JPS60127932A - Ｘｙステ−ジ - Google Patents
Ｘｙステ−ジInfo
- Publication number
- JPS60127932A JPS60127932A JP23589683A JP23589683A JPS60127932A JP S60127932 A JPS60127932 A JP S60127932A JP 23589683 A JP23589683 A JP 23589683A JP 23589683 A JP23589683 A JP 23589683A JP S60127932 A JPS60127932 A JP S60127932A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- stage
- movable guide
- base
- movable
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
- B23Q1/621—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides a single sliding pair followed perpendicularly by a single sliding pair
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈発明の技術分野〉
本発明は半導体製造装置、精密測定機、精密加工機、ロ
ボット等に適用し、ワークの高精度な位置決めを行なう
自在テーブル装置、所謂、ＸＹステージに関する。
ボット等に適用し、ワークの高精度な位置決めを行なう
自在テーブル装置、所謂、ＸＹステージに関する。
〈発明の背景〉
従来この種ＸＹステージとしては、第４図および第５図
に示す如く、案内面を構成するベース８の四辺に固定ガ
イド８１，８１ａ、８２，８２ａおよび各固定ガイド８
１．８２に沿ってリニアモータ８３，８４を配設し、一
方、ベース８の上方には縦横可動ガイド８５．８６を直
交配備して各可動ガイド８５．８６の両端は空気軸受を
介して固定ガイドｓ ｒ 、 ８２およびリニアモータ
８３，８４に連繋すると共に、縦横可動ガイド８５．８
６の交叉部に空気軸受８７を介して自在ステージ８９を
配備しており、縦横可動ガイド８５．８６の交叉部の変
位により自在ステージ８９を目標位置へ移行するもので
ある。
に示す如く、案内面を構成するベース８の四辺に固定ガ
イド８１，８１ａ、８２，８２ａおよび各固定ガイド８
１．８２に沿ってリニアモータ８３，８４を配設し、一
方、ベース８の上方には縦横可動ガイド８５．８６を直
交配備して各可動ガイド８５．８６の両端は空気軸受を
介して固定ガイドｓ ｒ 、 ８２およびリニアモータ
８３，８４に連繋すると共に、縦横可動ガイド８５．８
６の交叉部に空気軸受８７を介して自在ステージ８９を
配備しており、縦横可動ガイド８５．８６の交叉部の変
位により自在ステージ８９を目標位置へ移行するもので
ある。
ところが、斯るＸＹステージでは、自在ステージ８９に
加わる力のうち、鉛直下方に向うものはベース８に、て
支持されるが、鉛直上方に向う力は支持部分がな（、鉛
直方向は重量バランスによって案内されていることにな
り、かりに、ステージ８９に鉛直上方の力成分か加わる
と浮上する虞れがあり、更に、重呈ノイランス型である
ため、軸受剛性はステージ８９の重］を増さない限り高
めることが出来ず、モータ負荷も必然的に増加する。従
って、」−下動やピッチングが生し走り精度が低下し、
位置決め精度も悪くなる。
加わる力のうち、鉛直下方に向うものはベース８に、て
支持されるが、鉛直上方に向う力は支持部分がな（、鉛
直方向は重量バランスによって案内されていることにな
り、かりに、ステージ８９に鉛直上方の力成分か加わる
と浮上する虞れがあり、更に、重呈ノイランス型である
ため、軸受剛性はステージ８９の重］を増さない限り高
めることが出来ず、モータ負荷も必然的に増加する。従
って、」−下動やピッチングが生し走り精度が低下し、
位置決め精度も悪くなる。
また、従来の他のＸＹステージとして、第６図、第７図
に示す如く、ベース９上に平行配備された２本の固定ガ
イド９１ 、９ ］、 ａに縦可動ガイド９２を取付け
、該縦町１ｔｂガイド９２に横町動力イト９３を取付け
、それぞれ、モータ９４ 、９５と送りネジ９６．９７
によって縦横可動ガイド９２．９３を移行させ、構可動
ガイド９３の１−面に形成したステージ９８を目標位置
へ移行するものである。ところか該ＸＹステージでは、
ステージ９８の負荷は、縦横可動ガイド９２．９３に支
持されることになり、ガイドの弾性たわみや移動にとも
なうガイドの傾斜等の現象が生じて、」上下動、ピッチ
ング等により走り精度および位置決め精度が低下し、月
つ全体構造の小型化、薄型化が困難となる。
に示す如く、ベース９上に平行配備された２本の固定ガ
イド９１ 、９ ］、 ａに縦可動ガイド９２を取付け
、該縦町１ｔｂガイド９２に横町動力イト９３を取付け
、それぞれ、モータ９４ 、９５と送りネジ９６．９７
によって縦横可動ガイド９２．９３を移行させ、構可動
ガイド９３の１−面に形成したステージ９８を目標位置
へ移行するものである。ところか該ＸＹステージでは、
ステージ９８の負荷は、縦横可動ガイド９２．９３に支
持されることになり、ガイドの弾性たわみや移動にとも
なうガイドの傾斜等の現象が生じて、」上下動、ピッチ
ング等により走り精度および位置決め精度が低下し、月
つ全体構造の小型化、薄型化が困難となる。
〈発明の目的〉
本発明は、ステージに対し下方および」下方に加わる力
成分を基準ベースおよび可動ガイドに支承して拘束する
ことにより、上下動およびピッチングの減少をはかり、
走り精度、位置決め精度を一段と向」−できる新規なＸ
Ｙステージを提供するものである。
成分を基準ベースおよび可動ガイドに支承して拘束する
ことにより、上下動およびピッチングの減少をはかり、
走り精度、位置決め精度を一段と向」−できる新規なＸ
Ｙステージを提供するものである。
〈実施例の説明〉
第１図乃至第３図は本発明にかかるｘｙステージを示し
、走行基準面となるベース１の」−Ｍ−ｉには、Ｙ軸方
向に平行し月つそれぞれ対向する内面に垂直ガイド部２
１．２１、上端に内向きに突出した水平ガイド部２２．
２２を有ず固定ガイド２，２ａか取付は固定され、両ガ
イド２゜２ａ間に縦可動カイト３を係合すると共に、縦
可動ガイド３と固定ガイド２，２ａとの間に縦軸駆動装
置４を構成する。該駆動装置４は、各固定ガイド２，２
ａに沿ってリニアモータヨーク４１ 、４１を配設し、
可動ガイド３の両端にそれぞれアーム３Ｉを介してリニ
アモータコイル４２．４２、を取付けてリニアモータを
構成している。可動ガイド３の両端部には、ベース１の
走行基準面１Ｊ、固定ガイド２，２ａの垂１１ζガイド
部２１、水平ガイド部２２に対向して圧力空気源に連通
したオリフィスを設けて空気軸受３２．３２を構成し、
固定ガイド２，２ａに沿ってガイド２，２ａおよび走行
基準面１１に対し非接触にて移動する。」―記縦可動ガ
イド３には、１１２手方向、所謂Ｘ軸方向に沿ってガイ
ド川窓孔３３を開設している。該窓孔３３には、１−１
・に対向する内側面に垂直ガイド部３４．３４および北
端に内向きに突出した水平ガイド部３５が形成され、こ
の窓孔３３に横６エ動ガイド５を係合し７ている。横可
動ガイド５は、前記窓孔３３の垂直ガイド部３４．３４
間に適合するスライド部５】および］ユ都に窓孔から臨
出したステージ６を一体に形成すると共に、縦可動ガイ
ド３と横６エ動ガイド５との間に横軸駆動装置７を設け
ている。該駆動装置７は、縦可動ガイド３の上下側縁に
沿ってリニアモータヨーク７１．７１を配設し、横可動
ガイド５には、上下に突出したアーム５２．５２を介し
てリニアモータコイル７２．７２を配備してリニアモー
タを構成している。横可動ガイド５のスライド部５１に
は、へ−ス１の走行基桑面１】、窓孔３３内の垂直ガイ
ド部３４、水平ガイド部３５にそれぞれ対向して圧力空
気源に連通したオリフィスを設け−て空気軸受５３．５
３を構成し、窓孔３３に沿って基準面１１、ガイド３に
対し非接触にて往復動するものである。
、走行基準面となるベース１の」−Ｍ−ｉには、Ｙ軸方
向に平行し月つそれぞれ対向する内面に垂直ガイド部２
１．２１、上端に内向きに突出した水平ガイド部２２．
２２を有ず固定ガイド２，２ａか取付は固定され、両ガ
イド２゜２ａ間に縦可動カイト３を係合すると共に、縦
可動ガイド３と固定ガイド２，２ａとの間に縦軸駆動装
置４を構成する。該駆動装置４は、各固定ガイド２，２
ａに沿ってリニアモータヨーク４１ 、４１を配設し、
可動ガイド３の両端にそれぞれアーム３Ｉを介してリニ
アモータコイル４２．４２、を取付けてリニアモータを
構成している。可動ガイド３の両端部には、ベース１の
走行基準面１Ｊ、固定ガイド２，２ａの垂１１ζガイド
部２１、水平ガイド部２２に対向して圧力空気源に連通
したオリフィスを設けて空気軸受３２．３２を構成し、
固定ガイド２，２ａに沿ってガイド２，２ａおよび走行
基準面１１に対し非接触にて移動する。」―記縦可動ガ
イド３には、１１２手方向、所謂Ｘ軸方向に沿ってガイ
ド川窓孔３３を開設している。該窓孔３３には、１−１
・に対向する内側面に垂直ガイド部３４．３４および北
端に内向きに突出した水平ガイド部３５が形成され、こ
の窓孔３３に横６エ動ガイド５を係合し７ている。横可
動ガイド５は、前記窓孔３３の垂直ガイド部３４．３４
間に適合するスライド部５】および］ユ都に窓孔から臨
出したステージ６を一体に形成すると共に、縦可動ガイ
ド３と横６エ動ガイド５との間に横軸駆動装置７を設け
ている。該駆動装置７は、縦可動ガイド３の上下側縁に
沿ってリニアモータヨーク７１．７１を配設し、横可動
ガイド５には、上下に突出したアーム５２．５２を介し
てリニアモータコイル７２．７２を配備してリニアモー
タを構成している。横可動ガイド５のスライド部５１に
は、へ−ス１の走行基桑面１】、窓孔３３内の垂直ガイ
ド部３４、水平ガイド部３５にそれぞれ対向して圧力空
気源に連通したオリフィスを設け−て空気軸受５３．５
３を構成し、窓孔３３に沿って基準面１１、ガイド３に
対し非接触にて往復動するものである。
然して、ステージ６は縦横駆動装ｆｆ４：４−＋７の作
動による縦横可動ガイド３．５の移行によって目標位置
に移行するもので、ステージ６に加わる力のうち、鉛直
下方に向うものはベース１に支持され、また鉛直」下方
に向う力はスライド部５１によって縦可動ガイド３の水
平ガイド部３５に支承され、縦可動ガイド５は固定ガイ
ド２の水平ガイド部２２に支承されているため、ステー
ジ６は、」−下動およびピッチングが全（なく、走り精
度を向上するのである。
動による縦横可動ガイド３．５の移行によって目標位置
に移行するもので、ステージ６に加わる力のうち、鉛直
下方に向うものはベース１に支持され、また鉛直」下方
に向う力はスライド部５１によって縦可動ガイド３の水
平ガイド部３５に支承され、縦可動ガイド５は固定ガイ
ド２の水平ガイド部２２に支承されているため、ステー
ジ６は、」−下動およびピッチングが全（なく、走り精
度を向上するのである。
〈発明の効果〉
本発明は」ニ記の如く、ステージ６の走行案内において
、鉛直下方に加わる力はベース１、鉛直」一方に加わる
力は縦可動ガイド３に支承させて、鉛直に下とも拘束し
たから、ステージ６の走り精度が向−１ニし従って高精
度の位置決めを実現できる。しかも、本発明は、縦可動
ガイド３に横”Ｔ動ガイド５を係合し、横可動ガイド５
に直接ステージ６を構成したから、従来の縦横ガイドが
交叉した構造のステージに比較して、装置全体の小型化
、薄型化を実現できる等、構成簡易にして発明目的を達
成した効果を有す。
、鉛直下方に加わる力はベース１、鉛直」一方に加わる
力は縦可動ガイド３に支承させて、鉛直に下とも拘束し
たから、ステージ６の走り精度が向−１ニし従って高精
度の位置決めを実現できる。しかも、本発明は、縦可動
ガイド３に横”Ｔ動ガイド５を係合し、横可動ガイド５
に直接ステージ６を構成したから、従来の縦横ガイドが
交叉した構造のステージに比較して、装置全体の小型化
、薄型化を実現できる等、構成簡易にして発明目的を達
成した効果を有す。
第１図は本発明ｘｙステージの平面１図、第２図は第４
図Ｃ−Ｃ線断面図、第３図はＢ−Ｂ線断面図、ｆｆ；
４図は従来のＸＹステージの平面文、第５図は第４図Ｃ
−Ｃ線断面図、Ｓ６図は従来の他のｘｙステージの平面
図、第７図は第４図Ｃ−Ｃ線断面図である。 １・・・・ベース １１・・・・・・基準面２．２ａ・
・・・ 固定ガイド ３・・・・・縦可動ガイド ４・・・・・・縦軸駆動装
置５・・・・・・横可動ガイド ６・・・・・・ステー
ジ７・・・・・横軸可動ガイド 特許出願人 立石電機株式会社
図Ｃ−Ｃ線断面図、第３図はＢ−Ｂ線断面図、ｆｆ；
４図は従来のＸＹステージの平面文、第５図は第４図Ｃ
−Ｃ線断面図、Ｓ６図は従来の他のｘｙステージの平面
図、第７図は第４図Ｃ−Ｃ線断面図である。 １・・・・ベース １１・・・・・・基準面２．２ａ・
・・・ 固定ガイド ３・・・・・縦可動ガイド ４・・・・・・縦軸駆動装
置５・・・・・・横可動ガイド ６・・・・・・ステー
ジ７・・・・・横軸可動ガイド 特許出願人 立石電機株式会社
Claims (1)
- ＸＹステージの基準面となるベースと、ベース上に互い
に平行して取付けられた一対の固定ガイドと、固定ガイ
ドに空気軸受を介して支持せられガイド方向に往復動可
能な縦可動ガイドと、縦可動ガイドに空気軸受を介して
支持せられステージを備えた横可動ガイドと、縦可動ガ
イドに連繋された縦軸駆動装置と、横可動ガイドに連繋
された横軸駆動装置とから構成され、ステージに加わ々
垂直方向の負荷を構Ｆ’Ｊ動ガイドとベースにて支持す
ることを特徴とするＸＹステージ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23589683A JPS60127932A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | Ｘｙステ−ジ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23589683A JPS60127932A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | Ｘｙステ−ジ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60127932A true JPS60127932A (ja) | 1985-07-08 |
| JPH05166B2 JPH05166B2 (ja) | 1993-01-05 |
Family
ID=16992842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23589683A Granted JPS60127932A (ja) | 1983-12-13 | 1983-12-13 | Ｘｙステ−ジ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60127932A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6258133U (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-10 | ||
| JPH01188241A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Canon Inc | 移動案内装置 |
| JPH05277862A (ja) * | 1991-06-26 | 1993-10-26 | Sony Corp | 直交二方向移動テーブル装置 |
| JPH08318439A (ja) * | 1996-06-17 | 1996-12-03 | Canon Inc | 移動案内装置 |
| JP2007175841A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
| JP2010110860A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Oiles Ind Co Ltd | 平面移動ステージ装置 |
| JP2016100531A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 |
-
1983
- 1983-12-13 JP JP23589683A patent/JPS60127932A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6258133U (ja) * | 1985-09-30 | 1987-04-10 | ||
| JPH01188241A (ja) * | 1988-01-22 | 1989-07-27 | Canon Inc | 移動案内装置 |
| JPH05277862A (ja) * | 1991-06-26 | 1993-10-26 | Sony Corp | 直交二方向移動テーブル装置 |
| JPH08318439A (ja) * | 1996-06-17 | 1996-12-03 | Canon Inc | 移動案内装置 |
| JP2007175841A (ja) * | 2005-12-28 | 2007-07-12 | Sumitomo Heavy Ind Ltd | ステージ装置 |
| JP4673215B2 (ja) * | 2005-12-28 | 2011-04-20 | 住友重機械工業株式会社 | ステージ装置 |
| JP2010110860A (ja) * | 2008-11-06 | 2010-05-20 | Oiles Ind Co Ltd | 平面移動ステージ装置 |
| JP2016100531A (ja) * | 2014-11-25 | 2016-05-30 | 日本精工株式会社 | テーブル装置、位置決め装置、フラットパネルディスプレイ製造装置、及び精密機械 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH05166B2 (ja) | 1993-01-05 |
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