JP2014151995A - 生産管理システムおよび生産管理方法、制御プログラム、可読記憶媒体 - Google Patents

Abstract

【課題】マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現する。
【解決手段】置かれたトレイ８１やカセットなどの試料容器の固有ＩＤの有無を検知する複数の試料棚としての処理前試料棚１２および処理後試料棚１５と、複数の試料棚としての処理前試料棚１２および処理後試料棚１５にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎に試料容器の固有ＩＤの有無を管理する各棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６と、該各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介して試料容器の所在位置情報を管理するホスト装置としてのホストコンピュータ１７とを有している。
【選択図】図３

Description

本発明は、例えばＬＳＩ製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場などにおいて、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ素子などの半導体発光素子などの半導体素子を製造する際の生産を管理する生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体に関する。

従来の例えばＬＳＩ製造工場などにおいて、特許文献１では、半導体製造工程のロット搬送において、自動搬送・設備と搬送機器を自動制御・管理するシステムを前提として、設備稼動状況の収集と設備処理計画の算出、必要となる搬送台車数の算出結果を元に、待ち時間が最短となるように搬送指示を行う制御システムが提案されている。この制御システムでは、生産自動化制御技術に関して、生産装置とロット搬送を高度に自動化・オンライン化した半導体製造ラインにおいて、情報の自動取得と時間予測計算等を行うことにより、生産品へのきめ細かな指示を可能にし、搬送制御の最適化、即ち、搬送待ち時間の極小化を可能にしている。これは如何にロスを無くすかに着目した技術である。

特許文献２では、半導体製造工程のロット搬送において、自動搬送・設備と搬送機器を自動制御・管理するシステムを前提として、設備稼動状況の収集と設備処理計画の算出、必要となる搬送台車数の算出結果を元に、待ち時間が最短となるように搬送指示を行う制御システムが提案されている。この制御システムでは、半導体製造工程の人的・時間的ロスの顕在化を可能にする半導体製造工場のシステム・プログラム技術として、ロット進捗状況の詳細分析と装置稼働状態の分析を行うために、装置からのイベント情報（ＳＥＣＳではない）を受け取り、そのイベントがどのロットの情報で、どの装置・ポートで処理されたものかを判定し、データベースに情報を蓄積する手法が報告されている。

特許文献３では、半導体製造工程のロット搬送において、自動搬送・設備と搬送機器を自動制御・管理するシステムを前提として、設備稼動状況の収集と設備処理計画の算出、必要となる搬送台車数の算出結果を元に、待ち時間が最短となるように搬送指示を行う制御システムが提案されている。

特開２０１０−２４７９１１号公報 特開２００５−２４２９８７号公報 特開２００５−１０００９２号公報

ＬＳＩ工場の化合物半導体工場への再開発やマニュアル工場の活用に際し、オフラインのマニュアル処理を低投資でオンラインに準じた管理を行い、省人化や作業ミス防止を実現する技術が求められている。

これに対して、特許文献１に開示されている上記従来技術では、設備と搬送システムのオンライン化・ＣＩＭ化が前提のシステムであり、当然、初期設備投資額も莫大である。また、特許文献２，３に開示されている上記従来技術においても、特許文献１の場合と同様に、設備と搬送システムのオンライン化・ＣＩＭ化が前提のシステムであり、当然、初期設備投資額も莫大である。

要するに、上記特許文献１〜３の従来技術は、全てオンライン自動化制御を前提とした大規模投資についての技術であって、特に、マニュアル搬送／オフライン装置に展開する場合には、自動搬送とオンライン管理に向けた装置改造に膨大な工数、膨大な試行錯誤および膨大な調整が必要であって、多額の投資が必要であり、オンライン装置やオフライン装置が混在する生産ラインの他、安価な労働力環境下でオフライン処理が前提の生産ラインや、ライン再開発で制御方法が大幅に変わった生産ラインおよび小規模生産で自動化せず、投資額を極力抑えた生産ラインなどではその実現が困難であった。

ＬＳＩ製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場の活用に際し、オフラインのマニュアル処理を低投資でかつオンラインに準じて管理を行い、省人化や作業ミス防止を実現する技術が求められている。

本発明は、上記従来の問題を解決するもので、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現することができる生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体を提供することを目的とする。

本発明の生産管理システムは、置かれた試料容器の固有ＩＤの有無を検知する複数の試料棚と、該複数の試料棚にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎に該試料容器の固有ＩＤの有無を管理する各棚管理パーソナルコンピュータと、該各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介して該試料容器の所在位置情報を管理するホスト装置とを有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。

また、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける試料棚は、前記試料容器の固有ＩＤを読み取るＩＤリーダ手段を具備し、該ＩＤリーダ手段で読み取った試料容器の固有ＩＤが、前記棚管理パーソナルコンピュータを介して前記ホスト装置に情報提供されて前記試料容器の所在位置情報が更新される。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける試料棚に作業者が前記試料容器を置く作業と該試料棚から作業者が該試料容器を取出す作業の際に前記ＩＤリーダ手段が読み取った試料容器のＩＤ情報により、該試料容器の所在位置情報をリアルタイムに前記棚管理パーソナルコンピュータから前記ホスト装置にアップロードする。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける複数の試料棚はそれぞれ工程毎に区分された区画に配置され、各区画には一または複数の処理前試料棚と一または複数の処理後試料棚が配置されている。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける棚管理パーソナルコンピュータは、製造フローと処理装置情報、流動する生産試料の進度情報を保有しており、検出した前記試料容器の固有ＩＤから、次に当該試料容器内の生産試料が処理されるべき処理装置を判断し、該試料容器の搬送先を表示画面上に表示して作業者に指示する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける棚管理パーソナルコンピュータは、前記搬送先を表示画面上に表示した時点から作業が実施されるまでの経過時間を前記表示画面上にカウントアップ表示すると共に、該経過時間の超過度合に伴ってアラーム表示を行うように制御する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおけるホスト装置は、前記ＩＤリーダ手段で読み取られた試料容器の固有ＩＤの有無情報を前記棚管理パーソナルコンピュータから提供されて該試料容器の固有ＩＤ情報の変化を検知する識別情報変化検知部と、該試料容器の固有ＩＤの有無を検知したときに、該試料容器の前回の所在位置情報に基づいて、該試料容器の現在の所在位置情報を決定する試料所在位置決定部と、該所在位置決定部で決定した該試料容器の現在の所在位置情報を所在位置履歴情報として更新して記憶する所在位置履歴記憶部とを有する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける試料容器は、被処理物である生産試料を収容または搭載して運搬可能とするカセット、試料箱または／およびトレイを含むケースである。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける各区画に配置された一または複数の処理装置のそれぞれに固有ＩＤが付与された各装置管理パーソナルコンピュータと、該各装置管理パーソナルコンピュータにそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者ＩＤを含む作業者情報を付与した作業者カードの内容を読み取り可能とするカードリーダと、該各装置管理パーソナルコンピュータと情報交換して工程を管理する前記ホスト装置とを備え、該各装置管理パーソナルコンピュータは、該カードリーダからの該作業者ＩＤを含む作業者情報に基づいて作業者／時間を検証するフロー照合手段と、該各管理パーソナルコンピュータは該ホスト装置に該作業者ＩＤを含む作業者情報および該作業者ＩＤを含む検証情報をアップロードする作業者情報／検証情報転送手段とを有し、該ホスト装置は、アップロードした該作業者ＩＤを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報／検証情報登録手段を有する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおけるホスト装置は、工程内の所定場所に設置した試料棚管理パーソナルコンピュータおよび装置管理パーソナルコンピュータから作業履歴情報を収集して作業者行動履歴情報および試料所在履歴情報を取得する作業履歴情報取得手段を有する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおけるホスト装置に収集された作業者別の前記情報から得られる前記作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに該作業者毎の行き先を表示する作業指示手段を有する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおけるホスト装置は、作業区画の増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して順次更新する作業評価値更新手段を有する。

さらに、好ましくは、本発明の生産管理システムにおける少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて半導体素子を製造する半導体製造工程において、該一または複数の処理装置に対してロットの処理フロー進捗管理機能を有した前記ホスト装置と、該オフライン装置に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号を読み取って、該オフライン装置の装置状態情報を該ホスト装置に送信する管理パーソナルコンピュータとを有し、該ホスト装置は、該少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応する該処理装置の該管理パーソナルコンピュータを介して、該オフライン装置を含む一または複数の処理装置の各ロットの作業指示情報を出力させる。

本発明の生産管理方法は、本発明の上記生産管理システムを用いた生産管理方法であって、前記識別情報変化検知部が、前記ＩＤリーダ手段で読み取られた試料容器の固有ＩＤの有無情報を前記棚管理パーソナルコンピュータから提供されて該試料容器の固有ＩＤ情報の変化を検知する識別情報変化検知ステップと、前記試料所在位置決定部が、該試料容器の固有ＩＤの有無を検知したときに、該試料容器の前回の所在位置情報に基づいて、該試料容器の現在の所在位置情報を決定する試料所在位置決定ステップと、前記所在位置履歴記憶部が、該所在位置決定部で決定した該試料容器の現在の所在位置情報を所在位置履歴情報として更新して記憶する所在位置履歴記憶ステップとを有する。

本発明の生産管理方法は、本発明の上記生産管理システムを用いた生産管理方法であって、前記各管理パーソナルコンピュータにおいて、フロー照合手段が、前記カードリーダからの前記作業者ＩＤを含む作業者情報に基づいて作業者／時間を検証するフロー照合工程と、作業者情報／検証情報転送手段が、該各管理パーソナルコンピュータは前記ホスト装置に該作業者ＩＤを含む作業者情報および該作業者ＩＤを含む検証情報をアップロードする作業者情報／検証情報転送工程とを有し、該ホスト装置において、作業者情報／検証情報登録手段が、アップロードした該作業者ＩＤを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報／検証情報登録工程を有するものであり、そのことにより上記目的が達成される。

本発明の制御プログラムは、本発明の上記生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述されたものであり、そのことにより上記目的が達成される。

本発明の可読記憶媒体は、本発明の上記制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能なものであり、そのことにより上記目的が達成される。

上記構成により、以下、本発明の作用を説明する。

本発明においては、置かれた試料容器の固有ＩＤの有無を検知する複数の試料棚と、複数の試料棚にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎に試料容器の固有ＩＤの有無を管理する各棚管理パーソナルコンピュータと、各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介して該試料容器の所在位置情報を管理するホスト装置とを有している。

これによって、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現することが可能となる。

以上により、本発明によれば、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現することができる。

（ａ）は、本発明の実施形態１の生産管理システムでロットのウエハが載ったトレイの様子およびこれが複数積まれた様子を示す斜視図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のトレイ上のウエハ場所管理のルールを説明するための斜視図である。 本実施形態１の生産管理システムにおける試料管理棚システムに用いる試料棚の斜視図であって、（ａ）はトレイＩＤリーダ手段を説明するための試料棚の斜視図、（ｂ）は試料棚にウエハが載った複数のトレイが積まれている状態を示す試料棚の斜視図である。 本発明の生産管理システムにおける試料管理棚システムの実施形態１においてトレイを用いた手動搬送工程での作業概要を示す模式図である。 図３の生産管理システムにおける管理パーソナルコンピュータとホスト装置１７のソフト構成例を示すブロック図である。 ロット保管ボックスと前述したウエハが載ったトレイとを示す模式図である。 試料箱としてのロット保管ボックスによる試料管理棚システムに用いる待機試料棚を模式的に示す斜視図である。 本発明の生産管理システムにおける試料管理棚システムの実施形態１において試料箱（カセット）を用いた手動搬送工程での作業概要を示す模式図である。 図７の生産管理システムにおける管理パーソナルコンピュータとホスト装置のソフト構成例を示すブロック図である。 本実施形態１の生産管理システムの作業者指示管理において各処理工程を作業者および各ロットが流動する状態を示すレイアウト図である。 工程内作業ロスを回避する手段としてのカウントアップ機能について説明する図である。 （ａ）は、図３および図７のナビゲーション画面を作業指示画面および遅延画面の他に作業ミス防止画面とする図、（ｂ）および（ｃ）は平均作業時間比較図、（ｄ）は班別処理実績ランキング図である。 本発明の実施形態１における生産管理システムの作業者情報管理および作業者行動管理の要部構成例およびその動作を示すブロック図である。 図１２の生産管理システム１における管理パーソナルコンピュータ２とホスト装置３のソフト構成例を示すブロック図である。 各処理工程を作業者および各ロットが流動するイメージ図である。 図１２の生産管理システムを用いて生産処理を行う場合の作業者の作業処理を含む生産管理システムの動作例を示すフローチャートである。 図１２の生産管理システムにおいて、オフライン装置を含む複数の処理装置、その管理パーソナルコンピュータおよびホスト装置の配置図である。

以下に、本発明の生産管理システムおよび生産管理方法の実施形態１について図面を参照しながら詳細に説明する。なお、各図における構成のそれぞれのサイズなどは図面作成上の観点から、図示する構成に限定されるものではない。

（実施形態１）
図１（ａ）は、本発明の実施形態１の生産管理システムでロットのウエハが載ったトレイの様子およびこれが複数積まれた様子を示す斜視図、図１（ｂ）は、図１（ａ）のトレイ上のウエハ場所管理のルールを説明するための斜視図である。

図１（ａ）において、ウエハサイズが数インチと小さくなると一または複数のトレイ８１単位で搬送されて保管管理されることが多くなる。トレイ８１上には試料（ロット）である複数（ここでは説明の簡略化のために９枚）のウエハ８２が搭載されて用いられている。トレイ８１の表面はウエハ８２の径よりも若干大きい凹部が縦方向および横方向にマトリクス状に９つ並んで形成されており、その凹部内にそれぞれウエハ８２が入り込んで収容されている。このトレイ８１の側面にはＲＦＩＤチップ８３（ＲＦＩＤタグ）が固定されている。このＲＦＩＤチップ８３にはトレイ８１毎にＩＤ番号などの情報が登録されている。ウエハ８２が載った複数のトレイ８１がトレイ群８１Ａとして一塊となって縦方向に重ねられて搬送されて試料棚内に保管される。

要するに、既存のデバイス製造ラインが世代の古い環境である場合、例えば流動ウエハがインチサイズが小さい場合などは、流動単位や搬送手段がカセットではなくトレイ８１で運用されている場合がある。トレイ８１による流動の場合には、個々のトレイ８１による搬送では効率が悪いことから、予め複数のトレイ８１を重ねてトレイ群８１Ａとして搬送することがある。

その場合、これまでの棚管理システムの管理単位が変わるだけでなく、各カセット毎にＲＦＩＤリーダを敷設することで所在管理していた手法から棚全体に１組のゲート型ＲＦＩＤセンサ（後述するゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａ）を敷設することで、棚に対するトレイ８１の出し入れのイベントによりトレイ８１の所在監視を行うことができる。

図１（ｂ）に示すように、トレイ８１上の複数のウエハ８２についての場所管理ルールを説明すると、例えばトレイ８１上のウエハ８２の位置を横方向の１行目でＮｏ．１〜３とし、２行目でＮｏ．４〜６とし、３行目でＮｏ．７〜９としてここでは全９個のウエハ８２の位置を取り決めている。もちろん、複数のウエハ８２の位置は横方向の行方向ではなく縦方向の列方向に取り決めてもよい。

図２は、本実施形態１の生産管理システムにおける試料管理棚システムに用いる試料棚の斜視図であって、図２（ａ）はトレイＩＤリーダ手段を説明するための試料棚の斜視図、図２（ｂ）は試料棚にウエハが載った複数のトレイが積まれている状態を示す試料棚の斜視図である。

図２（ａ）および図２（ｂ）において、複数のウエハ８２を搭載した１個のトレイ８１を１ロットとして複数のトレイを重ねて複数ロットのトレイ群８１Ａとして一塊のトレイ単位の搬送として試料棚１０で保管管理する。

試料棚１０はトレイＩＤリーダ手段としてのゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａを有している。ゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａの２本のセンサ主柱が、試料棚１０の前面両側に立設されており、試料棚１０の前面を通過する複数のトレイ８１であるトレイ群８１Ａのセンシングをカバーしている。要するに、複数のトレイ８１であっても複数回のセンシングではなく１回のセンシングで一括してトレイ群８１Ａとして検出することができる。ゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａは、トレイ群８１Ａの通過により棚への新たな出現と棚からの消滅を検出して棚全体でのトレイ８１の数量を検出する。トレイ８１毎に埋め込まれたＲＦＩＤチップ８３内のデータ（トレイ番号）とその全体数量をゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａが一括して検出することができる。

流動ウエハサイズが数インチと小さくなれば、それだけ流動ウエハ枚数が増大し、在庫数量もトレイ単位で増大する。後述するカセット（ロット）毎にＲＦＩＤリーダを敷設よりもゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａを取り付けることにより、複数のトレイ８１で積上げられた塊りで、入出庫のトレイ所在管理もできるし、在庫もリアルタイムでどの試料棚１０にトレイ群８１Ａがあるのかのトレイ所在管理をすることが可能となる。

要するに、ウエハサイズの小さい生産工程では、トレイ８１による運搬が一般的であり、ゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａを用いてトレイ８１毎にＲＦＩＤチップ８３によるトレイ８１のＩＤ所在管理を実現することにより、積み重ねた複数のトレイ８１であるトレイ群８１Ａの入出庫イベントをゲート型ＲＩＦＤリーダ１０ａを通過させることにより自動的にリアルタイムにトレイ８１またはトレイ群８１Ａの所在管理を実現することができる。また、生産管理システムとして、トレイ８１上にもウエハ８２の位置をルール化することにより、ウエハ８２の個片トレースを実現することができる。

図３は、本発明の生産管理システムにおける試料管理棚システムの実施形態１においてトレイ８１を用いた手動搬送工程での作業概要を示す模式図である。

図３において、本実施形態１の生産管理システムにおける試料管理棚システム１１は、各処理装置で処理する一または複数のトレイ８１（ロット）がトレイＩＤリーダ手段としてのゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａを通過したかどうかで一または複数のトレイ８１の有無を検出して保管する処理前試料棚１２と、処理前試料棚１２のゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａで検出した一または複数のトレイ８１に対してナビゲーション画面１３ａで次の処理指示を行う処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３と、処理前試料棚１２から一または複数のトレイ８１を取り出して処理装置まで搬送し処理装置にトレイ８１上のウエハ８２をセットする場合のセット内容や、処理が完了したウエハ８２をトレイ８１上に取り出す場合の搬送時間などの各種情報をナビゲーション画面１４ａで作業者に指示を行う装置管理パーソナルコンピュータ１４と、その処理装置で処理が完了したウエハ８２を処理装置からトレイ８１上に取り出して搬送し、一または複数のトレイ８１（ロット）がゲート型ＲＦＩＤリーダ１５ａを通過したかどうかで一または複数のトレイ８１の有無を検出して保管する処理後試料棚１５と、処理後試料棚１５のゲート型ＲＦＩＤリーダ１５ａで検出した一または複数のトレイ８１に対してナビゲーション画面１６ａで次工程への搬送指示を行う処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６と、これらの処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、装置管理パーソナルコンピュータ１４および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６が無線または有線で通信されて一または複数のトレイ８１の全所在管理およびトレイ８１毎の処理進捗状況管理を行うホスト装置としてのホストコンピュータ１７とを有している。

要するに、試料管理棚システム１１は、置かれた一または複数のトレイ８１（被生産試料として複数のウエハ８２が搭載）のそれぞれの固有ＩＤをゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａで検知する複数の試料棚としての処理前試料棚１２および処理後試料棚１５と、複数の試料棚にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎に設けられた各棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６と、各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介して一または複数のトレイ８１の所在位置情報を管理するホスト装置としてのホストコンピュータ１７とを有している。

この試料管理棚システム１１は、自動化搬送システムがない手動搬送工程に用いられ、ＲＦＩＤチップ８３をトレイ８１毎に付与し、それぞれのトレイ８１毎に固有ＩＤを割り付けてＲＦＩＤチップ８３に記憶させ、処理前試料棚１２および処理後試料棚１５には棚毎にトレイＩＤリーダ手段としてのゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａを各棚の両端に設置して、工程内で作業者が一または複数のトレイ８１を棚に置くかまたは棚から一または複数のトレイ８１を取るかの簡単な操作を行うだけで、工程内の各棚毎の全ロット在庫位置状況（リアルタイム所在位置管理）をゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａで検出して把握するようになっている。被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１が何処の待機試料棚に置かれても棚毎のゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａが一または複数のトレイ８１のＲＦＩＤチップ８３の固有ＩＤを検出してどのような被生産試料（ウエハ８２）がこの待機試料棚に置かれたのかを処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６が認識してこれをホストコンピュータ１７に送信し、ホストコンピュータ１７の試料管理情報がデータ更新される。

このように、被生産試料（ウエハ８２）は全て試料管理棚システム１１でリアルタイムに所在管理が行われる。被生産試料（ウエハ８２）はトレイ８１上に搭載されて、搬送、保管されるものであり、トレイ８１以外のウエハ８２の在庫は管理外となる。各管理コンピュータ１３，１６からのイベント収集により、ホストコンピュータ１７により工程内の全試料（全トレイ８１）の所在を更新して行く。この場合のホストコンピュータ１７は大規模ＣＩＭシステムではなく、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１を処理前試料棚１２と処理後試料棚１５に置くためにゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａを通過した時点をトリガとして作業者の作業が開始される。要するに、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１が処理前試料棚１２に置かれたことにより処理装置による処理が可能となり、ＦＩＦＯで順次処理が開始される。また、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１が処理後試料棚１５に置かれたことにより次の区画への搬送指示が出される。トリガは棚に置かれたイベントによる。

要するに、試料棚としての処理前試料棚１２および処理後試料棚１５は、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１の固有ＩＤを読み取るトレイリーダ手段としてのゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａを具備し、ゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａで読み取った一または複数のトレイ８１の各固有ＩＤが、棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６を介してホスト装置としてのホストコンピュータ１７に情報提供されて一または複数のトレイ８１の所在位置情報が更新されるようになっている。即ち、試料棚に作業者が一または複数のトレイ８１を置く作業と該試料棚から作業者が一または複数のトレイ８１を取出す作業の際にゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａが読み取った一または複数のトレイ８１のＩＤ情報により、一または複数のトレイ８１の所在位置情報をリアルタイムに棚管理パーソナルコンピュータ１３，１６からホスト装置にアップロードするようになっている。

図４は、図３の生産管理システム１１における管理パーソナルコンピュータ１２、１６とホスト装置のソフト構成例を示すブロック図である。

図４において、本実施形態１の生産管理システム１１における棚管理パーソナルコンピュータ１３は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）１３１と、ＣＰＵ１３１に対して入力指令を行うためのキーボード、マウス、タッチパネルおよびペン入力装置、さらには通信ネットワーク（例えばインターネットやイントラネット）を介して受信入力する入力装置１３２と、表示画面上に、初期画面、選択場面、ＣＰＵ１３１による制御結果画面および操作入力画面などを表示する表示部１３３と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭ１３４と、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ１３１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭ１３５とを有している。なお、棚管理パーソナルコンピュータ１６の構成についても上記棚管理パーソナルコンピュータ１３の構成と同様である。

本実施形態１の生産管理システム１１におけるホストコンピュータ１７は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）１７１と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭおよび、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ１７１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭの他、膨大な作業者情報および所在位置履歴情報（トレイ更新情報）などを記憶するデータベース１７２とを有している。

可読記録媒体としてのＲＯＭは、ハードディスクの他、携帯自在な光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスクおよびＩＣメモリなどで構成されていてもよい。この制御プログラムおよびそのデータなどがＲＯＭに記憶されるが、この制御プログラムおよびそのデータは、他の可読記録媒体から、または、無線、有線またはインターネットなどを介してＲＯＭにダウンロードされてもよい。

ホスト装置としてのホストコンピュータ１７は、トレイＩＤリーダ手段としてのゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａで読み取られた一または複数のトレイ８１の各固有ＩＤの情報を棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６のトレイ認識情報提供手段１３６から提供されて一または複数のトレイ８１の固有ＩＤ情報の変化を検知する識別情報変化検知部１７３と、ゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａ、１５ａが一または複数のトレイ８１の固有ＩＤを検知したときに、一または複数のトレイ８１の前回の所在位置情報に基づいて、一または複数のトレイ８１の現在の所在位置情報を決定するトレイ所在位置決定部１７４と、トレイ所在位置決定部１７４で決定した一または複数のトレイ８１の現在の所在位置情報を所在位置履歴情報（トレイ更新情報）として更新してデータベース１７２に記憶するトレイ所在位置履歴記憶部１７５（作業履歴情報取得手段）とを有している。

上記構成により、作業者が、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１を待機試料棚に置くと、待機試料棚はその被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１が何処の待機試料棚（処理前試料棚１２）に置かれたかを、待機試料棚（処理前試料棚１２）に設置したゲート型ＲＦＩＤリーダ１２ａにより一または複数のトレイ８１の通過を検出して、処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３を介してホストコンピュータ１７が認識するようになっている。

次に、所定の処理装置で処理が済んだ被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１を待機試料棚（処理後試料棚１５）から取って次の処理を行う待機試料棚まで搬送する。処理が済んだ被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１がその待機試料棚（処理後試料棚１５）からなくなったことをその待機試料棚はゲート型ＲＦＩＤリーダ１５ａなどのトレイＩＤリーダ手段で検出して処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６を介してホストコンピュータ１７に情報伝達する。

その処理が済んだ被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１を次の処理を行う待機試料棚に置くとその待機試料棚（処理前試料棚１２）のゲート型ＲＦＩＤリーダは、次の処理が行われる被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１がどの待機試料棚（処理前試料棚１２）に置かれたかを検出して処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３を介してホストコンピュータ１７に情報伝達する。

このとき、一または複数のトレイ８１が置かれた待機試料棚のランプが点灯するようになっている。作業者はランプが点灯した位置の待機試料棚の一または複数のトレイ８１を取り込めばよい。このように、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１を待機試料棚に置く、被生産試料（ウエハ８２）が搭載された一または複数のトレイ８１を待機試料棚から取ってゲート型ＲＦＩＤリーダによる検出をイベントのトリガにして被生産試料（ウエハ８２）が載った一または複数のトレイ８１のロット所在情報の更新をホストコンピュータ１７に対して通信により行う。

図５は、ロット保管ボックス１９と前述したウエハ８２が載ったトレイ８１を示す模式図である。

図５において、ウエハ径が十数インチと大きい場合には複数のウエハはカセット（試料箱；ロット保管ボックス１９）に収容されている。

デバイス製造工程では、複数のウエハがカセット（試料箱；ロット保管ボックス１９）に格納されて搬送や処理をされる環境であったり、海外工場での生産工程では試料箱に拘らず、前述したように、トレイ８１のような搬送単位、形態でウエハ８２が処理されることまで想定して棚管理システムを拡張することができる。

ウエハ８２の径サイズが小さい工程では、トレイ８１上にウエハ８２を複数並べてこれを１単位（１ロット）と呼んでいる。そのトレイ８１での搬送や複数のトレイ８１を複数重ねてのトレイ群８１Ａの一塊としての搬送を視野に入れ、棚管理システムを構築することができる。

ウエハ８２の径サイズが数インチと小さくなると、試料箱単位（カセット単位）からトレイ単位の管理となる。これまでの試料箱（カセット）としてのロット保管ボックス１９での搬送から、複数のトレイ８１を複数重ねたトレイ群８１Ａの一塊として搬送する工程を想定した棚管理システムでなければならない。

次に、トレイ８１から試料箱（カセット）としてのロット保管ボックス１９による試料管理棚システムについて説明する。

図６は、試料箱としてのロット保管ボックス１９による試料管理棚システムに用いる待機試料棚を模式的に示す斜視図である。

図６において、複数の大型ウエハが収容されたカセットである試料箱としてのロット保管ボックス１９を用いる待機試料棚１０Ａは、ロット保管ボックス１９毎に付与され固有ＩＤが割り当てられたＲＦ−ＩＤタグ１８の内容を、棚の所定エリア（棚の区画）毎に配置されたＲＦ−ＩＤリーダ２０により読み取ることにより、ロット保管ボックス１９が待機試料棚のどの棚であってそのどの区画位置に作業者が置いたかを検出するように構成されている。ＲＦ−ＩＤリーダ２０は、１カセット毎に試料箱（カセット）に配置されている。要するに、カセットのロット保管ボックス１９（ＲＦ−ＩＤタグ１８）と棚の区画毎のＲＦ−ＩＤリーダ２０とは１対１の関係にあるが、前述したトレイ８１（ＲＦＩＤチップ８３）とゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａとは１対多数（１対１を含む）である点が前述した事例とは異なっている。

図７は、本発明の生産管理システムにおける試料管理棚システムの実施形態１において試料箱（カセット）を用いた手動搬送工程での作業概要を示す模式図である。

図７に示すように、本実施形態１の生産管理システムにおいて、試料箱（カセット）を用いた試料管理棚システム１１Ａは、各処理装置で処理する試料（ロット）の有無を検出して保管する処理前試料棚１２Ａと、処理前試料棚１２Ａで検出した試料（ロット）に対してナビゲーション画面１３ａで次の処理指示を行う処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａと、処理前試料棚１２Ａから試料（ロット）を取り出して処理装置まで搬送し処理装置にセットする場合のセット内容や、処理が完了して試料（ロット）を取り出す場合の搬送時間などの各種情報をナビゲーション画面１４ａで作業者に指示を行う装置管理パーソナルコンピュータ１４と、その処理装置で処理が完了した試料（ロット）を処理装置から搬送し、置かれた試料（ロット）を検出して保管する処理後試料棚１５Ａと、処理後試料棚１５Ａで検出した試料（ロット）に対してナビゲーション画面１６ａで次工程への搬送指示を行う処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａと、これらの処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａ、装置管理パーソナルコンピュータ１４および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａが無線または有線で通信されて試料（ロット）の全所在管理および試料（ロット）毎の処理進捗状況管理を行うホスト装置としてのホストコンピュータ１７とを有している。

要するに、試料管理棚システム１１Ａは、置かれた試料箱（被生産試料が入ったロット保管ボックス１９）の固有ＩＤを検知する複数の試料棚としての処理前試料棚１２Ａおよび処理後試料棚１５Ａと、複数の試料棚にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎に設けられた各棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａと、各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介して試料箱の所在位置情報を管理するホスト装置としてのホストコンピュータ１７とを有している。

この試料管理棚システム１１Ａは、自動化搬送システムがない手動搬送工程に用いられ、ＲＦ−ＩＤタグ１８をロット保管ボックス１９に付加し、それぞれのロット保管ボックス１９毎に固有ＩＤを割り付け、処理前試料棚１２Ａおよび処理後試料棚１５Ａである待機試料棚（擬似ストッカ）には棚の区画毎に試料箱ＩＤリーダ手段としてのＲＦ−ＩＤリーダ２０を搭載して、工程内で作業者が試料を棚の区画に置くかまたは棚の区画から試料を取るかの簡単な操作を行うだけで、工程内の全ロット在庫位置状況（リアルタイム所在位置管理）を検出して把握するようになっている。被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９が待機試料棚の何処の区画に置かれても棚の区画毎のＲＦ−ＩＤリーダ２０がロット保管ボックス１９のＲＦ−ＩＤタグ１８を検出してどのような被生産試料（ロット）がこの待機試料棚の区画に置かれたのかを処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａが認識してこれをホストコンピュータ１７に送信し、ホストコンピュータ１７の試料管理情報としての試料箱管理情報がデータ更新される。

このように、被生産試料（ロット）は全て試料管理棚システム１１Ａでリアルタイムに所在管理が行われる。被生産試料（ロット）はロット保管ボックス１９内に入れられて、搬送、保管されるものであり、保管箱であるロット保管ボックス１９以外の在庫は管理外となる。各管理コンピュータからのイベント収集により、ホストコンピュータ１７により工程内の全試料の所在を更新して行く。この場合のホストコンピュータ１７は大規模ＣＩＭシステムではなく、被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９を処理前試料棚１２Ａと処理後試料棚１５Ａに置かれた時点をトリガとして作業者の作業が開始される。要するに、被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９が処理前試料棚１２Ａに置かれたことにより処理装置による処理が可能となり、ＦＩＦＯで順次処理が開始される。また、被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９が処理後試料棚１５Ａに置かれたことにより次の区画への搬送指示が出される。トリガは棚に置かれたイベントによる。

要するに、試料棚としての処理前試料棚１２Ａおよび処理後試料棚１５Ａは、被生産試料（ロット）が入った試料箱の固有ＩＤを読み取る試料箱ＩＤリーダ手段としてのＲＦ−ＩＤリーダ２０を具備し、ＲＦ−ＩＤリーダ２０で読み取った試料箱（カセット）の固有ＩＤが、棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａを介してホスト装置としてのホストコンピュータ１７に情報提供されて試料箱の所在位置情報が更新されるようになっている。即ち、試料棚に作業者が試料箱を置く作業と該試料棚から作業者が試料箱を取出す作業の際に棚の区画毎のＲＦ−ＩＤリーダ２０が試料箱毎のＲＦ−ＩＤタグ１８を読み取った試料箱ＩＤ情報により、試料箱の所在位置情報をリアルタイムに棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａ、１６Ａからホスト装置としてのホストコンピュータ１７にアップロードするようになっている。

図８は、図７の生産管理システム１１Ａにおける管理パーソナルコンピュータ１２Ａ、１６Ａとホスト装置のソフト構成例を示すブロック図である。

図８において、本実施形態１の生産管理システム１１Ａにおける棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａは、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）１３１Ａと、ＣＰＵ１３１Ａに対して入力指令を行うためのキーボード、マウス、タッチパネルおよびペン入力装置、さらには通信ネットワーク（例えばインターネットやイントラネット）を介して受信入力する入力装置１３２と、表示画面上に、初期画面、選択場面、ＣＰＵ１３１による制御結果画面および操作入力画面などを表示する表示部１３３と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭ１３４と、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ１３１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭ１５とを有している。なお、棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａの構成についても上記棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａの構成と同様である。

本実施形態１の生産管理システム１１Ａにおけるホストコンピュータ１７は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）１７１Ａと、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭおよび、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ１７１Ａによる制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭの他、膨大な作業者情報および所在位置履歴情報（試料箱更新情報）などを記憶するデータベース１７２とを有している。

可読記録媒体としてのＲＯＭは、ハードディスクの他、携帯自在な光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスクおよびＩＣメモリなどで構成されていてもよい。この制御プログラムおよびそのデータなどがＲＯＭに記憶されるが、この制御プログラムおよびそのデータは、他の可読記録媒体から、または、無線、有線またはインターネットなどを介してＲＯＭにダウンロードされてもよい。

ホスト装置としてのホストコンピュータ１７は、試料箱ＩＤリーダ手段としてのＲＦ−ＩＤリーダ２０で読み取られた試料箱（カセット；ロット保管ボックス１９）のＲＦ−ＩＤタグ１８からの各固有ＩＤ情報を棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａの試料箱識別情報提供手段１３６Ａから提供されてロット保管ボックス１９の固有ＩＤ情報の変化を検知する識別情報変化検知部１７３Ａと、棚の区画毎のＲＦ−ＩＤリーダ２０がロット保管ボックス１９の固有ＩＤを検知したときに、ロット保管ボックス１９の前回の所在位置情報に基づいて、ロット保管ボックス１９の現在の所在位置情報を決定する試料箱所在位置決定部１７４Ａと、試料箱所在位置決定部１７４Ａで決定したロット保管ボックス１９の現在の所在位置情報を所在位置履歴情報（試料箱更新情報）として更新してデータベース１７２に記憶する試料箱所在位置履歴記憶部１７５Ａ（作業履歴情報取得手段）とを有している。

上記構成により、作業者が、被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９を待機試料棚に置くと、待機試料棚はその被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９が何処の待機試料棚の区画に置かれたかを、処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａを介してホストコンピュータ１７が認識するようになっている。

次に、所定の処理装置で処理が済んだ被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９を待機試料棚から取って次の処理を行う待機試料棚まで搬送する。処理が済んだ被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９がその待機試料棚からなくなったことを待機試料棚は検出して処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６Ａを介してホストコンピュータ１７に情報伝達する。

その処理が済んだ被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９を次の処理を行う待機試料棚に置くとその待機試料棚は、次の処理が行われる被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９が待機試料棚の区画の何処に置かれたかを検出して処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３Ａを介してホストコンピュータ１７に情報伝達する。

このとき、ロット保管ボックス１９が置かれた待機試料棚の区画位置のランプが点灯するようになっている。作業者はランプが点灯した区画位置のロット保管ボックス１９を取り込めばよい。このように、被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９を待機試料棚に置く、被生産試料（ロット）が入ったロット保管ボックス１９を待機試料棚から取るということをイベントのトリガにして被生産試料（ロット）のロット所在情報の更新をホストコンピュータ１７に対して通信により行う。

以上は、トレイ８１やカセット（試料箱；ロット保管ボックス１９）による試料（ウエハロット）の所在管理について説明した。

即ち、本実施形態１の生産管理システムは、置かれたトレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤの有無を検知する複数の試料棚にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎にトレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤの有無を管理する各棚管理パーソナルコンピュータと、各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介してトレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）の所在位置情報を管理するホスト装置（ホストコンピュータ１７）とを有している。

試料棚は、トレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤを読み取るＩＤリーダ手段（トレイＩＤリーダ手段や試料箱ＩＤリーダ手段）を具備し、該試料棚に作業者が試料容器（試料ケース）を置く作業と該試料棚から作業者が該試料容器（試料ケース）を取出す作業の際に該ＩＤリーダ手段が読み取った容器ＩＤ情報により、該試料容器（試料ケース）の所在位置情報をリアルタイムに棚管理パーソナルコンピュータからホスト装置にアップロードする。

次に、棚管理パーソナルコンピュータが、製造フローと処理装置情報、流動する生産試料の進度情報を保有しており、検出したトレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤから、次に試料容器（試料ケース）内の試料（ロット（被生産材）であってここではウエハ）が処理されるべき処理装置を判断し、試料容器（試料ケース）の搬送先を表示画面上に表示して作業者に指示する作業者指示管理について図９を用いて説明する。

図９は、本実施形態１の生産管理システムの作業者指示管理において各処理工程を作業者および各ロットが流動する状態を示すレイアウト図である。

図９に示すように、各処理工程としては、フォトリソ工程、ウェットエッチング工程、検査工程およびＭＯＣＶＤ工程などがあるが、各処理工程毎に「ＩＮ」および「ＯＵＴ」で示す待機試料棚が設けられている。「ＩＮ」で示す待機試料棚は処理前試料棚であり、「ＯＵＴ」で示す待機試料棚は処理後試料棚である。

所定の処理を行うために「ＩＮ」の試料棚（処理前試料棚１２、１２Ａ）に被生産試料（ロット）が入ったトレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）を置く。また、次の処理をするために「ＯＵＴ」の試料棚（処理後試料棚１５、１５Ａ）から被生産試料（ロット）が入った試料容器を取って次工程の「ＩＮ」の処理前試料棚まで搬送する。各工程内に処理装置があり、各工程内にいる作業者は「ＩＮ」の処理前試料棚に置かれた被生産試料（ロット）が入った試料容器を取って処理装置に被生産試料（ロット）をセットして所定の処理を行う。その処理装置による処理が済めば、「ＯＵＴ」の処理後試料棚に処理後の被生産試料（ロット）が入った試料容器を置く。搬送する作業者は、「ＯＵＴ」の処理後試料棚に置かれてランプが点灯している処理後の被生産試料（ロット）が入った試料容器を次の処理を行うために次工程の「ＩＮ」の処理前試料棚までその被生産試料（ロット）が入った試料容器を搬送する。

この場合の工程は、プロセス毎に複数の区画に区切られており、そのぞれの区画に「ＩＮ」の処理前試料棚と「ＯＵＴ」の処理後試料棚とが配置されている。これらの工程内および工程間には自動搬送システム（搬送ロボットや保管ストッカ）は存在せず、手動生産工程である。

複数の待機試料棚はそれぞれ工程毎に区分された区画に配置され、各区画には一または複数の処理前試料棚と一または複数の処理後試料棚が配置されている。

作業者は区画毎に区別された専任作業者（例えばフォト担当者、検査担当者およびＣＶＤ担当者など）が配置されている。区画間に対して被生産試料（ロット）を搬送する搬送専任の作業者も配置されている。それぞれの作業者は、区画毎に特有のスキルを保有しており、それぞれの経験によりスキルランクを持っている。これらの作業者は区画毎に配置された棚管理コンピュータの表示画面上に表示される指示内容に従って工程内作業および搬送作業を行う。作業者は個人を識別できるＩＤを持っている。

特に、本実施形態１の試料管理棚システム１１、１１Ａおよびこれらを混合した試料管理棚システムでは、指示された作業を確実に行い、ミス無く、遅れ無く、間違い無く実施するためのナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａを活用することにより新人作業者（海外工場のワーカ）の作業を可能とする。

また、各作業者の作業遅延を監視するために各棚管理コンピュータには指示から実施までの時間をカウントアップする機能を有している。この時間経過をカウントアップすることにより作業者の作業効率の向上を図ると共にスキル判定の情報をも収集し、安定生産に繋げることを目的としている。この経過時間の算出開始は、作業指示を実施した時点（画面表示した時点）からカウントアップする。この時間経過には時間設定を例えば３分までが１とし、５分までがレベル２とし、１０分までがレベル３とする。過去の平均経過時刻との差を評価手法の一つとする。レベル３の回数を作業者の評価減点項目の対象の一つとして用いる。作業者には、指示された作業を作業ミスなく、遅れなく実施するのみであり、作業者に熟練度を要求するものではない。

要するに、棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６、１６Ａは、製造フローと処理装置情報、流動する生産試料の進度情報を保有しており、検出したトレイ８１や試料箱などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤから、次にこの待機試料容器（試料ケース）内の試料（ロット）が処理されるべき処理装置を判断し、試料容器（試料ケース）の搬送先を表示画面（ナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａ）上に表示して作業者に指示する。さらに、処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６、１６Ａは、搬送先を表示画面（ナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａ）上に表示した時点から作業が実施されるまでの経過時間を表示画面（ナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａ）上にカウントアップ表示すると共に、経過時間の超過度合に伴ってアラーム表示を行うように制御される。

図１０は、工程内作業ロスを回避する手段としてのカウントアップ機能について説明する図である。

図１０に示すように、所定の処理装置によって処理が完了した被生産試料（ロット）が棚で搬出待ちのときに、装置管理パーソナルコンピュータ１４は、搬出時間をナビゲーション画面１４ａで表示して作業者にカウントダウン表示する。これに対して、作業者は、処理装置で処理が完了した試料（ロット）をトレイ８１またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）に入れて（または搭載して）処理装置から搬送処理後試料棚１５、１５Ａに搬送する。このように、処理装置から「ＯＵＴ」の搬送処理後試料棚１５、１５Ａに試料（ロット）の搬出作業に遅れがないようにタイマにより時間管理されている。

「ＯＵＴ」の搬送処理後試料棚１５、１５Ａに置かれた被生産試料（ロット）が入ったトレイ８１またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）の次工程搬送待ちのときに、処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６、１６Ａは、搬送時間をナビゲーション画面１６ａで表示して作業者にカウントダウン指示する。これに対して、作業者は、「ＯＵＴ」の搬送処理後試料棚１５、１５Ａに置かれたトレイ８１またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）を次工程の「ＩＮ」の処理前試料棚１２、１２Ａに搬送する。このように、「ＯＵＴ」の搬送処理後試料棚１５、１５Ａから「ＩＮ」の処理前試料棚１２、１２Ａに試料（ロット）を搬送する作業に遅れがないようにタイマにより時間管理している。

この工程の「ＩＮ」の処理前試料棚１２、１２Ａに置かれたトレイ８１またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）の処理着工待ちのときに、処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、１３Ａは、処理着工時間をナビゲーション画面１３ａで表示して作業者にカウントダウン表示する。これに対して、作業者は、「ＩＮ」の搬送処理前試料棚１２、１２Ａに置かれたトレイ８１またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）から被生産試料（ロット）を取り出して被生産試料（ロット）を所定の処理装置にセットする。このように、処理装置からの試料（ロット）の搬出作業に遅れがないようにタイマにより時間管理されている。このように、「ＩＮ」の搬送処理前試料棚１２、１２Ａから処理装置のセットに試料（ロット）の処理着工作業に遅れがないようにタイマにより時間管理されている。

次に、装置管理パーソナルコンピュータ１４は、処理開始時間をナビゲーション画面１４ａで表示して作業者にカウントダウン表示する。これに対して、作業者は処理を開始し、所定の処理装置によって処理が完了した被生産試料（ロット）が搬出待ちのときに、装置管理パーソナルコンピュータ１４は、搬出時間をナビゲーション画面１４ａで表示して作業者にカウントダウン表示する。これに対して、作業者は、処理装置で処理が完了した試料（ロット）をトレイ８１またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）に入れて（または搭載して）処理装置から「ＯＵＴ」の搬送処理後試料棚１５、１５Ａに搬送する。このように、処理装置から「ＯＵＴ」の搬送処理後試料棚１５、１５Ａに試料（ロット）の搬出作業に遅れがないようにタイマにより時間管理されている。作業者は被生産試料（ロット）の搬出時間をナビゲーション画面１４ａを見てせかされて作業をすることになる。

図１１（ａ）は、図３および図７のナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａを作業指示画面および遅延画面の他に作業ミス防止画面とする図、図１１（ｂ）および図１１（ｃ）は平均作業時間比較図、図１１（ｄ）は班別処理実績ランキング図である。

図１１（ａ）に示すように、図３および図７のナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａを次の作業指示画面および遅延防止画面として用いる場合について説明したが、図３および図７のナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａを作業ミス防止画面に用いることもできる。例えば、「ＩＮ」の処理前試料棚１２、１２Ａにシステムが期待しない試料（ロット）が置かれた場合、棚のゲート型ＲＦＩＤリーダ１０ａやＲＦ−ＩＤリーダ２０がトレイ８１のＲＦＩＤチップ８３やロット保管ボックス１９のＲＦ−ＩＤタグ１８を検出してどのような被生産試料（ロット）がこの待機試料棚に置かれたのかを処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、１３Ａまたは処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６、１６Ａが認識するが、それが間違っている旨、図１のナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａに「ロットＡ；作業ミス」などの表示が為される。本来、何処の棚または処理装置に運ばれるべきかをも併せて画面表示させるようになっている。通常、「ＩＮ」の処理前試料棚１２、１２Ａに被生産試料（ロット）が置かれると、処理前試料棚１２、１２Ａは被生産試料（ロット）を検出して、作業指示画面が表示されてこの処理装置でどのような処理を行うかが表示されるが、間違えた場合には「作業ミス」が警告表示される。これによって、作業者はシステムが期待しない動作に対して警告表示を行って「作業ミス」を早期に防止することができ正しい作業に修正するように指示することができる。要するに、被生産試料（ロット）を処理装置Ａで処理しようとした場合に、それが間違いで処理装置Ｂですることを作業者に正しく作業指示することができる。どのような作業者であっても作業が遅れずかつミスがないように正しく導くシステムである。

図１１（ｂ）に示すように装置別の搬送遅延時間や、図１１（ｃ）に示すように日別の平均作業時間がホストコンピュータ１７で集計され、図１１（ｄ）に示すように班別処理実績ランキングがホストコンピュータ１７で集計される。

各作業者にイベントをホストコンピュータ１７が集計することにより棚管理パーソナルコンピュータのナビゲーション画面１３ａ，１４ａおよび１６ａを介して作業意識向上のナビゲーション情報を表示出力する。例えば、各区画、各作業者の処理実績の評価を行うことができるベスト１０表示により各作業者に競争意識を持たせることができる。生産ラインの管理者（班長やライン長）には各作業区画の処理実績を見える化することにより、人員の増減および配置などの意思決定の資料とする。さらに、出庫指示および入庫指示に対する相違のイベント入力があった場合は、チェックする機能を有し、これを表示画面に表示する機能を有している。

以上により、本実施形態１によれば、置かれたトレイ８１および／またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤの有無を検知する複数の試料棚としての処理前試料棚１２、１２Ａおよび処理後試料棚１５、１５Ａと、複数の試料棚としての処理前試料棚１２、１２Ａおよび処理後試料棚１５、１５Ａにそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎にトレイ８１および／またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）の固有ＩＤの有無を管理する各棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、１３Ａおよび処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６、１６Ａと、該各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介してトレイ８１および／またはロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）の所在位置情報を管理するホスト装置としてのホストコンピュータ１７とを有している。

このように、トレイ８１やロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）を作業者が棚に置く、また棚から取出す作業のみで、被生産試料（ロット）が入った（または載った）トレイ８１やロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）が棚にあるかどうかを無線通信機能で検知し、トレイ８１やロット保管ボックス１９などの試料容器（試料ケース）内の被生産試料（ロット）の所在情報をホスト装置が全棚から収集することができて、低投資で、小規模ライン・局所的な分散ラインにおいて、工程内全体の被生産試料（ロット）を擬似的にオンライン管理することができる。これによって、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現することができる。

マニュアル搬送／オフライン装置が混在する生産ラインの他に、安価な労働力環境下でオフライン処理が前提の生産ライン、小規模生産で自動化せず、投資額を極力抑えた生産ライン、搬送自動化システム（搬送ロボット及びロットストッカ）が存在しない生産ラインなどにおいて、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現することができる。

なお、本実施形態１では特に説明しなかったが、本実施形態１の試料管理棚システム１１，１１Ａおよびこれらを混合した試料管理棚システムを、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報や試料所在情報をオンライン管理して、作業ロスおよび作業ミスの防止や省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することができる生産管理システムに適用することができる。このような生産管理システムについて次に詳細に説明する。

前述した本実施形態１のホスト装置としてのホストコンピュータ１７と、次に説明するホスト装置３とは全く別のホスト装置であってもよいが、ここでは同じホスト装置で制御し、それぞれ異なる機能を有している。このホスト装置は、工程内の所定場所に設置した試料棚管理パーソナルコンピュータとしての処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ１３、１３Ａ、装置管理パーソナルコンピュータ１４および処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ１６、１６Ａ、後述する装置管理パーソナルコンピュータとしての管理パーソナルコンピュータ２から作業履歴情報を収集して作業者行動履歴情報および試料所在履歴情報を取得する作業履歴情報取得手段を有している。ホスト装置は、試料所在履歴情報取得手段と次に詳細に説明する作業者行動履歴情報取得手段とを有しており、作業者行動履歴情報取得手段による作業者情報管理および作業者行動管理について次の図１２以降で詳細に後述する。

図１２は、本発明の実施形態１における生産管理システムの作業者情報管理および作業者行動管理の要部構成例およびその動作を示すブロック図である。なお、生産材のロットはここではカセットであるロット保管ボックス１９（試料箱）に収容されて運搬されるが、カセットと共にまたはこれとは別に、比較的小型の複数のウエハ８２やそれを個片化した複数チップ、これらのモジュール、さらにパッケージなどが搭載され収容された前述のトレイ８１などの被処理物搬送容器（ケース）であってもよい。この被処理物搬送容器（ケース）は、前述したトレイ８１や試料箱など両方を含む概念の試料容器（試料ケース）である。

図１２において、本実施形態１の生産管理システム１は、オフライン装置を含む複数の処理装置および、作業者が入退室する複数のゲートのそれぞれに固有のＩＤが付された各管理パーソナルコンピュータ２と、各管理パーソナルコンピュータ２とそれぞれ情報交換を可能とするホスト装置３と、各管理パーソナルコンピュータ２にそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者ＩＤなどの作業者情報を付した作業者カード（ＲＦ−ＩＤ）の内容を読み取り可能とすると共に、複数の生産ワーク（複数の生産ロット）に各々固有のＩＤおよび処理情報（フロー）を付したデータカード（ＲＦ−ＩＤ）をデータカード付与装置（図示せず）から作業者に付与し、そのデータカードから生産ワーク毎（作業者毎）の生産情報を読み取り可能とするカードリーダ４とを有している。

作業者カードをゲートのカードリーダ４または処理装置のカードリーダ４に接近または接触させて作業者情報を読み取り処理し、カードリーダ４が接続された管理パーソナルコンピュータ２は、作業者ＩＤなどの作業者情報に基づいて、作業者／時間検証、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証し、管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードし、ホスト装置３は、アップロードしたその作業者情報および検証結果を含む検証情報を図１３のデータベース３２に登録する。検証情報は、検証結果だけではなく、どのゲートまたはどの処理装置において、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかなどのデータを有している。

作業者カードは、タグチップと呼ばれるメモリを搭載したＩＣチップおよびアンテナが埋め込まれており、作業者ＩＤ（名前、所属班、勤務帯）、作業エリア（洗浄、露光、エッチング、検査、搬送、ＣＶＤおよび不純物イオン注入など）、作業種別（管理、処理、検査、搬送およびメンテ）、作業ランク（１〜５；作業スキルおよび作業履歴情報）および作業ポイントが作業者情報として記録されている。作業者カード内の作業者情報のうちの作業ポイントは、その作業者がこなせる作業量のことであり、日にどの作業をどれだけ（作業数）こなしたかを数値化したものである。作業ランクは、作業スキルのことであって、搬送だけを行う作業者から、搬送はもちろんできるし所定の処理作業もできるし検査作業もできる作業者はランクが高い。作業ポイントが高くなれば作業ランクも高くなる。

ホスト装置３は、規定時間内に作業が終わらないといけないのにどの程度遅れたかのマイナス評価や、作業ポイントが高くなるなどのプラス評価を総合して作業評価値を集計して更新する図１３に示す作業評価値更新手段３１４を有する。これらの作業ランクおよび作業ポイントを含む作業者毎の作業評価値は、ホスト装置３が、後述するナビゲーションディスプレイに表示制御する。この作業評価値は、作業効率を上げるための各作業者の指標になり得る。各ゲートでの作業者カードによる入退室チェックにより、その作業者と無関係のエリアに入ることはできないし、作業内容にしても作業ランクに基づいてその作業者にはできないことが警告としてブザー音や画面表示により確認されて作業者が所定の作業者と異なることによる作業ロスおよび作業ミスを未然に防ぐことができるようになっている。

データカードには、タグチップと呼ばれるメモリを搭載したＩＣチップおよびアンテナが埋め込まれており、「どのストッカのどの生産ワークであるカセット（ロット）をどの処理装置にマニュアル搬送して作業を行うか」を作業者が目で見て分かるようにカード表面に記載されている。データカードは、処理装置での入力ミスを回避するようにデータがＩＣチップ内に登録されてカードリーダ４により容易かつ確実に読み取りが可能であったり、バーコードで生産条件が表記されてバーコードデーダにより容易かつ確実に読み取りが可能であったりする。ＩＣチップ内の登録データは、例えば処理が必要なロットがどういうものでどのような処理が必要であるのかが分かるデータである。

生産ワークとしてのカセット（ロット）の作業指示情報は、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示されるかまたは、管理パーソナルコンピュータ２に接続されたデータカード付与装置によりデータカードの内容が書き換えられて表示される。

例えばオフライン装置などの処理装置の近傍に設けられた管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３とカードリーダ４にそれぞれ接続されている。管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に作業者毎の生産情報をアップロードし、アップロードした生産情報に基づいて、ホスト装置３は作業指示情報をそれに対応する管理パーソナルコンピュータ２にダウンロードする。要するに、管理パーソナルコンピュータ２は、処理開始／終了時に生産ロット情報（ロットＩＤ／フロー情報）が書き込まれた作業者のデータカードをカードリーダ４にタッチ（接触）するかまたは近づけることにより、そのデータカードの内容を読み取って管理パーソナルコンピュータ２を介してホスト装置３に送信する。ホスト装置３は、その送信されたデータカードの内容（生産ロット情報）に基づいて、各ロットの処理状況（進捗管理、正常処理のチェック）を把握し、そのロット進捗状況に合わせた作業指示、カセット（ロット）の取り出し指示、次工程の処理装置選定とその搬送指示を管理パーソナルコンピュータ３の表示画面に表示させると共に、ホスト装置３の図１３のデータベース３２に作業履歴を自動で収集する。

図１３は、図１２の生産管理システム１における管理パーソナルコンピュータ２とホスト装置３のソフト構成例を示すブロック図である。

図１３において、本実施形態１の生産管理システム１における管理パーソナルコンピュータ２は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）２１と、ＣＰＵ２１に対して入力指令を行うためのキーボード、マウス、タッチパネルおよびペン入力装置、さらには通信ネットワーク（例えばインターネットやイントラネット）を介して受信入力する入力装置２２と、表示画面上に、初期画面、選択場面、ＣＰＵ２１による制御結果画面および操作入力画面などを表示する表示部２３と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭ２４と、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ２１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭ２５とを有している。

本実施形態１の生産管理システム１におけるホスト装置３は、全体の制御を行う制御部としてのＣＰＵ（中央演算処理装置）３１と、制御プログラムおよびそのデータなどが記憶されたコンピュータ読み出し可能な可読記録媒体としてのＲＯＭおよび、起動時に制御プログラムおよびそのデータなどが読み出されて、ＣＰＵ３１による制御毎にデータを読み出し・記憶するワークメモリとして働く記憶部としてのＲＡＭの他、膨大な作業者情報および検証情報、作業者行動履歴情報、作業評価値更新情報、さらに膨大な生産情報を記憶するデータベース３２とを有している。

可読記録媒体としてのＲＯＭは、ハードディスクの他、携帯自在な光ディスク、光磁気ディスク、磁気ディスクおよびＩＣメモリなどで構成されていてもよい。この制御プログラムおよびそのデータなどがＲＯＭに記憶されるが、この制御プログラムおよびそのデータは、他の可読記録媒体から、または、無線、有線またはインターネットなどを介してＲＯＭにダウンロードされてもよい。

管理パーソナルコンピュータ２におけるＣＰＵ２１は、制御プログラムおよびそのデータに基づいて、カードリーダ４で読み取った作業者情報やロットＩＤとその工程内容をデータ入力させるデータ入力手段２１１と、データ入力手段２１１がデータ入力した作業者ＩＤなどの作業者情報に基づいて、作業者／時間検証、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証（照合）し、また、カードリーダ４で読み取ったロットＩＤとその工程内容を生産情報として正しいかどうかをフロー照合するフロー照合手段２１２と、フロー照合手段２１２が行った照合結果（または検証結果）および次の処理内容（処理レシピ）を表示画面上に表示する照合結果表示制御手段２１３と、ホスト装置３に作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードする作業者情報／検証情報転送手段２１４と、照合結果が作業指示として正しければ、ロットＩＤに対応したレシピ番号を発行するレシピ番号発行手段２１５と、そのロットＩＤに対する処理が終了したことをホスト装置３に通知する処理終了通知手段２１６と、処理履歴書込後、ホスト装置３にその処理装置の処理履歴データを転送する処理履歴転送手段２１７と、表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に「入庫ストッカ」または「次工程の処理装置」を表示させる次工程内容表示制御手段２１８とを有している。

照合結果表示制御手段２１３は、照合結果（検証結果）が作業者および規定時刻のうちの少なくともいずれかが正しくなければ、「警告」を表示すると共にブザー音を所定時間発し、その正しい作業者および遅れた時間のうちの少なくともいずれかを表示画面上に表示制御し、また、照合結果が作業指示として正しくなければ、「警告」のブザー音と表示を行って、その「搬送先」を表示画面上に表示制御するものである。

ホスト装置３におけるＣＰＵ３１は、制御プログラムおよびそのデータに基づいて、管理パーソナルコンピュータ２からの作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報を受けて、これらをデータベース３２に記録すると共に作業ポイントを更新する作業者情報／検証情報登録手段３１１と、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得手段３１２と、ホスト装置３に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する作業指示手段３１３と、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新する作業評価値更新手段３１４と、管理パーソナルコンピュータ２のロットＩＤに対応したレシピ番号の発行を受けて、レシピ番号に対応したレシピ（工程内容）をデータベース３２に登録するレシピ登録手段３１５と、レシピ登録手段３１５によるレシピ番号に対応したレシピ内容（工程内容）の登録後、処理装置に対して「処理開始」を、管理パーソナルコンピュータ２を介して指示する処理開始指示手段３１６と、処理終了通知を受けて、その処理装置の管理パーソナルコンピュータ２に対してその処理装置の処理履歴データを書き込むように指示する処理履歴書込指示手段３１７と、管理パーソナルコンピュータ２からの転送処理履歴データを受けてデータベース３２にその処理装置の処理履歴データを登録する処理履歴登録手段３１８と、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示を行う次工程内容表示指示手段３１９とを有している。

作業指示手段３１３は、ホスト装置３に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する以外に、工程内の作業者個人を特定できる固有端末装置を作業者毎に携帯させ、ホスト装置３から個々の固有端末装置に作業指示を行うようにしてもよい。

作業評価値更新手段３１４は、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新すると共に、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の作業評価値を表示するようにデータ転送する。

図１４は、各処理工程を作業者および各ロットが流動するイメージ図である。

図１４に示すように、各処理工程としては、洗浄工程、露光工程、エッチング工程、検査工程、ＣＶＤ工程および不純物イオン注入工程などがあるが、処理工程スタート時点の入退出ゲートおよび処理工程終了時点の入退出ゲート、洗浄工程、露光工程、ＣＶＤ工程および注入工程の各入退出ゲートにおいてそれぞれ作業者の入退出を作業者カードによりチェックして行う。

各入退出ゲートにおいて、入室または退室を目的として、作業者カードを入室用または退室用のカードリーダ４に作業者カードをタッチするかまたは接近させることにより、作業者が正しいかどうか、時間が正しいかどうか、遅れた場合にどの程度遅れたのかなどの検証時間に関して作業分析情報が得られる。作業処理の始めと終わり、移動した各地点での作業者本人であるかどうかやその時間情報が取得される。例えば作業者が今何処にいるかの作業者の居場所情報も取れるし、作業をしようとしている作業者が、作業をすべき正しい人かどうかも明確になる。また、このロットを何処に何時までに届けるのかという規定時間情報に対して規定時間内にそのロットが届けられたのかまたは遅れたのであればどの程度遅れたのかの情報が得られる。これは、ロットタグに対して作業者タグである。

作業者カードとして、作業者ＩＤ、担当エリア、作業スキルおよび作業履歴情報を付したカードが付与されており、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報をホスト装置３が各管理パーソナルコンピュータ２から収集されて作業者行動履歴情報が得られる。

ホスト装置３に収集された作業者別の作業者情報および検証情報の場所および時間情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する。また、工程内の作業者個人を特定できる固有端末装置を作業者毎に携帯させ、ホスト装置３から個々の固有端末装置に作業情報指示が行われる。

上記構成により、本実施形態の生産管理システム１を用いて作業者が生産処理をする場合の一例について説明する。

図１５は、図１２の生産管理システム１を用いて生産処理を行う場合の作業者の作業処理を含む生産管理システム１の動作例を示すフローチャートである。

まず、図１５に示すように、ステップＳ１で、作業者により、データカード付与装置５を構成するストッカ管理パーソナルコンピュータ５１が操作されて「カード出力情報」が選択される。作業者に対して、「カード出力情報」として、どのカセット（ロット）をどのストッカから取り出してどの処理装置にマニュアル搬送するかが指示される。ここではカセット（ロット）であるロット保管ボックス１９（試料箱）を対象としているが、これと共にまたはこれとは別に、複数のウエハ８２やチップ、モジュールなどが搭載されたトレイ８１であってもよい。

次に、ステップＳ２で、作業者は、ストッカ管理パーソナルコンピュータ５１を操作してデータカードプリンタ５２からデータカード５３をプリント出力する。

続いて、ステップＳ３で、作業者は、プリント出力されたデータカード５３の内容に応じてソースストッカ５４からその指示されたカセット（ロット）を出庫する。

その後、ステップＳ４で、作業者は、出庫したカセット（ロット）を所定の処理装置にマニュアル搬送する。

さらに、ステップＳ５で、作業者は、カードリーダ４にて作業者カードの内容（作業者ＩＤ、担当エリア、作業ランク（作業スキルおよび作業履歴情報）を読み取る。また、作業者は、マニュアル搬送したカセット（ロット）を装置ローダにセットすると共に、カードリーダ４にてデータカード５３の内容を読み取る。即ち、作業者が「カセットのセット」として、その処理装置にカセット（ロット）をセットする。その処理装置に設けられたカードリーダ４にデータカードを接近させることにより、「ロットＩＤ／工程読取」を行って、その処理装置で処理を行うロットＩＤとその工程内容を読み取りミスなく正確にカードリーダ４が読み取ることができる。

以上のステップＳ１〜Ｓ５は、ストッカ管理パーソナルコンピュータ５１およびデータカード５３により指示されたイベントを作業者が実行すると共に、カードリーダ４に作業者カードおよびデータカード５３の内容を読み取らせる作業者の作業である。

次に、ステップＳ６で、管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４で読み取った作業者ＩＤなどの作業者情報および、カードリーダ４で読み取った時点の時刻情報を、データ入力手段２１１がデータ入力した作業者情報および時刻情報に基づいて、フロー照合手段２１２が、作業者／時間のフロー照合、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証する。管理パーソナルコンピュータ２は、作業者が合っているかどうかおよび時間が合っているかどうかを判断するために、生産ワークの製造フローおよび処理装置の情報と作業者情報から、正しい作業者かどうかが検証され、また、ホスト装置３からダウンロードされた、流動する生産ワークの進度情報、例えば搬送指示が出された時刻から所定時間以内に到着するために、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかが検証される。さらに、照合結果表示制御手段２１３により、フロー照合手段２１２が行った照合結果（検証結果）が良ければその内容が管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示され、照合結果（検証結果）が不可であれば、「警告」を管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示すると共にブザー音を所定時間だけ発する。

さらに、ステップＳ７で、管理パーソナルコンピュータ２の作業者情報／検証情報転送手段２１４が、ホスト装置３に作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードし、ホスト装置３は、アップロードしたその作業者情報および検証結果を含む検証情報をデータベース３２に登録する。

続いて、ステップＳ８で、管理パーソナルコンピュータ２では、カードリーダ４で読み取ったその処理装置で処理を行うロットＩＤとその工程内容をデータ入力手段２１１がデータ入力し、フロー照合手段２１２が、その処理装置毎のフロー照合を行って、「カセット検証、レシピチェック」を行い、照合結果表示制御手段２１３がその照合結果および次の作業内容を表示部２３に表示する。即ち、その処理装置に設けられた管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４が読み取ったロットＩＤおよびその工程内容が作業指示として正しいかどうかを確認する。カードリーダ４が読み込んだロットＩＤおよびその工程内容（フロー）が正しければ、管理パーソナルコンピュータ２は、その表示画面上で作業者に対して受付確認を行う。即ち、そのロットＩＤおよびその工程内容が正しければ、受付確認として作業者が処理開始を処理装置に対して指示しても良いし、管理パーソナルコンピュータ２のレシピ番号発行手段２１５が、ロットＩＤに対応したレシピ番号を発行し、ステップＳ９で、ホスト装置３がそのロットＩＤに対応したレシピ番号を受け付けてカセット（ロット）およびレシピ（工程内容）をホスト装置３のレシピ登録手段３１５がデータベース３２に登録する。

ステップＳ１０で、ホスト装置３のレシピ登録手段３１５によるロットＩＤに対応したレシピ番号の登録後、処理開始指示手段３１６が処理装置に対して「処理開始」を自動で指示する。

ステップＳ１１で、フロー照合手段２１２が照合した結果として、そのロットＩＤおよびその工程内容が正しくなければ（否）、照合結果表示制御手段２１３が「警告」およびその「搬送先」をその管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示制御すると共にブザー音を発生させる。

以上のステップＳ８〜Ｓ１０は、管理パーソナルコンピュータ２およびホスト装置３が行う動作である。

次に、ステップＳ１１で、表示画面上に「警告」が発せられた場合には、作業者は、その処理装置からカセット（ロット）を取り外して、そのカセット（ロット）を正規の搬送先の処理装置にマニュアル搬送する。

さらに、ステップＳ１０で、処理開始指示手段３１６の「処理開始指示」によって処理装置が処理を開始し、一定時間後に処理装置はその処理を終了する。処理装置は、ステップＳ１２で、管理パーソナルコンピュータ２の処理終了通知手段２１６は、そのカセット（ロット）に対する処理が終了したことをホスト装置３に通知し、ホスト装置３の処理履歴書込指示手段３１７は、この処理終了通知を受けて、ステップＳ１３で、その処理装置の管理パーソナルコンピュータ２に対して処理履歴のデータを書き込むように指示し、管理パーソナルコンピュータ２の処理履歴転送手段２１７がホスト装置３にその処理装置の処理履歴データを転送する。ホスト装置３では、管理パーソナルコンピュータ２からの処理履歴データを受けて、ホスト装置３の処理履歴登録手段３１８がデータベース３２にその処理装置の処理履歴データを登録する。

さらに、ステップＳ１４で、ホスト装置３は、そのカセット（ロット）に対して処理が終了したかどうかを判断して、そのカセット（ロット）に対して処理が終了したならば（ＹＥＳ）、ホスト装置３の次工程内容表示指示手段３１９は、ステップＳ１５で、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示を行って、管理パーソナルコンピュータ２の次工程内容表示制御手段２１８は、その表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に「入庫ストッカ」を表示させる。この指示に従って、作業者は、そのカセット（ロット）を装置ローダから取り外して所定指示ストッカまで搬送し、そのカセット（ロット）を所定指示ストッカに入庫する。

また、ステップＳ１４で、そのカセット（ロット）に対して処理が終了していなければ（ＮＯ）、ホスト装置３の次工程内容表示指示手段３１９は、ステップＳ１６で、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示を行って、管理パーソナルコンピュータ２の次工程内容表示制御手段２１８は、その表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示すると共に、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に「次工程の処理装置」を表示させる。作業者は、カードリーダ４にて作業者カードの内容（作業者ＩＤ、担当エリア、作業ランク（作業スキルおよび作業履歴情報）を読み取らせる。その後、この指示に従って、作業者は、そのカセット（ロット）を装置ローダから取り外して次工程の処理装置まで搬送して、作業者はステップＳ５で、そのカセット（ロット）を装置ローダにセットすると共に、データカードおよび作業者カードをカードリーダ４に近づけてカードリーダ４がカード情報を読み取る。管理パーソナルコンピュータ２は、作業者が合っているかどうかおよび時間が合っているかどうかを判断するために、生産ワークの製造フローおよび処理装置の情報と作業者情報から、正しい作業者かどうかが検証され、また、ホスト装置３からダウンロードされた、流動する生産ワークの進度情報、例えば搬送指示が出された時刻から所定時間以内に到着するために、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかが検証される。

次のステップＳ１７で、管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４で読み取った作業者ＩＤなどの作業者情報および、カードリーダ４で読み取った時点の時刻情報を、データ入力手段２１１がデータ入力した作業者情報および時刻情報に基づいて、フロー照合手段２１２が、作業者／時間のフロー照合、即ち、正しい作業者かどうかおよび、期待した時刻通りかどうかまたはどの程度遅れたかを検証する。さらに、照合結果表示制御手段２１３により、フロー照合手段２１２が行った照合結果（検証結果）が良ければその内容が管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示され、次のステップＳ１８の処理に移行する。また、照合結果（検証結果）が不可であれば、次のステップＳ１１で、「警告」を管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に表示すると共にブザー音を所定時間だけ発音させる。

さらに、ステップＳ１８で、管理パーソナルコンピュータ２の作業者情報／検証情報転送手段２１４が、ホスト装置３に作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードし、ホスト装置３は、アップロードしたその作業者情報および検証結果を含む検証情報をデータベース３２に登録して、次のステップＳ４の処理に戻る。

以上のステップＳ１２〜Ｓ１８は、管理パーソナルコンピュータ２およびホスト装置３が行う動作である。

なお、作業者は、その処理装置の処理の間は他の仕事を行い、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面上に「カセットの取出」および「次工程への搬送」の指示が表示されれば、その処理装置から「カセットの取出」を行って、次工程にそのカセット（ロット）をマニュアル搬送をする。ここではカセット（ロット）であるロット保管ボックス１９（試料箱）を対象としているが、これと共にまたはこれに代えて、複数のウエハ８２やチップ、モジュールなどが搭載されたトレイ８１を用いることができる。

要するに、管理パーソナルコンピュータ２において、データ入力手段２１１が、カードリーダ４で読み取ったロットＩＤとその工程内容をデータ入力させるデータ入力工程と、フロー照合手段２１２が、入力されたロットＩＤとその工程内容を生産情報として正しいかどうかをフロー照合するフロー照合工程と、照合結果表示制御手段２１３が、フロー照合手段２１２が行った照合結果および次の作業内容を表示画面上に表示制御する照合結果表示制御工程と、作業者情報／検証情報転送手段２１４が、ホスト装置３に作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報をアップロードする作業者情報／検証情報転送工程と、照合結果が作業指示として正しければ、レシピ番号発行手段２１５が、ロットＩＤに対応したレシピ番号を発行するレシピ番号発行工程と、処理終了通知手段２１６が、ロットＩＤに対して処理装置の処理が終了したことをホスト装置３に通知する処理終了通知工程と、処理装置の処理履歴書込後、処理履歴転送手段２１７が、ホスト装置３に当該処理装置の処理履歴データを転送する処理履歴転送工程と、次工程内容表示制御手段２１８が、表示画面上に「カセットの取出」のメッセージを表示制御すると共に「入庫ストッカ」または「次工程の処理装置」を表示制御する次工程内容表示制御工程とを有している。

ホスト装置３において、作業者情報／検証情報登録手段３１１が、管理パーソナルコンピュータ２からの作業者ＩＤなどの作業者情報および検証結果を含む検証情報を受けて、これらをデータベース３２に記録すると共に作業ポイントを更新する作業者情報／検証情報登録工程と、作業者行動履歴情報取得手段３１２が、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する作業者行動履歴情報取得工程と、作業指示手段３１３が、ホスト装置３に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイに作業者毎の行き先を表示する作業指示工程と、作業評価値更新手段３１４が、作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新する作業評価値更新工程と、管理パーソナルコンピュータ２からのレシピ番号の発行を受けて、レシピ登録手段３１５が、レシピ番号に対応したレシピ内容をデータベースに登録するレシピ登録工程と、レシピ内容の登録後、処理開始指示手段３１６が、処理装置に対して「処理開始」を指示する処理開始指示工程と、処理終了通知を受けて、処理履歴書込指示手段３１７が、管理パーソナルコンピュータ２に対して処理履歴データを書き込むように指示する処理履歴書込指示工程と、処理履歴登録手段３１８が、管理パーソナルコンピュータ２からの転送処理履歴データを受けてデータベース３２に処理装置の処理履歴データを登録する処理履歴登録工程と、次工程内容表示指示手段３１９が、管理パーソナルコンピュータ２に次工程内容の表示指示する次工程内容表示指示工程とを有している。

以上は、ホスト装置３と作業者との作業インターフェースとしての管理パーソナルコンピュータ２およびカードリーダ４について説明してきたが、次は、処理装置としてオフライン装置がある生産ラインであっても、生産管理システム１による疑似的なオンライン管理を実現する管理パーソナルコンピュータ２の別の機能について次の図１６を用いて詳細に説明する。

以上の本実施形態１の生産管理システム１により、オペレータである作業者は予め決められたルートを決められた周期でマニュアル搬送で巡回することにより、作業者カードによる本人検証の他、時間的な作業遅れについて検証した後に、管理パーソナルコンピュータ２の表示画面またはデータカード（ＲＦ−ＩＤタグ）の作業指示用画面に表示される生産情報に従って、オフライン装置で自動的にロットを受け取れない処理装置であっても正確な作業処理とロット運搬・次工程処理を確実に行うことができる。これによって、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインにおいて、作業管理および省人化に向けたナビゲーションによる作業指示を行って作業の効率化および作業ミスの防止を確実に実現することができる。

ここで、本実施形態１の生産管理システム１において、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現するためのオフライン装置の装置状態管理について説明する。

図１６は、図１２の生産管理システム１におけるオフライン装置を含む複数の処理装置、その管理パーソナルコンピュータ２およびホスト装置３の配置図である。

図１６において、オフライン装置６には、処理装置が異常（アラーム）や稼働・非稼働（メンテナンス（強制停止）、処理可能、処理中、処理終了、処理待ち）などを確認可能なように点灯表示するシグナルタワー６１が設けられている。このオフライン装置６のシグナルタワー６１は、本来の目的である稼働・非稼働などの装置状態の検知に広く用いられている。この装置ステータス情報を含むシグナルタワー信号／警告信号（以下、単にシグナルタワー信号という）を読み取って、オフライン装置６を疑似的にオンライン化してオフライン装置６の装置状態をリアルタイムに情報入手することができる。このシグナルタワー６１と接続された信号線６２に、各種信号を読み取るデコーダ装置６３を設け、管理パーソナルコンピュータ２のオンライン通信可能な電子機器で読み取ることにより、オフライン装置６の装置本体を改造せずに、オフライン装置６の装置状態を、工程管理を行うホスト装置３に管理パーソナルコンピュータ２から装置状態情報を送信する。このオンライン処理装置であってもオフライン処理装置であっても、管理パーソナルコンピュータ２は処理装置毎に配置されている。

この生産管理システム１は、少なくともオフライン装置６を一または複数含む一または複数の処理装置に対して、ロットの処理フロー進捗管理機能を有したホスト装置３と、オフライン装置６に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号（アラーム信号を含む）を読み取って、オフライン装置６の装置状態情報（異常（アラーム）や稼働・非稼働状態情報；装置が空いているかどうかの情報）をホスト装置３に送信する各管理パーソナルコンピュータ２とを有しており、ホスト装置３は、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置の各装置状態情報（異常（アラーム）や稼働・非稼働状態情報；装置が空いているかどうかの情報）に基づいて、各管理パーソナルコンピュータ２を介してロットの作業指示情報を出力する。

この場合、ホスト装置３において、複数のオフライン装置６から同時に作業が必要な信号が検出されたとき、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などを総合的に判断してオフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２に作業指示情報を出力する。即ち、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置から同時に作業が必要な信号が検出されたときに、ホスト装置３は、ロットの処理優先順位、作業者現在地点などの生産条件を総合的に判断して、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置のそれぞれの各管理パーソナルコンピュータ２を介して作業指示情報を出力させる。また、オフライン装置６から読み取ったシグナルタワー信号に含まれる処理開始信号と、予め登録されたオフライン装置６のプロセス時間から処理終了時刻を予測して、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２に作業予約指示を出力する。ホスト装置３は、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置からそれぞれ読み取った処理開始信号と、予め登録されたプロセス時間とから処理終了時刻を予測して、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置のそれぞれの各管理パーソナルコンピュータ２を介して作業予約指示情報を出力させる。

この各管理パーソナルコンピュータ２を介したロットの作業指示情報は、各管理パーソナルコンピュータ２の表示部２３の表示画面上に、文章や絵柄などで表示出力したり、異常（アラーム）時などブザーなどによって音声出力したり、作業者に対して各種の指示出力が考えられる。

この生産管理システム１を用いた生産管理方法としては、オフライン装置６に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号（アラーム信号を含む）を読み取って、オフライン装置６の装置状態情報を管理パーソナルコンピュータ２がホスト装置３に転送し、ホスト装置３は、オフライン装置６の装置状態情報に基づいて、管理パーソナルコンピュータ２を介してオフライン装置のロットの作業指示情報を出力させる。即ち、本実施形態の生産管理方法は、オフライン装置６に付加されている装置稼働状況を点灯・非点灯で知らせるシグナルタワー信号（アラーム信号を含む）を読み取って、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置の装置状態情報を各管理パーソナルコンピュータ２がそれぞれホスト装置３に転送し、ホスト装置３は、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置の装置状態情報に基づいて、対応した各管理パーソナルコンピュータ２を介して、少なくともオフライン装置６を含む一または複数の処理装置のロットの作業指示情報を出力させる。この場合、管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に装置状態情報をアップロードし、アップロードした装置状態情報に基づいて、ホスト装置３はロットの作業指示情報をそれに対応する各管理パーソナルコンピュータ２にそれぞれダウンロードする。

オフライン装置の近傍に、ホスト装置３と通信ができる管理パーソナルコンピュータ２とこれに接続されるカードリーダ４（ＲＦ−ＩＤリーダ）とが設置され、処理開始／終了時に、作業者情報が書き込まれた作業者カードをカードリーダ４にタッチするかまたは近づけることにより、カードリーダ４から作業者カードの作業者情報および時間を管理パーソナルコンピュータ２に入力し、管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４からの作業者ＩＤを含む作業者情報に基づいて作業者／時間を検証し、管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に作業者ＩＤを含む作業者情報および検証情報をアップロードする。これによって、ホスト装置３が各ロットの処理状況（進捗管理、正常処理のチェック）を把握すると同時に、作業者毎にロット進捗に、作業遅延や取り出し遅延がないかを算出し、次の処理装置への搬送指示を、対応する管理パーソナルコンピュータ２やその他の作業指示用画面に表示する。

これによって、作業者ＩＤをＩＣタグに書き込むことにより、作業者の担当エリア、作業スキル、作業能力をシステム情報として生産管理システムで管理することができる。作業者は予め決められたルートを決められた周期で巡回することになり、管理パーソナルコンピュータ２の画面に表示される情報に従って、オフライン装置でも正確な処理とロット運搬・次工程処理を行うことができる。また、「作業者」毎の作業成果を作業者に見せることにより、作業者の作業スキル向上、作業意識向上、工程効率化を図ることができる。

また、ホスト装置３の作業者行動履歴情報取得手段３１２が、工程内の所定場所に設置したゲート通過情報を収集して作業者行動履歴情報を取得する。この作業者行動履歴情報を分析することにより工程内の作業者の更なる効率化に反映させることができる。また、ホスト装置３に収集された作業者別のゲート通過情報から得られる作業者行動履歴情報を用いて、ホスト装置３内の作業指示手段３１３が、工程内の作業者の動線上の所定場所に設置されたナビゲーションディスプレイ７に作業者毎の行き先を表示する。ナビゲーションディスプレイ７の大画面によって、作業者が常時作業者毎の最新情報を確認することにより、無駄なく効率よく流動し、次の作業の優先順位を常に確認することを可能となる。さらに、ホスト装置３の作業評価値更新手段３１４が、作業者毎の作業エリアの増減、作業種別の変更、作業スキルの向上、作業量の増減、検証結果の良否および遅れ時間の大小に基づいて作業評価値を集計して更新する。この作業評価値の更新をナビゲーションディスプレイ７の大画面に表示させて、複数の作業者の意欲を高めるための指標とすることができる。

以上によって、本実施形態１のオフライン装置を含む装置状態管理によれば、オフライン装置を含む複数の処理装置および入退室用ゲートのそれぞれに固有のＩＤが付された各管理パーソナルコンピュータ２と、各管理パーソナルコンピュータ２にそれぞれ接続され、複数の作業者に各々固有の作業者ＩＤを含む作業者情報を付した作業者カードの内容を読み取り可能とするカードリーダ４と、各管理パーソナルコンピュータ２と情報交換して工程を管理するホスト装置３とを備え、各管理パーソナルコンピュータ２は、カードリーダ４からの作業者ＩＤを含む作業者情報に基づいて作業者／時間を検証するフロー照合手段２１２と、各管理パーソナルコンピュータ２はホスト装置３に作業者ＩＤを含む作業者情報および作業者ＩＤを含む検証情報をアップロードする作業者情報／検証情報転送手段２１４とを有し、ホスト装置３は、アップロードした作業者ＩＤを含む作業者情報および検証結果を含む検証情報を登録する作業者情報／検証情報登録手段３１１を有している。

これによって、作業者ＩＤを含む作業者情報に基づいて作業者／時間を検証するため、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業者情報をオンライン管理して、作業者が異なることによる作業ロスおよび作業ミスの防止を低投資で行い、作業者情報を用いて省人化に向けたナビゲーション機能を低投資で行うことにより、オフライン装置がある生産ラインであっても疑似的なオンライン管理を効率よく実現することができる。

また、オフライン装置６の装置状態情報（稼働・非稼働状態情報）を含むシグナルタワー信号からリアルタイムに装置の稼働・非稼働状態を把握することにより、工程管理を行うホスト装置３は、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２の表示画面に仕掛りの生産ワーク（ロット）搬送／処理指示を的確に表示指示することができる。また、シグナルタワー６１の見えない位置にいる作業者に対しても、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２の表示画面への表示によって処理終了を確実に知らせることができる。これと同時に、作業に必要な信号が発生した場合に、工程管理を行うホスト装置３が優先順位を判断し、オフライン装置６毎の管理パーソナルコンピュータ２の表示画面への表示指示によって作業の優先順位を管理することができる。さらに、処理開始時刻から処理終了時刻を予測できるため、作業者へ先行（予定）作業指示が出せるなどの機能を組み込むことにより、作業者の作業効率を高めること（省人化）が可能となる。さらに、ホスト装置３は、オフライン装置６の装置稼働状況データの自動集計が可能となって、従来手集計されていた稼働率管理がリアルタイムでかつ正確に行えるようになって、ラインバランスなどの工程改善が可能となる。

以上のように、本発明の好ましい実施形態１を用いて本発明を例示してきたが、本発明は、この実施形態１に限定して解釈されるべきものではない。本発明は、特許請求の範囲によってのみその範囲が解釈されるべきであることが理解される。当業者は、本発明の具体的な好ましい実施形態１の記載から、本発明の記載および技術常識に基づいて等価な範囲を実施することができることが理解される。本明細書において引用した特許、特許出願および文献は、その内容自体が具体的に本明細書に記載されているのと同様にその内容が本明細書に対する参考として援用されるべきであることが理解される。

本発明は、例えばＬＳＩ製造工場の化合物半導体工場などへの再開発やマニュアル工場などにおいて、少なくともオフライン装置を含む一または複数の処理装置を用いて、発光ダイオード（ＬＥＤ）や半導体レーザ素子などの半導体発光素子などの半導体素子を製造する際の生産を管理する生産管理システムおよびこれを用いた生産管理方法、この生産管理方法をコンピュータに実行させるための処理手順が記述された制御プログラム、この制御プログラムが格納されたコンピュータ読み取り可能な可読記憶媒体の分野において、マニュアル搬送／オフライン装置がある生産ラインで、作業管理および省人化に向けたナビゲーションを行って作業の効率化および作業ミスの防止を実現することができる。

１１、１１Ａ 試料管理棚システム
１２、１２Ａ 処理前試料棚
１３、１３Ａ 処理前試料棚管理パーソナルコンピュータ
１３ａ、１４ａ、１６ａ ナビゲーション画面
１４ 装置管理パーソナルコンピュータ
１５、１５Ａ 処理後試料棚
１６、１６Ａ 処理後試料棚管理パーソナルコンピュータ
１７ ホストコンピュータ
１８ ＲＦ−ＩＤタグ
１９ ロット保管ボックス（試料箱；カセット）
２０ ＲＦ−ＩＤリーダ（試料箱ＩＤリーダ）
８１ トレイ
８２ トレイ
８３ ＲＦＩＤチップ
８１Ａ トレイ群
１０ 試料棚
１０ａ、１２ａ、１５ａ ゲート型ＲＦＩＤリーダ（トレイＩＤリーダ手段）
１３１、１７１、１７１Ａ ＣＰＵ（中央演算処理装置）
１３２ 入力装置
１３３ 表示部
１３４ ＲＯＭ
１３５ ＲＡＭ
１３６ トレイ認識情報提供手段
１７２ データベース
１７３、１７３Ａ 識別情報変化検知部
１７４ トレイ所在位置決定部
１７５ トレイ所在位置履歴記憶部
１３６Ａ 試料箱識別情報提供手段
１７４Ａ 試料箱所在位置決定部
１７５Ａ 試料箱所在位置履歴記憶部
１ 生産管理システム
２ 管理パーソナルコンピュータ
２１，３１ ＣＰＵ（中央演算処理装置）
２２ 入力装置
２３ 表示部
２４ ＲＯＭ
２５ ＲＡＭ
２１１ データ入力手段
２１２ フロー照合手段
２１３ 照合結果表示制御手段
２１４ 作業者情報／検証情報転送手段
２１５ レシピ番号発行手段
２１６ 処理終了通知手段
２１７ 処理履歴転送手段
２１８ 次工程内容表示制御手段
３ ホスト装置
３１１ 作業者情報／検証情報登録手段
３１２ 作業者行動履歴情報取得手段
３１３ 作業指示手段
３１４ 作業評価値更新手段
３１５ レシピ登録手段
３１６ 処理開始指示手段
３１７ 処理履歴書込指示手段
３１８ 処理履歴登録手段
３１９ 次工程内容表示指示手段
３２ データベース
４ カードリーダ
５ データカード付与装置
５１ ストッカ管理パーソナルコンピュータ
５２ データカードプリンタ
５３ データカード
５４ ソースストッカ
６ オフライン装置
６１ シグナルタワー
６２ 信号線
６３ デコーダ装置
７ ナビゲーションディスプレイ

Claims (5)

1. 置かれた試料容器の固有ＩＤの有無を検知する複数の試料棚と、該複数の試料棚にそれぞれ固有ＩＤが付与されて試料棚毎に該試料容器の固有ＩＤの有無を管理する各棚管理パーソナルコンピュータと、該各棚管理パーソナルコンピュータをそれぞれ介して該試料容器の所在位置情報を管理するホスト装置とを有する生産管理システム。
2. 前記試料棚は、前記試料容器の固有ＩＤを読み取るＩＤリーダ手段を具備し、該ＩＤリーダ手段で読み取った試料容器の固有ＩＤが、前記棚管理パーソナルコンピュータを介して前記ホスト装置に情報提供されて前記試料容器の所在位置情報が更新される請求項１に記載の生産管理システム。
3. 前記棚管理パーソナルコンピュータは、製造フローと処理装置情報、流動する生産試料の進度情報を保有しており、検出した前記試料容器の固有ＩＤから、次に当該試料容器内の生産試料が処理されるべき処理装置を判断し、該試料容器の搬送先を表示画面上に表示して作業者に指示する請求項２に記載の生産管理システム。
4. 前記ホスト装置は、
   前記ＩＤリーダ手段で読み取られた試料容器の固有ＩＤの有無情報を前記棚管理パーソナルコンピュータから提供されて該試料容器の固有ＩＤ情報の変化を検知する識別情報変化検知部と、
   該試料容器の固有ＩＤの有無を検知したときに、該試料容器の前回の所在位置情報に基づいて、該試料容器の現在の所在位置情報を決定する試料所在位置決定部と、
   該所在位置決定部で決定した該試料容器の現在の所在位置情報を所在位置履歴情報として更新して記憶する所在位置履歴記憶部とを有する請求項２または３に記載の生産管理システム。
5. 請求項４に記載の生産管理システムを用いた生産管理方法であって、
   前記ホスト装置は、
   前記識別情報変化検知部が、前記ＩＤリーダ手段で読み取られた試料容器の固有ＩＤの有無情報を前記棚管理パーソナルコンピュータから提供されて該試料容器の固有ＩＤ情報の変化を検知する識別情報変化検知ステップと、
   前記試料所在位置決定部が、該試料容器の固有ＩＤの有無を検知したときに、該試料容器の前回の所在位置情報に基づいて、該試料容器の現在の所在位置情報を決定する試料所在位置決定ステップと、
   前記所在位置履歴記憶部が、該所在位置決定部で決定した該試料容器の現在の所在位置情報を所在位置履歴情報として更新して記憶する所在位置履歴記憶ステップとを有する生産管理方法。