KR101800765B1 - 테이블 장치 및 반송 장치 - Google Patents

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도시노리 사토
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닛뽄 세이꼬 가부시기가이샤
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Abstract

테이블 장치(TA)는, 소정 면과 평행한 제 1 기준면을 갖는 제 1 기대(1)와, 소정 면과 평행한 제 2 기준면을 갖고, 제 1 기준면 상에 있어서 소정 면 내의 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능한 제 2 기대(2)와, 제 2 기대에 설치되고, 제 1 기준면과 대향하는 제 1 기체 공급구를 갖고, 제 1 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 제 1 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 1 베어링 부재(7)와, 제 1 축과 직교하는 소정 면 내의 제 2 축과 평행한 방향에 관하여 제 1 베어링 부재로부터 떨어져서 제 2 기대에 설치되고, 제 1 기준면과 대향하는 제 2 기체 공급구를 갖고, 제 2 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 제 1 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 2 베어링 부재(9)와, 제 2 기준면 상에 있어서 제 2 축과 평행한 방향으로 이동 가능한 테이블(3)을 구비하며, 제 2 축과 평행한 방향에 관하여, 제 1 베어링 부재와 제 2 베어링 부재의 거리는, 테이블의 이동 범위의 치수보다 길다.

Description

테이블 장치 및 반송 장치{TABLE APPARATUS AND TRANSFER APPARATUS}
본 발명은 테이블 장치 및 반송 장치에 관한 것이다.
반송 장치에 있어서, 예를 들면 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 개시되어 있는 바와 같은, 이동 가능한 테이블을 구비하는 테이블 장치가 사용된다.
일본 특허 제3832084호 공보 일본 공개특허 특개2000-136824호 공보
테이블 장치에 있어서, 테이블의 위치 결정 정밀도가 저하되어, 테이블이 원하는 위치에 배치되지 않으면, 그 테이블 장치를 구비하는 반송 장치의 성능이 저하될 가능성이 있다. 예를 들면, 수평면 내에 있어서 테이블을 똑바로 이동하려고 하였음에도 불구하고, 그 테이블이 피칭해 버리는 경우, 또는, 테이블의 상면(上面)을 수평면과 평행하게 하려고 하였음에도 불구하고, 테이블의 상면이 수평면에 대하여 경사져 버리는 경우, 테이블의 위치 결정 정밀도가 저하될 가능성이 있다. 그 결과, 그 테이블에 놓여 있는 물체가 원하는 위치에 배치되지 않을 가능성이 있다.
본 발명은, 위치 결정 정밀도의 저하를 억제할 수 있는 테이블 장치 및 반송 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테이블 장치는, 소정 면과 평행한 제 1 기준면을 갖는 제 1 기대(基臺)와, 상기 소정 면과 평행한 제 2 기준면을 갖고, 상기 제 1 기준면 상에 있어서 상기 소정 면 내의 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능한 제 2 기대와, 상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 제 1 기준면과 대향하는 제 1 기체(氣體) 공급구를 갖고, 상기 제 1 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 1 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 1 베어링 부재와, 상기 제 1 축과 직교하는 상기 소정 면 내의 제 2 축과 평행한 방향에 관하여 상기 제 1 베어링 부재로부터 떨어져서 상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 제 1 기준면과 대향하는 제 2 기체 공급구를 갖고, 상기 제 2 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 1 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 2 베어링 부재와, 상기 제 2 기준면 상에 있어서 상기 제 2 축과 평행한 방향으로 이동 가능한 테이블을 구비하며, 상기 제 2 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 제 1 베어링 부재와 상기 제 2 베어링 부재의 거리는, 상기 테이블의 이동 범위의 치수보다 길다.
따라서, 제 1 기대의 제 1 기준면 상에 있어서 제 2 기대가 제 1 축과 평행한 방향으로 이동하고, 제 2 기대의 제 2 기준면 상에 있어서 테이블이 제 2 축과 평행한 방향으로 이동하므로, 테이블은, 제 1 축과 평행한 방향 및 제 2 축과 평행한 방향의 양방(兩方)으로 이동 가능하다. 제 1 베어링 부재 및 제 2 베어링 부재의 각각은, 소정 면에 대하여 수직 방향의 힘(부상력)을 발생하는 기체 베어링을 형성한다. 즉, 제 1 베어링 부재 및 제 2 베어링 부재의 각각은, 소위, 수직 방향 기체 베어링(상하 방향 기체 베어링)을 형성한다. 제 2 기준면 상에 있어서 테이블이 제 2 축과 평행한 방향으로 이동하는 경우, 그 테이블의 이동 방향(제 2 축과 평행한 방향)에 관하여, 제 1 베어링 부재(제 1 수직 방향 기체 베어링)과 제 2 베어링 부재(제 2 수직 방향 기체 베어링)과의 거리가, 테이블의 이동 범위(스트로크)의 치수보다 길기 때문에, 그 이동 범위에 있어서 테이블이 이동하더라도, 테이블의 하중은, 제 1 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링 및 제 2 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링에 의해 지지된다. 이에 의해, 테이블의 이동 범위에 있어서 테이블이 피칭하거나, 테이블의 상면이 경사지거나 하는 것이 억제된다. 그 때문에, 테이블의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 2 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 테이블의 중심(重心)이 상기 제 1 베어링 부재와 상기 제 2 베어링 부재의 사이를 이동하도록, 상기 테이블의 이동 범위가 정해진다.
따라서, 테이블의 중심이 제 1 베어링 부재(제 1 수직 방향 기체 베어링)과 제 2 베어링 부재(제 2 수직 방향 기체 베어링)과의 사이에서 외측으로 이동하지 않으므로, 그 이동 범위에 있어서 테이블이 이동하더라도, 테이블의 하중은, 제 1 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링 및 제 2 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링에 의해 지지된다. 이에 의해, 테이블이 피칭하거나 테이블의 상면이 경사지거나 하는 것이 억제된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 1 기대에 설치되고, 상기 제 2 기대를 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 가이드하는 제 1 가이드 부재를 구비한다.
따라서, 제 2 기대는, 제 1 가이드 부재에 가이드되어, 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다. 이에 의해, 그 제 2 기대에 지지되어 있는 테이블도, 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 제 2 축과 평행한 제 1 방향을 향하는 상기 제 1 가이드 부재의 제 1 측면과 대향하는 제 3 기체 공급구를 갖고, 상기 제 3 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 1 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 3 베어링 부재를 구비하며, 상기 제 1 베어링 부재는, 상기 제 1 방향의 반대 방향을 향하는 상기 제 1 가이드 부재의 제 2 측면과 대향하도록 배치되는 제 4 기체 공급구를 갖고, 상기 제 4 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 2 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성한다.
따라서, 제 1 베어링 부재 및 제 3 베어링 부재가 제 1 가이드 부재에 비접촉으로 지지되면서, 제 1 베어링 부재 및 제 3 베어링 부재가 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능하다. 제 1 베어링 부재 및 제 3 베어링 부재의 각각은, 제 2 축과 평행한 방향의 힘을 발생하는 기체 베어링을 형성한다. 즉, 제 1 베어링 부재 및 제 3 베어링 부재의 각각은, 소위, 수평 방향 기체 베어링을 형성한다. 이에 의해, 제 1 베어링 부재 및 제 3 베어링 부재는, 제 2 축과 평행한 방향으로의 변위가 억제되면서, 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다. 또, 제 2 축과 평행한 방향에 관하여, 제 1 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링과 제 3 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링과의 거리가 짧으므로, 예를 들면 제 2 기대가 열 변형되더라도, 제 1 베어링 부재와 제 1 가이드 부재와의 간극의 치수의 변화량이 커지는 것, 및 제 3 베어링 부재와 제 1 가이드 부재와의 간극의 치수의 변화량이 커지는 것이 억제된다. 그 때문에, 제 1 베어링 부재 및 제 3 베어링 부재에 접속되어 있는 제 2 기대도, 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 테이블을 상기 제 2 축과 평행한 방향으로 가이드하는 제 2 가이드 부재를 구비한다.
따라서, 테이블은, 제 2 가이드 부재에 가이드되어, 제 2 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 테이블에 설치되고, 상기 제 2 기준면과 대향하는 제 5 기체 공급구와, 상기 제 1 축과 평행한 제 2 방향을 향하는 상기 제 2 가이드 부재의 제 3 측면과 대향하는 제 6 기체 공급구를 갖고, 상기 제 5 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 2 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하고, 상기 제 6 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 3 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 4 베어링 부재와, 상기 테이블에 설치되고, 상기 제 2 방향의 반대 방향을 향하는 상기 제 2 가이드 부재의 제 4 측면과 대향하는 제 7 기체 공급구를 갖고, 상기 제 7 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 3 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 5 베어링 부재를 구비한다.
따라서, 제 4 베어링 부재가 제 2 기준면 및 제 2 가이드 부재의 각각에 비접촉으로 지지되고, 제 5 베어링 부재가 제 2 가이드 부재에 비접촉으로 지지되면서, 제 4 베어링 부재 및 제 5 베어링 부재가 제 2 축과 평행한 방향으로 이동 가능하다. 제 4 베어링 부재는, 소정 면에 대하여 수직 방향의 힘(부상력)을 발생하는 기체 베어링을 형성한다. 즉, 제 4 베어링 부재는, 소위, 수직 방향 기체 베어링 (상하 방향 기체 베어링)을 형성한다. 또, 제 4 베어링 부재 및 제 5 베어링 부재의 각각은, 제 1 축과 평행한 방향의 힘을 발생하는 기체 베어링을 형성한다. 즉, 제 4 베어링 부재 및 제 5 베어링 부재의 각각은, 소위, 수평 방향 기체 베어링을 형성한다. 이에 의해, 제 4 베어링 부재 및 제 5 베어링 부재는, 제 1 축과 평행한 방향으로의 변위가 억제되면서, 제 2 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다. 그 때문에, 제 4 베어링 부재 및 제 5 베어링 부재에 접속되어 있는 테이블도, 제 2 축과 평행한 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 상기 제 4 베어링 부재로부터 떨어져서 상기 테이블에 설치되고, 상기 제 2 기준면과 대향하는 제 8 기체 공급구를 갖고, 상기 제 8 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 2 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 6 베어링 부재를 구비한다.
따라서, 제 4 베어링 부재 및 제 6 베어링 부재의 각각이 제 2 기준면에 비접촉으로 지지되면서, 제 4 베어링 부재 및 제 6 베어링 부재는 제 2 축과 평행한 방향으로 이동 가능하다. 제 4 베어링 부재 및 제 6 베어링 부재의 각각은, 소정 면에 대하여 수직 방향의 힘(부상력)을 발생하는 기체 베어링을 형성한다. 즉, 제 4 베어링 부재 및 제 6 베어링 부재의 각각은, 소위, 수직 방향 기체 베어링(상하 방향 기체 베어링)을 형성한다. 또, 제 4 베어링 부재와 제 6 베어링 부재는, 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 떨어져서 배치되어 있다. 테이블의 하중이, 제 4 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링 및 제 6 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링에 의해 지지됨으로써, 테이블이 롤링하거나 테이블의 상면이 경사지거나 하는 것이 억제된다. 그 때문에, 테이블의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 제 1 기대와 상기 제 2 기대의 사이에 배치되고, 상기 제 2 기대를 상기 제 1 기대로 끌어당기는 힘을 발생하는 흡인력 발생 장치를 구비한다.
따라서, 제 1 베어링 부재 및 제 2 베어링 부재의 각각에 의해서 형성되는 기체 베어링에 의한 제 2 기대에 대한 부상력과, 흡인력 발생 장치에 의한 제 2 기대에 대한 흡인력과의 밸런스에 의해, 제 1 베어링 부재와 제 1 기대와의 간극의 치수, 및 제 2 베어링 부재와 제 1 기대와의 간극의 치수의 각각이 최적으로 유지된다. 그 때문에, 제 2 기대는 목표 궤도에서 이동 가능하다.
본 발명의 테이블 장치에서는, 상기 흡인력 발생 장치는, 상기 제 1 기대에 접속되는 제 1 부재와, 상기 제 2 기대에 접속되고, 상기 제 1 부재와의 사이에 상기 끌어당기는 힘을 발생 가능한 제 2 부재를 포함하고, 상기 제 2 부재는, 상기 제 1 부재와 대향하는 제 1 하면(下面)을 포함하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분의 상방(上方)에 배치되고, 적어도 일부가 상기 제 1 부분보다 외측으로 튀어나온 제 2 하면을 포함하는 제 2 부분을 갖고, 상기 제 2 부분은, 상기 제 2 하면과 상기 제 2 부재의 상면을 연결하는 구멍을 갖고, 상기 구멍에, 상기 제 2 부재와 상기 제 2 기대를 고정하기 위한 고정 부재가 배치된다.
따라서, 예를 들면 제 2 기대 상에 테이블이 배치된 상태에서, 흡인력 발생 장치의 조정 작업이 원활하게 행해진다. 흡인력 발생 장치의 흡인력의 조정(변경)은, 예를 들면, 제 1 부재와 제 2 부재와의 간극의 치수의 조정, 제 2 부재의 교환, 및 제 1 부재와 대향하는 위치에 배치되는 제 2 부재의 수의 조정 중 적어도 하나를 포함한다. 본 발명에 의하면, 제 2 부재가 제 1 부분과 제 2 부분을 포함하고, 고정 부재가 배치되기 위한 구멍이 제 2 부분에 형성되기 때문에, 흡인력 발생 장치의 조정 작업이 원활하게 행해진다. 이에 의해, 제 1 베어링 부재 및 제 2 베어링 부재의 각각에 의해서 형성되는 기체 베어링에 의한 제 2 기대에 대한 부상력과, 흡인력 발생 장치에 의한 제 2 기대에 대한 흡인력과의 밸런스가 최적으로 조정된다. 그 때문에, 제 1 베어링 부재와 제 1 기대와의 간극의 치수, 제 2 베어링 부재와 제 1 기대와의 간극의 치수, 제 1 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링의 강성, 및 제 2 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링의 강성 중 적어도 하나가 최적으로 조정된다. 따라서, 제 2 기대는, 목표 궤도에서 이동 가능하고, 예를 들면 제 2 기대의 경사가 억제된다. 그 때문에, 그 제 2 기대에 지지되는 테이블의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 테이블 장치는, 소정 면과 평행한 기준면을 갖는 기대와, 상기 기준면 상에 있어서 이동 가능한 가동 부재와, 상기 가동 부재에 설치되고, 상기 기준면과 대향하는 기체 공급구를 갖고, 상기 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 베어링 부재와, 상기 기대에 접속되는 제 1 부재와, 상기 가동 부재에 접속되는 제 2 부재를 포함하고, 상기 제 1 부재와 상기 제 2 부재의 사이에, 상기 가동 부재를 상기 기대로 끌어당기는 힘을 발생하는 흡인력 발생 장치를 구비하고, 상기 제 2 부재는, 상기 제 1 부재와 대향하는 제 1 하면을 포함하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분의 상방에 배치되고, 적어도 일부가 상기 제 1 부분보다 외측으로 튀어나온 제 2 하면을 포함하는 제 2 부분을 갖고, 상기 제 2 부분은, 상기 제 2 하면과 상기 제 2 부재의 상면을 연결하는 구멍을 갖고, 상기 구멍에, 상기 제 2 부재와 상기 가동 부재를 고정하기 위한 고정 부재가 배치된다.
따라서, 예를 들면 기대 상에 가동 부재가 배치된 상태에서, 흡인력 발생 장치의 조정 작업이 원활하게 행해진다. 흡인력 발생 장치의 흡인력의 조정(변경)은, 예를 들면, 제 1 부재와 제 2 부재와의 간극의 치수의 조정, 제 2 부재의 교환, 및 제 1 부재와 대향하는 위치에 배치되는 제 2 부재의 수의 조정 중 적어도 하나를 포함한다. 본 발명에 의하면, 제 2 부재가 제 1 부분과 제 2 부분을 포함하고, 고정 부재가 배치되기 위한 구멍이 제 2 부분에 형성되기 때문에, 흡인력 발생 장치의 조정 작업이 원활하게 행해진다. 이에 의해, 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링에 의한 가동 부재에 대한 부상력과, 흡인력 발생 장치에 의한 가동 부재에 대한 흡인력과의 밸런스가 최적으로 조정된다. 그 때문에, 베어링 부재와 기대와의 간극의 치수, 및 베어링 부재에 의해서 형성되는 기체 베어링의 강성 중 적어도 일방(一方)이 최적으로 조정된다. 따라서, 가동 부재는, 목표 궤도에서 이동 가능하고, 예를 들면 가동 부재의 경사가 억제된다. 그 때문에, 가동 부재의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반송 장치는, 상기의 테이블 장치를 구비한다.
따라서, 반송 장치는, 테이블에 지지되어 있는 물체를 목표 위치로 반송할 수 있다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 반도체 제조 장치는, 상기의 테이블 장치를 구비한다.
따라서, 반도체 제조 장치는, 목표 위치에 배치된 물체를 처리할 수 있으므로, 그 물체로부터 불량인 제품이 제조되어 버리는 것이 억제된다. 또한, 반도체 제조 장치는, 예를 들면 노광 장치를 포함하고, 반도체 디바이스의 제조 공정의 적어도 일부에 있어서 사용된다.
상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 플랫 패널 디스플레이 제조 장치는, 상기의 테이블 장치를 구비한다.
따라서, 플랫 패널 디스플레이 제조 장치는, 목표 위치에 배치된 물체를 처리할 수 있으므로, 그 물체로부터 불량인 제품이 제조되어 버리는 것이 억제된다. 또한, 플랫 패널 디스플레이 제조 장치는, 예를 들면 노광 장치를 포함하고, 플랫 패널 디스플레이의 제조 공정의 적어도 일부에 있어서 사용된다. 플랫 패널 디스플레이는 액정 모니터, 플라즈마 디스플레이 및 유기 EL 디스플레이 중 적어도 하나를 포함한다.
본 발명의 테이블 장치 및 반송 장치에 의하면, 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
도 1은 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치의 일례를 나타낸 측면도이다.
도 2는 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치의 일례를 나타낸 측면도이다.
도 3은 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치의 일례를 나타낸 평면도이다.
도 4는 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치의 동작의 일례를 나타낸 도면이다.
도 5는 비교예에 관련된 테이블 장치를 나타낸 도면이다.
도 6은 본 실시 형태에 관련된 흡인력 발생 장치의 일례를 나타낸 도면이다.
도 7은 본 실시 형태에 관련된 반송 장치 및 반도체 제조 장치의 일례를 나타낸 도면이다.
도 8은 본 실시 형태에 관련된 반송 장치 및 검사 장치의 일례를 나타낸 도면이다.
이하에서, 본 발명에 관련된 실시 형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명하지만, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 이하에서 설명하는 각 실시 형태의 요건은 적당히 조합할 수 있다. 또, 일부의 구성 요소를 이용하지 않는 경우도 있다. 이하의 설명에 있어서는, XYZ 직교 좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교 좌표계를 참조하면서 각 부분의 위치 관계에 대하여 설명한다. 수평면 내의 일 방향을 X축 방향, 수평면 내에 있어서 X축 방향과 직교하는 방향을 Y축 방향, X축 방향 및 Y축 방향의 각각과 직교하는 방향(즉, 연직 방향)을 Z축 방향이라고 한다. 또, X축, Y축 및 Z축을 중심으로 하는 회전(경사) 방향을 각각 θX, θY 및 θZ 방향이라고 한다. X축은 YZ 평면과 직교한다. Y축은 XZ 평면과 직교한다. Z축은 XY 평면과 직교한다. XY 평면은 X축 및 Y축을 포함한다. XZ 평면은 X축 및 Z축을 포함한다. YZ 평면은 Y축 및 Z축을 포함한다. XY 평면은 수평면과 평행하다.
<제 1 실시 형태>
제 1 실시 형태에 대하여 설명한다. 도 1 및 도 2는 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)의 일례를 나타낸 측면도이다. 도 3은 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)의 일례를 나타낸 평면도이다. 도 1은 테이블 장치(TA)를 -Y측으로부터 본 도면이다. 도 2는 테이블 장치(TA)를 +X측으로부터 본 도면이다.
테이블 장치(TA)는, 제 1 기대(1)와, 제 1 기대(1) 상에 있어서 이동 가능한 제 2 기대(2)와, 제 2 기대(2) 상에 있어서 이동 가능한 테이블(3)과, 제 1 기대(1) 상에 있어서 제 2 기대(2)를 이동시키기 위한 구동 장치(4)와, 제 2 기대(2) 상에 있어서 테이블(3)을 이동시키기 위한 구동 장치(5)를 구비하고 있다.
또, 테이블 장치(TA)는, 제 1 기대(1)에 설치되고, 제 2 기대(2)를 가이드하는 가이드 부재(6)와, 제 2 기대(2)에 설치되고, 제 1 기대(1)와의 사이에 기체 베어링(7Z)을 형성 가능하고, 가이드 부재(6)와의 사이에 기체 베어링(7X)을 형성 가능한 베어링 부재(7)와, 제 2 기대(2)에 설치되고, 가이드 부재(6)와의 사이에 기체 베어링(8X)을 형성 가능한 베어링 부재(8)와, 제 2 기대(2)에 설치되고, 제 1 기대(1)와의 사이에 기체 베어링(9Z)을 형성 가능한 베어링 부재(9)를 구비하고 있다.
또, 테이블 장치(TA)는, 제 2 기대(2)에 설치되고, 테이블(3)을 가이드하는 가이드 부재(10)와, 테이블(3)에 설치되고, 제 2 기대(2)와의 사이에 기체 베어링(11Z)을 형성 가능하고, 가이드 부재(10)와의 사이에 기체 베어링(11Y)을 형성 가능한 베어링 부재(11)와, 테이블(3)에 설치되고, 가이드 부재(10)와의 사이에 기체 베어링(12Y)을 형성 가능한 베어링 부재(12)와, 테이블(3)에 설치되고, 제 2 기대(2)와의 사이에 기체 베어링(13Z)을 형성 가능한 베어링 부재(13)를 구비하고 있다.
또, 테이블 장치(TA)는, 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2)의 사이에 배치되고, 제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘을 각각 발생하는 흡인력 발생 장치(14) 및 흡인력 발생 장치(15)와, 제 2 기대(2)와 테이블(3)의 사이에 배치되고, 테이블(3)을 제 2 기대(2)로 끌어당기는 힘을 각각 발생하는 흡인력 발생 장치(16) 및 흡인력 발생 장치(17)를 구비하고 있다.
제 1 기대(1)는, XY 평면과 평행한 기준면(상면, 가이드면)(1G)을 갖는다. 제 1 기대(1)는, 예를 들면 테이블 장치(TA)가 설치되는 시설(예를 들면, 공장)의 바닥면 등에 배치된다. 제 1 기대(1)는 세라믹스를 포함해도 된다. 제 1 기대(1)는, 예를 들면, 알루미나(Al2O3) 세라믹스를 포함해도 되고, 멀라이트(3Al2O3·2SiO2) 세라믹스를 포함해도 되고, 질화규소(Si3N4) 세라믹스를 포함해도 된다. 제 1 기대(1)는 돌을 포함해도 된다.
제 2 기대(2)는, 제 1 기대(1)의 기준면(1G) 상에 있어서 이동 가능한 가동 부재이다. 제 1 기대(1)는, 제 2 기대(2)를 이동 가능하게 지지한다. 본 실시 형태에 있어서, 제 2 기대(2)는, 제 1 기대(1)의 기준면(1G) 상에 있어서 Y축 방향으로 이동한다. 제 2 기대(2)는, XY 평면과 평행한 기준면(상면, 가이드면)(2G)을 갖는다.
테이블(3)은 물체(S)를 지지 가능하다. 테이블(3)은, 물체(S)를 지지하는 지지면(상면)(3S)을 갖는다. 테이블(3)은, 제 2 기대(2)의 기준면(2G) 상에 있어서 이동 가능한 가동 부재이다. 제 2 기대(2)는, 테이블(3)을 이동 가능하게 지지한다. 본 실시 형태에 있어서, 테이블(3)은, 제 2 기대(2)의 기준면(2G) 상에 있어서 X축 방향으로 이동한다.
본 실시 형태에 있어서는, 제 2 기대(2)가 Y축 방향으로 이동함으로써, 그 제 2 기대(2)에 지지되어 있는 테이블(3)도, 제 2 기대(2)와 함께 Y축 방향으로 이동한다. 즉, 본 실시 형태에 있어서, 테이블(3)은, X축 방향 및 Y축 방향의 2개의 방향으로 이동 가능하다. 테이블(3)은, 소위, XY 테이블(2축 테이블, 2차원 테이블)이다.
가이드 부재(6)는 제 1 기대(1)의 기준면(1G) 상에 배치된다. 가이드 부재(6)는, 제 2 기대(2)를 Y축 방향으로 가이드한다. 가이드 부재(6)는, Y축 방향으로 긴 레일을 포함한다. 가이드 부재(6)는, +Z 방향을 향하는 상면(60)과, -X 방향을 향하는 측면(61)과, +X 방향을 향하는 측면(62)을 갖는다. 측면(62)은 측면(61)의 반대 방향을 향한다. 상면(60)은 XY 평면과 평행하다. 측면(61) 및 측면(62)은 각각 YZ 평면과 평행하다. 상면(60), 측면(61) 및 측면(62)은 각각 평면이다. 가이드 부재(6)의 열팽창계수(선팽창계수)는, 제 1 기대(1)의 열팽창계수(선팽창계수)와 거의 동등하다. 가이드 부재(6)는 세라믹스를 포함해도 되고, 돌을 포함해도 된다. 가이드 부재(6)와 제 1 기대(1)가 동일한 재료로 형성되어도 된다.
구동 장치(4)는 액추에이터를 포함한다. 구동 장치(4)는, 제 2 기대(2)를 Y축 방향으로 이동한다. 본 실시 형태에 있어서, 구동 장치(4)는 리니어 모터를 포함한다. 구동 장치(4)는, 제 1 기대(1)에 접속된 고정자(41)와, 제 2 기대(2)에 접속된 가동자(42)를 포함한다. 고정자(41)가 코일을 포함하고, 가동자(42)가 자석을 포함해도 된다. 고정자(41)가 자석을 포함하고, 가동자(42)가 코일을 포함해도 된다.
베어링 부재(7)는 제 2 기대(2)에 지지된다. 본 실시 형태에 있어서, 제 2 기대(2)의 하면(2U)에 지지 부재(18)가 고정된다. 베어링 부재(7)는 지지 부재(18)에 고정된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(7)는, 지지 부재(18)를 개재하여 제 2 기대(2)에 지지(고정)된다. 또한, 지지 부재(18)를 개재하지 않고, 베어링 부재(7)가 제 2 기대(2)에 직접 고정되어도 된다.
베어링 부재(7)는, 제 1 기대(1)의 기준면(1G)과 대향하는 하면(70)과, 가이드 부재(6)의 측면(61)과 대향하는 측면(71)을 갖는다. 하면(70)은 기준면(1G)(XY 평면)과 평행하다. 측면(71)은 측면(61)(YZ 평면)과 평행하다.
베어링 부재(7)는, 제 1 기대(1)의 기준면(1G)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(72)와, 가이드 부재(6)의 측면(61)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(73)를 갖는다. 공급구(72)는 하면(70)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(72)로부터 공급되는 기체에 의해, 기준면(1G)과 하면(70)의 사이에 기체 베어링(7Z)이 형성된다. 공급구(73)는 측면(71)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(73)로부터 공급되는 기체에 의해, 측면(61)과 측면(71)의 사이에 기체 베어링(7X)이 형성된다.
베어링 부재(8)는 제 2 기대(2)에 지지된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(8)는 지지 부재(18)에 고정된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(8)는, 지지 부재(18)를 개재하여 제 2 기대(2)에 지지(고정)된다. 또한, 지지 부재(18)를 개재하지 않고, 베어링 부재(8)가 제 2 기대(2)에 직접 고정되어도 된다.
베어링 부재(8)는, 가이드 부재(6)의 측면(62)과 대향하는 측면(81)을 갖는다. 측면(81)은 측면(62)(YZ 평면)과 평행하다.
베어링 부재(8)는, 가이드 부재(6)의 측면(62)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(82)를 갖는다. 공급구(82)는 측면(81)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(82)로부터 공급되는 기체에 의해, 측면(62)과 측면(81)의 사이에 기체 베어링(8X)이 형성된다.
베어링 부재(9)는 제 2 기대(2)에 지지된다. 본 실시 형태에 있어서, 제 2 기대(2)의 하면(2U)에 지지 부재(19)가 고정된다. 베어링 부재(9)는, 지지 부재(19)에 고정된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(9)는, 지지 부재(19)를 개재하여 제 2 기대(2)에 지지(고정)된다. 또한, 지지 부재(19)를 개재하지 않고, 베어링 부재(9)가 제 2 기대(2)에 직접 고정되어도 된다.
베어링 부재(9)는, 제 1 기대(1)의 기준면(1G)과 대향하는 하면(90)을 갖는다. 하면(90)은 기준면(1G)(XY 평면)과 평행하다.
베어링 부재(9)는, 제 1 기대(1)의 기준면(1G)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(91)를 갖는다. 공급구(91)는 하면(90)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(91)로부터 공급되는 기체에 의해, 기준면(1G)과 하면(90)의 사이에 기체 베어링(9Z)이 형성된다.
베어링 부재(7)와 베어링 부재(9)는 X축 방향에 관하여 떨어져 있다. X축 방향에 관하여, 베어링 부재(7)는, 제 2 기대(2)의 일단부(一端部)(-X측의 단부(端部))에 접속되고, 베어링 부재(9)는, 제 2 기대(2)의 타단부(他端部)(+X측의 단부)에 접속된다. X축 방향에 관하여, 베어링 부재(8) 및 구동 장치(4)는, 베어링 부재(7)와 베어링 부재(9)의 사이에 배치된다. X축 방향에 관하여, 구동 장치(4)(가동자(42))는 제 2 기대(2)의 대략 중앙부에 배치된다. X축 방향에 관하여, 베어링 부재(8)는, 베어링 부재(7) 및 가이드 부재(6)와 구동 장치(4)(가동자(42))의 사이에 배치된다. X축 방향에 관하여, 가이드 부재(6)는, 베어링 부재(7)와 베어링 부재(8)의 사이에 배치된다. X축 방향에 관하여, 가이드 부재(6)의 일측(-X측)에 베어링 부재(7)가 배치되고, 가이드 부재(6)의 타측(+X측)에 베어링 부재(8)가 배치된다. 기체 베어링(7Z)(공급구(72))은, 기체 베어링(7X)(공급구(73)) 및 기체 베어링(8X)(공급구(82))보다 -X측에 배치된다. 기체 베어링(9Z)(공급구(91))은, 기체 베어링(7X)(공급구(73)) 및 기체 베어링(8X)(공급구(82))보다 +X측에 배치된다.
제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심(中心)에 대하여, 베어링 부재(7)는, 베어링 부재(8)보다 외측(-X측)에 배치된다. 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 기체 베어링(7X)(공급구(73))은, 기체 베어링(8X)(공급구(82))보다 외측(-X측)에 배치된다. 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 기체 베어링(7Z)(공급구(72))은, 기체 베어링(7X)(공급구(73))보다 외측(-X측)에 배치된다.
본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(7)는 Y축 방향에 관하여 복수 배치된다. 복수의 베어링 부재(7)는 각각 떨어져 있다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(7)는, Y축 방향에 관하여 2개 배치된다. 2개의 베어링 부재(7)는 떨어져 있다. 베어링 부재(7)와 마찬가지로, 베어링 부재(8)가 Y축 방향에 관하여 복수(2개) 배치되어도 되고, 베어링 부재(9)가 Y축 방향에 관하여 복수(2개) 배치되어도 된다.
기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)은, Z축 방향의 힘(부상력)을 발생한다. Z축 방향에 관한 제 2 기대(2)의 하중은, 기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)에 의해서 지지된다. 즉, 기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)은, 소위, 수직 방향 기체 베어링(상하 방향 기체 베어링)이다.
기체 베어링(7X) 및 기체 베어링(8X)은, X축 방향의 힘을 발생한다. X축 방향에 관한 제 2 기대(2)의 하중은, 기체 베어링(7X) 및 기체 베어링(8X)에 의해서 지지된다. 즉, 기체 베어링(7X) 및 기체 베어링(8X)은, 소위, 수평 방향 기체 베어링이다.
기체 베어링(7Z)에 의해, 기준면(1G)과 하면(70)의 사이에 간극이 형성된다. 기체 베어링(7X)에 의해, 측면(61)과 측면(71)의 사이에 간극이 형성된다. 기체 베어링(8X)에 의해, 측면(62)과 측면(81)의 사이에 간극이 형성된다. 기체 베어링(9Z)에 의해, 기준면(1G)과 하면(90)의 사이에 간극이 형성된다. 또, 기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)에 의해, 지지 부재(18)(제 2 기대(2))와 가이드 부재(6)의 상면(60)과의 사이에 간극이 형성된다. 이에 의해, 제 2 기대(2)는, 제 1 기대(1) 및 가이드 부재(6)에 비접촉으로 지지된다. 제 2 기대(2)가 제 1 기대(1) 및 가이드 부재(6)에 비접촉 지지된 상태에서 구동 장치(4)가 작동함으로써, 제 2 기대(2)는 Y축 방향으로 이동한다.
흡인력 발생 장치(14) 및 흡인력 발생 장치(15)는 각각, 제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘을 발생한다. 흡인력 발생 장치(14)는 베어링 부재(7)의 옆에 배치된다. 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 흡인력 발생 장치(14)는 베어링 부재(7)보다 외측(-X측)에 배치된다. 흡인력 발생 장치(15)는 베어링 부재(9)의 옆에 배치된다. 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 흡인력 발생 장치(15)는 베어링 부재(9)보다 외측(+X측)에 배치된다.
흡인력 발생 장치(14)는, 제 1 기대(1)에 접속되는 제 1 부재(141)와, 제 2 기대(2)에 접속되고, 제 1 부재(141)와의 사이에, 제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘을 발생하는 제 2 부재(142)를 갖는다. 본 실시 형태에 있어서는, 제 2 부재(142)는, 자석을 포함하고, 제 1 부재(141)는, 금속과 같은 자성체를 포함한다. 제 1 부재(141)와 제 2 부재(142)의 사이에 발생하는 자력에 의해서, 제 2 기대(2)가 제 1 기대(1)로 끌어당겨진다. 흡인력 발생 장치(14)와 마찬가지로, 흡인력 발생 장치(15)는, 제 1 기대(1)에 접속되는 제 1 부재(151)와, 제 2 기대(2)에 접속되고, 제 1 부재(151)와의 사이에, 제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘을 발생하는 제 2 부재(152)를 갖는다. X축 방향에 관하여, 제 1 부재(141)는, 제 1 기대(1)의 일단부(-X측의 단부)에 접속되고, 제 1 부재(151)는 제 1 기대(1)의 타단부(+X측의 단부)에 접속된다. X축 방향에 관하여, 제 2 부재(142)는, 제 2 기대(2)의 일단부(-X측의 단부)에 접속되고, 제 2 부재(152)는 제 2 기대(2)의 타단부(+X측의 단부)에 접속된다.
기체 베어링(7Z)은, 제 1 기대(1)에 대하여 베어링 부재(7)(제 2 기대(2))를 +Z 방향으로 이동시키는 힘(부상력)을 발생하고, 기체 베어링(9Z)은, 제 1 기대(1)에 대하여 베어링 부재(9)(제 2 기대(2))를 +Z 방향으로 이동시키는 힘을 발생한다. 흡인력 발생 장치(14)는, 제 1 기대(1)에 대하여 제 2 기대(2)를 -Z 방향으로 이동시키는 힘(흡인력)을 발생하고, 흡인력 발생 장치(15)는, 제 1 기대(1)에 대하여 제 2 기대(2)를 -Z 방향으로 이동시키는 힘을 발생한다. 기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)의 부상력과, 흡인력 발생 장치(14) 및 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력과의 밸런스에 의해, 기준면(1G)과 하면(70)의 간극, 및 기준면(1G)과 하면(90)의 간극의 각각이 유지되어, Z축 방향에 관한 제 2 기대(2)의 변위가 억제된다.
기체 베어링(7X)은, 가이드 부재(6)에 대하여 베어링 부재(7)(제 2 기대(2))를 -X 방향으로 이동시키는 힘(반발력)을 발생한다. 기체 베어링(8X)은, 가이드 부재(6)에 대하여 베어링 부재(8)(제 2 기대(2))를 +X 방향으로 이동시키는 힘(반발력)을 발생한다. 기체 베어링(7X)의 반발력과 기체 베어링(8X)의 반발력의 밸런스에 의해, 측면(61)과 측면(71)의 간극, 및 측면(62)과 측면(81)의 간극의 각각이 유지되어, X축 방향에 관한 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2)의 상대적인 변위가 억제된다.
가이드 부재(10)는 제 2 기대(2)의 기준면(2G) 상에 배치된다. 가이드 부재(10)는, 테이블(3)을 X축 방향으로 가이드한다. 가이드 부재(10)는, X축 방향으로 긴 레일을 포함한다. 가이드 부재(10)는, +Z 방향을 향하는 상면(100)과, -Y 방향을 향하는 측면(101)과, +Y 방향을 향하는 측면(102)을 갖는다. 측면(102)은, 측면(101)의 반대 방향을 향한다. 상면(100)은 XY 평면과 평행하다. 측면(101) 및 측면(102)은 각각 XZ 평면과 평행하다. 상면(100), 측면(101) 및 측면(102)은 각각 평면이다. 가이드 부재(10)의 열팽창계수(선팽창계수)는, 제 2 기대(2)의 열팽창계수(선팽창계수)와 대략 동등하다. 가이드 부재(10)와 제 2 기대(2)가 동일한 재료로 형성되어도 된다.
구동 장치(5)는 액추에이터를 포함한다. 구동 장치(5)는 테이블(3)을 X축 방향으로 이동한다. 본 실시 형태에 있어서, 구동 장치(5)는 리니어 모터를 포함한다. 구동 장치(5)는, 제 2 기대(2)에 접속된 고정자(51)와, 테이블(3)에 접속된 가동자(52)를 포함한다. 고정자(51)가 코일을 포함하고, 가동자(52)가 자석을 포함해도 된다. 고정자(51)가 자석을 포함하고, 가동자(52)가 코일을 포함해도 된다.
베어링 부재(11)는 테이블(3)에 지지된다. 베어링 부재(11)는 테이블(3)의 하면(3U)에 고정된다.
베어링 부재(11)는, 제 2 기대(2)의 기준면(2G)과 대향하는 하면(110)과, 가이드 부재(10)의 측면(101)과 대향하는 측면(111)을 갖는다. 하면(110)은 기준면(2G)(XY 평면)과 평행하다. 측면(111)은 측면(101)(XZ 평면)과 평행하다.
베어링 부재(11)는, 제 2 기대(2)의 기준면(2G)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(112)와, 가이드 부재(10)의 측면(101)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(113)를 갖는다. 공급구(112)는 하면(110)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(112)로부터 공급되는 기체에 의해, 기준면(2G)과 하면(110)의 사이에 기체 베어링(11Z)이 형성된다. 공급구(113)는 측면(111)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(113)로부터 공급되는 기체에 의해, 측면(101)과 측면(111)의 사이에 기체 베어링(11Y)이 형성된다.
베어링 부재(12)는 테이블(3)에 지지된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(12)는 테이블(3)의 하면(3U)에 고정된다.
베어링 부재(12)는, 가이드 부재(10)의 측면(102)과 대향하는 측면(121)을 갖는다. 측면(121)은 측면(102)(XZ 평면)과 평행하다.
베어링 부재(12)는, 가이드 부재(10)의 측면(102)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(122)를 갖는다. 공급구(122)는 측면(121)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(122)로부터 공급되는 기체에 의해, 측면(102)과 측면(121)의 사이에 기체 베어링(12Y)이 형성된다.
베어링 부재(13)는 테이블(3)에 지지된다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(13)는 테이블(3)의 하면(3U)에 고정된다.
베어링 부재(13)는, 제 2 기대(2)의 기준면(2G)과 대향하는 하면(130)을 갖는다. 하면(130)은 기준면(2G)(XY 평면)과 평행하다.
베어링 부재(13)는, 제 2 기대(2)의 기준면(2G)과 대향하도록 배치되고, 기체를 공급 가능한 공급구(131)를 갖는다. 공급구(131)는 하면(130)의 적어도 일부에 배치된다. 공급구(131)로부터 공급되는 기체에 의해, 기준면(2G)과 하면(130)의 사이에 기체 베어링(13Z)이 형성된다.
베어링 부재(11)와 베어링 부재(13)는, Y축 방향에 관하여 떨어져 있다. Y축 방향에 관하여, 베어링 부재(11)는 테이블(3)의 일단부(-Y측의 단부)에 접속되고, 베어링 부재(13)는 테이블(3)의 타단부(+Y측의 단부)에 접속된다. Y축 방향에 관하여, 베어링 부재(12) 및 구동 장치(5)는 베어링 부재(11)와 베어링 부재(13)의 사이에 배치된다. Y축 방향에 관하여, 구동 장치(5)(가동자(52))는 테이블(3)의 대략 중앙부에 배치된다. Y축 방향에 관하여, 베어링 부재(12)는, 베어링 부재(11) 및 가이드 부재(10)와 구동 장치(5)(가동자(52))와의 사이에 배치된다. Y축 방향에 관하여, 가이드 부재(10)는 베어링 부재(11)와 베어링 부재(12)의 사이에 배치된다. Y축 방향에 관하여, 가이드 부재(10)의 일측(-Y측)에 베어링 부재(11)가 배치되고, 가이드 부재(10)의 타측(+Y측)에 베어링 부재(12)가 배치된다. 기체 베어링(11Z)(공급구(112))은, 기체 베어링(11Y)(공급구(113)) 및 기체 베어링(12Y)(공급구(122))보다 -Y측에 배치된다. 기체 베어링(13Z)(공급구(131))은, 기체 베어링(11Y)(공급구(113)) 및 기체 베어링(12Y)(공급구(122))보다 +Y측에 배치된다.
제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여, 베어링 부재(11)는 베어링 부재(12)보다 외측(-Y측)에 배치된다. 제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여, 기체 베어링(11Y)(공급구(113))은 기체 베어링(12Y)(공급구(122))보다 외측(-Y측)에 배치된다. 제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여, 기체 베어링(11Z)(공급구(112))은 기체 베어링(11Y)(공급구(113))보다 외측(-Y측)에 배치된다.
본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(11)는, X축 방향에 관하여 복수 배치된다. 복수의 베어링 부재(11)는 각각 떨어져 있다. 본 실시 형태에 있어서, 베어링 부재(11)는 X축 방향에 관하여 2개 배치된다. 2개의 베어링 부재(11)는 떨어져 있다. 베어링 부재(11)와 마찬가지로, 베어링 부재(12)가 X축 방향에 관하여 복수(2개) 배치되어도 되고, 베어링 부재(13)가 X축 방향에 관하여 복수(2개) 배치되어도 된다.
기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)은 Z축 방향의 힘(부상력)을 발생한다. Z축 방향에 관한 테이블(3)의 하중은, 기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)에 의해서 지지된다. 즉, 기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)은, 소위, 수직 방향 기체 베어링(상하 방향 기체 베어링)이다.
기체 베어링(11Y) 및 기체 베어링(12Y)은 Y축 방향의 힘을 발생한다. Y축 방향에 관한 테이블(3)의 하중은, 기체 베어링(11Y) 및 기체 베어링(12Y)에 의해서 지지된다. 즉, 기체 베어링(11Y) 및 기체 베어링(12Y)은, 소위, 수평 방향 기체 베어링이다.
기체 베어링(11Z)에 의해, 기준면(2G)과 하면(110)의 사이에 간극이 형성된다. 기체 베어링(11Y)에 의해, 측면(101)과 측면(111)의 사이에 간극이 형성된다. 기체 베어링(12Y)에 의해, 측면(102)과 측면(121)의 사이에 간극이 형성된다. 기체 베어링(13Z)에 의해, 기준면(2G)과 하면(130)의 사이에 간극이 형성된다. 또, 기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)에 의해, 테이블(3)과 가이드 부재(10)의 상면(100)과의 사이에 간극이 형성된다. 이에 의해, 테이블(3)은, 제 2 기대(2) 및 가이드 부재(10)에 비접촉으로 지지된다. 테이블(3)이 제 2 기대(2) 및 가이드 부재(10)에 비접촉 지지된 상태에서 구동 장치(5)가 작동함으로써, 테이블(3)은 X축 방향으로 이동한다.
흡인력 발생 장치(16) 및 흡인력 발생 장치(17)는 각각, 테이블(3)을 제 2 기대(2)로 끌어당기는 힘을 발생한다. 흡인력 발생 장치(16)는 베어링 부재(11)의 옆에 배치된다. 제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여, 흡인력 발생 장치(16)는 베어링 부재(11)보다 외측(-Y측)에 배치된다. 흡인력 발생 장치(17)는 베어링 부재(13)의 옆에 배치된다. 제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여, 흡인력 발생 장치(17)는 베어링 부재(13)보다 외측(+Y측)에 배치된다.
흡인력 발생 장치(16)는, 제 2 기대(2)에 접속되는 제 1 부재(161)와, 테이블(3)에 접속되고, 제 1 부재(161)와의 사이에, 테이블(3)을 제 2 기대(2)로 끌어당기는 힘을 발생하는 제 2 부재(162)를 갖는다. 본 실시 형태에 있어서는, 제 2 부재(162)는, 자석을 포함하고, 제 1 부재(161)는, 금속과 같은 자성체를 포함한다. 제 1 부재(161)와 제 2 부재(162)의 사이에 발생하는 자력에 의해서, 테이블(3)이 제 2 기대(2)로 끌어당겨진다. 흡인력 발생 장치(16)와 마찬가지로, 흡인력 발생 장치(17)는, 제 2 기대(2)에 접속되는 제 1 부재(171)와, 테이블(3)에 접속되고, 제 1 부재(171)와의 사이에, 테이블(3)을 제 2 기대(2)로 끌어당기는 힘을 발생하는 제 2 부재(172)를 갖는다. Y축 방향에 관하여, 제 1 부재(161)는 제 2 기대(2)의 일단부(-Y측의 단부)에 접속되고, 제 1 부재(171)는 제 2 기대(2)의 타단부(+Y측의 단부)에 접속된다. Y축 방향에 관하여, 제 2 부재(162)는 테이블(3)의 일단부(-Y측의 단부)에 접속되고, 제 2 부재(172)는 테이블(3)의 타단부(+Y측의 단부)에 접속된다.
기체 베어링(11Z)은, 제 2 기대(2)에 대하여 베어링 부재(11)(테이블(3))를 +Z 방향으로 이동시키는 힘(부상력)을 발생한다. 기체 베어링(13Z)은, 제 2 기대(2)에 대하여 베어링 부재(13)(테이블(3))를 +Z 방향으로 이동시키는 힘(부상력)을 발생한다. 흡인력 발생 장치(16)는, 제 2 기대(2)에 대하여 테이블(3)을 -Z 방향으로 이동시키는 힘(흡인력)을 발생한다. 흡인력 발생 장치(17)는, 제 2 기대(2)에 대하여 테이블(3)을 -Z 방향으로 이동시키는 힘(흡인력)을 발생한다. 기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)의 부상력과, 흡인력 발생 장치(16) 및 흡인력 발생 장치(17)의 흡인력과의 밸런스에 의해, 기준면(2G)과 하면(110)의 간극, 및 기준면(2G)과 하면(130)의 간극의 각각이 유지되어, Z축 방향에 관한 테이블(3)의 변위가 억제된다.
기체 베어링(11Y)은, 가이드 부재(10)에 대하여 베어링 부재(11)(테이블(3))를 -Y방향으로 이동시키는 힘(반발력)을 발생한다. 기체 베어링(12Y)은, 가이드 부재(10)에 대하여 베어링 부재(12)(테이블(3))를 +Y 방향으로 이동시키는 힘(반발력)을 발생한다. 기체 베어링(11Y)의 반발력과 기체 베어링(12Y)의 반발력과의 밸런스에 의해, 측면(101)과 측면(111)의 간극, 및 측면(102)과 측면(121)의 간극의 각각이 유지되어, Y축 방향에 관한 제 2 기대(2)와 테이블(3)의 상대적인 변위가 억제된다.
본 실시 형태에 있어서, 예를 들면 베어링 부재(7)가, 다공체(다공질 부재)를 포함하고, 공급구(72)가 그 다공체의 구멍을 포함해도 된다. 즉, 기체 베어링(7Z)을 형성하기 위한 베어링 부재(7)의 조임 방식이, 소위, 다공질 조임 방식이어도 된다. 다공체는, 예를 들면 일본 특허 제5093056호 및 일본 공개특허 특개2007-120527호 등에 개시되어 있는 바와 같은 그라파이트(카본그라파이트)제여도 된다. 또한, 다공체가 세라믹스제여도 된다. 또한, 기체 베어링(7Z)을 형성하기 위한 베어링 부재(7)의 조임 방식은, 다공체를 이용하지 않는 자성(自成) 조임 방식이어도 되고, 오리피스 조임 방식이어도 되고, 베어링면에 설치된 홈을 개재하여 기체를 공급하는 표면 조임 방식이어도 된다. 예를 들면 오리피스 조임 방식의 베어링 부재(7)의 경우, 기체를 공급하는 공급구(72)는, 오리피스의 개구를 포함한다. 기체 베어링(7X), 기체 베어링(8X), 기체 베어링(9Z), 기체 베어링(11Z), 기체 베어링(11Y), 기체 베어링(12Y) 및 기체 베어링(13Z)의 각각을 형성하기 위한 조임 방식도, 다공질 조임 방식이어도 되고, 자성 조임 방식이어도 되고, 오리피스 조임 방식이어도 되고, 표면 조임 방식이어도 된다.
다음으로, 상술의 테이블 장치(TA)의 동작의 일례에 대하여 설명한다. 제 2 기대(2)가 제 1 기대(1) 및 가이드 부재(6)에 비접촉 지지되고, 테이블(3)이 제 2 기대(2) 및 가이드 부재(10)에 비접촉 지지된 상태에서, 구동 장치(4) 및 구동 장치(5) 중 적어도 일방이 작동한다. 구동 장치(4)의 작동에 의해, 제 2 기대(2)가 이동한다. 제 2 기대(2)는, 가동자(42), 베어링 부재(7), 베어링 부재(8), 베어링 부재(9), 제 2 부재(142) 및 제 2 부재(152)와 함께 이동한다. 구동 장치(5)의 작동에 의해, 테이블(3)이 이동한다. 테이블(3)은, 가동자(52), 베어링 부재(11), 베어링 부재(12), 베어링 부재(13), 제 2 부재(162) 및 제 2 부재(172)와 함께 이동한다.
또한, 적어도 일부가 가이드 부재(6)와 대향하고, 그 가이드 부재(6)에 대하여 이동하는 베어링 부재(7) 및 베어링 부재(8)의 각각을, 슬라이드 부재라고 칭해도 된다. 또한, 적어도 일부가 가이드 부재(10)와 대향하고, 그 가이드 부재(10)에 대하여 이동하는 베어링 부재(11) 및 베어링 부재(12)의 각각을, 슬라이드 부재라고 칭해도 된다.
예를 들면 구동 장치(4)의 작동에 의해, 제 1 기대(1)에 대하여 제 2 기대(2)가 Y축 방향으로 이동한다. Y축 방향에 관한 제 2 기대(2)의 이동에 의해, 그 제 2 기대(2)에 지지되어 있는 테이블(3)도, 제 2 기대(2)와 함께 Y축 방향으로 이동한다. 또, 구동 장치(5)의 작동에 의해, 제 2 기대(2)에 대하여 테이블(3)이 X축 방향으로 이동한다.
본 실시 형태에 있어서는, 제 1 기대(1)에 가이드 부재(6)가 고정되고, 기체 베어링(7X) 및 기체 베어링(8X)이 형성된다. 그 때문에, X축 방향에 관한 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2)의 상대적인 변위가 억제되면서, 제 2 기대(2)는 Y축 방향으로 이동 가능하다. 또, 본 실시 형태에 있어서는, 제 2 기대(2)에 가이드 부재(10)가 고정되고, 기체 베어링(11Y) 및 기체 베어링(12Y)이 형성된다. 그 때문에, Y축 방향에 관한 제 2 기대(2)와 테이블(3)의 상대적인 변위가 억제되면서, 테이블(3)은 X축 방향으로 이동 가능하다.
도 4는 X축 방향으로 테이블(3)이 이동하는 상태의 일례를 나타낸다. 본 실시 형태에 있어서는, X축 방향에 관한 베어링 부재(7)와 베어링 부재(9)의 거리 Lb는, X축 방향에 관한 테이블(3)의 이동 범위의 치수 Lt보다 길다.
거리 Lb는, X축 방향에 관한 하면(70)의 중심과 하면(90)의 중심과의 거리를 포함한다. 거리 Lb는, X축 방향에 관한 기체 베어링(7Z)의 중심과 기체 베어링(9Z)의 중심과의 거리를 포함한다.
치수 Lt는, X축 방향에 관한 테이블(3)의 이동 가능 범위(스트로크)의 치수를 포함한다. 치수 Lt는, 이동 범위에 있어서 테이블(3)이 가장 -X측으로 이동하였을 때의 테이블(3)의 중심과 테이블(3)이 가장 +X측으로 이동하였을 때의 테이블(3)의 중심과의 X축 방향에 관한 거리를 포함한다.
본 실시 형태에 있어서는, X축 방향에 관하여, 테이블(3)의 중심이 베어링 부재(7)(기체 베어링(7Z))와 베어링 부재(9)(기체 베어링(9Z))의 사이를 이동하도록, 테이블(3)의 이동 범위가 정해진다. 환언하면, 테이블(3)의 이동에 있어서, 테이블(3)의 중심이 베어링 부재(7)보다 -X측에 배치되지 않고, 베어링 부재(9)보다 +X측에 배치되지 않도록, X축 방향에 관한 테이블(3)의 이동 범위가 정해진다. 또한, X축 방향에 관하여, 베어링 부재(7)와 베어링 부재(9) 사이의 중심과 테이블(3)의 이동 범위의 중심이 일치해도 된다.
이에 의해, X축 방향에 관한 테이블(3)의 이동 범위에 있어서, 그 테이블(3)이 피칭하거나 테이블(3)의 상면(3S)이 경사지거나 하는 것이 억제된다. 또한, 테이블(3)의 피칭이란, X축 방향으로 진행하는 테이블(3)이, 그 진행 방향(X축 방향)에 대하여 수직으로 교차하는 Y축을 중심으로 하는 방향(즉, θY 방향)으로 회전(경사)하는 현상을 말한다.
도 5는 비교예의 일례를 모식적으로 나타낸 도면이다. 도 5에 있어서, X축 방향에 관하여, 베어링 부재(7J)와 베어링 부재(9J)의 거리 Lb는, 테이블(3J)의 이동 범위의 치수보다 짧다. 테이블(3J)의 이동 범위의 적어도 일부에 있어서, 테이블(3J)의 중심이 베어링 부재(7J)보다 -X측으로 이동하고, 베어링 부재(9J)보다 +X측으로 이동한다. 이 경우, 테이블(3J)이 피칭할 가능성이 높아진다.
본 실시 형태에 있어서는, X축 방향에 관한 베어링 부재(7)와 베어링 부재(9)의 거리 Lb는, X축 방향에 관한 테이블(3)의 이동 범위의 치수 Lt보다 길다. 따라서, 테이블(3)이 피칭하는 것이 억제된다.
이상에서 설명한 바와 같이, 제 1 기대(1)의 기준면(1G) 상에 있어서 제 2 기대(2)가 Y축 방향으로 이동하고, 제 2 기대(2)의 기준면(2G) 상에 있어서 테이블(3)이 X축 방향으로 이동하는 테이블 장치(TA)에 있어서, X축 방향에 관한 베어링 부재(7)와 베어링 부재(9)의 거리 Lb가, X축 방향에 관한 테이블(3)의 이동 범위의 치수 Lt보다 길다. 그 때문에, 그 테이블(3)의 이동 범위에 있어서 테이블(3)이 이동하더라도, 테이블(3)의 하중은, 베어링 부재(7)에 의해서 형성되는 기체 베어링(7Z) 및 베어링 부재(9)에 의해서 형성되는 기체 베어링(9Z)에 의해 지지된다. 이에 의해, 테이블(3)의 이동 범위에 있어서 테이블(3)이 피칭하거나, 테이블(3)의 상면(3S)이 XY 평면에 대하여 경사지거나 하는 것이 억제된다. 그 때문에, 테이블(3)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, X축 방향에 관하여, 테이블(3)의 중심이 베어링 부재(7)와 베어링 부재(9)의 사이를 이동하도록, 테이블(3)의 이동 범위가 정해진다. 즉, 테이블(3)의 중심이 베어링 부재(7)(기체 베어링(7Z))와 베어링 부재(9)(기체 베어링(9Z))의 사이로부터 외측으로 이동하지 않는다. 그 때문에, 그 이동 범위에 있어서 테이블(3)이 이동하더라도, 테이블(3)의 하중은, 기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)에 의해 지지된다. 이에 의해, 테이블(3)이 피칭하거나, 테이블(3)의 상면(3S)이 XY 평면에 대하여 경사지거나 하는 것이 억제된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 가이드 부재(6)가 설치되고, X축 방향에 관하여 가이드 부재(6)의 양측에, 기체 베어링(7X) 및 기체 베어링(8X)이 형성된다. 기체 베어링(7X)은, 가이드 부재(6)에 대하여 제 2 기대(2)를 -X 방향으로 이동시키는 반발력을 발생하고, 기체 베어링(8X)은, 가이드 부재(6)에 대하여 제 2 기대(2)를 +X 방향으로 이동시키는 반발력을 발생한다. 기체 베어링(7X)의 반발력과 기체 베어링(8X)의 반발력과의 밸런스에 의해, 측면(61)과 측면(71)의 간극, 및 측면(62)과 측면(81)의 간극의 각각이 유지되어, X축 방향에 관한 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2)의 상대적인 변위가 억제된다. 그 때문에, 제 2 기대(2)는, 가이드 부재(6)에 가이드되어, Y축 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다. 예를 들면, 제 2 기대(2)는, Y축 방향으로 똑바로 이동 가능하다. 이에 의해, 그 제 2 기대(2)에 지지되어 있는 테이블(3)도, Y축 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 기체 베어링(7X)과 기체 베어링(8X)은, X축 방향에 관하여 가이드 부재(6)의 양측에 배치되고, X축 방향에 관하여 기체 베어링(7X)과 기체 베어링(8X)의 거리는 짧다. 그 때문에, 예를 들면 제 2 기대(2)가 열 변형되더라도, 베어링 부재(7)와 베어링 부재(8)의 상대적인 거리의 변화량이 커지는 것이 억제된다. 따라서, 제 2 기대(2)가 열 변형되더라도, 베어링 부재(7)의 측면(71)과 가이드 부재(6)의 측면(61)과의 간극의 치수가 크게 변화되거나, 베어링 부재(8)의 측면(81)과 가이드 부재(6)의 측면(62)과의 간극의 치수가 크게 변화되거나 하는 것이 억제된다. 그 때문에, 기체 베어링(7X)의 성능의 저하 및 기체 베어링(8X)의 성능의 저하가 억제되고, 베어링 부재(7) 및 베어링 부재(8)에 접속되어 있는 제 2 기대(2)는, Y축 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 가이드 부재(10)가 설치되고, Y축 방향에 관하여 가이드 부재(10)의 양측에, 기체 베어링(11Y) 및 기체 베어링(12Y)이 형성된다. 기체 베어링(11Y)은, 가이드 부재(10)에 대하여 테이블(3)을 -Y 방향으로 이동시키는 반발력을 발생하고, 기체 베어링(12Y)은, 가이드 부재(10)에 대하여 테이블(3)을 +Y 방향으로 이동시키는 반발력을 발생한다. 기체 베어링(11Y)의 반발력과 기체 베어링(12Y)의 반발력과의 밸런스에 의해, 측면(101)과 측면(111)의 간극, 및 측면(102)과 측면(121)의 간극의 각각이 유지되어, Y축 방향에 관한 제 2 기대(2)와 테이블(3)의 상대적인 변위가 억제된다. 그 때문에, 테이블(3)은, 가이드 부재(10)에 가이드되어, X축 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다. 예를 들면, 테이블(3)은 X축 방향으로 똑바로 이동 가능하다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 기체 베어링(11Y)과 기체 베어링(12Y)은, Y축 방향에 관하여 가이드 부재(10)의 양측에 배치되고, Y축 방향에 관하여 기체 베어링(11Y)과 기체 베어링(12Y)의 거리는 짧다. 그 때문에, 예를 들면 테이블(3)이 열 변형되더라도, 베어링 부재(11)와 베어링 부재(12)의 상대적인 거리의 변화량이 커지는 것이 억제된다. 따라서, 테이블(3)이 열 변형되더라도, 베어링 부재(11)의 측면(111)과 가이드 부재(10)의 측면(101)과의 간극의 치수가 크게 변화되거나, 베어링 부재(12)의 측면(121)과 가이드 부재(10)의 측면(102)과의 간극의 치수가 크게 변화되거나 하는 것이 억제된다. 그 때문에, 기체 베어링(11Y)의 성능의 저하 및 기체 베어링(12Y)의 성능의 저하가 억제되고, 베어링 부재(11) 및 베어링 부재(12)에 접속되어 있는 테이블(3)은, X축 방향에 관하여 목표 궤도에서 이동된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 기체 베어링(11Z)과 기체 베어링(13Z)이, Y축 방향에 관하여 떨어져서 배치되어 있다. 테이블(3)의 하중은, 기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)에 의해 지지되기 때문에, 테이블(3)이 롤링하거나, 테이블(3)의 상면(3S)이 XY 평면에 대하여 경사지거나 하는 것이 억제된다. 그 때문에, 테이블(3)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다. 또한, 테이블(3)의 롤링이란, X축 방향으로 진행하는 테이블(3)이, 그 진행 방향과 평행한 X축을 중심으로 하는 방향(즉, θX 방향)으로 회전(경사)하는 현상을 말한다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 기체 베어링(7Z) 및 기체 베어링(9Z)의 부상력과, 흡인력 발생 장치(14) 및 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력과의 밸런스에 의해, 기준면(1G)과 하면(70)의 간극, 및 기준면(1G)과 하면(90)의 간극의 각각이 유지되고, Z축 방향에 관한 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2)와 상대적인 변위가 억제된다. 그 때문에, 제 2 기대(2)는 목표 궤도에서 이동된다. 예를 들면, 제 2 기대(2)는 Y축 방향으로 똑바로 이동 가능하다. 이에 의해, 그 제 2 기대(2)에 지지되어 있는 테이블(3)도, 목표 궤도에서 이동된다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 기체 베어링(11Z) 및 기체 베어링(13Z)의 부상력과, 흡인력 발생 장치(16) 및 흡인력 발생 장치(17)의 흡인력과의 밸런스에 의해, 기준면(2G)과 하면(110)의 간극, 및 기준면(2G)과 하면(130)의 간극의 각각이 유지되고, Z축 방향에 관한 제 2 기대(2)와 테이블(3)과의 상대적인 변위가 억제된다. 그 때문에, 테이블(3)은 목표 궤도에서 이동된다. 예를 들면, 테이블(3)은 X축 방향으로 똑바로 이동 가능하다.
또, 본 실시 형태에 있어서는, 흡인력 발생 장치(14)는, 베어링 부재(7)의 옆(근방)에 배치되기 때문에, 기체 베어링(7Z)에 의한 부상력과 흡인력 발생 장치(14)에 의한 흡인력에 의해서 제 2 기대(2)에 작용하는 전단력이 커지는 것이 억제된다. 마찬가지로, 흡인력 발생 장치(15)는, 베어링 부재(9)의 옆(근방)에 배치되기 때문에, 기체 베어링(9Z)에 의한 부상력과 흡인력 발생 장치(15)에 의한 흡인력에 의해서 제 2 기대(2)에 작용하는 전단력이 커지는 것이 억제된다. 흡인력 발생 장치(16)는, 베어링 부재(11)의 옆(근방)에 배치되기 때문에, 기체 베어링(11Z)에 의한 부상력과 흡인력 발생 장치(16)에 의한 흡인력에 의해서 테이블(3)에 작용하는 전단력이 커지는 것이 억제된다. 흡인력 발생 장치(17)는, 베어링 부재(13)의 옆(근방)에 배치되기 때문에, 기체 베어링(13Z)에 의한 부상력과 흡인력 발생 장치(17)에 의한 흡인력에 의해서 테이블(3)에 작용하는 전단력이 커지는 것이 억제된다.
<제 2 실시 형태>
제 2 실시 형태에 대하여 설명한다. 이하의 설명에 있어서, 상술의 실시 형태와 동일 또는 동등한 구성 부분에 대해서는 동일한 부호를 붙이고, 그 설명을 간략화 또는 생략한다.
도 6은 흡인력 발생 장치(15)의 일례를 나타낸 도면이다. 또한, 흡인력 발생 장치(14)와 흡인력 발생 장치(15)와 흡인력 발생 장치(16)와 흡인력 발생 장치(17)는 동등한 구조이다. 이하에서, 흡인력 발생 장치(15)에 대하여 주로 설명하고, 흡인력 발생 장치(14), 흡인력 발생 장치(16) 및 흡인력 발생 장치(17)에 대한 설명은 간략화 또는 생략한다.
흡인력 발생 장치(15)는, 제 1 기대(1)에 접속되는 제 1 부재(151)와, 제 2 기대(2)에 접속되고, 제 1 부재(151)와의 사이에, 제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘을 발생하는 제 2 부재(152)를 갖는다. 제 1 부재(151)는 자성체(강자성체)의 레일을 포함한다. 제 1 부재(151)는 Y축 방향으로 길다. 제 1 부재(151)는, 볼트와 같은 고정 부재(20)에 의해 제 1 기대(1)에 고정된다.
제 2 부재(152)는 제 1 부재(151)의 상방에 배치된다. 제 1 부재(151)와 제 2 부재(152)는 간극을 개재하여 대향한다. 제 1 부재(151)와 제 2 부재(152)는, 비접촉 상태에서, 제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘(흡인력)을 발생한다. 제 2 부재(152)는 Y축 방향으로 복수 배치되어도 된다. 복수의 제 2 부재(152)는 각각 떨어져 있어도 된다.
본 실시 형태에 있어서, 제 2 부재(152)는, 제 1 부재(151)와 대향하는 하면(152Mb)을 포함하는 부분(152M)과, 부분(152M)의 상방에 배치되고, 적어도 일부가 부분(152M)보다 외측으로 튀어나온 하면(152Sb)을 포함하는 부분(152S)을 포함한다. 부분(152S)은, 부분(152M)과 제 2 기대(2)(지지 부재(19))의 사이에 배치된다. 부분(152S)이 제 2 기대(2)(지지 부재(19))와 접속된다.
본 실시 형태에 있어서, 제 2 부재(152)는, 자석(영구 자석)과, 그 자석을 지지하는 스페이서 부재를 포함한다. 본 실시 형태에 있어서, 부분(152M)이 자석을 포함하고, 부분(152S)이 스페이서 부재를 포함한다. 이하의 설명에 있어서는, 부분(152M)을 적당히 자석(152M)이라고 칭하고, 부분(152S)을 적당히 스페이서 부재(152S)라고 칭한다.
본 실시 형태에 있어서, 자석(152M)과 스페이서 부재(152S)는, 볼트와 같은 고정 부재(21)에 의해 고정된다. 자석(152M)은, 스페이서 부재(152S)를 개재하여 제 2 기대(2)(지지 부재(19))에 접속된다. 스페이서 부재(152S)에 의해, Z축 방향에 관한 자석(152M)의 위치(높이)가 조정된다. 스페이서 부재(152S)에 의해, 제 1 부재(151)의 상면(151a)과, 그 제 1 부재(151)의 상면(151a)과 대향하는 자석(152M)의 하면(152Mb)과의 간극의 치수가 조정된다.
스페이서 부재(152S)는, 하면(152Sb)과, 제 2 기대(2)(지지 부재(19))와 대향 가능한 상면(152Sa)을 갖는다. 본 실시 형태에 있어서, 스페이서 부재(152S)는, 하면(152Sb)과 상면(152Sa)을 연결하는 구멍(152H)을 갖는다. 구멍(152H)은, 상면(152Sa)과 하면(152Sb)을 연결하는 관통 구멍이다. 구멍(152H)에, 제 2 부재(152)(스페이서 부재(152S))와 제 2 기대(2)(지지 부재(19))를 고정하기 위한 고정 부재(22)가 배치된다. 고정 부재(22)는, 예를 들면 볼트를 포함한다. 고정 부재(22)의 적어도 일부는, 구멍(152H)에 배치 가능하다. 또, 제 2 기대(2)(지지 부재(19))의 적어도 일부에, 고정 부재(볼트)(22)의 선단부가 배치 가능한 구멍(2H)이 형성된다. 구멍(2H)의 내면에 나사 홈이 형성된다. 또한, 구멍(152H)의 내면에도 나사 홈이 형성되어도 된다.
XY 평면에 있어서, 하면(152Sb)은, 하면(152Mb)보다 크고, 하면(152Mb)보다 외측으로 튀어나와 있다. 하면(152Sb)의 적어도 일부는, 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 하면(152Mb)보다 외측으로 튀어나온다. 또, 하면(152Sb)은, 자석(152M)의 측면(152Ms)보다 외측으로 튀어나와 있다. 하면(152Sb)의 적어도 일부는, 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 측면(152Ms)보다 외측으로 튀어나온다. 하면(152Sb)의 하방에는 공간(MS)이 형성된다. 공간(MS)은, 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여, 자석(152M)보다 외측에 배치된다.
본 실시 형태에 있어서는, 제 2 부재(152)를 제 2 기대(2)(지지 부재(19))에 고정하는 경우, 제 2 부재(152)(스페이서 부재(152S))의 상면(152Sa)과 제 2 기대(2)(지지 부재(19))의 하면이 대향된 상태에서, 스페이서 부재(152S)의 하면(152Sb)측으로부터, 고정 부재(22)가 구멍(152H)에 삽입된다. 즉, 제 2 부재(152)(스페이서 부재(152S))의 상면(152Sa)과 제 2 기대(2)(지지 부재(19))의 하면이 접촉된 상태에서, 공간(MS)에 고정 부재(22)가 배치되고, 그 공간(MS)에 배치된 고정 부재(22)가, 하면(152Sb)측으로부터 구멍(152H)에 삽입된다. 구멍(152H)에 삽입된 고정 부재(볼트)(22)의 적어도 일부가, 구멍(2H)의 나사 홈에 나사끼움됨으로써, 제 2 부재(152)와 제 2 기대(2)(지지 부재(19))가 고정된다.
제 2 부재(152)를 제 2 기대(2)(지지 부재(19))로부터 해방하는 경우, 고정 부재(22)와 구멍(2H)의 나사 홈과의 결합이 해제되도록, 고정 부재(22)가 회전된다. 구멍(2H)의 나사 홈과의 결합이 해제된 고정 부재(22)의 적어도 일부는, 하면(152Sb)보다 -Z측으로 이동하고, 공간(MS)에 배치된다.
이와 같이, 본 실시 형태에 있어서는, 구멍(152H)의 하측으로부터 구멍(152H) 및 구멍(2H)에 고정 부재(22)가 삽입 가능하다. 구멍(152H)의 하측으로부터 구멍(152H)에 배치되어 있는 고정 부재(22)가 취출 가능하다. 이에 의해, 예를 들면 제 2 기대(2) 상에 테이블(3)이 배치된 상태에서, 흡인력 발생 장치(15)의 조정 작업이 원활하게 행해진다. 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력의 조정(변경)은, 예를 들면, 제 1 부재(151)와 제 2 부재(152)(자석(152M))의 간극의 치수의 조정, 제 2 부재(152)의 교환, 및 제 1 부재(151)와 대향하는 위치에 배치되는 제 2 부재(152)(자석(152M))의 수의 조정 중 적어도 하나를 포함한다.
제 1 부재(151)와 자석(152M)의 간극의 치수는, 스페이서 부재(152S)에 의해서 조정된다. 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력의 조정을 위하여, 제 2 기대(2)에 고정되어 있는 제 2 부재(152)를 제 2 기대(2)로부터 떼어내고, 예를 들면 스페이서 부재(152S)를 교환하거나 스페이서 부재(152S)를 증감하거나 하여, 제 1 부재(151)와 자석(152M)의 간극의 치수를 조정하는 작업이 필요하게 될 가능성이 있다. 또, 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력의 조정을 위하여, 제 2 기대(2)에 고정되어 있는 자석(152M)을, 흡인력(자력)이 강한 자석(152M)으로 교환하거나, 흡인력(자력)이 약한 자석(152M)으로 교환하거나 하는 작업이 필요하게 될 가능성이 있다. 또, 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력의 조정을 위하여, 제 2 기대(2)에 고정되어 있는 복수의 제 2 부재(152) 중 일부의 제 2 부재(152)를 제 2 기대(2)로부터 떼어내거나, 제 2 부재(152)를 부가하거나 하여, 제 2 부재(152)(자석(152M))의 수를 조정하는 작업이 필요하게 될 가능성이 있다.
본 실시 형태에 의하면, 제 2 부재(152)가 부분(152M)과 부분(152S)을 포함하고, 고정 부재(22)가 배치되기 위한 구멍(152H)이 부분(152S)에 설치된다. 그 때문에, 흡인력 발생 장치(15)의 조정 작업이 원활하게 행해진다. 예를 들면, 상술의 조정 작업을, 테이블 장치(TA)로부터 제 2 기대(2)를 떼어내지 않고, 원활하게 행할 수 있다. 즉, 제 2 기대(2)가 제 1 기대(1) 상에 배치된 상태에서, 상술의 조정 작업을 원활하게 행할 수 있다.
예를 들면, 기체 베어링(9Z)의 베어링 강성을 높이기 위하여, 공급구(91)로부터의 기체 공급량(급기압)을 높임과 함께, 흡인력 발생 장치(15)에 의한 흡인력을 크게 하여, 하면(90)과 기준면(1G)의 간극의 치수(즉, 부상량)을 작게 하는 것을 생각할 수 있다. 또, 기체 베어링(9Z)의 베어링 강성을 낮게 하는 경우에 있어서도, 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력의 조정이 필요하게 될 가능성이 있다. 본 실시 형태에 있어서는, 흡인력 발생 장치(15)의 흡인력의 조정 작업을 원활하게 행할 수 있고, 기체 베어링(9Z)의 베어링 강성의 조정을 원활하게 행할 수 있다.
상술의 조정 작업이 원활하게 행해짐으로써, 제 2 기대(2)는, 목표 궤도에서 이동 가능하고, 예를 들면 제 2 기대(2)(기준면(2G))가 XY 평면에 대하여 경사지는 것이 억제된다. 그 때문에, 그 제 2 기대(2)에 지지되는 테이블(3)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
흡인력 발생 장치(14)의 조정 작업, 및 기체 베어링(7Z)의 베어링 강성의 조정 작업에 대해서도 마찬가지이다. 흡인력 발생 장치(14)의 제 2 부재(142)는, 제 1 부재(141)와 대향하는 제 1 부분과, 그 제 1 부분의 상방에 배치되고, 적어도 일부가 제 1 기대(1)와 제 2 기대(2) 사이의 공간의 중심에 대하여 제 1 부분보다 외측으로 튀어나온 제 2 부분을 갖고, 그 제 2 부분에 볼트와 같은 고정 부재가 배치되는 구멍이 형성된다.
또, 흡인력 발생 장치(16)의 조정 작업을 행하는 경우에 있어서도, 테이블 장치(TA)로부터 테이블(3)을 떼어내지 않고, 또는 테이블(3)에 놓여 있는 물체(S)를 테이블(3)로부터 제거하지 않고, 그 조정 작업을 원활하게 행할 수 있다. 즉, 흡인력 발생 장치(16)의 제 2 부재(162)는, 제 1 부재(161)와 대향하는 제 1 부분과, 그 제 1 부분의 상방에 배치되고, 적어도 일부가 제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여 제 1 부분보다 외측으로 튀어나온 제 2 부분을 갖고, 그 제 2 부분에 볼트와 같은 고정 부재가 배치되는 구멍이 형성된다. 그 때문에, 테이블(3)이 제 2 기대(2) 상에 배치된 상태에서, 또는 테이블(3)에 물체(S)가 지지된 상태에서, 상술의 조정 작업을 원활하게 행할 수 있다. 또, 흡인력 발생 장치(16)의 조정 작업을 원활하게 행할 수 있으므로, 기체 베어링(11Z)의 베어링 강성의 조정 작업도 원활하게 행할 수 있다.
상술의 조정 작업이 원활하게 행해짐으로써, 테이블(3)은, 목표 궤도에서 이동 가능하고, 예를 들면 테이블(3)(상면(3S))이 XY 평면에 대하여 경사지는 것이 억제된다. 그 때문에, 테이블(3)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제된다.
흡인력 발생 장치(17)의 조정 작업, 및 기체 베어링(13Z)의 베어링 강성의 조정 작업에 대해서도 마찬가지이다. 흡인력 발생 장치(17)의 제 2 부재(172)는, 제 1 부재(171)와 대향하는 제 1 부분과, 그 제 1 부분의 상방에 배치되고, 적어도 일부가 제 2 기대(2)와 테이블(3) 사이의 공간의 중심에 대하여 제 1 부분보다 외측으로 튀어나온 제 2 부분을 갖고, 그 제 2 부분에 볼트와 같은 고정 부재가 배치되는 구멍이 형성된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 부분(152M)이 자석(영구자석)을 포함하고, 부분(152S)이 스페이서 부재를 포함하는 것으로 하였다. 부분(152M)과 부분(152S)은 일체여도 된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 흡인력 발생 장치(15)의 제 2 부재(152)(부분(152M))가 영구 자석을 포함하는 것으로 하였다. 제 2 부재(152)(부분(152M))가, 예를 들면 전자석을 포함해도 된다. 또한, 본 실시 형태에 있어서는, 흡인력 발생 장치(15)가 자력에 기초하는 흡인력(제 2 기대(2)를 제 1 기대(1)로 끌어당기는 힘)을 발생하는 것으로 하였다. 흡인력 발생 장치(15)가, 예를 들면 진공력에 기초하는 흡인력을 발생해도 된다. 예를 들면, 기체를 흡인 가능한 흡인 구가 제 2 부재(152)에 설치되고, 제 1 부재(151)와 제 2 부재(152)가 간극을 개재하여 대향되어 있는 상태에서, 제 2 부재(152)에 설치된 흡인구로부터 기체가 흡인되어도 된다.
<제 3 실시 형태>
제 3 실시 형태에 대하여 설명한다. 도 7은 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)를 구비하는 반도체 제조 장치(200)의 일례를 나타낸 도면이다. 반도체 제조 장치(200)는, 반도체 디바이스를 제조 가능한 반도체 디바이스 제조 장치를 포함한다. 반도체 제조 장치(200)는, 반도체 디바이스의 제조 공정의 적어도 일부에 있어서 사용된다. 반도체 제조 장치(200)는, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 물체(S)를 반송 가능한 반송 장치(300)를 포함한다. 반송 장치(300)는, 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)를 포함한다. 또한, 도 7에 있어서는, 테이블 장치(TA)를 간략화하여 나타낸다.
본 실시 형태에 있어서, 물체(S)는, 반도체 디바이스를 제조하기 위한 기판이다. 물체(S)로부터 반도체 디바이스가 제조된다. 물체(S)는, 반도체 웨이퍼를 포함해도 되고, 유리판을 포함해도 된다. 물체(S)에 디바이스 패턴(배선 패턴)이 형성됨으로써, 반도체 디바이스가 제조된다.
반도체 제조 장치(200)는, 처리 위치(PJ1)에 배치된 물체(S)에 대하여, 디바이스 패턴을 형성하기 위한 처리를 행한다. 테이블 장치(TA)는, 테이블(3)에 지지된 물체(S)를 처리 위치(PJ1)에 배치한다. 반송 장치(300)은, 테이블 장치(TA)의 테이블(3)에 물체(S)를 반송(반입) 가능한 반입 장치(301)와, 테이블(3)로부터 물체(S)를 반송(반출) 가능한 반출 장치(302)를 포함한다. 반입 장치(301)에 의해서, 처리 전의 물체(S)가 테이블(3)에 반송(반입)된다. 테이블 장치(TA)에 의해서, 테이블(3)에 지지된 물체(S)가 처리 위치(PJ1)까지 반송된다. 반출 장치(302)에 의해서, 처리 후의 물체(S)가 테이블(3)로부터 반송(반출)된다.
테이블 장치(TA)는, 테이블(3)을 이동하여, 테이블(3)에 지지된 물체(S)를 처리 위치(PJ1)로 이동한다. 테이블 장치(TA)는, 테이블(3)을 목표 궤도에서 이동 가능하고, 테이블(3)에 지지된 물체(S)를 처리 위치(목표 위치)(PJ1)에 배치 가능하다.
예를 들면, 반도체 제조 장치(200)가, 투영 광학계(201)를 개재하여 디바이스 패턴의 상(像)을 물체(S)에 투영하는 노광 장치를 포함하는 경우, 처리 위치(PJ1)는, 투영 광학계(201)의 상 면의 위치(노광 위치)를 포함한다. 처리 위치(PJ1)에 물체(S)가 배치됨으로써, 반도체 제조 장치(200)는, 투영 광학계(201)를 개재하여, 디바이스 패턴의 상을 물체(S)에 투영 가능하다.
처리 위치(PJ1)에 있어서 물체(S)가 처리된 후, 그 처리 후의 물체(S)가 반출 장치(302)에 의해서 테이블(3)로부터 반송된다. 반출 장치(302)에 의해서 반송(반출)된 물체(S)는, 후공정을 행하는 처리 장치에 반송된다.
본 실시 형태에 있어서는, 테이블 장치(TA)는, 물체(S)를 처리 위치(목표 위치)(PJ1)에 배치 가능하다. 그 때문에, 불량인 제품이 제조되어 버리는 것이 억제된다. 즉, 테이블 장치(TA)에 의해서, 반도체 제조 장치(200)에 있어서의 물체(S)의 위치 결정 정밀도의 저하가 억제되기 때문에, 불량인 제품의 발생이 억제된다.
또한, 반도체 제조 장치(200)가, 광학계를 개재하여 물체(S)의 디바이스 패턴을 계측하는 계측 장치를 포함하는 경우, 처리 위치(PJ1)는, 광학계의 초점의 위치(계측 위치)를 포함한다. 처리 위치(PJ1)에 물체(S)가 배치됨으로써, 반도체 제조 장치(200)는, 광학계를 개재하여, 물체(S)에 형성된 디바이스 패턴의 화상을 취득 가능하다. 반도체 제조 장치(200)가, 물체(S)에 막을 형성하는 성막 장치를 포함하는 경우, 처리 위치(PJ1)는, 막을 형성하기 위한 재료가 공급 가능한 위치이다. 처리 위치(PJ1)에 물체(S)가 배치됨으로써, 디바이스 패턴을 형성하기 위한 막이 물체(S)에 형성된다.
또한, 플랫 패널 디스플레이 제조 장치가, 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)를 구비해도 되고, 테이블 장치(TA)를 포함하는 반송 장치(300)를 구비해도 된다. 플랫 패널 디스플레이 제조 장치는, 예를 들면 노광 장치를 포함하고, 플랫 패널 디스플레이의 제조 공정의 적어도 일부에 있어서 사용된다. 플랫 패널 디스플레이 제조 장치가 노광 장치를 포함하는 경우, 플랫 패널 디스플레이를 제조하기 위한 패턴의 상이 투영 광학계를 개재하여 유리판을 포함하는 물체(S)에 투영된다. 플랫 패널 디스플레이 제조 장치는, 목표 위치에 배치된 물체(S)를 처리할 수 있으므로, 그 물체(S)로부터 불량인 제품이 제조되어 버리는 것이 억제된다. 플랫 패널 디스플레이는, 액정 디스플레이, 플라즈마 디스플레이 및 유기 EL 디스플레이 중 적어도 하나를 포함한다.
도 8은 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)를 구비하는 검사 장치(400)의 일례를 나타낸 도면이다. 검사 장치(400)는, 반도체 제조 장치(200)에 의해서 제조된 물체(반도체 디바이스)(S2)를 검사한다. 검사 장치(400)는, 물체(S2)를 반송 가능한 반송 장치(300B)를 포함한다. 반송 장치(300B)는, 본 실시 형태에 관련된 테이블 장치(TA)를 포함한다. 또한, 도 8에 있어서는, 테이블 장치(TA)를 간략화하여 도시한다.
검사 장치(400)는, 검사 위치(PJ2)에 배치된 물체(S2)의 검사를 행한다. 테이블 장치(TA)는, 테이블(3)에 지지된 물체(S2)를 검사 위치(PJ2)에 배치한다. 반송 장치(300B)는, 테이블 장치(TA)의 테이블(3)에 물체(S2)를 반송(반입) 가능한 반입 장치(301B)와, 테이블(3)로부터 물체(S2)를 반송(반출) 가능한 반출 장치(302B)를 포함한다. 반입 장치(301B)에 의해서, 검사 전의 물체(S2)가 테이블(3)에 반송(반입)된다. 테이블 장치(TA)에 의해서, 테이블(3)에 지지된 물체(S2)가 검사 위치(PJ2)까지 반송된다. 반출 장치(302B)에 의해서, 검사 후의 물체(S2)가 테이블(3)로부터 반송(반출)된다.
테이블 장치(TA)는, 테이블(3)을 이동하여, 테이블(3)에 지지된 물체(S2)를 검사 위치(PJ2)로 이동한다. 테이블 장치(TA)는, 테이블(3)을 목표 궤도에서 이동 가능하고, 테이블(3)에 지지된 물체(S2)를 검사 위치(목표 위치)(PJ2)에 배치 가능하다.
본 실시 형태에 있어서, 검사 장치(400)는, 검출광을 이용하여 물체(S2)의 검사를 광학적으로 행한다. 검사 장치(400)는, 검출광을 사출 가능한 조사 장치(401)와, 조사 장치(401)로부터 사출되고, 물체(S2)에 의해 반사한 검출광의 적어도 일부를 수광 가능한 수광 장치(402)를 포함한다. 본 실시 형태에 있어서, 검사 위치(PJ2)는 검출광의 조사 위치를 포함한다. 검사 위치(PJ2)에 물체(S2)가 배치됨으로써, 물체(S2)의 상태가 광학적으로 검사된다.
검사 위치(PJ2)에 있어서 물체(S2)의 검사가 행해진 후, 그 검사 후의 물체(S2)가 반출 장치(302B)에 의해서 테이블(3)로부터 반송된다.
본 실시 형태에 있어서는, 테이블 장치(TA)는, 물체(S2)를 검사 위치(목표 위치)(PJ2)에 배치 가능하기 때문에, 검사 불량의 발생을 억제할 수 있다. 즉, 검사 장치(400)는, 물체(S2)가 불량인지 여부를 양호하게 판단할 수 있다. 이에 의해, 예를 들면 불량인 물체(S2)가 후공정으로 반송되거나 출하되거나 하는 것이 억제된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 테이블(3)이 XY 평면 내(수평면 내)로 이동하는 것으로 하였다. 본 실시 형태에 있어서, 테이블(3)이 XY 평면에 대하여 경사지는 방향으로 이동되어도 된다. 제 2 기대(2)가 XY 평면에 대하여 경사지는 방향으로 이동되어도 된다. 환언하면, 제 2 기대(2) 및 테이블(3)의 일방 또는 양방이, 수평면에 대하여 경사지는 소정 면 내에 있어서 이동되어도 된다.
1: 제 1 기대
1G: 기준면
2: 제 2 기대
2G: 기준면
3: 테이블
3S: 상면
4: 구동 장치
5: 구동 장치
6: 가이드 부재
7: 베어링 부재
7X: 기체 베어링
7Z: 기체 베어링
8: 베어링 부재
8X: 기체 베어링
9: 베어링 부재
9Z: 기체 베어링
10: 가이드 부재
11: 베어링 부재
11Y: 기체 베어링
11Z: 기체 베어링
12: 베어링 부재
12Y: 기체 베어링
13: 베어링 부재
13Z: 기체 베어링
14: 흡인력 발생 장치
15: 흡인력 발생 장치
16: 흡인력 발생 장치
17: 흡인력 발생 장치
22: 고정 부재
60: 상면
61: 측면
62: 측면
70: 하면
71: 측면
72: 공급구
73: 공급구
81: 측면
82: 공급구
90: 하면
91: 공급구
100: 상면
101: 측면
102: 측면
110: 하면
111: 측면
112: 공급구
113: 공급구
121: 측면
122: 공급구
130: 하면
131: 공급구
141: 제 1 부재
142: 제 2 부재
151: 제 1 부재
152: 제 2 부재
152H: 구멍
152M: 부분(자석)
152Mb: 하면
152S: 부분(스페이서 부재)
152Sb: 하면
161: 제 1 부재
162: 제 2 부재
171: 제 1 부재
172: 제 2 부재
200: 반도체 제조 장치
300: 반송 장치
400: 검사 장치
TA: 테이블 장치

Claims (11)

  1. 소정 면과 평행한 제 1 기준면을 갖는 제 1 기대와,
    상기 소정 면과 평행한 제 2 기준면을 갖고, 상기 제 1 기준면 상에 있어서 상기 소정 면 내의 제 1 축과 평행한 방향으로 이동 가능한 제 2 기대와,
    상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 제 1 기준면과 대향하는 제 1 기체 공급구를 갖고, 상기 제 1 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 1 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 1 베어링 부재와,
    상기 제 1 축과 직교하는 상기 소정 면 내의 제 2 축과 평행한 방향에 관하여 상기 제 1 베어링 부재로부터 떨어져서 상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 제 1 기준면과 대향하는 제 2 기체 공급구를 갖고, 상기 제 2 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 1 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 2 베어링 부재와,
    상기 제 2 기준면 상에 있어서 상기 제 2 축과 평행한 방향으로 이동 가능한 테이블과,
    상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 테이블을 상기 제 2 축과 평행한 방향으로 가이드하는 제 2 가이드 부재와
    상기 테이블에 설치되고, 상기 제 2 기준면과 대향하는 제 5 기체 공급구와, 상기 제 1 축과 평행한 제 2 방향을 향하는 상기 제 2 가이드 부재의 제 3 측면과 대향하는 제 6 기체 공급구를 갖고, 상기 제 5 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 2 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하고, 상기 제 6 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 3 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 4 베어링 부재와,
    상기 테이블에 설치되고, 상기 제 2 방향의 반대 방향을 향하는 상기 제 2 가이드 부재의 제 4 측면과 대향하는 제 7 기체 공급구를 갖고, 상기 제 7 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 3 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 5 베어링 부재를 구비하며,
    상기 제 2 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 제 1 베어링 부재와 상기 제 2 베어링 부재의 거리는, 상기 테이블의 이동 범위의 치수보다 긴 테이블 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 2 축과 평행한 방향에 관하여, 상기 테이블의 중심이 상기 제 1 베어링 부재와 상기 제 2 베어링 부재의 사이를 이동하도록, 상기 테이블의 이동 범위가 정해지는 테이블 장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기대에 설치되고, 상기 제 2 기대를 상기 제 1 축과 평행한 방향으로 가이드하는 제 1 가이드 부재를 구비하는 테이블 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 2 기대에 설치되고, 상기 제 2 축과 평행한 제 1 방향을 향하는 상기 제 1 가이드 부재의 제 1 측면과 대향하는 제 3 기체 공급구를 갖고, 상기 제 3 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 1 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 3 베어링 부재를 구비하며,
    상기 제 1 베어링 부재는, 상기 제 1 방향의 반대 방향을 향하는 상기 제 1 가이드 부재의 제 2 측면과 대향하도록 배치되는 제 4 기체 공급구를 갖고, 상기 제 4 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 2 측면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 테이블 장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 축과 평행한 방향에 관하여 상기 제 4 베어링 부재로부터 떨어져서 상기 테이블에 설치되고, 상기 제 2 기준면과 대향하는 제 8 기체 공급구를 갖고, 상기 제 8 기체 공급구로부터 공급되는 기체에 의해 상기 제 2 기준면과의 사이에 기체 베어링을 형성하는 제 6 베어링 부재를 구비하는 테이블 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 기대와 상기 제 2 기대의 사이에 배치되고, 상기 제 2 기대를 상기 제 1 기대로 끌어당기는 힘을 발생하는 흡인력 발생 장치를 구비하는 테이블 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡인력 발생 장치는, 상기 제 1 기대에 접속되는 제 1 부재와, 상기 제 2 기대에 접속되고, 상기 제 1 부재와의 사이에 상기 끌어당기는 힘을 발생 가능한 제 2 부재를 포함하고,
    상기 제 2 부재는, 상기 제 1 부재와 대향하는 제 1 하면을 포함하는 제 1 부분과, 상기 제 1 부분의 상방에 배치되고, 적어도 일부가 상기 제 1 부분보다 외측으로 튀어나온 제 2 하면을 포함하는 제 2 부분을 갖고,
    상기 제 2 부분은, 상기 제 2 하면과 상기 제 2 부재의 상면을 연결하는 구멍을 갖고,
    상기 구멍에, 상기 제 2 부재와 상기 제 2 기대를 고정하기 위한 고정 부재가 배치되는 테이블 장치.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 기재된 테이블 장치를 구비하는 반송 장치.

  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
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