JP5314000B2 - 生産管理システムおよび生産管理方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えばＬＳＩ製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場において、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ素子などの半導体発光素子などの半導体素子を製造する際の生産を管理する生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法に関する。

従来のＬＳＩ製造工場などにおいて、特許文献１では、半導体製造装置で設定されたウェハ処理条件からウェハ処理に要する時間を算出する機能と、レシピで設定されないウェハ搬送時間や、チャンバの処理条件安定化時間を同条件の実績値の統計に基づいて算出する機能と、この２つの機能によって求めた時間からウェハ処理の終了予測時刻を算出する機能と、予測時刻が半導体製造装置の問題にて当初予測から逸脱する場合に、予測時刻を補正する機能と、補正の有無に関わらないこの終了予測時刻から半導体製造装置のユーザが指定した一定時間遡ったタイミングで特定の信号をＭＥＳまたはＭＣＳに通知する機能、またはシグナルタワーの点灯状態の変化または装置付帯のブザーの鳴動によってユーザに通知する機能を有している。

また、オフライン装置をオンライン管理するために、従来では、図５に示すように、工程管理を行うホスト装置１０１にオンライン可能なパーソナルコンピュータ１０２をオフライン装置１０３に組み込み、パーソナルコンピュータ１０２を介してオフライン装置１０３の装置状態情報を読み取る方法が用いられている。

特開２００９−４３９５０号公報

上記従来の構成では、パーソナルコンピュータ１０２などのオンライン機器をオフライン装置１０３に組み込むには、装置の改造を伴い、開発費用がかかるだけではなく、装置毎に開発が必要となる部分が多く、オフライン装置１０３が多い生産工程への適用が困難であった。

ＬＳＩ工場の化合物半導体工場への再開発やマニュアル工場の活用に際し、オフラインのマニュアル処理を低投資でオンラインに準じた管理を行い、省人化や作業ミス防止を実現する技術が求められている。

本発明は、上記従来の問題を解決するもので、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、装置状態をオンライン管理し、装置管理や省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システムによる疑似的なオンライン管理を実現することができる生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法を提供することを目的とする。

本発明の生産管理システムは、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて半導体素子を製造する半導体製造工程において、該一または複数の処理装置に対してロットの処理フロー進捗管理機能を有したホスト装置と、該オフライン装置に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号を読み取って、該オフライン装置の装置状態情報を該ホスト装置に送信する該オフライン装置毎の管理パーソナルコンピュータを含む該一または複数の処理装置のそれぞれの管理パーソナルコンピュータとを有し、該ホスト装置は、該少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応する該処理装置の管理パーソナルコンピュータを介して、該オフライン装置を含む一または複数の処理装置の各ロットの作業指示情報を出力させるものであり、そのことにより上記目的が達成される。

また、好ましくは、本発明の生産管理システムにおいて、前記少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置から同時に作業が必要な信号が検出されたときに、前記ホスト装置は、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などの生産条件を総合的に判断して、該少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置のそれぞれの管理パーソナルコンピュータを介して作業指示情報を出力させる。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおいて、前記ホスト装置は、前記少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置からそれぞれ読み取った処理開始信号と、予め登録されたプロセス時間とから処理終了時刻を予測して、該少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置のそれぞれの管理パーソナルコンピュータを介して作業予約指示情報を出力させる。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおいて、前記管理パーソナルコンピュータは前記ホスト装置に前記装置状態情報をアップロードし、アップロードした装置状態情報に基づいて、該ホスト装置はロットの作業指示情報をそれに対応する管理パーソナルコンピュータにダウンロードする。

本発明の生産管理方法は、本発明の上記生産管理システムを用いた生産管理方法であって、前記オフライン装置に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号を読み取って、該オフライン装置の装置状態情報を管理パーソナルコンピュータが該ホスト装置に転送し、該ホスト装置は、該オフライン装置の装置状態情報に基づいて、該管理パーソナルコンピュータを介して該オフライン装置のロットの作業指示情報を出力させるものであり、そのことにより上記目的が達成される。

上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。

本発明においては、一または複数の処理装置に対してロットの処理フロー進捗管理機能を有したホスト装置と、オフライン装置に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号を読み取って、オフライン装置の装置状態情報をホスト装置に送信する管理パーソナルコンピュータとを有し、ホスト装置は、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応する処理装置の管理パーソナルコンピュータを介して、オフライン装置を含む一または複数の処理装置の各ロットの作業指示情報を出力させる。

これによって、オフライン装置のシグナルタワー信号（警告信号を含む）を読み出して、管理パーソナルコンピュータから、工程管理を行うホスト装置に装置状態情報を送ってホスト装置でオフライン装置をも含めて生産管理することができて、オフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システムによる疑似的なオンライン管理を実現することができる。したがって、低投資で、小規模ライン・局所的な分散ラインにおいて、オンライン制御と同等の生産管理を効率よく確実に行うことが可能となる。

以上により、本発明によれば、オフライン装置のシグナルタワー信号（警告信号を含む）を読み出して、管理パーソナルコンピュータから、工程管理を行うホスト装置に装置状態情報を送ってホスト装置でオフライン装置をも含めて生産管理するため、オフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システムによる疑似的なオンライン管理を実現することができて、低投資で、小規模ライン・局所的な分散ラインにおいて、オンライン制御と同等の生産管理を効率よく確実に行うことができる。

本発明の実施形態における生産管理システムの要部構成例およびその動作を示すブロック図である。 図１の生産管理システムにおける管理パーソナルコンピュータとホスト装置のソフト構成例を示すブロック図である。 図１の生産管理システムを用いて生産処理を行う場合の作業者の作業処理を含む生産管理システムの動作例を示すフローチャートである。 図１の生産管理システムにおけるオフライン装置である複数の処理装置、管理パーソナルコンピュータおよびホスト装置の配置図である。 従来の生産管理システムでオフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を実現する場合を説明するための説明図である。

以下に、本発明の生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法の実施形態について図面を参照しながら詳細に説明する。

図１は、本発明の実施形態における生産管理システムの要部構成例およびその動作を示すブロック図である。

図１において、本実施形態の生産管理システム１は、オフライン装置を含む複数の処理装置のそれぞれに固有のＩＤが付された各管理パーソナルコンピュータ２と、各管理パーソナルコンピュータ２とそれぞれ情報交換を可能とするホスト装置３と、複数の生産ワーク（複数の生産ロット）に各々固有のＩＤおよび処理情報（フロー）を付したデータカード（ＲＦ−ＩＤ）をデータカード付与装置（図示せず）から作業者に付与し、そのデータカードから作業者毎の生産情報を読み取り可能とするカードリーダ４とを有している。

データカードには、タグチップと呼ばれるメモリを搭載したＩＣチップおよびアンテナが埋め込まれており、「どのストッカのどの生産ワークであるカセット（ロット）をどの処理装置にマニュアル搬送して作業を行うか」を作業者が目で見て分かるようにカード表面に記載されている。データカードは、処理装置での入力ミスを回避するようにデータがＩＣチップ内に登録されてカードリーダ４により容易かつ確実に読み取りが可能であったり、バーコードで生産条件が表記されてバーコードーダにより容易かつ確実に読み取りが可能であったりする。ＩＣチップ内の登録データは、例えば処理が必要なロットがどういうものでどのような処理が必要であるのかが分かるデータである。

生産ワークとしてのカセット（ロット）の作業指示情報は、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示されるかまたは、管理パーソナルコンピュータ２に接続されたデータカード付与装置によりデータカードの内容が書き換えられて表示される。

例えばオフライン装置などの処理装置の近傍に設けられた管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３とカードリーダ４にそれぞれ接続されている。管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に作業者毎の生産情報をアップロードし、アップロードした生産情報に基づいて、ホスト装置３は作業指示情報をそれに対応する管理パーソナルコンピュータ２にダウンロードする。要するに、管理パーソナルコンピュータ２は、処理開始／終了時に生産ロット情報（ロットＩＤ／フロー情報）が書き込まれた作業者のデータカードをカードリーダ４にタッチするかまたは近づけることにより、そのデータカードの内容を読み取って管理パーソナルコンピュータ２を介してホスト装置３に送信する。ホスト装置３は、その送信されたデータカードの内容（生産ロット情報）に基づいて、各ロットの処理状況（進捗管理、正常処理のチェック）を把握し、そのロット進捗状況に合わせた作業指示、カセット（ロット）の取り出し指示、次工程の処理装置選定とその搬送指示を管理パーソナルコンピュータ３の表示画面に表示させると共に、ホスト装置３のデータベースに作業履歴を自動で収集する。

図２は、図１の生産管理システム１における管理パーソナルコンピュータ２とホスト装置３のソフト構成例を示すブロック図である。

本実施形態の生産管理システム１における管理パーソナルコンピュータ２は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）２１と、ＣＰＵ２１に対して入力指令を行うためのキーボード、マウス、タッチパネルおよびペン入力装置、さらには通信ネットワーク（例えばインターネットやイントラネット）を介して受信入力する入力装置２２と、表示画面上に、初期画面、選択場面、ＣＰＵ２１による制御結果画面および操作入力画面などを表示する表示部２３と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭ２４と、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ２１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭ２５とを有している。

本実施形態の生産管理システム１におけるホスト装置３は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）３１と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭおよび、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ３１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭの他、膨大な生産情報を記憶するデータベース３２とを有している。

可読記録媒体としてのＲＯＭは、ハードディスクの他、形態自在な光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスクおよびＩＣメモリなどで構成されていてもよい。この制御プログラムおよびそのデータなどがＲＯＭに記憶されるが、この制御プログラムおよびそのデータは、他の可読記録媒体から、または、無線、有線またはインターネットなどを介してＲＯＭにダウンロードされてもよい。

管理パーソナルコンピュータ２におけるＣＰＵ２１は、制御プログラムおよびそのデータに基づいて、カードリーダ４で読み取ったロットＩＤとその工程内容をデータ入力させるデータ入力手段２１１と、データ入力手段２１１がデータ入力したロットＩＤとその工程内容を生産情報として正しいかどうかをフロー照合するフロー照合手段２１２と、フロー照合手段２１２が行った照合結果および次の処理内容（処理レシピ）を表示画面上に表示する照合結果表示制御手段２１３と、照合結果が作業指示として正しければ、ロットＩＤに対応したレシピ番号を発行するレシピ番号発行手段２１４と、そのロットＩＤに対する処理が終了したことをホスト装置３に通知する処理終了通知手段２１５と、処理履歴書込後、ホスト装置３にその処理装置の処理履歴データを転送する処理履歴転送手段２１６と、表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に「入庫ストッカ」または「次工程の処理装置」を表示させる次工程内容表示制御手段２１７とを有している。

照合結果表示制御手段２１３は、照合結果が作業指示として正しくなければ、「警告」およびその「搬送先」を表示画面上に表示制御する。

ホスト装置３におけるＣＰＵ３１は、制御プログラムおよびそのデータに基づいて、管理パーソナルコンピュータ２のロットＩＤに対応したレシピ番号の発行を受けて、レシピ番号に対応したレシピ（工程内容）をデータベース３２に登録するレシピ登録手段３１１と、レシピ登録手段３１１によるレシピ番号に対応したレシピ内容（工程内容）の登録後、処理装置に対して「処理開始」を、管理パーソナルコンピュータ２を介して指示する処理開始指示手段３１２と、処理終了通知を受けて、その処理装置の管理パーソナルコンピュータ２に対してその処理装置の処理履歴データを書き込むように指示する処理履歴書込指示手段３１３と、管理パーソナルコンピュータ２からの転送処理履歴データを受けてデータベース３２にその処理装置の処理履歴データを登録する処理履歴登録手段３１４と、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示を行う次工程内容表示指示手段３１５とを有している。

上記構成により、本実施形態の生産管理システム１を用いて作業者が生産処理をする場合の一例について説明する。

図３は、図１の生産管理システム１を用いて生産処理を行う場合の作業者の作業処理を含む生産管理システム１の動作例を示すフローチャートである。

まず、図３に示すように、ステップＳ１で、作業者により、データカード付与装置５を構成するストッカ管理パーソナルコンピュータ５１が操作されて「カード出力情報」が選択される。作業者に対して、「カード出力情報」として、どのカセット（ロット）をどのストッカから取り出してどの処理装置にマニュアル搬送するかが指示される。

次に、ステップＳ２で、作業者は、ストッカ管理パーソナルコンピュータ５１を操作してデータカードプリンタ５２からデータカード５３をプリント出力する。

続いて、ステップＳ３で、作業者は、プリント出力されたデータカード５３の内容に応じてソースストッカ５４からその指示されたカセット（ロット）を出庫する。

その後、ステップＳ４で、作業者は、出庫したカセット（ロット）を所定の処理装置にマニュアル搬送する。

さらに、ステップＳ５で、作業者は、マニュアル搬送したカセット（ロット）を装置ローダにセットすると共に、カードリーダ４にてデータカード５３の内容を読み取る。即ち、作業者が「カセットのセット」として、その処理装置にカセット（ロット）をセットする。その処理装置に設けられたカードリーダ４にデータカードを接近させることにより、「ロットＩＤ／工程読取」を行って、その処理装置で処理を行うロットＩＤとその工程内容を読み取りミスなく正確にカードリーダ４が読み取ることができる。

以上のステップＳ１〜Ｓ５は、ストッカ管理パーソナルコンピュータ５１およびデータカード５３により指示されたイベントを作業者が実行すると共に、カードリーダ４にデータカード５３の内容を読み取らせる作業者の作業である。

次に、ステップＳ６で、管理パーソナルコンピュータ２では、カードリーダ４で読み取ったその処理装置で処理を行うロットＩＤとその工程内容をデータ入力手段２１１がデータ入力し、フロー照合手段２１２が、その処理装置毎のフロー照合を行って、「カセット検証、レシピチェック」を行い、照合結果表示制御手段２１３がその照合結果および次の作業内容を表示部２３に表示する。即ち、その処理装置に設けられた管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４が読み取ったロットＩＤおよびその工程内容が作業指示として正しいかどうかを確認する。カードリーダ４が読み込んだロットＩＤおよびその工程内容（フロー）が正しければ、管理パーソナルコンピュータ２は、その表示画面上で作業者に対して受付確認を行う。即ち、そのロットＩＤおよびその工程内容が正しければ、受付確認として作業者が処理開始を処理装置に対して指示しても良いし、管理パーソナルコンピュータ２のレシピ番号発行手段２１４が、ロットＩＤに対応したレシピ番号を発行し、ステップＳ７で、ホスト装置３がそのロットＩＤに対応したレシピ番号を受け付けてカセット（ロット）およびレシピ（工程内容）をホスト装置３のレシピ登録手段３１１がデータベース３２に登録する。

ステップＳ８で、ホスト装置３のレシピ登録手段３１１によるロットＩＤに対応したレシピ番号の登録後、処理開始指示手段３１２が処理装置に対して「処理開始」を自動で指示する。

ステップＳ６で、フロー照合手段２１２が照合した結果として、そのロットＩＤおよびその工程内容が正しくなければ（否）、照合結果表示制御手段２１３が「警告」およびその「搬送先」をその管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示制御する。

以上のステップＳ６〜Ｓ８は、管理パーソナルコンピュータ２およびホスト装置３が行う動作である。

次に、ステップＳ９で、表示画面上に「警告」が発せられた場合には、作業者は、その処理装置からカセット（ロット）を取り外して、そのカセット（ロット）を正規の搬送先の処理装置にマニュアル搬送する。

さらに、ステップＳ８で、処理開始指示手段３１２の「処理開始指示」によって処理装置が処理を開始し、一定時間後に処理装置はその処理を終了する。処理装置は、ステップＳ１０で、管理パーソナルコンピュータ２の処理終了通知手段２１５は、そのカセット（ロット）に対する処理が終了したことをホスト装置３に通知し、ホスト装置３の処理履歴書込指示手段３１３は、この処理終了通知を受けて、ステップＳ１１で、その処理装置の管理パーソナルコンピュータ２に対して処理履歴のデータを書き込むように指示し、管理パーソナルコンピュータ２の処理履歴転送手段２１６がホスト装置３にその処理装置の処理履歴データを転送する。ホスト装置３では、管理パーソナルコンピュータ２からの処理履歴データを受けて、ホスト装置３の処理履歴登録手段３１４がデータベース３２にその処理装置の処理履歴データを登録する。

さらに、ステップＳ１２で、ホスト装置３は、そのカセット（ロット）に対して処理が終了したかどうかを判断して、そのカセット（ロット）に対して処理が終了したならば（ＹＥＳ）、ホスト装置３の次工程内容表示指示手段３１５は、ステップＳ１３で、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示を行って、管理パーソナルコンピュータ２の次工程内容表示制御手段２１７は、その表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に「入庫ストッカ」を表示させる。この指示に従って、作業者は、そのカセット（ロット）を装置ローダから取り外して所定指示ストッカまで搬送し、そのカセット（ロット）を所定指示ストッカに入庫する。

また、ステップＳ１２で、そのカセット（ロット）に対して処理が終了していなければ（ＮＯ）、ホスト装置３の次工程内容表示指示手段３１５は、ステップＳ１４で、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示を行って、管理パーソナルコンピュータ２の次工程内容表示制御手段２１７は、その表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示すると共に、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に「次工程の処理装置」を表示させる。この指示に従って、作業者は、そのカセット（ロット）を装置ローダから取り外して次工程の処理装置まで搬送して、作業者はステップＳ５で、そのカセット（ロット）を装置ローダにセットすると共に、データカードをカードリーダ４に近づけてカードリーダ４がカード情報を読み取る。

以上のステップＳ１０〜Ｓ１４は、管理パーソナルコンピュータ２およびホスト装置３が行う動作である。

なお、作業者は、その処理装置の処理の間は他の仕事を行い、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に「カセットの取出」および「次工程への搬送」の指示が表示されれば、その処理装置から「カセットの取出」を行って、次工程にそのカセット（ロット）をマニュアル搬送をする。

要するに、管理パーソナルコンピュータ２において、データ入力手段２１１が、カードリーダ４で読み取ったロットＩＤとその工程内容をデータ入力させるデータ入力工程と、フロー照合手段２１２が、入力されたロットＩＤとその工程内容を生産情報として正しいかどうかをフロー照合するフロー照合工程と、照合結果表示制御手段２１３が、フロー照合手段２１２が行った照合結果および次の作業内容を表示画面上に表示制御する照合結果表示制御工程と、照合結果が作業指示として正しければ、レシピ番号発行手段２１４が、ロットＩＤに対応したレシピ番号を発行するレシピ番号発行工程と、処理終了通知手段２１５が、ロットＩＤに対して処理装置の処理が終了したことをホスト装置３に通知する処理終了通知工程と、処理装置の処理履歴書込後、処理履歴転送手段２１６が、ホスト装置３に当該処理装置の処理履歴データを転送する処理履歴転送工程と、次工程内容表示制御手段２１７が、表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に「入庫ストッカ」または「次工程の処理装置」を表示制御する次工程内容表示制御工程とを有している。

ホスト装置３において、レシピ番号の発行を受けて、レシピ登録手段３１１が、レシピ番号に対応したレシピ内容をデータベースに登録するレシピ登録工程と、レシピ内容の登録後、処理開始指示手段３１２が、処理装置に対して「処理開始」を指示する処理開始指示工程と、処理終了通知を受けて、処理履歴書込指示手段３１３が、管理パーソナルコンピュータ２に対して処理履歴データを書き込むように指示する処理履歴書込指示工程と、処理履歴登録手段３１４が、管理パーソナルコンピュータ２からの転送処理履歴データを受けてデータベース３２に処理装置の処理履歴データを登録する処理履歴登録工程と、次工程内容表示指示手段３１５が、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示する次工程内容表示指示工程とを有している。

以上は、ホスト装置３と作業者との作業インターフェースとしての管理パーソナルコンピュータ２およびカードリーダ４について説明してきたが、次は、処理装置としてオフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システム１による疑似的なオンライン管理を実現する管理パーソナルコンピュータ２の別の機能について図４を用いて詳細に説明する。

以上の本実施形態の生産管理システム１により、オペレータである作業者は予め決められたルートを決められた周期でマニュアル搬送で巡回することにより、管理パーソナルコンピュータ３の表示画面またはデータカード（ＲＦ−ＩＤタグ）の作業指示用画面に表示される生産情報に従って、オフライン装置で自動的にロットを受け取れない処理装置であっても正確な作業処理とロット運搬・次工程処理を確実に行うことができる。これによって、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインにおいて、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を確実に実現することができる。

図４は、図１の生産管理システムにおけるオフライン装置である複数の処理装置、管理パーソナルコンピュータ２およびホスト装置３の配置図である。

図４において、オフライン装置６には、処理装置が異常（アラーム）や稼働・非稼働（メンテナンス（強制停止）、処理可能、処理中、処理終了、処理待ち）などを確認可能なように点灯表示するシグナルタワー６１が設けられている。このオフライン装置６のシグナルタワー６１は、本来の目的である稼働・非稼働などの装置状態の検知に広く用いられている。この装置ステータス情報を含むシグナルタワー信号／警告信号（以下、単にシグナルタワー信号という）を読み取って、オフライン装置６を疑似的にオンライン化してオフライン装置６の装置状態をリアルタイムに情報入手することができる。このシグナルタワー６１と接続された信号線６２に、各種信号を読み取るデコーダ装置６３を設け、管理パーソナルコンピュータ２のオンライン通信可能な電子機器で読み取ることにより、オフライン装置６の装置本体を改造せずに、オフライン装置６の装置状態を、工程管理を行うホスト装置３に管理パーソナルコンピュータ２から装置状態情報を送信する。

この生産管理システム１は、少なくともオフライン装置６を一または複数含む一または複数の処理装置に対して、ロットの処理フロー進捗管理機能を有したホスト装置３と、オフライン装置６に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号（アラーム信号を含む）を読み取って、オフライン装置６の装置状態情報（異常（アラーム）や稼働・非稼働状態情報；装置が空いているかどうかの情報）をホスト装置３に送信する各管理パーソナルコンピュータ２とを有しており、ホスト装置３は、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置の各装置状態情報（異常（アラーム）や稼働・非稼働状態情報；装置が空いているかどうかの情報）に基づいて、各管理パーソナルコンピュータ２を介してロットの作業指示情報を出力する。

この場合、ホスト装置３において、複数のオフライン装置６から同時に作業が必要な信号が検出されたとき、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などを総合的に判断してオフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２に作業指示情報を出力する。即ち、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置から同時に作業が必要な信号が検出されたときに、ホスト装置３は、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などの生産条件を総合的に判断して、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置のそれぞれの各管理パーソナルコンピュータ２を介して作業指示情報を出力させる。また、オフライン装置６から読み取ったシグナルタワー信号に含まれる処理開始信号と、予め登録されたオフライン装置６のプロセス時間から処理終了時刻を予測して、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２に作業予約指示を出力する。ホスト装置３は、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置からそれぞれ読み取った処理開始信号と、予め登録されたプロセス時間とから処理終了時刻を予測して、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置のそれぞれの各管理パーソナルコンピュータ２を介して作業予約指示情報を出力させる。

この各管理パーソナルコンピュータ２を介したロットの作業指示情報は、各管理パーソナルコンピュータ２の表示部２３の表示画面上に、文章や絵柄などで表示出力したり、異常（アラーム）時などブザーなどによって音声出力したり、作業者に対して各種の指示出力が考えられる。

この生産管理システム１を用いた生産管理方法としては、オフライン装置６に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号（アラーム信号を含む）を読み取って、オフライン装置６の装置状態情報を管理パーソナルコンピュータ２がホスト装置３に転送し、ホスト装置３は、オフライン装置６の装置状態情報に基づいて、管理パーソナルコンピュータ２を介してオフライン装置のロットの作業指示情報を出力させる。即ち、本実施形態の生産管理方法は、オフライン装置６に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号（アラーム信号を含む）を読み取って、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置の装置状態情報を各管理パーソナルコンピュータ２がそれぞれホスト装置３に転送し、ホスト装置３は、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応した各管理パーソナルコンピュータ２を介して、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置のロットの作業指示情報を出力させる。この場合、管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に装置状態情報をアップロードし、アップロードした装置状態情報に基づいて、ホスト装置３はロットの作業指示情報をそれに対応する各管理パーソナルコンピュータ２にそれぞれダウンロードする。

以上によって、オフライン装置６の装置状態情報（稼働・非稼働状態情報）を含むシグナルタワー信号からリアルタイムに装置の稼働・非稼働状態を把握することにより、工程管理を行うホスト装置３は、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２の表示画面に仕掛りの生産ワーク（ロット）搬送／処理指示を的確に表示指示することができる。また、シグナルタワー６１の見えない位置にいる作業者に対しても、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２の表示画面への表示によって処理終了を確実に知らせることができる。これと同時に、作業に必要な信号が発生した場合に、工程管理を行うホスト装置３が優先順位を判断し、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２の表示画面への表示指示によって作業の優先順位を管理することができる。さらに、処理開始時刻から処理終了時刻を予測できるため、作業者へ先行（予定）作業指示が出せるなどの機能を組み込むことにより、作業者の作業効率を高めること（省人化）が可能となる。さらに、ホスト装置３は、オフライン装置６の装置稼働状況データの自動集計が可能となって、従来手集計されていた稼働率管理がリアルタイムでかつ正確に行えるようになって、ラインバランスなどの工程改善が可能となる。

以上のように、本発明の好ましい実施形態を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

ＬＳＩ製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場において、オフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ素子などの半導体発光素子などの半導体素子を製造する際の生産を管理する生産管理システムおよび生産管理方法の分野において、オフライン装置のシグナルタワー信号（警告信号を含む）を読み出して、管理パーソナルコンピュータから、工程管理を行うホスト装置に装置状態情報を送ってホスト装置でオフライン装置をも含めて生産管理するため、オフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システムによる疑似的なオンライン管理を実現することができて、低投資で、小規模ライン・局所的な分散ラインにおいて、オンライン制御と同等の生産管理を効率よく確実に行うことができる。

１ 生産管理システム
２ 管理パーソナルコンピュータ
２１，３１ ＣＰＵ（中央演算処理装置）
２２ 入力装置
２３ 表示部
２４ ＲＯＭ
２５ ＲＡＭ
３２ データベース
２１１ データ入力手段
２１２ フロー照合手段
２１３ 照合結果表示制御手段
２１４ レシピ番号発行手段
２１５ 処理終了通知手段
２１６ 処理履歴転送手段
２１７ 次工程内容表示制御手段
３ ホスト装置
３１１ レシピ登録手段
３１２ 処理開始指示手段
３１３ 処理履歴書込指示手段
３１４ 処理履歴登録手段
３１５ 次工程内容表示指示手段
４ カードリーダ
５ データカード付与装置
５１ ストッカ管理パーソナルコンピュータ
５２ データカードプリンタ
５３ データカード
５４ ソースストッカ
６ オフライン装置
６１ シグナルタワー
６２ 信号線
６３ デコーダ装置

Claims (5)

1. オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置を用いて半導体素子を製造する半導体製造工程において、
   該複数の処理装置に対してロットの処理フロー進捗管理機能を有したホスト装置と、該オフライン装置に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号を読み取って、該オフライン装置の装置状態情報を該ホスト装置に送信する該オフライン装置毎の管理パーソナルコンピュータを含む該複数の処理装置のそれぞれの管理パーソナルコンピュータとを有し、該ホスト装置は、該オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応する該処理装置の管理パーソナルコンピュータを介して、該オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置の各ロットの作業指示情報を出力させる生産管理システム。
2. 前記オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置から同時に作業が必要な信号が検出されたときに、前記ホスト装置は、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などの生産条件を総合的に判断して、該オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置のそれぞれの管理パーソナルコンピュータを介して作業指示情報を出力させる請求項１に記載の生産管理システム。
3. 前記ホスト装置は、前記オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置からそれぞれ読み取った処理開始信号と、予め登録されたプロセス時間とから処理終了時刻を予測して、該オンライン装置とオフライン装置が混在した複数の処理装置のそれぞれの管理パーソナルコンピュータを介して作業予約指示情報を出力させる請求項１に記載の生産管理システム。
4. 前記管理パーソナルコンピュータは前記ホスト装置に前記装置状態情報をアップロードし、アップロードした装置状態情報に基づいて、該ホスト装置はロットの作業指示情報をそれに対応する管理パーソナルコンピュータにダウンロードする請求項１に記載の生産管理システム。
5. 請求項１〜４のいずれかに記載の生産管理システムを用いた生産管理方法であって、
   前記オフライン装置に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号を読み取って、該オフライン装置の装置状態情報を管理パーソナルコンピュータが該ホスト装置に転送し、該ホスト装置は、該オフライン装置の装置状態情報に基づいて、該管理パーソナルコンピュータを介して該オフライン装置のロットの作業指示情報を出力させる生産管理方法。