３部材３の軸は、Ｚ軸と平行である。なお、第３部材３の内部が空洞でもよい。例えば、第３部材３がＺ軸方向に長い円筒状の部材でもよい。

軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃの周囲に配置される筒状の部材である。軸受部材５は、円筒状の部材である。軸受部材５の軸は、Ｚ軸と平行である。本実施形態において、第３部材３の軸と軸受部材５の軸とは一致する。換言すれば、第３部材３の軸と軸受部材５の軸とは同じ軸である。軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃと対向可能な内面５Ｃを有する。内面５Ｃを、軸受面５Ｃと称してもよい。本実施形態において、軸受部材５は、軸受部材５の軸と平行なＺ軸方向に関して、２つ配置される。以下の説明において、Ｚ軸方向に配置される２つの軸受部材５のうち、＋Ｚ側に配置される軸受部材５を適宜、軸受部材５１と称し、軸受部材５１よりも−Ｚ側に配置される軸受部材５を適宜、軸受部材５２と称する。

支持部材６は、軸受部材５を支持する。軸受部材５は、支持部材６に固定される。支持部材６は、軸受部材５を介して、第３部材３を移動可能に支持する。本実施形態において、支持部材６は、少なくとも一部が第３部材３及び軸受部材５の周囲に配置される筒状の部材である。支持部材６の軸は、Ｚ軸と平行である。本実施形態において、第３部材３の軸と軸受部材５の軸と支持部材６の軸とは一致する。換言すれば、第３部材３の軸と軸受部材５の軸と支持部材６の軸とは同じ軸である。図３及び図４などに示すように、支持部材６は、支持装置１４Ｓに支持される。支持装置１４Ｓは、ベース部材８に固定される。本実施形態において、支持部材６は、支持装置１４Ｓを介して、ベース部材８に支持される。支持部材６は、支持装置１４Ｓに固定される。本実施形態においては、ベース部材８に対する支持部材６の位置が固定される。

本実施形態において、支持部材６は、支持部材６の下面とベース部材８の上面とが接触するように配置される。

図７及び図８に示すように、軸受部材５は、支持部材６の内面に配置される。軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃの周囲に配置される。軸受部材５の内面５Ｃと、第３部材３の側面（外面）３Ｃとが対向する。軸受部材５の内面５Ｃは、間隙を介して、第３部材３の側面３Ｃと対向する。

軸受部材５は、第３部材３を非接触で支持する。軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃとの間に供給される気体により、第３部材３の側面３Ｃとの間に気体軸受５Ｇを形成する。軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃとの間に気体を供給可能な供給口１５を有する。本実施形態において、供給口１５は、第３部材３の側面３Ｃと対向するように配置される。供給口１５は、軸受部材５の内面５Ｃに配置される。供給口１５から第３部材３の側面３Ｃと軸受部材５の内面５Ｃとの間に供給される気体により、第３部材３の側面３Ｃと軸受部材５の内面５Ｃとの間に気体軸受５Ｇが形成される。気体軸受５Ｇにより、第３部材３の側面３Ｃと軸受部材５の内面５Ｃとの間に間隙が形成される。本実施形態において、供給口１５は、空気（圧縮空気）を供給する。

第３部材３の側面３Ｃの周囲に形成される気体軸受５Ｇによって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に関する第３部材３の移動が制限される。気体軸受５Ｇによって、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に関する第３部材３の移動が抑制され、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動が許容される。

本実施形態において、軸受部材５は、多孔体（多孔質部材）を含む。多孔体は、例えば特許第５０９３０５６号公報、特開２００７−１２０５２７号公報などに開示されているようなグラファイト（カーボングラファイト）製でもよい。なお、多孔体がセラミックス製でもよい。供給口１５は、多孔体の孔を含む。本実施形態において、多孔体の孔（供給口）１５から気体が供給される。図７に示すように、本実施形態においては、軸受部材５と支持部材６との間にキャビティ１６が形成される。気体供給装置１７からキャビティ１６に気体が供給される。キャビティ１６に供給された気体は、軸受部材５の内部（多孔体の孔）を通過して、軸受部材５の内面５Ｃに到達し、その内面５Ｃに配置された供給口１５から、内面５Ｃと外面３Ｃとの間の空間に供給される。これにより、内面５Ｃと外面３Ｃとの間に気体軸受５Ｇが形成される。内面５Ｃと外面３Ｃとが非接触状態となる。

本実施形態において、軸受部材５と第３部材３との間に供給された気体の少なくとも一部が排出される排気口１８が設けられる。排気口１８は、支持部材６に配置される。排気口１８は、軸受部材５１と軸受部材５２との間に配置される。

第３部材３は、テーブル１０に接続される。第３部材３は、第３部材３の上面３Ａとテーブル１０の下面１０Ｂとが対向するように、テーブル１０に接続される。本実施形態において、第３部材３の上面３Ａ側の少なくとも一部がテーブル１０に接続される。換言すれば、第３部材３の上端部の少なくとも一部がテーブル１０に接続される。第３部材３の上面３Ａとテーブル１０の下面１０Ｂとは、接触してもよいし、接触しなくてもよい。第３部材３は、テーブル１０に固定される。ボルトのような固定部材により、テーブル１０に対して第３部材３が固定される。

上述のように、アクチュエータ７の作動により、第１部材１がＸ軸方向に移動される。Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、第２部材２及びその第２部材２に支持されているテーブル１０がＺ軸方向に移動する。本実施形態においては、Ｚ軸方向に関するテーブル１０の移動により、そのテーブル１０に接続されている第３部材３がテーブル１０と一緒にＺ軸方向に移動する。第３部材３は、軸受部材５（気体軸受５Ｇ）にガイドされてＺ軸方向に移動する。本実施形態において、軸受部材５は、Ｚ軸方向に第３部材３が移動するようにその第３部材３をガイドするガイド装置として機能する。第３部材３の側面３Ｃと対向する軸受部材５の内面５Ｃを、ガイド面５Ｃと称してもよい。本実施形態において、側面３Ｃ及び内面５Ｃのそれぞれは、Ｚ軸と平行である。

Ｚ軸方向に関して、第３部材３の寸法は、軸受部材５の寸法よりも大きい（長い）。本実施形態においては、Ｚ軸方向に関して、第３部材３の上面３Ａと下面３Ｂとの距離は、軸受部材５１の＋Ｚ側の端部（上端部）と軸受部材５２の−Ｚ側の端部（下端部）との距離よりも大きい。

図７などに示すように、Ｚ軸方向に関する第３部材３の中心Ｇ３と軸受部材５の中心Ｇ５とが一致する状態において、上面３Ａを含む第３部材３の＋Ｚ側の端部（上端部）は、軸受部材５（軸受部材５１）の＋Ｚ側の端部（上端部）よりも＋Ｚ側に配置され、下面３Ｂを含む第３部材３の−Ｚ側の端部（下端部）は、軸受部材５（軸受部材５２）の−Ｚ側の端部（下端部）よりも−Ｚ側に配置される。換言すれば、Ｚ軸方向に関する第３部材３の中心Ｇ３と軸受部材５の中心Ｇ５とが一致する状態において、第３部材３の上端部及び下端部のそれぞれは、軸受部材５（軸受部材５１及び軸受部材５２）の外側に配置される。

なお、本実施形態において、Ｚ軸方向に関する軸受部材５の中心Ｇ５は、軸受部材５１の上端部と軸受部材５２の下端部との間の中心である。軸受部材５が１つである場合、Ｚ軸方向に関する軸受部材５の中心Ｇ５は、その軸受部材５の上端部と下端部との間の中心である。軸受部材５がＺ軸方向に関して３つ以上の複数配置される場合、Ｚ軸方向に関する軸受部材５の中心Ｇ５は、複数の軸受部材のうち最も＋Ｚ側に配置される軸受部材の上端部と、最も−Ｚ側に配置される軸受部材の下端部との間の中心である。

また、図７などに示すように、Ｚ軸方向に関する第３部材３の中心Ｇ３と軸受部材５の中心Ｇ５とが一致する状態において、上面３Ａを含む第３部材３の＋Ｚ側の端部（上端部）は、支持部材６の＋Ｚ側の端部（上端部）よりも＋Ｚ側に配置される。換言すれば、Ｚ軸方向に関する第３部材３の中心Ｇ３と軸受部材５の中心Ｇ５とが一致する状態において、第３部材３の上端部は、支持部材６の外側に配置される。

図９は、Ｚ軸方向に関してテーブル１０及び第３部材３が移動する状態の一例を示す図である。本実施形態においては、Ｚ軸方向に関してテーブル１０及び第３部材３が移動可能な移動範囲（移動量、ストローク）が定められている。本実施形態においては、アクチュエータ７の作動量（回転量）に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動範囲（移動量、ストローク）が決定される。また、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動範囲（移動量、ストローク）に基づいて、Ｚ軸方向に関する第２部材２（テーブル１０）の移動範囲（移動量、ストローク）が決定される。また、第３部材３は、テーブル１０に接続されており、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲（移動量、ストローク）は、Ｚ軸方向に関するテーブル１０の移動範囲（移動量、ストローク）に基づいて決定される。図９に示すように、Ｚ軸方向に関して、テーブル１０及び第３部材３は、位置Ｚ１と、位置Ｚ１よりも＋Ｚ側の位置Ｚ２との間を移動可能である。すなわち、テーブル１０及び第３部材３がＺ軸方向に移動可能な移動範囲は、位置Ｚ１と位置Ｚ２との間の範囲である。

本実施形態においては、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、第３部材３の上端部は、支持部材６の外側に配置され続ける。Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、第３部材３の上端部及び下端部のそれぞれは、軸受部材５（軸受部材５１及び軸受部材５２）の外側に配置され続ける。

Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、軸受部材５の内面５Ｃは、第３部材３の側面３Ｃと対向し続ける。Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、供給口１５は、第３部材３の側面３Ｃと対向し続ける。換言すれば、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、第３部材３が最も−Ｚ側の位置Ｚ１に配置された状態においても、軸受部材５の供給口１５と第３部材３の側面３Ｃとは対向する。Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、テーブル１０が最も＋Ｚ側の位置Ｚ２に配置された状態においても、軸受部材５の供給口１５と第３部材３の側面３Ｃとは対向する。すなわち、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲の全部において、軸受部材５の供給口１５と第３部材３の側面３Ｃとは対向し続ける。これにより、第３部材３の移動範囲において、第３部材３と軸受部材５との間に気体軸受５Ｇが形成され続ける。

また、本実施形態においては、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、Ｚ軸方向に関する第３部材３の中心Ｇ３は、軸受部材５の上端部と下端部との間に配置され続ける。換言すれば、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、中心Ｇ３は軸受部材５の外側に配置されない。本実施形態においては、中心Ｇ３が軸受部材５の外側に配置されないように、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲が定められる。

なお、本実施形態において、軸受部材５の上端部は、軸受部材５１の上端部である。軸受部材５の下端部は、軸受部材５２の下端部である。軸受部材５が１つである場合、軸受部材５の上端部は、その１つの軸受部材５の上端部であり、軸受部材５の下端部は、その１つの軸受部材５の下端部である。また、軸受部材５がＺ軸方向に関して３つ以上の複数配置される場合、軸受部材５の上端部は、複数の軸受部材のうち最も＋Ｚ側に配置される軸受部材の上端部である。軸受部材５の下端部は、複数の軸受部材のうち最も−Ｚ側に配置される軸受部材の下端部である。

図１、図３、図４、図７、及び図９などに示すように、本実施形態において、第３部材３の下面３Ｂは、ベース部材８から離れている。本実施形態において、第３部材３は、テーブル１０と接続され、テーブル１０以外の部材とは接続されない。本実施形態においては、第３部材３の上面３Ａにテーブル１０が接続され、側面３Ｃの周囲に軸受部材５及び支持部材６が非接触状態で配置され、第３部材３の下面３Ｂに部材は接続されない。

本実施形態において、支持部材６は、支持部材６の下面とベース部材８の上面とが接触するように配置される。支持部材６の下端部は、第３部材３の下端部よりも下側（−Ｚ側）に配置される。第３部材３の下面３Ｂと支持部材６の内面とによって空間６３が規定される。第３部材３の下面３Ｂは、空間６３に面する。本実施形態において、空間６３は、第３部材３の下面３Ｂと支持部材６の内面とベース部材８の上面とで囲まれた空間を含む。

重力補償装置６０は、第３部材３の下面３Ｂが面する空間６３に気体を供給可能な供給口６２を有する。重力補償装置６０は、アクチュエータ７に対するテーブル１０の重量の作用が低減されるように、供給口６２から気体を供給する。重力補償装置６０を、自重補償装置６０と称してもよいし、自重キャンセル装置６０と称してもよい。

重力補償装置６０は、気体を供給可能な気体供給装置６１と、気体供給装置６１からの気体が流れる流路６４とを有する。本実施形態において、流路６４の少なくとも一部は、ベース部材８の内部に形成される。流路６４は、気体供給装置６１と供給口６２とを結ぶ。流路６４の一端部に供給口６２が配置される。本実施形態において、供給口６２は、流路６４の一端部の開口を含む。流路６４の他端部が気体供給装置６１と接続される。気体供給装置６１から供給された気体は、流路６４を介して、供給口６２に送られる。供給口６２は、気体供給装置６１からの気体を空間６３に供給する。

供給口６２は、空間６３に面するように配置される。本実施形態において、供給口６２は、ベース部材８の上面に配置される。供給口６２は、第３部材３の下面３Ｂと対向するように配置される。なお、供給口６２は、空間６３に面するように、支持部材６の内面に配置されてもよい。

気体供給装置６１は、単位時間当たりの気体供給量を調整可能な流量調整装置を含む。流量調整装置は、レギュレータを含む。気体供給装置６１は、流量調整装置を用いて、供給口６２から空間６３に供給される単位時間当たりの気体供給量を調整可能である。供給口６２からの気体供給量が調整されることによって、空間６３の圧力が調整される。供給口６２からの気体供給量が多いと、空間６３の圧力が高くなる。供給口６２からの気体供給量が少ないと、空間６３の圧力が低くなる。気体供給装置６１は、供給口６２から空間６３に供給される気体供給量を調整することによって、空間６３の圧力を調整可能である。本実施形態において、供給口６２から空気（圧縮空気）が供給される。

重力補償装置６０は、アクチュエータ７に対するテーブル１０の重量の作用が低減されるように、供給口６２から気体を供給する。重力の作用により、テーブル１０は−Ｚ方向の力を発生する。そのテーブル１０の力は、第２部材２、第１部材１、及び動力伝達装置１１を介して、アクチュエータ７に伝達される。重力補償装置６０は、テーブル１０からアクチュエータ７に伝達される力が低減されるように、供給口６２から気体を供給する。重力補償装置６０は、重力の作用によりテーブル１０及び第３部材３が発生した力が、アクチュエータ７に伝達されることを抑制するように、供給口６２から気体を供給する。

本実施形態において、重力補償装置６０は、アクチュエータ７に対するテーブル１０及び第３部材３の重量の作用が低減されるように、供給口６２から気体を供給する。重力補償装置６０は、重力の作用によりテーブル１０及び第３部材３からアクチュエータ７に伝達される力が低減されるように、供給口６２から気体を供給する。重力補償装置６０は、テーブル１０及び第３部材３の自重による−Ｚ方向への力を打ち消すように、第３部材３及びテーブル１０に対して＋Ｚ方向に力を加える。換言すれば、重力補償装置６０は、重力の作用による−Ｚ方向への力がキャンセルされるように、第３部材３及びテーブル１０に＋Ｚ方向の力を加える。すなわち、重力補償装置６０は、テーブル１０及び第３部材３を押し上げるように、テーブル１０及び第３部材３の下方の空間６３に気体を供給する。本実施形態において、重力補償装置６０は、空間６３の圧力が支持部材６の外側の空間６５の圧力よりも高くなるように、供給口６２から気体を供給する。空間６５は、テーブル１０の周囲の空間を含む。空間６５は、第３部材３の上面３Ａの周囲の空間を含む。空間６５は、空間６３に対する外部空間である。本実施形態において、空間６５の圧力は、大気圧である。重力補償装置６０は、空間６３の圧力が大気圧よりも高くなるように、供給口６２から空間６３に気体を供給する。

重力補償装置６０は、テーブル１０に載せられる物体Ｓの重量を考慮して、空間６３に気体を供給してもよい。すなわち、重力補償装置６０は、アクチュエータ７に対するテーブル１０、第３部材３、及び物体Ｓの重量の作用が低減されるように、供給口６２から気体を供給してもよい。換言すれば、重力補償装置６０は、重力の作用によりテーブル１０、第３部材３、及び物体Ｓからアクチュエータ７に伝達される力が低減されるように、供給口６２から気体を供給してもよい。

本実施形態において、ＸＹ平面と平行な第３部材３の断面の外形は、円形である。また、本実施形態において、第３部材３は少なくとも２つ配置される。すなわち、テーブル装置１００は、第３部材３を複数有する。本実施形態において、複数の第３部材３は、ＸＹ平面内においてテーブル１０の異なる複数の部位のそれぞれに接続される。軸受部材５、支持部材６、及び供給口６２は、複数の第３部材３のそれぞれに対応して配置される。テーブル１０に複数の第３部材３が接続され、それら複数の第３部材３が軸受部材５及び支持部材６に支持されることによって、ＸＹ平面内におけるテーブル１０の移動が抑制される。すなわち、複数の第３部材３がＸＹ平面内においてテーブル１０の異なる複数の部位のそれぞれに接続され、それら複数の第３部材３が軸受部材５及び支持部材６に支持されることによって、θＺ方向に関するテーブル１０の移動（回転）が抑制される。

例えば、２つ（２本）の第３部材３がテーブル１０に接続される場合、それら第３部材３は、テーブル１０の第１の部位と、その第１の部位とは異なるテーブル１０の第２の部位とのそれぞれに接続される。３つ（３本）の第３部材３がテーブル１０に接続される場合、それら第３部材３は、テーブル１０の第１の部位と、その第１の部位とは異なるテーブル１０の第２の部位と、それら第１の部位及び第２の部位とは異なるテーブル１０の第３の部位とのそれぞれに接続される。

図１、図２、図３、及び図４などに示すように、本実施形態において、４つ（４本）の第３部材３がテーブル１０に接続される。それら第３部材３は、テーブル１０の下面１０Ｂの第１の部位と、第１の部位とは異なるテーブル１０の下面１０Ｂの第２の部位と、第１の部位及び第２の部位とは異なるテーブル１０の下面１０Ｂの第３の部位と、第１の部位、第２の部位、及び第３の部位とは異なるテーブル１０の下面１０Ｂの第４の部位とののそれぞれに接続される。第１の部位、第２の部位、第３の部位、及び第４の部位は、下面１０Ｂの中心の周囲に配置される。本実施形態において、複数の第３部材３は、第１部材１及び第２部材２の周囲の少なくとも一部に配置される。軸受部材５及び支持部材６は、４つ（４本）の第３部材３のそれぞれに対応して配置される。

なお、テーブル装置１００は、５つ（５本）以上の任意の複数の第３部材３を有してもよい。軸受部材５及び支持部材６は、複数の第３部材３のそれぞれに対応して配置される。テーブル１０に複数の第３部材３が接続され、それら複数の第３部材３が軸受部材５及び支持部材６に支持されることによって、ＸＹ平面内におけるテーブル１０の移動が抑制される。

次に、支持装置１９について説明する。図１０は、本実施形態に係る支持装置１９の一例を示す拡大図である。支持装置１９は、テーブル１０を柔軟に支持する。図１、図３、図４、及び図１０などに示すように、支持装置１９の少なくとも一部は、第２部材２とテーブル１０との間に配置される。第２部材２は、支持装置１９を介して、テーブル１０を支持する。

支持装置１９は、ピン２０を含む。ピン２０は、柔軟性を有するフレキシブルなピンである。ピン２０は、僅かに変形可能である。ピン２０は、可撓性を有し、弾性変形可能である。ピン２０の変形は、曲げ変形及びねじり変形の一方又は両方を含む。

本実施形態において、ピン２０は、平行ピンである。以下の説明において、ピン２０を適宜、平行ピン２０と称する。平行ピン２０は、Ｚ軸と平行となるように配置される。平行ピン２０は、第２部材２とテーブル１０との間において、平行ピン２０の軸とＺ軸とが平行となるように配置される。平行ピン２０は、Ｚ軸方向に長い棒状の部材である。ＸＹ平面と平行な平行ピン２０の断面の外形は、円形である。すなわち、平行ピン２０は、Ｚ軸方向に長い円柱状の部材である。平行ピン２０の直径は一定である。平行ピン２０は、第３部材３よりも細い。換言すれば、ＸＹ平面内における平行ピン２０の外形は、第３部材３の外形よりも小さい。

平行ピン２０は、第２部材２とテーブル１０とを連結する。図１０に示すように、平行ピン２０は、＋Ｚ方向を向く上面２０Ａと、−Ｚ方向を向く下面２０Ｂと、上面２０Ａと下面２０Ｂとを結ぶ側面（外面）２０Ｃとを有する。本実施形態において、平行ピン２０は、テーブル１０の下面１０Ｂの中央部に接続される。平行ピン２０は、第２部材２の上面２Ａの中央部に接続される。平行ピン２０は、平行ピン２０の上面２０Ａとテーブル１０の下面１０Ｂとが接触するように配置される。平行ピン２０は、平行ピン２０の下面２０Ｂと第２部材２の上面２Ａとが接触するように配置される。平行ピン２０の上面２０Ａとテーブル１０の下面１０Ｂの中心とが接触するように、平行ピン２０とテーブル１０とが接続されてもよい。平行ピン２０の下面２０Ｂと第２部材２の上面２Ａの中心とが接触するように、平行ピン２０と第２部材２とが接続されてもよい。

支持装置１０は、平行ピン２０の上部２０Ｄを支持する支持部材２１と、平行ピン２０の下部２０Ｅを支持する支持部材２２とを有する。平行ピン２０の上部２０Ｄは、平行ピン２０の上端部（上面２０Ａ）を含む。平行ピン２０の下部２０Ｅは、平行ピン２０の下端部（下面２０Ｂ）を含む。

支持部材２１は、テーブル１０の下面１０Ｂと対向可能な上面２１Ａと、上面２１Ａの反対方向を向く下面２１Ｂと、上面２１Ａと下面２１Ｂとを結ぶように形成された孔（貫通孔）２１Ｈとを有する。支持部材２１は、ボルトのような固定部材２３により、テーブル１０に固定される。支持部材２１は、上面２１Ａとテーブル１０の下面１０Ｂとが接触した状態でテーブル１０に固定される。

支持部材２２は、第２部材２の上面２Ａと対向可能な下面２２Ｂと、下面２２Ｂの反対方向を向く上面２２Ａと、上面２２Ａと下面２２Ｂとを結ぶように形成された孔（貫通孔）２２Ｈとを有する。支持部材２２は、ボルトのような固定部材２４により、第２部材２に固定される。支持部材２２は、下面２２Ｂと第２部材２の上面２Ａとが接触した状態で第２部材２に固定される。

平行ピン２０の上部２０Ｄは、支持部材２１の孔２１Ｈに配置される。平行ピン２０の上部２０Ｄは、孔２１Ｈに嵌められる。これにより、平行ピン２０の上部２０Ｄの位置が固定され、支持部材２１と平行ピン２０の上部２０Ｄとの相対位置の変化が抑制される。支持部材２１により、平行ピン２０の上部２０Ｄがテーブル１０に固定され、平行ピン２０の上部２０Ｄとテーブル１０との相対位置の変化が抑制される。本実施形態において、支持部材２１は、支持部材２１の側面（外面）２１Ｃと孔２１Ｈの内面とを結ぶ孔２１Ｋを有する。孔２１Ｋにボルトのような固定部材２５が配置可能である。例えば、固定部材２５の先端部が孔２１Ｈに配置された平行ピン２０の上部２０Ｄの側面２０Ｃを押すように、ねじ溝が設けられた孔２１Ｋに固定部材２５がねじ込まれてもよい。平行ピン２０の上部２０Ｄが固定部材２５の先端部と孔２１Ｈの内面との間に挟まれることによって、支持部材２１と平行ピン２０の上部２０Ｄとの相対位置の変化がより確実に抑制される。

平行ピン２０の下部２０Ｅは、支持部材２２の孔２２Ｈに配置される。平行ピン２０の下部２０Ｅは、孔２２Ｈに嵌められる。これにより、平行ピン２０の下部２０Ｅの位置が固定され、支持部材２２と平行ピン２０の下部２０Ｅとの相対位置の変化が抑制される。支持部材２２により、平行ピン２０の下部２０Ｅが第２部材２に固定され、平行ピン２０の下部２０Ｅと第２部材２との相対位置の変化が抑制される。本実施形態において、支持部材２２は、支持部材２２の側面（外面）２２Ｃと孔２２Ｈの内面とを結ぶ孔２２Ｋを有する。孔２２Ｋにボルトのような固定部材２６が配置可能である。例えば、固定部材２６の先端部が孔２２Ｈに配置された平行ピン２０の下部２０Ｅの側面２０Ｃを押すように、ねじ溝が設けられた孔２２Ｋに固定部材２６がねじ込まれてもよい。平行ピン２０の下部２０Ｅが固定部材２６の先端部と孔２２Ｈの内面との間に挟まれることによって、支持部材２２と平行ピン２０の下部２０Ｅとの相対位置の変化がより確実に抑制される。

本実施形態において、上部２０Ｄと下部２０Ｅとの間の平行ピン２０の中間部２０Ｆは、支持部材２１の孔２１Ｈ及び支持部材２２の孔２２Ｈの外側に配置される。中間部２０Ｆの周囲には支持部材２１及び支持部材２２が配置されない。すなわち、中間部２０Ｆの周囲には部材が配置されず、中間部２０Ｆの側面２０Ｃは部材と接触しない。

平行ピン２０は、Ｚ軸方向に関する荷重を受けるように配置される。本実施形態においては、平行ピン２０を含む支持装置１９により、Ｚ軸方向に関するテーブル１０と第２部材２との相対移動が抑制（制限）される。

平行ピン２０の少なくとも一部は、撓むことができる。平行ピン２０の少なくとも一部は、変形可能（弾性変形可能）である。すなわち、平行ピン２０の少なくとも一部は、可撓性を有し、弾性変形可能である。本実施形態においては、平行ピン２０の中間部２０Ｆが撓むことができ、弾性変形可能である。中間部２０Ｆの変形（弾性変形）は、曲げ変形及びねじり変形の一方又は両方を含む。中間部２０Ｆは、ＸＹ平面内における上部２０Ｄと下部２０Ｅとの相対位置が変化するように変形可能である。例えば、中間部２０Ｆは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の一方又は両方に関する上部２０Ｄと下部２０Ｅとの相対位置が変化するように変形（曲げ変形、撓み変形）可能である。中間部２０Ｆは、θＺ方向に関する上部２０Ｄと下部２０Ｅとの相対位置が変化するように変形（ねじり変形）可能である。また、中間部２０Ｆは、θＸ方向及びθＹ方向の一方又は両方に上部２０Ｄと下部２０Ｅとの相対位置が変化するように変形（曲げ変形、撓み変形）可能である。すなわち、中間部２０Ｆが変形することにより、Ｚ軸方向以外の方向（Ｘ軸、Ｙ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向）に関する上部２０Ｄと下部２０Ｅとの相対位置が変化する。上部２０Ｄは、支持部材２１を介してテーブル１０に固定されている。下部２０Ｅは、支持部材２２を介して第２部材２に固定されている。したがって、中間部２０Ｆの変形により、Ｚ軸方向以外の方向（Ｘ軸、Ｙ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向）に関するテーブル１０と第２部材２との相対位置が変化する。すなわち、平行ピン２０を含む支持装置１９により、テーブル１０と第２部材２とは相対移動可能である。平行ピン２０を含む支持装置１９により、Ｚ軸方向以外の方向（Ｘ軸、Ｙ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向）に関するテーブル１０と第２部材２との相対移動が許容される。

本実施形態において、平行ピン２０（支持装置１９）は、テーブル１０の下面１０Ｂの中央部に接続される。複数（４つ）の第３部材３は、平行ピン２０を囲むように配置される。複数の第３部材３のそれぞれは、テーブル１０の下面１０Ｂの周縁部に接続される。

本実施形態においては、抑制部材１３（ガイド装置１４）の少なくとも一部が第２部材２に接触する。そのため、抑制部材１３と第２部材２との相対移動により、第２部材２が振動したり、第２部材２が目標軌道から外れて移動したりする可能性がある。本実施形態においては、テーブル１０が支持装置１９を介して第２部材２に支持されているので、抑制部材１３（ガイド装置１４）と第２部材２との接触により、第２部材２が振動したり、第２部材２が目標軌道から外れて移動したりしても、テーブル１０（上部２０Ｄ、支持部材２１）と第２部材２（下部２０Ｅ、支持部材２２）との相対移動により、その望まれない移動（振動）が吸収される。これにより、テーブル１０が目標軌道から外れて移動したり、第２部材２の振動がテーブル１０に伝達されたりすることが抑制される。

次に、上述のテーブル装置１００の動作の一例について説明する。アクチュエータ７の作動により、動力伝達装置１１を介して、第１部材１にアクチュエータ７の動力が伝達される。アクチュエータ７の作動により、第１部材１がＸ軸方向に移動する。第１部材１は、ガイド装置９にガイドされてＸ軸方向に移動する。ガイド装置９により、第１部材１は、Ｘ軸方向に目標軌道（望みの軌道）で移動される。本実施形態においては、ガイド装置９により、第１部材１は、Ｘ軸方向に真っ直ぐに移動可能である。

Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動により、第２部材２がＺ軸方向に移動する。第２部材２は、ガイド装置４にガイドされてＺ軸方向に移動する。また、抑制部材１３により、第２部材２は、Ｘ軸方向に関する移動を抑制されつつ、Ｚ軸方向に移動する。また、第２部材２は、ガイド装置１４にガイドされてＺ軸方向に移動する。第２部材２がＺ軸方向に移動することにより、その第２部材２に支持されているテーブル１０も、第２部材２と一緒にＺ軸方向に移動する。

本実施形態においては、テーブル１０に接続された第３部材３と、その第３部材３を移動可能に支持する軸受部材５との間に気体軸受５Ｇが形成される。気体軸受５Ｇは、第３部材３がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動することを抑制しつつ、その第３部材３がＺ軸方向に移動することを許容する。また、気体軸受５Ｇにより、軸受部材５は、第３部材３を非接触で支持する。すなわち、第３部材３との間に気体軸受５Ｇを形成する軸受部材５は、第３部材３がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動することを抑制しつつ、その第３部材３をＺ軸方向に移動可能に非接触支持する。軸受部材５は、非接触で、第３部材３をＺ軸方向にガイドする。これにより、第３部材３及びその第３部材３に接続されたテーブル１０は、Ｚ軸方向に目標軌道（望みの軌道）で移動される。本実施形態においては、第３部材３との間に気体軸受５Ｇを形成可能な軸受部材５により、第３部材３及びその第３部材３に接続されたテーブル１０は、Ｚ軸方向に真っ直ぐに移動可能である。

テーブル１０に支持された物体Ｓが目標位置に配置されるように、アクチュエータ７が作動する。本実施形態においては、第３部材３を非接触でＺ軸方向にガイドする気体軸受５Ｇを形成可能な軸受部材５が設けられているため、テーブル１０の目標軌道（望みの軌道）で移動させることができる。そのため、テーブル装置１００は、物体Ｓを目標位置に配置することができる。

本実施形態においては、抑制部材１３が設けられる。そのため、Ｘ軸方向に第１部材１が移動しても、第２部材２がＸ軸方向に移動することが抑制される。これにより、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動が、Ｚ軸方向に関する第２部材２の移動に効率良く変換される。一方、抑制部材１３（ガイド装置１４）と第２部材２との接触により、第２部材２が望まれない移動（振動）をする可能性がある。本実施形態において、テーブル１０は、平行ピン２０を含む支持装置１９によって柔軟に支持される。平行ピン２０を含む支持装置１９により、Ｚ軸方向以外の方向（Ｘ軸、Ｙ軸、θＸ、θＹ、及びθＺ方向）に関するテーブル１０と第２部材２との相対移動が許容されている。したがって、第２部材２が望まれない移動（振動）をしても、支持装置１９により、その望まれない移動（振動）がテーブル１０に伝達されることが抑制される。

本実施形態において、アクチュエータ７の動力を使ってテーブル１０を＋Ｚ方向に移動する場合、あるいはアクチュエータ７の動力を使ってＺ軸方向に関するテーブル１０の位置を維持する場合、そのアクチュエータ７に負荷がかかる可能性がある。すなわち、テーブル１０を上昇させるため、あるいはテーブル１０の位置を維持するために、アクチュエータ７は所定の動力（トルク）を発生し続けなければならない。この場合、アクチュエータ７に対して所定の電力（電流）を供給し続けなければならず、その結果、アクチュエータ７が発熱する可能性がある。アクチュエータ７が発熱すると、周囲の部材が熱変形する可能性がある。その結果、テーブル１０の位置決め精度が低下したり、テーブル１０が目標軌道から外れて移動したりするなど、テーブル装置１００の性能が低下する可能性がある。また、アクチュエータ７の発熱によりテーブル１０に支持されている物体Ｓが熱変形する可能性がある。

本実施形態においては、重力補償装置６０が設けられている。そのため、テーブル１０を＋Ｚ方向に移動する場合、あるいはＺ軸方向に関するテーブル１０の位置を維持する場合において、アクチュエータ７が発生する動力（トルク）は小さくて済む。すなわち、アクチュエータ７に供給する電力（電流）は小さくて済む。そのため、アクチュエータ７の発熱が抑制される。その結果、周囲の部材の熱変形、及び物体Ｓの熱変形が抑制される。

また、重力補償装置６０が設けられているため、テーブル１０に搭載される物体Ｓの質量（重量）が大きくても、アクチュエータ７にかかる負荷が低減される。また、重力補償装置６０が設けられているため、アクチュエータ７が発生する動力が小さくて済む。そのため、アクチュエータ７の小型化が図れる。

また、重力補償装置６０によって空間６３の圧力が高められているので、停電などの異常（非常停止）が生じ、アクチュエータ７が動力を発生しなくなっても、テーブル１０が急激に下降（落下）することが抑制される。例えば、テーブル１０の落下防止のための電磁ブレーキを省略できるため、その電磁ブレーキに起因する発熱（熱変形）も無くなる。

以上説明したように、本実施形態によれば、第３部材３との間に気体軸受５Ｇを形成して、Ｚ軸方向に第３部材３を移動可能に支持（ガイド）する軸受部材５を設けたので、その第３部材３が接続されたテーブル１０は、目標軌道（望みの軌道）で移動可能である。本実施形態において、軸受部材５は、第３部材３がＺ軸方向に真っ直ぐに移動するように、第３部材３を移動可能に支持（ガイド）する。これにより、その第３部材３が接続されたテーブル１０は、Ｚ軸方向に真っ直ぐに移動可能である。すなわち、気体軸受５Ｇを形成可能な軸受部材５により、第３部材３及びテーブル１０の移動における真直性の低下が抑制される。これにより、テーブル１０に支持されている物体Ｓは目標位置に配置される。

本実施形態において、第３部材３と軸受部材５との間に気体軸受５Ｇが形成され、軸受部材５は、非接触で第３部材３を支持する。これにより、第３部材３は、円滑にＺ軸方向に移動可能である。軸受部材５が第３部材３と接触すると、第３部材３の移動に対して抵抗力が発生する可能性がある。その結果、テーブル１０及び第３部材３を真っ直ぐに移動しようとしたにもかかわらず、テーブル１０及び第３部材３が真っ直ぐに移動しない可能性がある。また、軸受部材５が第３部材３と接触すると、第３部材３の移動により振動が発生する可能性がある。第３部材３に振動が発生すると、テーブル１０も振動し、その結果、テーブル１０の位置決め精度が低下する可能性がある。本実施形態においては、軸受部材５が第３部材３を非接触で移動可能に支持するため、テーブル１０及び第３部材３は真っ直ぐに移動可能である。また、振動の発生が抑制される。その結果、テーブル１０の位置決め精度の低下が抑制され、テーブル１０及びそのテーブル１０に支持される物体Ｓを目標位置に配置することができる。

また、本実施形態においては、テーブル装置１００は、第１部材１及び第２部材２の相対移動によりテーブル１０を移動するくさび型昇降装置を含むため、角度θを調整することによって、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動量とＺ軸方向に関する第２部材２の移動量との比（減速比、分解能）を調整することができる。

また、本実施形態においては、テーブル１０が支持装置１９を介して第２部材２に柔軟に支持されているので、例えば抑制部材１３（ガイド装置１４）と第２部材２との接触により、第２部材２が望まれない移動（振動）をしても、支持装置１９により、その望まれない移動（振動）がテーブル１０に伝達されることが抑制される。

また、本実施形態においては、支持装置１９は、平行ピン２０を含み、第２部材２とテーブル１０とは、平行ピン２０を介して連結される。これにより、支持部材２１（テーブル１０）と平行ピン２０（支持装置１９）との相対位置、及び支持部材２２（第２部材２）と平行ピン２０（支持装置１９）との相対位置が確保され、支持部材２１（テーブル１０）と平行ピン２０（支持装置１９）とのがたつき、又は支持部材２２（第２部材２）と平行ピン２０（支持装置１９）とのがたつきが抑制される。

また、本実施形態においては、Ｚ軸方向に関する第３部材３の移動範囲において、供給口１５は、第３部材３の側面３Ｃと対向し続ける。これにより、第３部材３の移動範囲において、第３部材３と軸受部材５との間に気体軸受５Ｇを形成し続けることができ、第３部材３と軸受部材５との非接触状態を維持することができる。

また、本実施形態においては、Ｚ軸方向に関して、第３部材３の寸法は、軸受部材５の寸法よりも大きい。これにより、軸受部材５の上端部から突出する第３部材３とテーブル１０とを円滑に接続することができる。また、軸受部材５の下端部からも第３部材３が突出することによって、軸受部材５の上端部側と下端部側との質量（重量）のバランスが向上する。これにより、第３部材３は、真っ直ぐに移動可能である。

また、本実施形態においては、第３部材３の移動範囲において、第３部材３の中心Ｇ３は、軸受部材５の上端部（一端部）と下端部（他端部）との間に配置され続ける。これにより、第３部材３の移動中においても、軸受部材５の上端部側と下端部側との質量（重量）のバランスが向上するため、第３部材３は、真っ直ぐに移動可能である。

また、本実施形態においては、第３部材３の断面の外形は、円形であり、軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃの周囲に配置される円筒状の部材である。断面の外形が円形である第３部材３の加工は、例えば角形である第３部材の加工に比べて、高い加工精度を容易に得ることができる可能性が高い。換言すれば、外形が円形である第３部材３を製造する場合のほうが、外形が角形である第３部材３を製造する場合よりも、目標形状を容易に得ることができる可能性が高い。また、断面が円形である内面５Ｃを有する軸受部材５を製造するほうが、断面が角形である内面を有する軸受部材を製造するよりも、高い加工精度（目標形状）を容易に得ることができる可能性が高い。例えば、角形の第３部材及び軸受部材を製造する場合、その第３部材の角部と軸受部材との間に形成される間隙の寸法と、その第３部材の平面部と軸受部材との間に形成される間隙の寸法とが等しくなるように第３部材及び軸受部材を製造することは困難である可能性がある。本実施形態によれば、円形の第３部材３及び軸受部材５を用いることにより、その第３部材３の側面３Ｃと軸受部材５の内面５Ｃとの間に形成される間隙の寸法が不均一になることが抑制される。したがって、その第３部材３の側面３Ｃと軸受部材５の内面５Ｃとの間に形成される間隙において、圧力が不均一になることが抑制される。そのため、気体軸受５Ｇの性能の低下が抑制され、第３部材３が目標軌道から外れて移動されることが抑制される。

また、本実施形態においては、第３部材３は少なくとも２つ配置され、テーブル１０の異なる部位のそれぞれに接続される。したがって、テーブルに接続された複数の第３部材３により、例えばテーブル１０の回転が抑制される。これにより、テーブル１０の位置決め精度が向上する。すなわち、本実施形態において、第３部材３の断面の外形は、円形であり、軸受部材５は、第３部材３の側面３Ｃの周囲に配置される円筒状の部材である。そのため、軸受部材５の内側で、第３部材３がθＺ方向に移動（回転）してしまう可能性がある。テーブル１０に接続される第３部材３が１つである場合、軸受部材５に対する第３部材３の回転により、そのテーブル１０も回転してしまう可能性がある。本実施形態においては、第３部材３は複数配置される。したがって、それら複数の第３部材３が軸受部材５及び支持部材６に支持されることによって、θＺ方向に関するテーブル１０の移動（回転）が抑制される。

また、本実施形態においては、抑制部材１３が設けられるため、Ｘ軸方向に第１部材１が移動しても、第２部材２がＸ軸方向に移動することが抑制される。これにより、Ｘ軸方向に関する第１部材１の移動が、Ｚ軸方向に関する第２部材２の移動に効率良く変換される。

また、本実施形態においては、重力補償装置６０が設けられるため、アクチュエータ７にかかる負荷が低減される。そのため、アクチュエータ７の発熱が抑制され、テーブル装置１００において、アクチュエータ７の周囲の部材の熱変形が抑制される。アクチュエータ７の周囲の部材は、ガイド装置４の部材、ガイド装置９の部材、ガイド装置１４の部材、第１部材１、第２部材２、第３部材３、支持部材６、及びテーブル１０の少なくとも一つを含む。そのため、テーブル１０の位置決め精度が低下したり、テーブル１０が目標軌道から外れて移動したりすることが抑制される。その結果、テーブル装置１００の性能の低下が抑制される。

なお、本実施形態においては、平行ピン２０の上部２０Ｄがテーブル１０に固定された支持部材２１に固定され、平行ピン２０の下部２０Ｅが第２部材２に固定された支持部材２２に固定されることとした。例えば、テーブル１０の下面１０Ｂに、平行ピン２０の上部２０Ｄが配置可能な孔が設けられ、その孔に平行ピン２０の上部２０Ｄが嵌められてもよい。第２部材２の上面２Ａに、平行ピン２０の下部２０Ｅが配置可能な孔が設けられ、その孔に平行ピン２０の下部２０Ｅが嵌められてもよい。こうすることによっても、平行ピン２０の上部２０Ｄがテーブル１０に固定され、平行ピン２０の下部２０Ｅが第２部材２に固定される。これにより、テーブル１０と平行ピン２０（支持装置１９）との相対位置、及び第２部材２と平行ピン２０（支持装置１９）との相対位置が確保され、テーブル１０と平行ピン２０（支持装置１９）とのがたつき、又は第２部材２と平行ピン２０（支持装置１９）とのがたつきが抑制される。

なお、本実施形態において、テーブル１０と第２部材２とを連結するピン２０は、平行ピンでもよいし、テーパを有するテーパピンでもよいし、先端にすりわりを有する先割りテーパピンでもよいし、薄板を円筒状に巻き、半径方向のばね作用を利用するスプリングピンでもよいし、割りピンでもよい。これらピン２０が柔軟性を有し、ピン２０の軸とＺ軸とが平行となるようにピン２０が配置され、そのピン２０の上部がテーブル１０（支持部材２１）に固定され、そのピン２０の下部が第２部材２（支持部材２２）に固定されることにより、第２部材２は、テーブル１０を支持装置１９を介して柔軟に支持することができる。

なお、本実施形態においては、軸受部材５が多孔体を含み、その多孔体の孔から供給される気体によって気体軸受５Ｇが形成される、所謂、多孔質絞り方式を例にして説明した。気体軸受５Ｇを形成するための軸受部材５の絞り方式は、多孔質絞りに限定されない。例えば、多孔体を用いない自成絞り方式でもよいし、オリフィス絞り方式でもよいし、軸受面（ガイド面）に設けられた溝を介して気体を供給する表面絞り方式でもよい。例えばオリフィス絞り方式の軸受部材５の場合、気体を供給する供給口１５は、オリフィスの開口を含む。

なお、本実施形態においては、ＸＹ平面と平行な断面の第３部材３の外形が円形であることとした。図１１に示すように、ＸＹ平面と平行な断面の第３部材３０の外形が、多角形でもよい。図１１に示す例では、第３部材３０の断面の外形は、四角形である。なお、第３部材３０の断面の外形は、四角形に限らず、その他の多角形でもよい。軸受部材５０は、第３部材３０の側面との間に一定の間隙が形成されるように、第３部材３０の断面の形状に基づいて定められてもよい。図１１に示す例においては、第３部材３０が、軸受部材５０の内側でθＺ方向に移動（回転）することが抑制される。第３部材３０は、テーブル１０に１つ（１本）接続されてもよい。２つ（２本）以上の複数の第３部材３０がテーブル１０に接続されてもよい。

図１２は、本実施形態に係るテーブル装置１００を備える半導体製造装置２００の一例を示す図である。半導体製造装置２００は、半導体デバイスを製造可能な半導体デバイス製造装置を含む。半導体製造装置２００は、半導体デバイスの製造工程の少なくとも一部において使用される。半導体製造装置２００は、半導体デバイスを製造するための物体Ｓを搬送可能な搬送装置３００を含む。搬送装置３００は、本実施形態に係るテーブル装置１００を含む。なお、図１２においては、テーブル装置１００を簡略して図示する。

本実施形態において、物体Ｓは、半導体デバイスを製造するための基板である。物体Ｓから半導体デバイスが製造される。物体Ｓは、半導体ウエハを含んでもよいし、ガラス板を含んでもよい。物体Ｓにデバイスパターン（配線パターン）が形成されることによって、半導体デバイスが製造される。

半導体製造装置２００は、処理位置ＰＪ１に配置された物体Ｓに対して、デバイスパターンを形成するための処理を行う。テーブル装置１００は、テーブル１０に支持された物体Ｓを処理位置ＰＪ１に配置する。搬送装置３００は、テーブル装置１００のテーブル１０に物体Ｓを搬送（搬入）可能な搬入装置３０１と、テーブル１０から物体Ｓを搬送（搬出）可能な搬出装置３０２とを含む。搬入装置３０１によって、処理前の物体Ｓがテーブル１０に搬送（搬入）される。テーブル装置１００によって、テーブル１０に支持された物体Ｓが処理位置ＰＪ１まで搬送される。搬出装置３０２によって、処理後の物体Ｓがテーブル１０から搬送（搬出）される。

テーブル装置１００は、テーブル１０を移動して、テーブル１０に支持された物体Ｓを処理位置ＰＪ１に移動する。上述の実施形態で説明したように、テーブル１０は、第３部材３と接続されている。第３部材３は、軸受部材５によって非接触でガイドされる。そのため、テーブル装置１００は、テーブル１０を目標軌道で移動可能であり、テーブル１０に支持された物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能である。

例えば、半導体製造装置２００が、投影光学系２０１を介してデバイスパターンの像を物体Ｓに投影する露光装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、投影光学系２０１の像面の位置（露光位置）を含む。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、半導体製造装置２００は、投影光学系２０１を介して、デバイスパターンの像を物体Ｓに投影可能である。

処理位置ＰＪ１において物体Ｓが処理された後、その処理後の物体Ｓが搬出装置３０２によってテーブル１０から搬送される。搬出装置３０２によって搬送（搬出）された物体Ｓは、後工程を行う処理装置に搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置１００は、物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能であるため、不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。すなわち、テーブル装置１００によって、半導体製造装置２００における物体Ｓの位置決め精度の低下が抑制されるため、不良な製品の発生が抑制される。

また、本実施形態においては、重力補償装置６０により、テーブル装置１００のアクチュエータ７にかかる負荷が低減され、アクチュエータ７の発熱が抑制される。そのため、物体Ｓの熱変形が抑制される。また、アクチュエータ７の周囲の部材の熱変形が抑制される。アクチュエータ７の周囲の部材は、テーブル装置１００の部材を含む。そのため、テーブル１０の位置決め精度が低下したり、テーブル１０が目標軌道から外れて移動したりすることが抑制される。したがって、テーブル装置１００は、物体Ｓを処理位置（目標位置）ＰＪ１に配置可能である。アクチュエータ７の周囲の部材は、テーブル装置１００の部材のみならず、搬送装置３００（搬入装置３０１及び搬出装置３０２）の部材も含む。搬送装置３００の熱変形が抑制されることにより、搬送装置３００の性能の低下が抑制される。したがって、搬送装置３００は、物体Ｓを目標位置に搬送可能である。アクチュエータ７の周囲の部材は、半導体製造装置２００の部材も含む。例えば、投影光学系２０１の熱変形が抑制されることにより、半導体製造装置２００の性能の低下が抑制される。また、アクチュエータ７の発熱が抑制されることにより、投影光学系２０１から射出される光の進行方向が変化したり、光が通る空間において屈折率が変化したりすることが抑制される。

なお、半導体製造装置２００が、光学系を介して物体Ｓのデバイスパターンを計測する計測装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、光学系の焦点の位置（計測位置）を含む。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、半導体製造装置２００は、光学系を介して、物体Ｓに形成されたデバイスパターンの画像を取得可能である。半導体製造装置２００が、物体Ｓに膜を形成する成膜装置を含む場合、処理位置ＰＪ１は、膜を形成するための材料が供給可能な位置である。処理位置ＰＪ１に物体Ｓが配置されることにより、デバイスパターンを形成するための膜が物体Ｓに形成される。

なお、フラットパネルディスプレイ製造装置が、本実施形態に係るテーブル装置１００を備えてもよいし、テーブル装置１００を含む搬送装置３００を備えてもよい。フラットパネルディスプレイ製造装置は、例えば露光装置を含み、フラットパネルディスプレイの製造工程の少なくとも一部において使用される。フラットパネルディスプレイ製造装置が露光装置を含む場合、フラットパネルディスプレイを製造するためのパターンの像が投影光学系を介してガラス板を含む物体Ｓに投影される。フラットパネルディスプレイ製造装置は、目標位置に配置された物体Ｓを処理できるので、その物体Ｓから不良な製品が製造されてしまうことが抑制される。フラットパネルディスプレイは、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、及び有機ＥＬディスプレイの少なくとも一つを含む。

図１３は、本実施形態に係るテーブル装置１００を備える検査装置４００の一例を示す図である。検査装置４００は、半導体製造装置２００によって製造された物体（半導体デバイス）Ｓ２を検査する。検査装置４００は、物体Ｓ２を搬送可能な搬送装置３００Ｂを含む。搬送装置３００Ｂは、本実施形態に係るテーブル装置１００を含む。なお、図１３においては、テーブル装置１００を簡略して図示する。

検査装置４００は、検査位置ＰＪ２に配置された物体Ｓ２の検査を行う。テーブル装置１００は、テーブル１０に支持された物体Ｓ２を検査位置ＰＪ２に配置する。搬送装置３００Ｂは、テーブル装置１００のテーブル１０に物体Ｓ２を搬送（搬入）可能な搬入装置３０１Ｂと、テーブル１０から物体Ｓ２を搬送（搬出）可能な搬出装置３０２Ｂとを含む。搬入装置３０１Ｂによって、検査前の物体Ｓ２がテーブル１０に搬送（搬入）される。テーブル装置１００によって、テーブル１０に支持された物体Ｓ２が検査位置ＰＪ２まで搬送される。搬出装置３０２Ｂによって、検査後の物体Ｓ２がテーブル１０から搬送（搬出）される。

テーブル装置１００は、テーブル１０を移動して、テーブル１０に支持された物体Ｓ２を検査位置ＰＪ２に移動する。上述の実施形態で説明したように、テーブル１０は、第３部材３と接続されている。第３部材３は、軸受部材５によって非接触でガイドされる。そのため、テーブル装置１００は、テーブル１０を目標軌道で移動可能であり、テーブル１０に支持された物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能である。

本実施形態において、検査装置４００は、検出光を用いて物体Ｓ２の検査を光学的に行う。検査装置４００は、検出光を射出可能な照射装置４０１と、照射装置４０１から射出され、物体Ｓ２で反射した検出光の少なくとも一部を受光可能な受光装置４０２とを含む。本実施形態において、検査位置ＰＪ２は、検出光の照射位置を含む。検査位置ＰＪ２に物体Ｓ２が配置されることにより、物体Ｓ２の状態が光学的に検査される。

検査位置ＰＪ２において物体Ｓ２の検査が行われた後、その検査後の物体Ｓ２が搬出装置３０２Ｂによってテーブル１０から搬送される。

本実施形態においては、テーブル装置１００は、物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能であるため、検査不良の発生を抑制できる。すなわち、検査装置４００は、物体Ｓ２が不良であるか否かを良好に判断することができる。これにより、例えば不良な物体Ｓ２が後工程に搬送されたり、出荷されたりすることが抑制される。

また、本実施形態においては、重力補償装置６０により、テーブル装置１００のアクチュエータ７にかかる負荷が低減され、アクチュエータ７の発熱が抑制される。そのため、物体Ｓ２の熱変形が抑制される。また、アクチュエータ７の周囲の部材の熱変形が抑制される。アクチュエータ７の周囲の部材は、テーブル装置１００の部材を含む。そのため、テーブル１０の位置決め精度が低下したり、テーブル１０が目標軌道から外れて移動したりすることが抑制される。したがって、テーブル装置１００は、物体Ｓ２を検査位置（目標位置）ＰＪ２に配置可能である。これにより、検査不良の発生が抑制される。アクチュエータ７の周囲の部材は、テーブル装置１００の部材のみならず、搬送装置３００Ｂ（搬入装置３０１Ｂ及び搬出装置３０２Ｂ）の部材も含む。搬送装置３００Ｂの熱変形が抑制されることにより、搬送装置３００Ｂの性能の低下が抑制される。したがって、搬送装置３００Ｂは、物体Ｓ２を目標位置に搬送可能である。アクチュエータ７の周囲の部材は、検査装置４００の部材も含む。例えば、照射装置４０１及び受光装置４０２の熱変形が抑制されることにより、検査装置４００の性能の低下が抑制される。また、アクチュエータ７の発熱が抑制されることにより、照射装置４０１から射出される検出光の進行方向が変化したり、検出光が通る空間において屈折率が変化したりすることが抑制される。したがって、検査装置４００は、検査不良の発生を抑制できる。

なお、本実施形態においては、テーブル１０がＺ軸方向に移動することとした。本実施形態において、テーブル１０がＺ軸に対して傾斜する方向に移動されてもよい。第１部材１がＸＹ平面に対して傾斜する方向に移動されてもよいし、第２部材２がＺ軸に対して傾斜する方向に移動されてもよい。軸受部材５に非接触支持された第３部材３は、その傾斜する方向にテーブル１０をガイド可能である。軸受部材５に非接触支持される第３部材３により、テーブル１０は、その傾斜する方向に真っ直ぐに移動可能である。

なお、上述の実施形態において、抑制部材１３は省略されてもよい。第２部材２はテーブル１０に連結され、そのテーブル１０に第３部材３が接続されている。気体軸受５Ｇにより、Ｘ軸方向及びＹ軸方向に関する第３部材３の移動が抑制されている。そのため、抑制部材１３が省略されても、第２部材２及びテーブル１０がＸ軸方向に移動することが抑制される。

なお、上述の実施形態において、重力補償装置６０は省略されてもよい。

１ 第１部材
２ 第２部材
３ 第３部材
４ ガイド装置
５ 軸受部材
５Ｇ 気体軸受
６ 支持部材
７ アクチュエータ
８ ベース部材
９ ガイド装置
１０ テーブル
１１ 動力伝達装置
１２ 支持軸受
１３ 抑制部材
１４ ガイド装置
１５ 供給口
１６ キャビティ
１７ 気体供給装置
１８ 排気口
１９ 支持装置
２０ 平行ピン
６０ 重力補償装置
６１ 気体供給装置
６２ 供給口
６３ 空間
６４ 流路
６５ 空間
１００ テーブル装置
２００ 半導体製造装置
３００ 搬送装置
４００ 検査装置

Claims (13)

1. 所定面と平行な第１下面及び前記所定面に対して傾斜する第１斜面を有し、前記所定面内の第２軸と平行な方向に移動可能な第１部材と、
   前記第１部材の上方に配置され、前記第１斜面と平行な第２斜面及び前記第２斜面よりも上側に配置される第２上面を有し、前記第１部材に対して相対移動可能な第２部材と、 前記第１斜面及び前記第２斜面の一方に配置された第１レールと、他方に配置され、前記第１レールを移動可能な第１スライダとを有し、前記所定面内における前記第１部材の移動により前記所定面と直交する第１軸と平行な方向に前記第２部材が移動するように、前記第１部材に対する前記第２部材の前記相対移動をガイドする第１ガイド装置と、
   前記第２部材に支持されるテーブルと、
   前記第１軸と平行となるように配置され、弾性変形可能であり、前記第１軸と平行な方向以外の方向に関する前記第２部材と前記テーブルとの相対移動が許容されるように前記第２部材の前記第２上面と前記テーブルの下面の中央部とを連結する平行ピンを含み、前記テーブルを支持する支持装置と、
   前記支持装置を囲むように配置され、それぞれが上面、下面、及び前記上面と前記下面とを結ぶ側面を有する前記第１軸と平行な方向に長い棒状の部材であり、前記上面側の少なくとも一部が前記テーブルの下面の周縁部に接続される複数の第３部材と、
   前記第３部材の側面との間に気体を供給可能な第１供給口を有し、前記第１供給口から供給される気体により前記第３部材の側面との間に気体軸受を形成して、前記第１軸と平行な方向に前記第３部材を移動可能に支持する軸受部材と、を備え、
   前記テーブルは、前記支持装置を介して前記第２部材に支持されるテーブル装置。
2. 前記第１軸と平行な方向に関する前記第３部材の移動範囲において、前記第１供給口は、前記第３部材の側面と対向し続ける請求項１に記載のテーブル装置。
3. 前記第１軸と平行な方向に関して、前記第３部材の寸法は、前記軸受部材の寸法よりも大きい請求項１又は請求項２に記載のテーブル装置。
4. 前記第３部材の移動範囲において、前記第１軸と平行な方向に関して、前記第３部材の中心は、前記軸受部材の一端部と他端部との間に配置され続ける請求項１から請求項３に記載のテーブル装置。
5. 前記所定面と平行な前記第３部材の断面の外形は円形である請求項１から請求項４のいずれか一項に記載のテーブル装置。
6. 前記第２軸と平行な方向に関する前記第２部材の移動を抑制する抑制部材を備える請求項１から請求項５のいずれか一項に記載のテーブル装置。
7. 少なくとも一部が前記抑制部材に配置され、前記第２部材を前記第１軸と平行な方向にガイドする第２ガイド装置を有する請求項６に記載のテーブル装置。
8. 前記第１部材を移動するための動力を発生するアクチュエータと、
   前記第３部材の下面が面する空間に面するように配置され、前記空間に気体を供給する第２供給口を有する重力補償装置と、を備える請求項１から請求項７のいずれか一項に記載のテーブル装置。
9. 少なくとも一部が前記第３部材及び前記軸受部材の周囲に配置され、前記軸受部材を支持する支持部材を備え、
   前記第２供給口は、前記第３部材の下面と前記支持部材の内面とによって規定される空間に気体を供給する請求項８に記載のテーブル装置。
10. 前記重力補償装置は、前記下面が面する空間の圧力が前記支持部材の外側の空間の圧力よりも高くなるように、前記第２供給口から気体を供給する請求項９に記載のテーブル装置。
11. 請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える搬送装置。
12. 請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のテーブル装置を備える半導体製造装置。
13. 請求項１から請求項１０のいずれか一項に記載のテーブル装置を備えるフラットパネルディスプレイ製造装置。

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