JP2023122827A - 搬送システムおよび搬送方法 - Google Patents

Abstract

【課題】物品の効率的な搬送が実現可能な搬送方法を提供する。【解決手段】搬送方法は、搬送対象の物品の品種を識別する品種識別情報を取得するステップと、複数の装置の各々に設置された器具の種類を識別する器具識別情報を取得するステップと、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具の種類を特定するステップと、複数の装置のうち、特定した種類の器具が設置された装置を対象装置として選択するステップと、搬送ロボットに対して、搬送対象の物品を対象装置に搬送する搬送指示を出力するステップと、を備える。【選択図】図１

Description

本開示は、搬送システムおよび搬送方法に関する。

近年、多品種少量生産の要求が増えている。多品種少量生産の現場では、段取り替えなどの人による作業の頻度が多く、省人化が難しい。特開２０１２－１３４２６０号公報（特許文献１）は、人の作業の効率化を図るために、オフライン装置のシグナルタワー信号を読み取ることにより得られる装置状態情報に基づいて、オフライン装置のロットの作業指示情報を出力するシステムを開示している。

特開２０１２－１３４２６０号公報

多品種少量生産の現場に設置される装置の一部は、物品の品種に応じた器具を用いる必要がある。作業者は、装置に設置された器具を確認しながら、物品の品種に応じた器具が設置された装置に当該物品を適切に搬送しなければならない。その結果、搬送に要する時間が長くなる。

本開示は、上記の問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、物品の効率的な搬送が実現可能な搬送システムおよび搬送方法を提供することである。

本開示の一例によれば、搬送システムは、物品に対して所定の処理が実施される複数の装置と、搬送ロボットと、指示部と、を備える。前記複数の装置の各々には、複数種類の器具から任意に選択される種類の器具が設置される。前記複数の装置の各々において、設置された前記器具を用いて前記所定の処理が実施される。前記指示部は、第１取得部と、第２取得部と、特定部と、選択部と、第１出力部と、を含む。第１取得部は、搬送対象の物品の品種を識別する第１識別情報を取得する。第２取得部は、前記複数の装置の各々に設置された前記器具の種類を識別する第２識別情報を取得する。特定部は、物品の品種と当該品種の物品に対して前記所定の処理を実施するための器具の種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、前記第１識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具の種類を特定する。選択部は、前記第２識別情報を用いて、前記複数の装置のうち、特定した種類の器具が設置された装置を対象装置として選択する。第１出力部は、前記搬送ロボットに対して、前記搬送対象の物品を前記対象装置に搬送する搬送指示を出力する。

この開示によれば、搬送対象の物品は、搬送ロボットによって、当該物品の品種に応じた種類の器具が設置された対象装置に搬送される。これにより、作業者による搬送の手間が削減される。その結果、物品の効率的な搬送が実現可能となる。

上述の開示において、搬送ロボットは、自律走行ロボットと、自律走行ロボットに搭載され、物品の受け渡しを行なう第１機構と、自律走行ロボットおよび第１機構を制御する制御部と、を含む。制御部は、搬送指示に応じて、以下の処理（ａ）～（ｄ）を実行する。
処理（ａ）：搬送対象の物品の回収場所に応じた第１目標位置姿勢に自律走行ロボットを移動させる。
処理（ｂ）：自律走行ロボットが第１目標位置姿勢に到達した後に、第１機構に搬送対象の物品を回収する第１回収動作を実行させる。
処理（ｃ）：第１回収動作の完了後に、対象装置に応じた第２目標位置姿勢に自律走行ロボットを移動させる。
処理（ｄ）：自律走行ロボットが第２目標位置姿勢に到達した後に、第１機構に搬送対象の物品を対象装置に配布する第１配布動作を実行させる。

この開示によれば、物品を各装置に搬送するためのベルトコンベア、レールなどを設置する必要がなく、搬送システムの立ち上げ時間を短縮できる。

上述の開示において、搬送システムは、複数の物品を保管可能な保管庫をさらに備える。保管庫は、指定された物品を出庫する第２機構を有する。第１目標位置姿勢は、保管庫から出庫された物品の場所に応じて定められる。指示部は、搬送対象の物品の出庫指示を保管庫に出力する第２出力部をさらに含む。

この開示によれば、搬送ロボットは、保管庫から出庫された搬送対象の物品を回収し、対象装置に搬送できる。その結果、保管庫から対象装置までの物品の搬送のための作業者の雇用人数を抑えることができる。

上述の開示において、搬送システムは、複数の物品を載置可能な棚をさらに備える。棚は、複数の載置部と、複数の載置部の各々と載置されている物品の品種とを対応付けた管理情報を管理する第１管理部と、を有する。第１目標位置姿勢は、複数の載置部のうち第１識別情報によって識別される品種の物品が置かれている対象載置部に応じて定められる。対象載置部は、管理情報に基づいて、複数の載置部の中から特定される。

この開示によれば、搬送ロボットは、棚に載置された搬送対象の物品を回収し、対象装置に搬送できる。その結果、棚から対象装置までの物品の搬送のための作業者の雇用人数を抑えることができる。

上述の開示において、搬送ロボットは、複数の物品を保管可能な保管庫をさらに備える。保管庫は、保管している各物品の品種を管理する第２管理部と、指定された物品を出庫する第２機構と、を有する。棚は、複数の載置部の各々について、物品が載置されている第１状態と物品が載置されていない第２状態とのいずれであるかを検知する検知部をさらに有する。第１管理部は、第２機構が指定された物品の出庫を完了した後、複数の載置部のうち最初に第２状態から第１状態に変化した載置部と指定された物品の品種とが対応するように管理情報を更新する。

この開示によれば、第１管理部は、保管庫から棚に移載された物品の品種を正確に管理できる。その結果、搬送ロボットは、搬送対象の物品を棚から対象装置に搬送できる。

上述の開示において、搬送システムは、保管庫から出庫された物品を複数の載置部のうち第２状態である１つの載置部に移動させる第３機構をさらに備える。

この開示によれば、保管庫から出庫された物品を棚に移動させるための作業者の雇用が不要となる。

上述の開示において、制御部は、自律走行ロボットが第２目標位置姿勢に到達した後であり、第１機構に第１配布動作を実行させる前に、第１機構に、対象装置に置かれている所定の処理が実施された物品を回収させる第２回収動作を実行させる。制御部は、第１配布動作の完了後に、所定の処理が実施された物品の配布場所に応じた第３目標位置姿勢に自律走行ロボットを移動させる。制御部は、自律走行ロボットが第３目標位置姿勢に到達した後に、所定の処理が実施された物品を配布場所に配布する第２配布動作を第１機構に実行させる。

この開示によれば、装置からの所定の処理が実施された物品の回収と、装置への物品の配布とが同じタイミングで実行される。その結果、効率的に物品を搬送できる。

上述の開示において、搬送システムは、生産計画に従って、搬送対象の物品に対する所定の処理の実施命令を指示部に出力するサーバをさらに備える。サーバは、第２識別情報に基づいて、複数の装置における器具の交換頻度を下げるように生産計画を修正する。この開示によれば、作業者による装置の器具の交換作業の頻度が下がる。

上述の開示において、複数の装置の各々は、移動可能である。第２目標位置姿勢は、対象装置の位置姿勢に応じて定められる。

この開示によれば、複数の装置の移動後の位置姿勢に応じて第２目標位置姿勢が定められるため、搬送ロボットは、搬送対象の物品を対象装置に搬送できる。

上述の開示において、複数の装置の各々は、予め定められた位置に設けられるマークを有する。搬送ロボットは、カメラをさらに含む。制御部は、自律走行ロボットが第２目標位置姿勢に到達した後のカメラの撮像により得られた画像に基づいて、マークの位置を計算し、計算されたマークの位置と基準位置との差分だけ、第１配布動作を補正する。

この開示によれば、自律走行ロボットおよび対象装置の停止精度の影響により対象装置に対する第１機構の位置ずれが生じたとしても、第１機構は、物品を対象装置に配布できる。

上述の開示において、複数の装置の各々は、予め定められた位置に設けられる特徴物を有する。搬送ロボットは、特徴物の位置を検知するセンサをさらに含む。制御部は、自律走行ロボットが第２目標位置姿勢に到達したときにセンサによって検知された位置と基準位置との差分だけ、自律走行ロボットの位置姿勢を調整する。

この開示によれば、自律走行ロボットおよび対象装置の停止精度の影響により対象装置に対する第１機構の位置ずれが生じたとしても、第１機構は、物品を対象装置に配布できる。

例えば、物品は、生産物を構成する部品である。器具は、前記部品を収容するためのトレーである。装置において、トレーに収容された部品を用いて生産物が組み立てられる。

あるいは、器具は、物品を固定するための治具である。装置は、治具によって固定された物品の性能を評価する。

あるいは、物品は、苗である。器具は、苗を植え付けるための植え付け爪である。装置は、植え付け爪を用いて苗を植え付ける。

本開示の一例によれば、搬送システムにおける搬送方法は、第１～第５ステップを備える。搬送システムは、物品に対して所定の処理が実施される複数の装置と、搬送ロボットと、を備える。複数の装置の各々には、複数種類の器具から任意に選択される種類の器具が設置される。複数の装置の各々において、設置された器具を用いて所定の処理が実施される。第１ステップは、搬送対象の物品の品種を識別する第１識別情報を取得するステップである。第２ステップは、複数の装置の各々に設置された器具の種類を識別する第２識別情報を取得するステップである。第３ステップは、物品の品種と当該品種の物品に対して所定の処理を実施するための器具の種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、第１識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具の種類を特定するステップである。第４ステップは、第２識別情報を用いて、複数の装置のうち、特定した種類の器具が設置された装置を対象装置として選択するステップである。第５ステップは、搬送ロボットに対して、搬送対象の物品を対象装置に搬送する搬送指示を出力するステップである。この開示によっても、物品の効率的な搬送が実現可能となる。

本開示によれば、物品の効率的な搬送が実現可能となる。

実施の形態に係る搬送システムの適用例を示す図である。 実施の形態の具体例１に係る搬送システムを示す図である。 一般的な半導体ウェハの検査の流れを示すフローチャートである。 図１および図２に示す指示サーバのハードウェア構成の一例を示す模式図である。 図１および図２に示す搬送ロボットのハードウェア構成の一例を示す模式図である。 図２に示す指示サーバおよび搬送ロボットの機能構成の一例を示す模式図である。 保管データベースの一例を示す図である。 関連付け情報の一例を示す図である。 指示サーバの処理の流れを示すフローチャートである。 検査装置の処理の流れを示すフローチャートである。 保管庫の処理の流れを示すフローチャートである。 搬送ロボットの処理の流れを示すフローチャートである。 変形例１における保管庫の周囲を示す図である。 変形例１に係る搬送システムが備える指示サーバおよび仮置き棚の機能構成の一例を示す模式図である。 載置データベースの一例を示す図である。 変形例２における保管庫の周囲を示す図である。 変形例２に係る搬送システムが備える指示サーバ、仮置き棚および移載ロボットの機能構成の一例を示す模式図である。 変形例３に係る搬送ロボットのハードウェア構成を示す模式図である。 変形例３に係る搬送システムの指示サーバおよび搬送ロボットの機能構成を示す模式図である。 変形例４に係る搬送システムを示す模式図である。 変形例５に係る搬送システムの構成を示す模式図である。 変形例５に係る自律走行ロボットのハードウェア構成の一例を示す模式図である。 変形例５に係る搬送システムの指示サーバおよび検査装置の機能構成を示す模式図である。 実施の形態の具体例２に係る搬送システムを示す図である。 図２４に示す搬送システムの機能構成の一例を示す模式図である。 実施の形態の具体例３に係る搬送システムを示す図である。 図２６に示す搬送システムの機能構成の一例を示す模式図である。 実施の形態の具体例４に係る搬送システムを示す図である。 図２８に示す搬送システムの機能構成の一例を示す模式図である。

本発明の実施の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、図中の同一または相当部分については、同一符号を付してその説明は繰返さない。以下で説明される各変形例は、適宜選択的に組み合わされてもよい。

§１ 適用例
図１は、実施の形態に係る搬送システムの適用例を示す図である。図１に示されるように、搬送システム１は、指示サーバ１００と、１以上の搬送ロボット２００と、複数の装置３００と、保管庫６００と、端末８００と、を備える。

保管庫６００は、複数の物品５を保管可能である。保管庫６００は、複数の収容空間６５を有する。複数の収容空間６５の各々に物品５が保管される。保管庫６００は、入庫される物品５または出庫された物品５が載置される台６４を有する。

装置３００において、物品５に対して所定の処理が実施される。所定の処理には、加工、検査、組み立て、評価、校正、植え付けなど様々な処理が含まれ得る。

装置３００には、複数種類の器具３５０から任意に選択される種類の器具３５０が設置される。器具３５０は、作業者Ｍにより装置３００に設置される。装置３００において、設置されている器具３５０を用いて、物品５に対する所定の処理が実施される。

搬送ロボット２００は、物品５を搬送する。搬送ロボット２００は、自律走行ロボット２１０と、自律走行ロボット２１０に搭載され、物品５の受け渡しを行なう機構と、を含む。図１に示す搬送ロボットは、当該機構として、垂直多関節ロボットによって構成されたマニピュレータ２２０を含む。なお、当該機構は、垂直多関節ロボットによって構成されたマニピュレータ２２０に限定されず、水平多関節ロボット、搬送ベルト、平行リンク機構、昇降機構、重力を動力源とするカラクリ機構などを含み得る。

指示サーバ１００は、装置３００への物品５の搬送に関する処理を実行する。具体的には、指示サーバ１００は、外部からの命令に応じて、保管庫６００から搬送対象となる物品５を出庫させる。その後、指示サーバ１００は、台６４に載置された物品５を装置３００に搬送する搬送指示を搬送ロボット２００に送信する。これにより、搬送ロボット２００は、搬送指示に応じて、台６４に載置された物品５を装置３００に搬送する。

さらに、指示サーバ１００は、必要に応じて、作業者Ｍが携帯している端末８００に対して、器具３５０の交換を指示してもよい。これにより、作業者Ｍは、指示に応じて、装置３００に設置される器具３５０を交換する。端末８００は、例えば、スマートフォン、タブレットである。

物品５の品種に応じて、使用される器具３５０の種類が異なる。そのため、搬送対象となる物品５は、当該物品５の品種に応じた器具３５０が設置された装置３００に搬送される必要がある。そのため、指示サーバ１００は、ステップ（１）～（５）の処理を実行する。

まず、指示サーバ１００は、搬送対象の物品５の品種を識別する品種識別情報を取得する（ステップ（１））。

次に、指示サーバ１００は、複数の装置３００の各々に設置された器具３５０の種類を識別する器具識別情報を取得する（ステップ（２））。

次に、指示サーバ１００は、物品の品種と当該品種の物品に対して所定の処理を実施するための器具の種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具３５０の種類を特定する（ステップ（３））。すなわち、指示サーバ１００は、搬送対象の物品５に対応する器具３５０を特定する。

次に、指示サーバ１００は、器具識別情報を用いて、複数の装置３００のうち、特定した種類の器具３５０が設置された装置３００を対象装置として選択する（ステップ（４））。

指示サーバ１００は、搬送ロボット２００に対して、搬送対象の物品５を対象装置に搬送する指示（搬送指示）を出力する（ステップ（５））。

本実施の形態によれば、搬送ロボット２００によって、搬送対象の物品５は、当該物品５の品種に応じた種類の器具３５０が設置された装置３００に搬送される。これにより、従来のような作業者による搬送の手間が削減される。その結果、物品５の効率的な搬送が実現可能となる。

§２ 具体例１
＜具体例１の概要＞
図２は、実施の形態の具体例１に係る搬送システムを示す図である。図２に示されるように、具体例１に係る搬送システム１Ａは、搬送対象の物品５として、半導体ウェハセット５Ａを搬送する。半導体ウェハセット５Ａは、同一品種の複数枚の半導体ウェハ６ａと、当該複数枚の半導体ウェハを保持するカセット６ｂとを含む。なお、半導体ウェハセット５Ａは、装置３００が正常稼働しているかチェックするためのダミーウェハを半導体ウェハ６ａとして含んでもよい。搬送システム１Ａは、複数の装置３００として、複数の検査装置３００Ａを備える。検査装置３００Ａには、器具３５０として、プローブカード３５０Ａが設置される。さらに、搬送システム１Ａは、指示サーバ１００と通信可能に接続されるＭＥＳ（Manufacturing Execution System（製造実行システム））サーバ７００を備える。

検査装置３００Ａは、プローバとも呼ばれ、プローブカード３５０Ａを用いて、半導体ウェハセット５Ａの各半導体ウェハ６ａ内の電気回路の電気的特性を検査する。検査装置３００Ａには、複数種類のプローブカード３５０Ａから任意に選択される種類のプローブカード３５０Ａが着脱可能である。プローブカード３５０Ａは、作業者Ｍにより検査装置３００Ａの保持部材に装着される。

ＭＥＳサーバ７００は、半導体ウェハの製造を管理する。具体例１では、ＭＥＳサーバ７００は、予め作成された生産計画に従って、半導体ウェハセット５Ａの検査命令を指示サーバ１００に出力する。

指示サーバ１００は、検査装置３００Ａへの半導体ウェハセット５Ａの搬送に関する処理を実行する。

具体的には、指示サーバ１００は、ＭＥＳサーバ７００からの検査命令に応じて、保管庫６００から搬送対象となる半導体ウェハセット５Ａを出庫させる。その後、指示サーバ１００は、台６４に載置された半導体ウェハセット５Ａを検査装置３００Ａに搬送する搬送指示を搬送ロボット２００に送信する。これにより、搬送ロボット２００は、搬送指示に応じて、台６４に載置された半導体ウェハセット５Ａを検査装置３００Ａに搬送する。検査装置３００Ａは、装着されているプローブカード３５０Ａを用いて、搬送された半導体ウェハセット５Ａを検査する。

半導体ウェハセット５Ａの品種に応じて、半導体ウェハ６ａが有する端子電極の数および配置が異なる。そのため、半導体ウェハセット５Ａの品種ごとに、専用のプローブカード３５０Ａが必要となる。すなわち、搬送対象となる半導体ウェハセット５Ａは、品種に応じたプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａに搬送される必要がある。そのため、指示サーバ１００は、ステップ（１Ａ）～（５Ａ）の処理を実行する。

まず、指示サーバ１００は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報を取得する（ステップ（１Ａ））。

次に、指示サーバ１００は、複数の検査装置３００Ａの各々に装着されたプローブカード３５０Ａの種類を識別する器具識別情報を取得する（ステップ（２Ａ））。

次に、指示サーバ１００は、半導体ウェハセット５Ａの品種と当該品種の半導体ウェハセット５Ａを検査するためのプローブカード３５０Ａの種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられたプローブカード３５０Ａの種類を特定する（ステップ（３Ａ））。すなわち、指示サーバ１００は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａに対応するプローブカード３５０Ａを特定する。

次に、指示サーバ１００は、器具識別情報を用いて、複数の検査装置３００Ａのうち、特定した種類のプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａを対象検査装置として選択する（ステップ（４Ａ））。

指示サーバ１００は、搬送ロボット２００に対して、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａを対象検査装置に搬送する指示（搬送指示）を出力する（ステップ（５Ａ））。

具体例１によれば、搬送ロボット２００によって、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａは、当該半導体ウェハセット５Ａの品種に応じた種類のプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａに搬送される。これにより、従来の作業者による搬送の手間が削減される。その結果、半導体ウェハセット５Ａの効率的な搬送が実現可能となる。

＜半導体ウェハの検査の流れ＞
図３は、一般的な半導体ウェハの検査の流れを示すフローチャートである。まず、プローブカードが検査装置まで搬送される（ステップＳ１）。その後、検査装置において、プローブカードの交換が実施される（ステップＳ２）。通常、プローブカードの交換には、数分間かかる。

次に、半導体ウェハセットが保管庫から検査装置まで搬送される（ステップＳ３）。その後、半導体ウェハセットが検査装置にセットされる（ステップＳ４）。

次に、検査装置において、半導体ウェハセットのうち１枚目の半導体ウェハの電気的特性が検査される（ステップＳ５）。通常、ステップＳ５の実行には、数十分間かかる。

１枚目の半導体ウェハの電気的特性の検査が完了した後、当該１枚目の半導体ウェハの外観が確認される（ステップＳ６）。半導体ウェハの外観は、目視により、または顕微鏡を用いて確認される。

１枚目の半導体ウェハの外観に問題がなければ、２枚目以降の半導体ウェハの電気的特性が検査される（ステップＳ７）。通常、ステップＳ７の実行には、数時間から十数時間かかる。

２枚目以降の半導体ウェハの電気的特性の検査が完了した後、当該２枚目以降の半導体ウェハの外観が確認される（ステップＳ８）。

その後、半導体ウェハセットは、保管庫に搬送され、保管庫で保管される（ステップＳ９）。半導体ウェハセットは、元の保管庫に保管されてもよいし、別の保管庫に保管されてもよい。

多品種少量生産の現場では、従来、ステップＳ１～Ｓ４，Ｓ６，Ｓ８，Ｓ９の主体は作業者であった。そのため、作業者の負担が大きく、生産効率が低下する。具体例１では、指示サーバ１００および搬送ロボット２００がステップＳ３，Ｓ４を実行する。これにより、作業者の手間が低減される。なお、指示サーバ１００および搬送ロボット２００は、ステップＳ３，Ｓ４に加えて、ステップＳ９を実行してもよい。

＜指示サーバのハードウェア構成＞
図４は、図１および図２に示す指示サーバのハードウェア構成の一例を示す模式図である。指示サーバ１００は、典型的には、汎用的なコンピュータアーキテクチャに従う構造を有する。

図４に示されるように、指示サーバ１００は、プロセッサ１０１と、メモリ１０２と、ストレージ１０３と、通信インターフェイス１０４と、無線通信インターフェイス１０５とを含む。

プロセッサ１０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）、ＭＰＵ（Micro Processing Unit）などで構成される。メモリ１０２は、例えば、ＤＲＡＭ（Dynamic Random Access Memory）やＳＲＡＭ（Static Random Access Memory）などの揮発性記憶装置などで構成される。ストレージ１０３は、例えば、ＳＳＤ（Solid State Drive）やＨＤＤ（Hard Disk Drive）などの不揮発性記憶装置などで構成される。プロセッサ１０１は、ストレージ１０３に格納されたプログラムをメモリに展開して実行することで、本実施の形態に従う各種処理を実現する。

ストレージ１０３には、搬送ロボットによる搬送を指示するための搬送指示プログラム１３１と、各種のデータベース群１３２とが格納される。

通信インターフェイス１０４は、通信ケーブルを介して、外部デバイス（ＭＥＳサーバ７００、装置３００、検査装置３００Ａを含む）との間でデータをやり取りする。無線通信インターフェイス１０５は、無線通信を用いて、外部デバイス（搬送ロボット２００、端末８００を含む）との間でデータをやり取りする。なお、指示サーバ１００とＭＥＳサーバ７００とは無線によって通信接続されてもよい。この場合、無線通信インターフェイス１０５は、ＭＥＳサーバ７００との間でデータをやり取りする。

上述のような汎用的なコンピュータアーキテクチャに従う構造を有するコンピュータを利用する場合には、本実施の形態に係る機能を提供するためのアプリケーションに加えて、コンピュータの基本的な機能を提供するためのＯＳ（Operating System）がインストールされていてもよい。この場合には、本実施の形態に係るプログラムは、ＯＳの一部として提供されるプログラムモジュールのうち、必要なモジュールを所定の順序およびタイミングで呼出して処理を実行するものであってもよい。すなわち、本実施の形態に係るプログラム自体は、上記のようなモジュールを含んでおらず、ＯＳと協働して処理が実行される場合もある。また、代替的に、搬送指示プログラム１３１の実行により提供される機能の一部もしくは全部を専用のハードウェア回路として実装してもよい。

＜搬送ロボットのハードウェア構成＞
図５は、図１および図２に示す搬送ロボットのハードウェア構成の一例を示す模式図である。図５に示されるように、搬送ロボット２００は、プロセッサ２０１と、メモリ２０２と、ストレージ２０３と、自律走行ロボット２１０と、マニピュレータ２２０と、在荷センサ２０４と、ラック２０５と、無線通信インターフェイス２０６と、を備える。自律走行ロボット２１０は、位置姿勢センサ２１１と、駆動部２１２と、少なくとも２つの車輪２１３と、を有する。

プロセッサ２０１は、ＣＰＵ、ＭＰＵなどで構成される。メモリ２０２は、例えば、ＤＲＡＭやＳＲＡＭなどの揮発性記憶装置などで構成される。ストレージ２０３は、例えば、ＳＳＤやＨＤＤなどの不揮発性記憶装置などで構成される。プロセッサ２０１は、ストレージ２０３に格納されたプログラムをメモリに展開して実行することで、本実施の形態に従う各種処理を実現する。

ストレージ２０３には、自律走行ロボット２１０を制御するための走行制御プログラム２３１と、マニピュレータ２２０を制御するためのマニピュレータ制御プログラム２３２と、走行制御プログラム２３１およびマニピュレータ制御プログラム２３２の実行タイミングを決定するための統合制御プログラム２３３と、教示データベース２３４とが格納される。

教示データベース２３４は、半導体ウェハセット５Ａをピックアンドプレースするための、マニピュレータ２２０の各駆動軸の駆動手順を示す教示データを含む。

位置姿勢センサ２１１は、公知の技術を用いて、自律走行ロボット２１０の位置姿勢を計測する。例えば、位置姿勢センサ２１１には、Lidar(Light Detection And Ranging)での周辺環境計測結果による自己位置推定手法、ＧＰＳ、ビーコン測位手法、方位センサなどが適用され得る。

駆動部２１２は、プロセッサ２０１によって生成された操作量に応じて、少なくとも２つの車輪２１３を駆動する。少なくとも２つの車輪２１３が同じ速度で駆動されることにより、自律走行ロボット２１０は、進行または後退する。少なくとも２つの車輪２１３が異なる速度で駆動されることにより、自律走行ロボット２１０は旋回する。なお、プロセッサ２０１は、車輪２１３の向きを変更することにより、自律走行ロボット２１０を旋回させてもよい。

マニピュレータ２２０は、上述したように垂直多関節ロボットであり、複数の駆動軸を有する。マニピュレータ２２０は、複数の駆動軸を駆動することにより、様々な姿勢を取り得る。マニピュレータ２２０は、プロセッサ２０１によって生成された操作量に従って、複数の駆動軸を駆動する。

ラック２０５には、半導体ウェハセット５Ａが載せられる。在荷センサ２０４は、ラック２０５に半導体ウェハセット５Ａが存在するか否かを検知する。在荷センサ２０４は、例えば、リミットスイッチ、近接スイッチ、イメージセンサ、光電センサなどによって構成される。

無線通信インターフェイス２０６は、無線通信を用いて、外部デバイス（指示サーバ１００を含む）との間でデータをやり取りする。

なお、走行制御プログラム２３１、マニピュレータ制御プログラム２３２および統合制御プログラム２３３の実行により提供される機能の一部もしくは全部を専用のハードウェア回路として実装してもよい。

＜機能構成＞
図６は、図２に示す指示サーバおよび搬送ロボットの機能構成の一例を示す模式図である。なお、図６には、検査装置３００Ａ、保管庫６００およびＭＥＳサーバ７００の内部構成についても示される。

（検査装置）
検査装置３００Ａは、器具装着機構３１Ａと、器具管理部３２Ａと、検査部３３Ａと、通信部３４Ａと、を備える。

器具装着機構３１Ａは、プローブカード３５０Ａを保持するとともに、検査部３３Ａとプローブカード３５０Ａとを電気的に接続する。

器具管理部３２Ａは、器具装着機構３１Ａによって保持されているプローブカード３５０Ａの種類を識別する器具識別情報を管理する。器具管理部３２Ａは、例えば、プローブカード３５０Ａに付されたコード（二次元コードまたはバーコード）を読み込むことにより、器具識別情報を取得する。この場合、プローブカード３５０Ａに付されたコードは、当該プローブカード３５０Ａの種類を示す。あるいは、器具管理部３２Ａは、プローブカード３５０Ａに付されたＲＦＩＤ（Radio Frequency Identifier）タグを読み込むことにより、器具識別情報を取得してもよい。あるいは、器具管理部３２Ａは、プローブカード３５０Ａの電気回路と電気的に接続し、当該電気回路に電圧を印加することにより得られる信号に基づいて、器具識別情報を取得してもよい。

検査部３３Ａは、プローブカード３５０Ａを用いて、図示しない保持部材に保持されている半導体ウェハセット５Ａの電気的特性を検査する。検査部３３Ａは、検査状況を示す状況情報を生成する。状況情報は、投入されている半導体ウェハセット５Ａの検査中であるか、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中であるかのいずれかを示す情報を含む。

通信部３４Ａは、指示サーバ１００からの要求に応じて、器具管理部３２Ａが管理する最新の器具識別情報と検査部３３Ａによって生成された最新の状況情報とを指示サーバ１００に送信する。なお、通信部３４Ａは、検査装置３００Ａがメンテナンス等の非稼働中である場合、指示サーバ１００からの要求に応答しない。もしくは、通信部３４Ａは、メンテナンス中である旨を指示サーバ１００に通知する。

（保管庫）
保管庫６００は、保管データベース６１と、入出庫機構６２と、コントローラ６３と、を備える。

図７は、保管データベースの一例を示す図である。図７に示されるように、保管データベース６１は、テーブル形式を有する。保管データベース６１は、保管庫６００の複数の収容空間６５（図１参照）の各々に対応するレコード６１ａを有する。レコード６１ａは、フィールド６１ｂ，６１ｃを有する。フィールド６１ｂには、対応する収容空間６５を識別する収容空間ＩＤが記述される。フィールド６１ｃには、対応する収容空間６５に保管されている半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が記述される。

入出庫機構６２は、複数の収容空間６５のうち指定された収容空間６５から台６４に半導体ウェハセット５Ａを出庫する出庫動作と、台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａを指定された収容空間６５に入庫する入庫動作とを行なう。

コントローラ６３は、入出庫機構６２を制御するとともに、保管データベース６１を管理する。

具体的には、コントローラ６３は、指示サーバ１００から出庫指示を受け付ける。また、コントローラ６３は、指示サーバ１００または図示しない操作パネルから入庫指示を受け付ける。出庫指示および入庫指示には、半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が付される。

出庫指示を受け付けたことに応じて、コントローラ６３は、保管データベース６１から、出庫指示に付された品種識別情報がフィールド６１ｃに記述されたレコード６１ａを特定する。コントローラ６３は、特定したレコード６１ａのフィールド６１ｂに記述された収容空間ＩＤによって識別される収容空間６５から台６４に半導体ウェハセット５Ａを出庫させるように、入出庫機構６２を制御する。コントローラ６３は、入出庫機構６２による出庫動作が完了すると、保管データベース６１において、特定したレコード６１ａのフィールド６１ｃを「null」に更新する。さらに、コントローラ６３は、出庫完了を指示サーバ１００に報告する。

入庫指示を受け付けたことに応じて、コントローラ６３は、保管データベース６１から、フィールド６１ｃに「null」が記述されている１つのレコード６１ａを特定する。コントローラ６３は、特定したレコード６１ａのフィールド６１ｂに記述された収容空間ＩＤによって識別される収容空間６５に半導体ウェハセット５Ａを入庫させるように、入出庫機構６２を制御する。コントローラ６３は、入出庫機構６２による入庫動作が完了すると、保管データベース６１において、特定したレコード６１ａのフィールド６１ｃを、入庫指示に付された品種識別情報に更新する。

このようにして、コントローラ６３は、保管している各半導体ウェハセット５Ａの品種を示す保管データベース６１を管理する。

（ＭＥＳサーバ）
ＭＥＳサーバ７００は、生産計画データベース７１と、命令部７２と、を備える。生産計画データベース７１は、半導体ウェハの生産計画を示す。命令部７２は、生産計画データベース７１に基づいて、半導体ウェハの製造に関する命令を指示サーバ１００に出力する。製造に関する命令には、検査命令が含まれる。検査命令には、検査対象となる半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が付される。

（搬送ロボット）
搬送ロボット２００は、通信部２１と、統合制御部２２と、走行制御部２３と、上物制御部２４と、教示データベース２３４と、を備える。通信部２１は、図５に示す無線通信インターフェイスによって実現される。統合制御部２２は、プロセッサ２０１が統合制御プログラム２３３を実行することにより実現される。走行制御部２３は、プロセッサ２０１が走行制御プログラム２３１を実行することにより実現される。上物制御部２４は、プロセッサ２０１がマニピュレータ制御プログラム２３２を実行することにより実現される。

教示データベース２３４は、マニピュレータ２２０の各駆動軸の駆動手順を示す、第１教示データおよび第２教示データを含む。第１教示データは、保管庫６００の台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａをピッキングして、ラック２０５にプレースするための駆動手順を示す。第２教示データは、ラック２０５に置かれた半導体ウェハセット５Ａをピッキングして、検査装置３００Ａの保持部材にプレースするための駆動手順を示す。

通信部２１は、指示サーバ１００から搬送指示を受け付ける。搬送指示には、自律走行ロボット２１０が取るべき第１目標位置姿勢を示す第１目標データと、自律走行ロボット２１０が取るべき第２目標位置姿勢を示す第２目標データとが付される。通信部２１は、受け付けた搬送指示を統合制御部２２に出力する。

通信部２１は、統合制御部２２から搬送完了信号を受けたことに応じて、指示サーバ１００に搬送完了を報告する。

走行制御部２３は、統合制御部２２から受けた走行指示に従って、駆動部２１２（図４参照）に出力する操作量を計算する。走行指示は、目標位置姿勢へ移動するための指示である。走行制御部２３は、位置姿勢センサ２１１（図４参照）によって計測された現在位置姿勢が目標位置姿勢に到達したことに応じて、駆動部２１２の動作を停止させるとともに、目標位置姿勢への到着を統合制御部２２に報告する。

上物制御部２４は、統合制御部２２から受ける動作の開始指示に応じて、マニピュレータ２２０の各駆動軸の操作量を計算し、操作量をマニピュレータ２２０に出力する。統合制御部２２から受ける動作の開始指示には、半導体ウェハセット５Ａを外部からラック２０５に回収する回収動作の開始指示と、ラック２０５の半導体ウェハセット５Ａを外部に配布する配布動作の開始指示と、が含まれる。回収動作の開始指示および配布動作の開始指示には、教示データが付される。

上物制御部２４は、回収動作の開始指示を受けたことに応じて、回収動作の開始指示に付された教示データに基づいて、制御周期ごとに各駆動軸の操作量を計算する。上物制御部２４は、回収動作が完了したことに応じて、回収動作の完了を統合制御部２２に報告する。

上物制御部２４は、配布動作の開始指示を受けたことに応じて、配布動作の開始指示に付された教示データに基づいて、制御周期ごとに各駆動軸の操作量を計算する。上物制御部２４は、配布動作が完了したことに応じて、配布動作の完了を統合制御部２２に報告する。

統合制御部２２は、通信部２１が受けた搬送指示に応じて、以下の処理（ａ）～（ｅ）を順に実行する。

処理（ａ）：統合制御部２２は、搬送指示に付された第１目標データによって示される第１目標位置姿勢へ移動するための走行指示を走行制御部２３に出力する。

処理（ｂ）：統合制御部２２は、第１目標位置姿勢への到着の報告を走行制御部２３から受けたことに応じて、教示データベース２３４から第１教示データを読み出し、第１教示データが付された回収動作の開始指示を上物制御部２４に出力する。

処理（ｃ）：統合制御部２２は、回収動作の完了の報告を上物制御部２４から受けたことに応じて、搬送指示に付された第２目標データによって示される第２目標位置姿勢へ移動するための走行指示を走行制御部２３に出力する。

処理（ｄ）：統合制御部２２は、第２目標位置姿勢への到着の報告を走行制御部２３から受けたことに応じて、教示データベース２３４から第２教示データを読み出し、第２教示データが付された配布動作の開始指示を上物制御部２４に出力する。

処理（ｅ）：統合制御部２２は、配布動作の完了の報告を上物制御部２４から受けたことに応じて、搬送完了信号を通信部２１に出力する。

なお、統合制御部２２は、処理（ｅ）の後、自律走行ロボット２１０を停止させたまま、次の搬送指示を受け付けるまで待機してもよい。もしくは、統合制御部２２は、搬送ロボット２００のホームポジションを目標位置姿勢として決定し、目標位置姿勢へ移動するための走行指示を走行制御部２３に出力してもよい。そして、統合制御部２２は、自律走行ロボット２１０がホームポジションに到達した後、次の搬送指示を受け付けるまで待機してもよい。搬送ロボット２００のホームポジションは、予め定められる。

（指示サーバ）
指示サーバ１００は、第１取得部１１と、第２取得部１２と、制御部１３と、自動搬送指示部１４と、出庫指示部１５と、器具交換指示部１６と、位置データベース１３２ａと、関連付け情報１３２ｂと、を備える。第１取得部１１、第２取得部１２および出庫指示部１５は、通信インターフェイス１０４によって実現される。制御部１３は、プロセッサ１０１が搬送指示プログラム１３１を実行することにより実現される。自動搬送指示部１４および器具交換指示部１６は、無線通信インターフェイス１０５によって実現される。

位置データベース１３２ａは、第１位置姿勢データと、複数の検査装置３００Ａの各々に対応付けられた第２位置姿勢データとを含む。第１位置姿勢データは、マニピュレータ２２０が保管庫６００の台６４上の空間にアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を示す。第２位置姿勢データは、対応する検査装置３００Ａの保持部材にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を示す。

図８は、関連付け情報の一例を示す図である。図８に示されるように、関連付け情報１３２ｂは、半導体ウェハセット５Ａの品種と当該品種の半導体ウェハセット５Ａを検査するためのプローブカード３５０Ａの種類とを関連付けた情報であり、予め作成される。

第１取得部１１は、ＭＥＳサーバ７００から検査命令を受け付ける。上述したように、検査命令には、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が付される。そのため、第１取得部１１は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報を取得する。

第２取得部１２は、複数の検査装置３００Ａに対して情報を要求し、複数の検査装置３００Ａの各々について、当該検査装置３００Ａに装着されたプローブカード３５０Ａの種類を識別する器具識別情報と検査状況を示す状況情報とを取得する。第２取得部１２は、制御部１３からの要求指示に応じて、複数の検査装置３００Ａに対して情報を要求する。

自動搬送指示部１４は、搬送ロボット２００に対して搬送指示を出力する。搬送指示には、制御部１３によって決定された第１目標データおよび第２目標データが付加される。自動搬送指示部１４は、第１目標データおよび第２目標データを制御部１３から受けたことに応じて、当該第１目標データおよび第２目標データが付加された搬送指示を生成し、生成した搬送指示を搬送ロボット２００に出力する。

出庫指示部１５は、保管庫６００に対して出庫指示を出力する。出庫指示には、出庫の対象となる半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が付される。出庫指示部１５は、品種識別情報を制御部１３から受けたことに応じて、当該品種識別情報が付加された出庫指示を生成し、生成した出庫指示を保管庫６００に出力する。

器具交換指示部１６は、装置ＩＤおよび器具識別情報を制御部１３から受けたことに応じて、端末８００に対して器具交換指示を出力する。器具交換指示は、制御部１３から受けた装置ＩＤによって識別される検査装置３００Ａに装着されているプローブカード３５０Ａを、制御部１３から受けた器具識別情報によって識別される種類のプローブカード３５０Ａに交換する指示である。

制御部１３は、第１取得部１１が検査命令を受け付けたことに応じて、第２取得部１２、自動搬送指示部１４、出庫指示部１５、および器具交換指示部１６の動作を制御する。

制御部１３は、第１取得部１１が検査命令を受け付けたことに応じて、第２取得部１２に対して要求指示を出力する。これにより、第２取得部１２は、複数の検査装置３００Ａの各々について、器具識別情報および状況情報を取得する。

制御部１３は、検査命令に付された品種識別情報と第２取得部１２によって取得された各検査装置３００Ａの器具識別情報および状況情報とを用いた処理を実行するブロックとして、特定部１３３と選択部１３４とを含む。

特定部１３３は、関連付け情報１３２ｂを用いて、検査命令に付された品種識別情報によって識別される品種の半導体ウェハセット５Ａに関連付けられたプローブカード３５０Ａの種類を特定する。

選択部１３４は、第２取得部１２によって取得された状況情報を用いて、複数の検査装置３００Ａのうち、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である検査装置３００Ａを抽出する。そして、選択部１３４は、第２取得部１２によって取得された器具識別情報を用いて、抽出された検査装置３００Ａのうち、特定された種類のプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａを対象検査装置として選択する。

選択部１３４の処理結果として、対象検査装置が選択できた第１パターン以外に、以下の第２パターンおよび第３パターンが存在する。
第２パターン：次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である検査装置３００Ａの全てにおいて、特定された種類とは異なる種類のプローブカード３５０Ａが装着されている。
第３パターン：次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である検査装置３００Ａが存在しない（全ての検査装置３００Ａが検査中である）。
制御部１３は、第１～第３パターンの各々に対して、以下のような処理を実行する。

（i）第１パターン
処理結果が第１パターンの場合、制御部１３は、検査命令に付された品種識別情報を出庫指示部１５に出力する。これにより、出庫指示部１５は、当該品種識別情報が付加された出庫指示を保管庫６００に出力する。その結果、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａが台６４の上に出庫される。

制御部１３は、保管庫６００から出庫完了の報告を受けると、位置データベース１３２ａから、第１位置姿勢データと、対象検査装置に対応付けられた第２位置姿勢データとを読み出す。制御部１３は、読み出した第１位置姿勢データおよび第２位置姿勢データを第１目標データおよび第２目標データとしてそれぞれ決定し、決定した第１目標データおよび第２目標データを自動搬送指示部１４に出力する。これにより、自動搬送指示部１４は、当該第１目標データおよび第２目標データが付された搬送指示を搬送ロボット２００に出力する。その結果、搬送ロボット２００は、第１位置姿勢データによって示される位置姿勢（つまり、マニピュレータ２２０が台６４にアクセスするときの位置姿勢）まで移動し、台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａをラック２０５に回収する。そして、搬送ロボット２００は、第２位置姿勢データによって示される位置姿勢（つまり、マニピュレータ２２０が対象検査装置の保持部材にアクセスするときの位置姿勢）まで移動し、ラック２０５に置かれた半導体ウェハセット５Ａを対象検査装置の保持部材に配布する。

（ii）第２パターン
処理結果が第２パターンの場合、制御部１３は、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である１つの検査装置３００Ａを任意に選択する。制御部１３は、選択した検査装置３００Ａを識別する装置ＩＤと、特定部１３３によって特定されたプローブカード３５０Ａの種類を識別する器具識別情報とを器具交換指示部１６に出力する。

これにより、器具交換指示部１６は、装置ＩＤによって識別される検査装置３００Ａに装着されているプローブカード３５０Ａを、器具識別情報によって識別される種類のプローブカード３５０Ａに交換する器具交換指示を端末８００に出力する。その結果、端末８００を確認した作業者Ｍは、指示された検査装置３００Ａまで出向いて、装着されているプローブカード３５０Ａを指示された種類のプローブカード３５０Ａに交換する。

さらに、制御部１３は、周期的に、要求指示を第２取得部１２に出力する。これにより、第２取得部１２は、プローブカード３５０Ａの交換が完了した検査装置３００Ａから、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中であることを示す状況情報と、新たに装着されたプローブカード３５０Ａの種類を識別する器具識別情報と、を取得する。新たに装着されたプローブカード３５０Ａの種類は、特定部１３３によって特定された種類と一致する。その結果、選択部１３４は対象検査装置を選択できる。

（iii）第３パターン
処理結果が第３パターンの場合、制御部１３は、周期的に、要求指示を第２取得部１２に出力する。これにより、処理結果が第１パターンまたは第２パターンになるまで、第２取得部１２は、周期的に、複数の検査装置３００Ａの各々から器具識別情報および状況情報を取得する。

＜搬送システムにおける処理の流れ＞
（指示サーバ）
図９は、指示サーバの処理の流れを示すフローチャートである。まず、指示サーバ１００のプロセッサ１０１は、ＭＥＳサーバ７００から検査命令を受信する（ステップＳ２１）。検査命令には、搬送対象（検査対象）の半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が付される。そのため、ステップＳ２１において、プロセッサ１０１は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報を取得する。

次に、プロセッサ１０１は、関連付け情報１３２ｂを用いて、検査命令に付された品種識別情報によって識別される品種に関連付けられたプローブカード３５０Ａの種類を特定する（ステップＳ２２）。

次に、プロセッサ１０１は、各検査装置３００Ａに対して情報を要求し、各検査装置３００Ａから器具識別情報および状況情報を取得する（ステップＳ２３）。

プロセッサ１０１は、各検査装置３００Ａから取得した器具識別情報および状況情報を用いて、特定された種類のプローブカード３５０Ａが装着され、かつ、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である検査装置３００Ａが有るか否かを判断する（ステップＳ２４）。

ステップＳ２４でＮＯの場合、プロセッサ１０１は、特定された種類とは別の種類のプローブカード３５０Ａが装着され、かつ、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である検査装置３００Ａが有るか否かを判断する（ステップＳ２５）。

ステップＳ２５でＹＥＳの場合、プロセッサ１０１は、器具交換指示を作業者Ｍの端末８００に出力する（ステップＳ２６）。器具交換指示は、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である１つの検査装置３００Ａに装着されているプローブカード３５０Ａを、ステップＳ２２において特定された種類のプローブカード３５０Ａに交換する指示である。

ステップＳ２５でＮＯの場合、および、ステップＳ２６の後、処理はステップＳ２３に戻る。

ステップＳ２４でＹＥＳの場合、プロセッサ１０１は、ステップＳ２２において特定された種類のプローブカード３５０Ａが装着され、かつ、次の半導体ウェハセット５Ａの投入の待機中である検査装置３００Ａを対象検査装置として選択する（ステップＳ２７）。

次に、プロセッサ１０１は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの出庫指示を保管庫６００に出力する（ステップＳ２８）。具体的には、プロセッサ１０１は、検査命令に付された品種識別情報が付加された出庫指示を保管庫６００に出力する。

次に、プロセッサ１０１は、出庫完了の報告を保管庫６００から受信したか否かを判断する（ステップＳ２９）。ステップＳ２９でＮＯの場合、処理は、ステップＳ２９に戻る。

ステップＳ２９でＹＥＳの場合、プロセッサ１０１は、台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａを回収して、ステップＳ２７において選択した対象検査装置へ半導体ウェハセット５Ａを配布するための搬送指示を搬送ロボット２００に出力する（ステップＳ３０）。

次に、プロセッサ１０１は、搬送完了の報告を搬送ロボット２００から受信したか否かを判断する（ステップＳ３１）。ステップＳ３１でＮＯの場合、処理は、ステップＳ３１に戻る。ステップＳ３１でＹＥＳの場合、プロセッサ１０１は、搬送完了をＭＥＳサーバ７００に報告する（ステップＳ３２）。ステップＳ３２の後、処理は終了する。

（検査装置）
図１０は、検査装置の処理の流れを示すフローチャートである。まず、検査装置３００Ａは、指示サーバ１００から情報の要求を受信したか否かを判断する（ステップＳ４１）。情報の要求を受信していない場合（ステップＳ４１でＮＯ）、処理は、ステップＳ４１に戻る。

情報の要求を受信した場合（ステップＳ４１でＹＥＳ）、検査装置３００Ａは、最新の器具識別情報および最新の状況情報を指示サーバ１００に送信する（ステップＳ４２）。ステップＳ４２の後、処理は終了する。

（保管庫）
図１１は、保管庫の処理の流れを示すフローチャートである。まず、保管庫６００のコントローラ６３は、指示サーバ１００から出庫指示を受信したか否かを判断する（ステップＳ５１）。出庫指示を受信していない場合（ステップＳ５１でＮＯ）、処理は、ステップＳ５１に戻る。

出庫指示を受信した場合（ステップＳ５１でＹＥＳ）。コントローラ６３は、図７に示す保管データベース６１を用いて、出庫指示に付された品種識別情報によって識別される品種に対応する収容空間６５を特定する（ステップＳ５２）。すなわち、コントローラ６３は、出庫指示に付された品種識別情報によって識別される品種の半導体ウェハセット５Ａが保管されている収容空間６５を特定する。

次に、コントローラ６３は、入出庫機構６２を制御して、ステップＳ５２で特定した収容空間６５から台６４に半導体ウェハセット５Ａを出庫する（ステップＳ５３）。

次に、コントローラ６３は、保管データベース６１において、半導体ウェハセット５Ａが出庫された収容空間６５に対応するレコード６１ａのフィールド６１ｃを「null」に更新する（ステップＳ５４）。

次に、コントローラ６３は、出庫完了を指示サーバ１００に報告する（ステップＳ５５）。ステップＳ５５の後、処理は終了する。

（搬送ロボット）
図１２は、搬送ロボットの処理の流れを示すフローチャートである。まず、搬送ロボット２００のプロセッサ２０１は、搬送指示を受信したか否かを判断する（ステップＳ６１）。搬送指示には、第１目標データと第２目標データとが付される。搬送指示を受信していない場合（ステップＳ６１でＮＯ）、処理は、ステップＳ６１に戻る。

搬送指示を受信した場合（ステップＳ６１でＹＥＳ）、プロセッサ２０１は、第１目標データによって示される第１目標位置姿勢へ移動するように、自律走行ロボット２１０を制御する（ステップＳ６２）。

次に、プロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０の位置姿勢が第１目標位置姿勢に到達したか否かを判断する（ステップＳ６３）。ステップＳ６３でＮＯの場合、処理は，ステップＳ６２に戻る。

ステップＳ６３でＹＥＳの場合、プロセッサ２０１は、半導体ウェハセット５Ａの回収動作を実行するようにマニピュレータ２２０を制御する（ステップＳ６４）。

次に、プロセッサ２０１は、半導体ウェハセット５Ａの回収動作が完了したか否かを判断する（ステップＳ６５）。ステップＳ６５でＮＯの場合、処理は，ステップＳ６４に戻る。

ステップＳ６５でＹＥＳの場合、プロセッサ２０１は、第２目標データによって示される第２目標位置姿勢へ移動するように、自律走行ロボット２１０を制御する（ステップＳ６６）。

次に、プロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０の位置姿勢が第２目標位置姿勢に到達したか否かを判断する（ステップＳ６７）。ステップＳ６７でＮＯの場合、処理は，ステップＳ６６に戻る。

ステップＳ６７でＹＥＳの場合、プロセッサ２０１は、半導体ウェハセット５Ａの配布動作を実行するようにマニピュレータ２２０を制御する（ステップＳ６８）。

次に、プロセッサ２０１は、半導体ウェハセット５Ａの配布動作が完了したか否かを判断する（ステップＳ６９）。ステップＳ６９でＮＯの場合、処理は，ステップＳ６８に戻る。

ステップＳ６９でＹＥＳの場合、プロセッサ２０１は、搬送完了を指示サーバ１００に報告する（ステップＳ７０）。なお、ステップＳ７０において、プロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０をホームポジションに移動させてもよい。ステップＳ７０の後、処理は終了する。

＜利点＞
以上のように、具体例１に係る搬送システム１Ａは、半導体ウェハセット５Ａに対して所定の処理（検査）を行なう複数の検査装置３００Ａと、搬送ロボット２００と、指示サーバ１００と、を備える。指示サーバ１００は、第１取得部１１と、第２取得部１２と、特定部１３３と、選択部１３４と、自動搬送指示部１４と、を備える。第１取得部１１は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報を取得する。第２取得部１２は、複数の検査装置３００Ａの各々に装着されたプローブカード３５０Ａの種類を識別する器具識別情報を取得する。特定部１３３は、関連付け情報１３２ｂを用いて、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられたプローブカード３５０Ａの種類を特定する。関連付け情報１３２ｂは、半導体ウェハセット５Ａの品種と当該品種の半導体ウェハセット５Ａに対して所定の処理（検査）を実施するためのプローブカード３５０Ａの種類とを関連付ける。選択部１３４は、器具識別情報を用いて、複数の検査装置３００Ａのうち、特定した種類のプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａを対象検査装置として選択する。自動搬送指示部１４は、搬送ロボット２００に対して、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａを対象検査装置に搬送する搬送指示を出力する。

これにより、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａは、搬送ロボット２００によって、当該半導体ウェハセット５Ａの品種に応じた種類のプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａに搬送される。これにより、従来の作業者によるマニュアル搬送の手間が削減される。その結果、半導体ウェハセット５Ａの効率的な搬送が実現可能となる。

また、半導体ウェハの生産現場では、多数の検査装置３００Ａが配置される。そのため、検査装置３００Ａに対するプローブカード３５０Ａの装着が作業者Ｍによって実行される場合、人的ミスによって、指定された検査装置３００Ａとは異なる検査装置３００Ａにプローブカード３５０Ａを装着してしまうことがある。このような人的ミスが発生したとしても、選択部１３４は、各検査装置３００Ａから取得した器具識別情報を用いて、多数の検査装置３００Ａのうち、特定した種類のプローブカード３５０Ａが装着された検査装置３００Ａを対象検査装置として選択できる。その結果、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａが、適合しない種類のプローブカード３５０Ａの装着された検査装置３００Ａに搬送されることを防止できる。

さらに、第２取得部１２が各検査装置３００Ａから器具識別情報を取得するため、作業者Ｍは、検査装置３００Ａへのプローブカード３５０Ａの装着完了を指示サーバ１００に入力する必要がない。そのため、作業者Ｍのプローブカード３５０Ａの装着作業の手間が削減される。

従来の半導体ウェハの生産現場では、検査装置への半導体ウェハの搬送時間を考慮して、検査装置へのプローブカードの装着を完了させる必要がある。検査装置へのプローブカードの装着時間は、作業者の熟練度や器具交換指示に気づいた時点の所在位置によって変動し得る。しかしながら、具体例１の搬送システム１Ａは、搬送ロボット２００による搬送時間、プローブカード３５０Ａの装着時間のばらつきに依存しない。そのため、搬送時間および装着時間に応じて、搬送システム１Ａの運用方法を変更する必要がない。

搬送ロボット２００は、自律走行ロボット２１０と、自律走行ロボット２１０に搭載され、半導体ウェハセット５Ａの受け渡しを行なうマニピュレータ２２０と、自律走行ロボット２１０およびマニピュレータ２２０を制御するプロセッサ２０１（統合制御部２２、走行制御部２３および上物制御部２４）と、を含む。プロセッサ２０１は、搬送指示に応じて、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの回収場所に応じた第１目標位置姿勢に自律走行ロボット２１０を移動させる（処理（ａ））。プロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０が第１目標位置姿勢に到達した後に、マニピュレータ２２０に搬送対象の半導体ウェハセット５Ａを回収する回収動作を実行させる（処理（ｂ））。プロセッサ２０１は、回収動作の完了後に、対象検査装置に応じた第２目標位置姿勢に自律走行ロボット２１０を移動させる（処理（ｃ））。プロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０が第２目標位置姿勢に到達した後に、マニピュレータ２２０に搬送対象の半導体ウェハセット５Ａを対象検査装置に配布する配布動作を実行させる（処理（ｄ））。

これにより、半導体ウェハセット５Ａを各検査装置３００Ａに搬送するためのベルトコンベア、レールなどを設置する必要がなく、生産現場の立ち上げ時間を短縮できる。

搬送システム１Ａは、複数の半導体ウェハセット５Ａを保管可能な保管庫６００をさらに備える。保管庫６００は、指定された半導体ウェハセット５Ａを出庫する入出庫機構６２を有する。第１目標位置姿勢は、保管庫６００から出庫された半導体ウェハセット５Ａの場所である台６４に応じて定められる。指示サーバ１００は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの出庫指示を保管庫６００に出力する出庫指示部１５をさらに含む。

これにより、搬送ロボット２００は、保管庫６００から出庫され、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａを台６４から回収し、対象検査装置に搬送できる。その結果、保管庫６００から対象検査装置までの半導体ウェハセット５Ａの搬送のための作業者の雇用人数を抑えることができる。

＜変形例１＞
搬送ロボット２００および保管庫６００の仕様によって、搬送ロボット２００のマニピュレータ２２０が保管庫６００の台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａにアクセスできない場合が有り得る。変形例１は、このような場合に対応する形態である。

図１３は、変形例１における保管庫の周囲を示す図である。図１３に示されるように、変形例１に係る搬送システム１Ａ＿１は、保管庫６００の他に、搬送ロボット２００のマニピュレータ２２０がアクセス可能な載置部を有する仮置き棚５００を備える。作業者Ｍ１は、保管庫６００の台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａを、仮置き棚５００の載置部に置く。

図１４は、変形例１に係る搬送システムが備える指示サーバおよび仮置き棚の機能構成の一例を示す模式図である。変形例１に係る搬送システム１Ａ＿１は、図５に示す搬送システム１と比較して、指示サーバ１００の代わりに指示サーバ１００＿１を備え、かつ、仮置き棚５００を備える点で相違する。なお、変形例１に係る搬送システム１Ａ＿１は、搬送システム１Ａと同様にＭＥＳサーバ７００、搬送ロボット２００、複数の検査装置３００Ａおよび端末８００を備えるが、図１３ではこれらの図示を省略している。

保管庫６００のコントローラ６３は、上記の機能に加えて、以下の機能を有する。すなわち、コントローラ６３は、入出庫機構６２によって台６４に半導体ウェハセット５Ａが出庫されると、台６４に半導体ウェハセット５Ａが出庫されたことを示す出庫情報を仮置き棚５００に出力する。出庫情報には、出庫された半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が付される。

仮置き棚５００は、載置部５１ａ～５１ｃと、検知部５２ａ～５２ｃと、載置データベース管理部５３と、出庫情報取得部５４と、載置データベース５５と、を備える。

出庫情報取得部５４は、保管庫６００から出庫情報を取得する。載置部５１ａ～５１ｃの各々には、作業者Ｍ１によって半導体ウェハセット５Ａが載置される。

検知部５２ａ～５２ｃは、載置部５１ａ～５１ｃについて、半導体ウェハセット５Ａの載置の有無を示す信号をそれぞれ出力する。具体的には、検知部５２ａ～５２ｃの各々は、対応する載置部に半導体ウェハセット５Ａが載置されている第１状態と、対応する載置部に半導体ウェハセット５Ａが載置されていない第２状態とのいずれかを示す信号を出力する。検知部５２ａ～５２ｃは、例えば、リミットスイッチ、イメージセンサ、光電センサによって構成される。

図１５は、載置データベースの一例を示す図である。図１４に示されるように、載置データベース５５は、テーブル形式であり、載置部５１ａ～５１ｃの各々に対応するレコード５５ａを有する。レコード５５ａは、対応する載置部を識別する載置部ＩＤが記述されるフィールド５５ｂと、対応する載置部に置かれている半導体ウェハセット５Ａの品種を識別する品種識別情報が記述されるフィールド５５ｃと、を含む。

載置データベース管理部５３は、出庫情報取得部５４によって取得された出庫情報および検知部５２ａ～５２ｃからの信号に基づいて、載置データベース５５を更新する。

具体的には、載置データベース管理部５３は、検知部５２ａ～５２ｃの出力信号に基づいて、載置部５１ａ～５１ｃのうち、出庫情報取得部５４が出庫情報を取得してから最初に第２状態から第１状態に変化した載置部を特定する。具体的には、載置データベース管理部５３は、出庫情報取得部５４が出庫情報を取得してから最初に出力信号が第２状態から第１状態に切り替わった検知部に対応する載置部の載置部ＩＤが記述されたレコード５５ａを抽出する。載置データベース管理部５３は、抽出したレコード５５ａのフィールド５５ｃに、出庫情報に付された品種識別情報を記述する。

さらに、載置データベース管理部５３は、検知部５２ａ～５２ｃの出力信号を常時監視する。載置データベース管理部５３は、検知部５２ａ～５２ｃのうち、出力信号が第１状態から第２状態に切り替わった検知部を特定する。載置データベース管理部５３は、載置データベース５５から、特定した検知部に対応する載置部の載置部ＩＤが記述されたレコード５５ａを抽出する。載置データベース管理部５３は、抽出したレコード５５ａのフィールド５５ｃを「null」に更新する。

このように、載置データベース管理部５３は、載置部５１ａ～５１ｃの各々と載置されている半導体ウェハセット５Ａの品種とを対応付けた管理情報である載置データベース５５を管理する。載置データベース管理部５３は、指示サーバ１００＿１からの要求に応じて、最新の載置データベース５５を指示サーバ１００＿１に提供する。

指示サーバ１００＿１は、図６に示す指示サーバ１００と比較して、制御部１３および位置データベース１３２ａの代わりに制御部１３＿１および位置データベース１３２ｃをそれぞれ備えるとともに、第３取得部１７を備える点で相違する。指示サーバ１００＿１は、図４に示す指示サーバ１００と同様のハードウェア構成を有する。第３取得部１７は、通信インターフェイス１０４によって実現される。制御部１３は、プロセッサ１０１が搬送指示プログラム１３１を実行することにより実現される。

第３取得部１７は、制御部１３＿１から要求指示を受けたことに応じて、仮置き棚５００に情報要求を行ない、最新の載置データベース５５を取得する。

位置データベース１３２ｃは、図６に示す位置データベース１３２ａと比較して、第１位置姿勢データの代わりに、仮置き棚５００の載置部５１ａ～５１ｃの各々に対応づけられた第３位置姿勢データを含む点で相違する。第３位置姿勢データは、対応する載置部にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を示す。

制御部１３＿１は、図６に示す制御部１３と比較して、選択部１３４による処理結果が第１パターンのときに以下の処理を実行する点で相違する。

処理結果が第１パターンの場合、制御部１３＿１は、検査命令に付された品種識別情報を出庫指示部１５に出力する。これにより、出庫指示部１５は、当該品種識別情報が付加された出庫指示を保管庫６００に出力する。その結果、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａが台６４の上に出庫される。作業者Ｍ１は、台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａを仮置き棚５００の空いている載置部に移動させる。

制御部１３＿１は、保管庫６００から出庫完了の報告を受けると、要求指示を第３取得部１７に出力し、第３取得部１７から、最新の載置データベース５５を取得する。制御部１３＿１は、最新の載置データベース５５において、検査命令に付された品種識別情報がフィールド５５ｃに記述されたレコード５５ａが存在するか否かを判断する。最新の載置データベース５５に当該レコード５５ａが存在しない場合、制御部１３＿１は、再度、要求指示を第３取得部１７に出力する。

最新の載置データベース５５に検査命令に付された品種識別情報がフィールド５５ｃに記述されたレコード５５ａが存在すると、制御部１３＿１は、当該レコード５５ａのフィールド５５ｂに記述された載置部ＩＤによって識別される対象載置部を特定する。すなわち、検査命令に付された品種識別情報によって識別される品種の半導体ウェハセット５Ａが置かれている対象載置部は、載置データベース５５に基づいて、載置部５１ａ～５１ｃの中から特定される。

制御部１３＿１は、対象載置部に対応する第３位置姿勢データを、位置データベース１３２ｃから読み出す。さらに、制御部１３＿１は、対象検査装置に対応付けられた第２位置姿勢データを読み出す。制御部１３＿１は、読み出した第３位置姿勢データおよび第２位置姿勢データを第１目標データおよび第２目標データとしてそれぞれ決定し、決定した第１目標データおよび第２目標データを自動搬送指示部１４に出力する。これにより、第１目標データによって示される第１目標位置姿勢は、載置部５１ａ～５１ｃのうち、検査命令に付された品種識別情報によって識別される品種の半導体ウェハセット５Ａが置かれている対象載置部に応じて定められる。

自動搬送指示部１４は、当該第１目標データおよび第２目標データが付された搬送指示を搬送ロボット２００に出力する。その結果、搬送ロボット２００は、第３位置姿勢データによって示される位置姿勢（つまり、マニピュレータ２２０が搬送対象の半導体ウェハセット５Ａの置かれた載置部にアクセスするときの位置姿勢）まで移動する。そして、搬送ロボット２００は、載置部に置かれた半導体ウェハセット５Ａをラック２０５に回収する。その後、搬送ロボット２００は、第２位置姿勢データによって示される位置姿勢まで移動し、ラック２０５に置かれた半導体ウェハセット５Ａを対象検査装置の保持部材に配布する。

変形例１によれば、搬送ロボット２００のマニピュレータ２２０が保管庫６００の台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａにアクセスできない場合であっても、搬送ロボット２００は、仮置き棚５００から検査装置３００Ａに半導体ウェハセット５Ａを搬送できる。

検査装置３００Ａへのプローブカード３５０Ａの取り付け作業には、専門知識が必要とされる。そのため、当該取り付け作業を担当者として、専門知識を有する作業者Ｍを雇用する必要がある。これに対し、台６４に出庫された半導体ウェハセット５Ａを仮置き棚５００の空いている載置部に移動させる作業（移動作業）は、単純である。そのため、当該移動作業の担当者の確保が容易となる。

＜変形例２＞
図１６は、変形例２における保管庫の周囲を示す図である。図１７は、変形例２に係る搬送システムが備える指示サーバ、仮置き棚および移載ロボットの機能構成の一例を示す模式図である。図１６および図１７に示されるように、変形例２に係る搬送システム１Ａ＿２は、変形例１に係る搬送システム１Ａ＿１と比較して、移載ロボット９００を備える点で相違する。移載ロボット９００は、保管庫６００の台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａを仮置き棚５００の載置部に移動させる動作を行なう。そのため、作業者Ｍ１を雇用する必要がなくなる。

図１６に示されるように、移載ロボット９００は、ピックアンドプレース機構９１と、教示データベース９２と、コントローラ９３と、を備える。

ピックアンドプレース機構９１は、保管庫６００から出庫された半導体ウェハセット５Ａを載置部５１ａ～５１ｃのうち、半導体ウェハセット５Ａが置かれていない第２状態である１つの載置部に移動させる。具体的には、ピックアンドプレース機構９１は、台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａをピッキングし、第２状態である１つの載置部にプレースする動作を行なう。ピックアンドプレース機構９１は、典型的には垂直多関節ロボットによって構成される。ただし、ピックアンドプレース機構９１は、垂直多関節ロボットに限定されず、様々な形態を取りうる。

教示データベース９２は、仮置き棚５００の載置部５１ａ～５１ｃの各々に対応する教示データを含む。教示データは、６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａをピッキングし、対応する載置部５１ａ～５１ｃにプレースするためのピックアンドプレース機構９１の駆動手順を示す。

コントローラ９３は、保管庫６００から出庫情報が出力されたことに応じて、ピックアンドプレース機構９１を制御する。コントローラ９３は、仮置き棚５００に対して最新の載置データベース５５を要求し、載置データベース５５に基づいて、半導体ウェハセット５Ａが置かれていない第２状態である１つの載置部を特定する。すなわち、コントローラ９３は、載置データベース５５において、フィールド５５ｃが「null」であるレコード５５ａのフィールド５５ｂに記述された載置部ＩＤによって識別される載置部を、半導体ウェハセット５Ａが置かれていない載置部として特定する。コントローラ９３は、特定した載置部に対応する教示データを教示データベース９２から読み出し、読み出した教示データに従って、ピックアンドプレース機構９１を制御する。

変形例２によれば、搬送ロボット２００のマニピュレータ２２０が保管庫６００の台６４に置かれた半導体ウェハセット５Ａにアクセスできない場合であっても、搬送ロボット２００は、仮置き棚５００から検査装置３００Ａに半導体ウェハセット５Ａを搬送できる。

＜変形例３＞
搬送ロボット２００は、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａを検査装置３００Ａに搬送する際に、検査済の半導体ウェハセット５Ａを当該検査装置３００Ａから回収してもよい。これにより、半導体ウェハセット５Ａの搬送が効率化される。

図１８は、変形例３に係る搬送ロボットのハードウェア構成を示す模式図である。図１８に示されるように、変形例３に係る搬送ロボット２００＿１は、図５に示す搬送ロボット２００と比較して、在荷センサ２０７とラック２０８とを備える点で相違する。

ラック２０８には、半導体ウェハセット５Ａが載せられる。在荷センサ２０７は、ラック２０８に半導体ウェハセット５Ａが載せられているか否かを検知する。在荷センサ２０７は、例えば、リミットスイッチ、近接スイッチ、イメージセンサ、光電センサなどによって構成される。

図１９は、変形例３に係る搬送システムの指示サーバおよび搬送ロボットの機能構成を示す模式図である。図１９に示されるように、変形例３に係る搬送システム１Ａ＿３は、図６に示す搬送システム１Ａと比較して、指示サーバ１００および１以上の搬送ロボット２００の代わりに、指示サーバ１００＿２および１以上の搬送ロボット２００＿１をそれぞれ備える点で相違する。

搬送ロボット２００＿１は、図６に示す搬送ロボット２００と比較して、統合制御部２２および教示データベース２３４の代わりに統合制御部２２＿１および教示データベース２３４＿１を備え、かつ、在荷情報記憶部２３５を備える。

在荷情報記憶部２３５は、ラック２０５，２０８に半導体ウェハセット５Ａが置かれているか否かを示す在荷情報を記憶する。通信部２１は、指示サーバ１００＿２からの要求に応じて、在荷情報を指示サーバ１００＿２に送信する。

教示データベース２３４＿１は、図６に示す教示データベース２３４と比較して、第３教示データおよび第４教示データをさらに含む点で相違する。第３教示データおよび第４教示データは、マニピュレータ２２０の各駆動軸の駆動手順を示す。

第３教示データは、検査装置３００Ａの保持部材によって保持されている検査済みの半導体ウェハセット５Ａをピッキングして、ラック２０８にプレースするための各駆動軸の駆動手順を示す。第４教示データは、ラック２０８に置かれた半導体ウェハセット５Ａをピッキングして、保管庫１０００にプレースするための各駆動軸の駆動手順を示す。保管庫１０００には、検査済みの半導体ウェハセット５Ａが保管される。

統合制御部２２＿１は、統合制御部２２の機能に加えて、通信部２１が受けた搬送指示に第１～第３目標データが付されていることに応じて、上記の処理（ａ）～（ｃ）と以下の処理（ｆ）～（ｉ）とを順に実行する。

処理（ｆ）：統合制御部２２＿１は、第２目標位置姿勢への到着の報告を走行制御部２３から受けたことに応じて、教示データベース２３４＿１から第３教示データを読み出し、第３教示データが付された回収動作の開始指示を上物制御部２４に出力する。

処理（ｇ）：統合制御部２２＿１は、回収動作の完了の報告を上物制御部２４から受けたことに応じて、教示データベース２３４＿１から第２教示データを読み出し、第２教示データが付された配布動作の開始指示を上物制御部２４に出力する。

処理（ｈ）：統合制御部２２＿１は、配布動作の完了の報告を上物制御部２４から受けたことに応じて、搬送完了信号を通信部２１に出力する。さらに、統合制御部２２＿１は、搬送指示に付された第３目標データによって示される第３目標位置姿勢へ移動するための走行指示を走行制御部２３に出力する。

処理（ｉ）：統合制御部２２＿１は、第３目標位置姿勢への到着の報告を走行制御部２３から受けたことに応じて、教示データベース２３４＿１から第４教示データを読み出し、第４教示データが付された配布動作の開始指示を上物制御部２４に出力する。

なお、統合制御部２２＿１は、処理（ｉ）の後、自律走行ロボット２１０を停止させたまま、次の搬送指示を受け付けるまで待機してもよい。もしくは、統合制御部２２＿１は、搬送ロボット２００＿１のホームポジションを目標位置姿勢として決定し、目標位置姿勢へ移動するための走行指示を走行制御部２３に出力してもよい。そして、統合制御部２２＿１は、自律走行ロボット２１０がホームポジションに到達した後、次の搬送指示を受け付けるまで待機してもよい。

検査装置３００Ａの通信部３４Ａは、上述したように、情報要求に応じて、器具識別情報および状況情報を指示サーバ１００＿２に送信する。ただし、変形例３において、状況情報は、検査済みの半導体ウェハセット５Ａが検査装置３００Ａに装着されているか否かを示す情報をさらに含む。

指示サーバ１００＿２は、図６に示す指示サーバ１００と比較して、制御部１３および位置データベース１３２ａの代わりに制御部１３＿２および位置データベース１３２ｄを備え、かつ、第４取得部１８を備える点で相違する。指示サーバ１００＿２は、図４に示す指示サーバ１００と同様のハードウェア構成を有する。制御部１３＿２は、プロセッサ１０１が搬送指示プログラム１３１を実行することにより実現される。

第４取得部１８は、１以上の搬送ロボット２００＿１の全てに対して、在荷情報を要求し、１以上の搬送ロボット２００＿１の各々から在荷情報を取得する。

位置データベース１３２ｄは、図６に示す位置データベース１３２ａと比較して、第４位置姿勢データを含む点で相違する。第４位置姿勢データは、保管庫１０００にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を示す。

制御部１３＿２は、図６に示す制御部１３と比較して、選択部１３４による処理結果が第１パターンのときに以下の処理を実行する点で相違する。

処理結果が第１パターンの場合、制御部１３＿２は、対象検査装置から受けた状況情報に基づいて、対象検査装置に検査済みの半導体ウェハセット５Ａが装着されているか否かを判断する。

さらに、制御部１３＿２は、第４取得部１８に対して在荷情報の取得を指示する。制御部１３＿２は、在荷情報に基づいて、１以上の搬送ロボット２００＿１の中に、ラック２０５，２０８の両方に半導体ウェハセット５Ａが置かれていない搬送ロボット２００＿１が存在するか否か確認する。

対象検査装置に検査済みの半導体ウェハセット５Ａが装着され、かつ、ラック２０５，２０８の両方に半導体ウェハセット５Ａが置かれていない搬送ロボット２００＿１が存在する場合、制御部１３＿２は、以下の処理を実行する。

具体的には、制御部１３＿２は、検査命令に付された品種識別情報を出庫指示部１５に出力する。これにより、搬送対象の半導体ウェハセット５Ａが台６４の上に出庫される。制御部１３＿２は、保管庫６００から出庫完了の報告を受けると、位置データベース１３２ｄから、第１位置姿勢データと、対象検査装置に対応付けられた第２位置姿勢データと、第４位置姿勢データとを読み出す。制御部１３＿２は、読み出した第１位置姿勢データ、第２位置姿勢データおよび第４位置姿勢データを第１目標データ、第２目標データおよび第３目標データとしてそれぞれ決定する。制御部１３＿２は、決定した第１目標データ、第２目標データおよび第３目標データを自動搬送指示部１４に出力する。さらに、制御部１３＿２は、搬送指示の出力先を、ラック２０５，２０８の両方に半導体ウェハセット５Ａが置かれていない搬送ロボット２００＿１に指定する。これにより、自動搬送指示部１４は、当該第１目標データ、第２目標データおよび第３目標データが付された搬送指示を、ラック２０５，２０８の両方に半導体ウェハセット５Ａが置かれていない搬送ロボット２００＿１に出力する。

その結果、搬送指示を受けた搬送ロボット２００＿１のプロセッサ２０１は、第１目標データによって示される第１目標位置姿勢まで自律走行ロボット２１０を移動させる。プロセッサ２０１は、第１目標位置姿勢に到達した後、半導体ウェハセット５Ａをラック２０５に回収する回収動作をマニピュレータ２２０に実行させる。そして、プロセッサ２０１は、第２目標データによって示される第２目標位置姿勢まで自律走行ロボット２１０を移動させる。プロセッサ２０１は、第２目標位置姿勢に到達した後、マニピュレータ２２０に対して、対象検査装置への半導体ウェハセット５Ａの配布動作を実行させる前に、対象検査装置に置かれている検査済みの半導体ウェハセット５Ａをラック２０８に回収させる回収動作を実行させる。その後、プロセッサ２０１は、マニピュレータ２２０に対してラック２０５から対象検査装置への半導体ウェハセット５Ａの配布動作を実行させる。プロセッサ２０１は、当該配布動作の完了後に、検査済みの半導体ウェハセット５Ａの配布場所である保管庫１０００に応じた第３目標データ（第４位置姿勢データ）によって示される第３目標位置姿勢に自律走行ロボット２１０を移動させる。プロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０が第３目標位置姿勢に到達した後に、検査済みの半導体ウェハセット５Ａを保管庫１０００に配布する配布動作をマニピュレータ２２０に実行させる。

なお、対象検査装置に検査済みの半導体ウェハセット５Ａが装着されていない場合、制御部１３＿２は、制御部１３と同様に、第１目標データおよび第２目標データを自動搬送指示部１４に出力する。

＜変形例４＞
図２０は、変形例４に係る搬送システムを示す模式図である。図２０に示されるように、変形例４に係る搬送システム１Ａ＿４は、ＭＥＳサーバ７００と、複数の生産拠点１１００（１１００ａ，１１００ｂ）と、を備える。複数の生産拠点１１００の各々には、上述した指示サーバ１００、１以上の搬送ロボット２００、複数の検査装置３００Ａおよび保管庫６００が配置される。複数の生産拠点１１００の各々の指示サーバ１００は、複数の検査装置３００Ａから取得した器具識別情報を、ＭＥＳサーバ７００に出力する。なお、指示サーバ１００は、複数の検査装置３００Ａから取得した最新の状況情報、保管庫６００が管理する最新の保管データベース６１をＭＥＳサーバ７００に出力してもよい。

ＭＥＳサーバ７００は、複数の生産拠点１１００から得られた器具識別情報に基づいて、複数の生産拠点１１００の生産計画を修正してもよい。

例えば、ＭＥＳサーバ７００は、複数の検査装置３００Ａにおけるプローブカード３５０Ａの交換頻度を下げるように、各生産拠点１１００の生産計画を修正する。具体的には、ＭＥＳサーバ７００は、生産拠点１１００ｂに対して、生産拠点１１００ａに配置された検査装置３００Ａに装着されているプローブカード３５０Ａの種類に対応する品種の半導体ウェハセット５Ａの生産計画が立てられている場合、当該生産計画を生産拠点１１００ｂから生産拠点１１００ａに変更する。これにより、生産拠点１１００ａでは、プローブカード３５０Ａの交換頻度が低下する。

＜変形例５＞
図２１は、変形例５に係る搬送システムの構成を示す模式図である。図２１に示されるように、変形例５に係る搬送システム１Ａ＿５は、図２に示す搬送システム１Ａと比較して、指示サーバ１００および複数の検査装置３００Ａの代わりに指示サーバ１００＿３および複数の検査装置３００Ａ＿１をそれぞれ備える点で相違する。検査装置３００Ａ＿１は、検査装置３００Ａと比較して、自律走行ロボット３７０を備える点で相違する。すなわち、複数の検査装置３００Ａ＿１の各々は、自律走行ロボット３７０により移動可能である。

各検査装置３００Ａ＿１に備えられる自律走行ロボット３７０は、指示サーバ１００＿３からの移動指示に応じて、移動する。自律走行ロボット３７０が移動することにより、複数の検査装置３００Ａ＿１のレイアウトが容易に変更される。

図２２は、変形例５に係る自律走行ロボットのハードウェア構成の一例を示す模式図である。図２２に示されるように、自律走行ロボット３７０は、プロセッサ３７１と、メモリ３７２と、ストレージ３７３と、位置姿勢センサ３７４と、駆動部３７５と、少なくとも２つの車輪３７６と、通信インターフェイス３７７と、無線通信インターフェイス３７８と、を備える。

プロセッサ３７１は、ＣＰＵ、ＭＰＵなどで構成される。メモリ３７２は、例えば、ＤＲＡＭやＳＲＡＭなどの揮発性記憶装置などで構成される。ストレージ３７３は、例えば、ＳＳＤやＨＤＤなどの不揮発性記憶装置などで構成される。プロセッサ３７１は、ストレージ３７３に格納されたプログラムをメモリに展開して実行することで、本実施の形態に従う各種処理を実現する。

ストレージ３７３には、走行制御プログラム３８０と、通信制御プログラム３８１と、が格納される。

位置姿勢センサ３７４は、公知の技術を用いて、自律走行ロボット３７０の位置姿勢を計測する。例えば、位置姿勢センサ３７４には、Lidar(Light Detection And Ranging)での周辺環境計測結果による自己位置推定手法、ＧＰＳ、ビーコン測位手法、方位センサなどが適用され得る。

駆動部３７５は、プロセッサ３７１によって生成された操作量に応じて、少なくとも２つの車輪３７６を駆動する。少なくとも２つの車輪３７６が同じ速度で駆動されることにより、自律走行ロボット３７０は、進行または後退する。少なくとも２つの車輪３７６が異なる速度で駆動されることにより、自律走行ロボット３７０は旋回する。なお、プロセッサ３７１は、車輪３７６の向きを変更することにより、自律走行ロボット３７０を旋回させてもよい。

通信インターフェイス３７７は、通信ケーブルや光データ通信などの通信手段を介して、外部デバイス（検査装置３００Ａ＿１を含む）との間でデータをやり取りする。無線通信インターフェイス３７８は、無線通信を用いて、外部デバイス（指示サーバ１００＿３を含む）との間でデータをやり取りする。

図２３は、変形例５に係る搬送システムの指示サーバおよび検査装置の機能構成を示す模式図である。

ＭＥＳサーバ７００の命令部７２は、検査命令の他に、レイアウト変更命令を指示サーバ１００＿３に出力する。レイアウト変更命令には、レイアウト変更の対象となる１以上の検査装置３００Ａ＿１の各々に対応するデータセットが付される。データセットは、検査装置３００Ａ＿１を識別する装置ＩＤと、目標位置姿勢を示す第４目標データとを含む。データセットは、例えば管理者による入力に応じて生成される。もしくは、データセットは、ＡＩ（Artificial Intelligence）等によって構成される装置レイアウト最適化アルゴリズムによって生成されてもよい。

自律走行ロボット３７０は、情報取得部３６と、通信制御部３７と、無線通信部３８と、走行制御部３９と、を備える。情報取得部３６は、通信インターフェイス３７７によって実現される。無線通信部３８は、無線通信インターフェイス３７８によって実現される。通信制御部３７は、プロセッサ３７１が通信制御プログラム３８１を実行することにより実現される。走行制御部３９は、プロセッサ３７１が走行制御プログラム３８０を実行することにより実現される。

情報取得部３６は、通信部３４Ａから器具識別情報および状況情報を取得する。なお、変形例５において、通信部３４Ａは、器具識別情報および状況情報を指示サーバ１００＿３ではなく自律走行ロボット３７０に出力する。

走行制御部３９は、無線通信部３８が指示サーバ１００＿３から受信した移動指示に従って駆動部３７５（図２２参照）を制御し、自律走行ロボット３７０の位置姿勢を変更する。移動指示には目標位置姿勢を示す第４位置姿勢データが付される。走行制御部３９は、位置姿勢センサ３７４によって計測される位置姿勢が移動指示に付された第４位置姿勢データによって示される目標位置姿勢に近づくように、駆動部３７５を制御する。これにより、検査装置３００Ａ＿１が移動する。

また、走行制御部３９は、位置姿勢センサ３７４によって計測される位置姿勢を示す第５位置姿勢データを通信制御部３７に出力する。

通信制御部３７は、無線通信部３８を制御する。通信制御部３７は、無線通信部３８が指示サーバ１００＿３から移動指示を受信すると、当該移動指示を走行制御部３９に出力する。

さらに、通信制御部３７は、無線通信部３８が指示サーバ１００＿３から情報要求を受け付けると、情報取得部３６によって取得された最新の器具識別情報および最新の状況情報と、走行制御部３９から出力される最新の第５位置姿勢データと、を指示サーバ１００＿３に送信するように無線通信部３８を制御する。

指示サーバ１００＿３は、図６に示す指示サーバ１００と比較して、第２取得部１２、制御部１３および位置データベース１３２ａの代わりに検査装置管理部１２＿３、制御部１３＿３および位置データベース１３２ｅを備える点で相違する。指示サーバ１００＿３は、図４に示す指示サーバ１００と同様のハードウェア構成を有する。検査装置管理部１２＿３は、無線通信インターフェイス１０５によって実現される。制御部１３＿３は、プロセッサ１０１が搬送指示プログラム１３１を実行することにより実現される。

位置データベース１３２ｅは、図６に示す位置データベース１３２ａと比較して、複数の検査装置３００Ａの各々に対応付けられた第２位置姿勢データの代わりに、相対位置姿勢データを含む点で相違する。

相対位置姿勢データは、検査装置３００Ａ＿１に対する、当該検査装置３００Ａ＿１の保持部材にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき相対位置姿勢を示す。

検査装置管理部１２＿３は、制御部１３＿３から装置ＩＤおよび第４位置姿勢データを含むデータセットを受け付ける。検査装置管理部１２＿３は、データセットを受けると、装置ＩＤによって識別される検査装置３００Ａ＿１に対して、第４位置姿勢データによって示される目標位置姿勢への移動指示を出力する。

さらに、検査装置管理部１２＿３は、複数の検査装置３００Ａ＿１の各々の自律走行ロボット３７０に対して情報を要求し、各自律走行ロボット３７０から、最新の器具識別情報、最新の状況情報および最新の第５位置姿勢データを取得する。検査装置管理部１２＿３は、制御部１３＿３からの要求指示に応じて、複数の自律走行ロボット３７０に対して情報を要求する。

制御部１３＿３は、図６に示す制御部１３と比較して、検査装置管理部１２＿３に１以上のデータセットを出力する点、第２取得部１２の代わりに検査装置管理部１２＿３に要求指示を出力する点、および、第２位置姿勢データではなく相対位置姿勢データを用いて第２目標データを生成する点で相違する。

制御部１３＿３は、第１取得部１１がレイアウト変更命令を受けると、レイアウト変更命令に付される１以上のデータセットを検査装置管理部１２＿３に出力する。これにより、各データセットに応じて、対応する検査装置３００Ａ＿１に移動指示が出力される。

制御部１３＿３は、第１取得部１１が検査命令を受け付けたことに応じて、検査装置管理部１２＿３に対して要求指示を出力する。これにより、検査装置管理部１２＿３は、複数の検査装置３００Ａ＿１の各々の自律走行ロボット３７０から、器具識別情報、状況情報および第５位置姿勢データを取得する。

制御部１３＿３は、対象検査装置の自律走行ロボット３７０から取得した第５位置姿勢データと位置データベース１３２ｅに含まれる相対位置姿勢データとを用いて、対象検査装置の保持部材にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を計算する。すなわち、制御部１３＿３は、第５位置姿勢データによって示される位置姿勢に相対位置姿勢データによって示される相対位置姿勢を加算することにより、自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を計算する。制御部１３＿３は、計算された位置姿勢を示すデータを第２目標データとして生成する。

変形例５によれば、検査装置３００Ａ＿１のレイアウトが変更されたとしても、搬送ロボット２００は、保管庫６００から対象検査装置に半導体ウェハセット５Ａを搬送できる。

なお、自律走行ロボット２１０，３７０の停止位置の精度によって、マニピュレータ２２０による検査装置３００Ａ＿１への半導体ウェハセット５Ａの配布動作が正常に実行されない可能性がある。

そのため、自律走行ロボット２１０，３７０の実際の停止位置に応じて、マニピュレータ２２０の動作を補正することが好ましい。例えば、マニピュレータ２２０にカメラが取り付けられるとともに、検査装置３００Ａ＿１の予め定められた位置にアライメントマークが貼り付けられる。例えば、アライメントマークは、検査装置３００Ａ＿１の自律走行ロボット３７０に貼り付けられてもよい。搬送ロボット２００のプロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０が第２目標位置姿勢に到達したことに応じて、カメラから得られる画像に基づいて計算されるアライメントマークの位置と第１基準位置との差分だけ、配布動作用の第２教示データを補正する。第２教示データは、アライメントマークが第１基準位置に位置するように自律走行ロボット３７０が停止しているときに、マニピュレータ２２０が当該自律走行ロボット３７０を備える検査装置３００Ａ＿１の保持部材にアクセスできるように作成される。そのため、上記の差分だけ第２教示データを補正することにより、マニピュレータ２２０による検査装置３００Ａ＿１への半導体ウェハセット５Ａの配布動作が失敗する頻度を低下させることができる。

あるいは、搬送ロボット２００のプロセッサ２０１は、自律走行ロボット３７０の実際の停止位置に応じて、第２目標位置姿勢を補正してもよい。例えば、検査装置３００Ａ＿１の予め定められた位置に特徴物（Ｌ字板、三角板など）が設けられる。例えば、特徴物は、検査装置３００Ａ＿１の自律走行ロボット３７０に設けられてもよい。さらに、自律走行ロボット２１０に当該特徴物の位置を検知する特徴物検知センサが設けられる。搬送ロボット２００のプロセッサ２０１は、自律走行ロボット２１０が第２目標位置姿勢に到達したことに応じて、特徴物検知センサによって検知された位置と第２基準位置との差分だけ、自律走行ロボット２１０の位置姿勢を調整する。第２基準位置は、マニピュレータ２２０が自律走行ロボット３７０を備える検査装置３００Ａ＿１の保持部材にアクセスできるときの、特徴物検知センサによって検知される特徴物の位置である。そのため、上記の差分だけ自律走行ロボット２１０の位置姿勢を調整することにより、マニピュレータ２２０による検査装置３００Ａ＿１への半導体ウェハセット５Ａの配布動作が失敗する頻度を低下させることができる。

§３ 具体例２
＜具体例２の概要＞
図２４は、実施の形態の具体例２に係る搬送システムを示す図である。図２４に示されるように、具体例２に係る搬送システム１Ｂは、搬送対象の物品５として、製造物を構成する部品５Ｂを搬送する。搬送システム１Ｂは、複数の装置３００として、複数の作業台３００Ｂを備える。作業台３００Ｂには、器具３５０として、部品を収容するための専用トレー３５０Ｂが設置される。作業台３００Ｂにおいて、専用トレー３５０Ｂに収容された部品５Ｂを用いて生産物が組み立てられる。生産物の組み立ては、作業者によって実行されてもよいし、ロボットによって実行されてもよい。

専用トレー３５０Ｂは、対応する品種の部品５Ｂを対応する個数だけ収容できるように設計されている。そのため、専用トレー３５０Ｂを用いることにより、生産物を構成する部品５Ｂの品種，個数等の間違い（紛失、誤組み付けなど）が抑制される。

さらに、搬送システム１Ｂは、具体例１の搬送システム１Ａと同様に、指示サーバ１００と通信可能に接続されるＭＥＳサーバ７００を備える。具体例２に係るＭＥＳサーバ７００は、生産物の製造を管理する。具体例２では、ＭＥＳサーバ７００は、予め作成された生産計画に従って、生産物の製造命令を指示サーバ１００に出力する。

具体例２に係る指示サーバ１００は、作業台３００Ｂへの部品５Ｂの搬送に関する処理を実行する。

具体的には、指示サーバ１００は、ＭＥＳサーバ７００からの製造命令に応じて、保管庫６００から搬送対象となる部品５Ｂを出庫させる。その後、指示サーバ１００は、台６４に載置された部品５Ｂを作業台３００Ｂに搬送する搬送指示を搬送ロボット２００に送信する。これにより、搬送ロボット２００は、搬送指示に応じて、台６４に載置された部品５Ｂを作業台３００Ｂに搬送する。搬送された部品５Ｂは、作業台３００Ｂに設置されている専用トレー３５０Ｂに収容される。作業台３００Ｂでは、専用トレー３５０Ｂを用いて、部品５Ｂから生産物が組み立てられる。

上述したように、生産物を構成する部品５Ｂの品種，個数等の間違いを抑制するために、部品５Ｂの品種に応じて専用トレー３５０Ｂが使用される。そのため、搬送対象となる部品５Ｂは、品種に応じた専用トレー３５０Ｂが設置された作業台３００Ｂに搬送される必要がある。そのため、指示サーバ１００は、ステップ（１Ｂ）～（５Ｂ）の処理を実行する。

まず、指示サーバ１００は、搬送対象の部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報を取得する（ステップ（１Ｂ））。

次に、指示サーバ１００は、複数の作業台３００Ｂの各々に設置された専用トレー３５０Ｂの種類を識別する器具識別情報を取得する（ステップ（２Ｂ））。

次に、指示サーバ１００は、部品５Ｂの品種と当該品種の部品５Ｂを用いた生産物の組み立てを実行するための専用トレー３５０Ｂの種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられた専用トレー３５０Ｂの種類を特定する（ステップ（３Ｂ））。すなわち、指示サーバ１００は、搬送対象の部品５Ｂに対応する専用トレー３５０Ｂを特定する。

次に、指示サーバ１００は、器具識別情報を用いて、複数の作業台３００Ｂのうち、特定した種類の専用トレー３５０Ｂが設置された作業台３００Ｂを対象作業台として選択する（ステップ（４Ｂ））。

指示サーバ１００は、搬送ロボット２００に対して、搬送対象の部品５Ｂを対象作業台に搬送する指示（搬送指示）を出力する（ステップ（５Ｂ））。

＜機能構成＞
図２５は、図２４に示す搬送システムの機能構成の一例を示す模式図である。

（作業台）
作業台３００Ｂは、器具管理部３２Ｂと、組立部３３Ｂと、通信部３４Ｂと、を備える。

器具管理部３２Ｂは、作業台３００Ｂに設置された専用トレー３５０Ｂの種類を識別する器具識別情報を管理する。器具管理部３２Ｂは、例えば、専用トレー３５０Ｂに付されたコード（二次元コードまたはバーコード）を読み込むことにより、器具識別情報を取得する。この場合、専用トレー３５０Ｂに付されたコードは、当該専用トレー３５０Ｂの種類を示す。あるいは、器具管理部３２Ｂは、専用トレー３５０Ｂに付されたＲＦＩＤタグを読み込むことにより、器具識別情報を取得してもよい。

組立部３３Ｂは、専用トレー３５０Ｂに収容された部品５Ｂを用いて、生産物を組み立てる。組立部３３Ｂは、例えば組み立てロボットなどを含む。組立部３３Ｂは、作業状況を示す状況情報を生成する。状況情報は、生産物の組み立て中であるか、次の部品５Ｂの投入の待機中であるかのいずれかを示す情報を含む。

通信部３４Ｂは、指示サーバ１００からの要求に応じて、器具管理部３２Ｂが管理する最新の器具識別情報と組立部３３Ｂによって生成された最新の状況情報とを指示サーバ１００に送信する。

（保管庫）
保管庫６００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、保管データベース６１において、フィールド６１ｃ（図７参照）には、対応する収容空間６５に保管されている部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報が記述される。また、入出庫機構６２は、具体例１と比較して、半導体ウェハセット５Ａの代わりに部品５Ｂの入庫動作および出庫動作を行なう点で相違する。コントローラ６３の処理内容は、具体例１と同様である。

（ＭＥＳサーバ）
ＭＥＳサーバ７００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、命令部７２は、生産計画データベース７１に基づいて、部品５Ｂによって構成される生産物の製造命令を指示サーバ１００に出力する。製造命令には、製造対象となる生産物を構成する部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報が付される。

（搬送ロボット）
搬送ロボット２００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、搬送ロボット２００は、半導体ウェハセット５Ａではなく部品５Ｂを作業台３００Ｂに搬送する。そのため、教示データベース２３４に含まれる第１教示データは、保管庫６００の台６４に置かれた部品５Ｂをピッキングして、ラック２０５にプレースするための駆動手順を示す。教示データベース２３４に含まれる第２教示データは、ラック２０５に置かれた部品５Ｂをピッキングして、作業台３００Ｂにプレースするための駆動手順を示す。

（指示サーバ）
指示サーバ１００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、位置データベース１３２ａは、複数の検査装置３００Ａの各々に対応付けられた第２位置姿勢データの代わりに、複数の作業台３００Ｂの各々に対応付けられた第２位置姿勢データを含む。第２位置姿勢データは、対応する作業台３００Ｂにマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を示す。

また、関連付け情報１３２ｂは、半導体ウェハセット５Ａではなく部品５Ｂの品種と当該品種の部品５Ｂから構成される生産物を組み立てるときに使用される専用トレー３５０Ｂの種類とを関連付ける。

第１取得部１１は、具体例１と比較して、ＭＥＳサーバ７００から製造命令を受け付ける点で相違する。上述したように、製造命令には、製造対象となる生産物を構成する部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報が付される。そのため、第１取得部１１は、搬送対象の部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報を取得する。

第２取得部１２は、具体例１と比較して、複数の検査装置３００Ａの代わりに複数の作業台３００Ｂに対して情報を要求し、複数の作業台３００Ｂの各々について、当該作業台３００Ｂに設置された専用トレー３５０Ｂの種類を識別する器具識別情報と作業状況を示す状況情報とを取得する点で相違する。

出庫指示部１５は、具体例１と比較して、半導体ウェハセット５Ａではなく部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報が付される出庫指示を出力する点で相違する。

器具交換指示部１６は、具体例１と比較して、制御部１３から受けた装置ＩＤによって識別される作業台３００Ｂに設置されている専用トレー３５０Ｂを、制御部１３から受けた器具識別情報によって識別される種類の専用トレー３５０Ｂに交換する器具交換指示を出力する点で相違する。

制御部１３は、第１取得部１１が製造命令を受け付けたことに応じて、第２取得部１２、自動搬送指示部１４、出庫指示部１５、および器具交換指示部１６の動作を制御する。制御部１３による各部の制御方法は、以下の３点を除いて、具体例１と同様である。
・半導体ウェハセット５Ａではなく部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報を用いる。
・プローブカード３５０Ａではなく専用トレー３５０Ｂの種類を識別する器具識別情報を用いる。
・検査装置３００Ａではなく作業台３００Ｂの作業状況を示す状況情報を用いる。

また、指示サーバ１００、作業台３００Ｂ、保管庫６００および搬送ロボット２００における処理の流れは、上記の３点を除いて、具体例１において説明した図９から１２に示すフローチャートに従う。

＜利点＞
具体例２によれば、搬送ロボット２００によって、搬送対象の部品５Ｂは、当該部品５Ｂの品種に応じた種類の専用トレー３５０Ｂが設置された作業台３００Ｂに搬送される。これにより、従来の作業者による搬送の手間が削減される。その結果、部品５Ｂの効率的な搬送が実現可能となる。

例えば、自動車、建設機械などは、使用する人の安全性を考慮して、部品５Ｂの誤組み付けによる誤動作が許されない。そのため、具体例２の搬送システム１Ｂは、自動車、建設機械などの生産現場に適用される。このような生産現場における部品５Ｂは、例えば、ブレーキ、ギアボックス、油圧ポンプなどの部品を含む。

＜変形例＞
具体例１において記載した変形例１，２，４，５は、具体例２に係る搬送システム１Ｂにも適用される。

また、保管庫６００は、入出庫機構６２を備えていなくてもよい。この場合、作業者は、保管庫６００から台６４へ部品５Ｂを出庫するとともに、出庫した部品５Ｂの品種を識別する品種識別情報が付された製造命令を指示サーバ１００に入力すればよい。部品５Ｂが保管庫６００から出庫されているため、指示サーバ１００は、出庫指示を出力する必要がない。そのため、指示サーバ１００は、出庫指示部１５を備えていなくてもよい。

§４ 具体例３
＜具体例３の概要＞
図２６は、実施の形態の具体例３に係る搬送システムを示す図である。図２６に示されるように、具体例３に係る搬送システム１Ｃは、搬送対象の物品５として、組み立て済みの製品５Ｃを搬送する。搬送システム１Ｃは、複数の装置３００として、複数の評価装置３００Ｃを備える。評価装置３００Ｃには、器具３５０として固定治具３５０Ｃが設置される。評価装置３００Ｃは、固定治具３５０Ｃによって固定された製品５Ｃの性能を評価する。

評価装置３００Ｃは、予め定められた基準高さおよび基準位置に存在する製品５Ｃの性能を評価する。製品５Ｃを当該基準高さおよび基準位置に固定するために固定治具３５０Ｃが用いられる。製品５Ｃは、品種に応じて異なるサイズを有する。そのため、製品５Ｃの品種に応じて、異なる種類の固定治具３５０Ｃを用いる必要がある。

さらに、搬送システム１Ｃは、具体例１の搬送システム１Ａと同様に、指示サーバ１００と通信可能に接続されるＭＥＳサーバ７００を備える。具体例３に係るＭＥＳサーバ７００は、製品５Ｃの製造を管理する。具体例３では、ＭＥＳサーバ７００は、予め作成された生産計画に従って、製品５Ｃの性能評価命令を指示サーバ１００に出力する。

具体例３に係る指示サーバ１００は、評価装置３００Ｃへの製品５Ｃの搬送に関する処理を実行する。

具体的には、指示サーバ１００は、ＭＥＳサーバ７００からの性能評価命令に応じて、保管庫６００から搬送対象（評価対象）となる製品５Ｃを出庫させる。その後、指示サーバ１００は、台６４に載置された製品５Ｃを評価装置３００Ｃに搬送する搬送指示を搬送ロボット２００に送信する。これにより、搬送ロボット２００は、搬送指示に応じて、台６４に載置された製品５Ｃを評価装置３００Ｃに搬送する。搬送された製品５Ｃは、評価装置３００Ｃに設置されている固定治具３５０Ｃによって固定される。評価装置３００Ｃは、固定治具３５０Ｃによって固定された製品５Ｃの性能を評価する。

上述したように、製品５Ｃの品種に応じて、異なる種類の固定治具３５０Ｃを用いる必要がある。そのため、搬送対象となる製品５Ｃは、品種に応じた固定治具３５０Ｃが設置された評価装置３００Ｃに搬送される必要がある。そのため、指示サーバ１００は、ステップ（１Ｃ）～（５Ｃ）の処理を実行する。

まず、指示サーバ１００は、搬送対象の製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報を取得する（ステップ（１Ｃ））。

次に、指示サーバ１００は、複数の評価装置３００Ｃの各々に設置された固定治具３５０Ｃの種類を識別する器具識別情報を取得する（ステップ（２Ｃ））。

次に、指示サーバ１００は、製品５Ｃの品種と当該品種の製品５Ｃの性能を評価する際に用いる固定治具３５０Ｃの種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられた固定治具３５０Ｃの種類を特定する（ステップ（３Ｃ））。すなわち、指示サーバ１００は、搬送対象の製品５Ｃに対応する固定治具３５０Ｃを特定する。

次に、指示サーバ１００は、器具識別情報を用いて、複数の評価装置３００Ｃのうち、特定した種類の固定治具３５０Ｃが設置された評価装置３００Ｃを対象評価装置として選択する（ステップ（４Ｃ））。

指示サーバ１００は、搬送ロボット２００に対して、搬送対象の製品５Ｃを対象評価装置に搬送する指示（搬送指示）を出力する（ステップ（５Ｃ））。

＜機能構成＞
図２７は、図２６に示す搬送システムの機能構成の一例を示す模式図である。

（評価装置）
評価装置３００Ｃは、器具管理部３２Ｃと、評価部３３Ｃと、通信部３４Ｃと、を備える。

器具管理部３２Ｃは、評価装置３００Ｃに設置された固定治具３５０Ｃの種類を識別する器具識別情報を管理する。器具管理部３２Ｃは、例えば、固定治具３５０Ｃに付されたコード（二次元コードまたはバーコード）を読み込むことにより、器具識別情報を取得する。この場合、固定治具３５０Ｃに付されたコードは、当該固定治具３５０Ｃの種類を示す。あるいは、器具管理部３２Ｃは、固定治具３５０Ｃに付されたＲＦＩＤタグを読み込むことにより、器具識別情報を取得してもよい。

評価部３３Ｃは、固定治具３５０Ｃによって固定された製品５Ｃの性能を評価する。例えば、製品５Ｃがレーザー距離計である場合、評価部３３Ｃは、レーザー距離計による計測結果が基準範囲内であるか否かを評価する。基準範囲は、固定治具３５０Ｃによって固定された製品５Ｃが存在する基準高さおよび基準位置に応じて予め設定される。

評価部３３Ｃは、評価状況を示す状況情報を生成する。状況情報は、製品５Ｃの性能の評価中であるか、次の製品５Ｃの投入の待機中であるかのいずれかを示す情報を含む。

通信部３４Ｃは、指示サーバ１００からの要求に応じて、器具管理部３２Ｃが管理する最新の器具識別情報と評価部３３Ｃによって生成された最新の状況情報とを指示サーバ１００に送信する。

（保管庫）
保管庫６００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、保管データベース６１において、フィールド６１ｃ（図７参照）には、対応する収容空間６５に保管されている製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報が記述される。また、入出庫機構６２は、具体例１と比較して、半導体ウェハセット５Ａの代わりに製品５Ｃの入庫動作および出庫動作を行なう点で相違する。コントローラ６３の処理内容は、具体例１と同様である。

（ＭＥＳサーバ）
ＭＥＳサーバ７００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、命令部７２は、生産計画データベース７１に基づいて、製品５Ｃの性能の評価命令を指示サーバ１００に出力する。評価命令には、評価対象となる製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報が付される。

（搬送ロボット）
搬送ロボット２００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、搬送ロボット２００は、半導体ウェハセット５Ａではなく製品５Ｃを評価装置３００Ｃに搬送する。そのため、教示データベース２３４に含まれる第１教示データは、保管庫６００の台６４に置かれた製品５Ｃをピッキングして、ラック２０５にプレースするための駆動手順を示す。教示データベース２３４に含まれる第２教示データは、ラック２０５に置かれた製品５Ｃをピッキングして、評価装置３００Ｃの固定治具３５０Ｃにプレースするための駆動手順を示す。

（指示サーバ）
指示サーバ１００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、位置データベース１３２ａは、複数の検査装置３００Ａの各々に対応付けられた第２位置姿勢データの代わりに、複数の評価装置３００Ｃの各々に対応付けられた第２位置姿勢データを含む。第２位置姿勢データは、対応する評価装置３００Ｃの基準高さおよび基準位置にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき位置姿勢を示す。

また、関連付け情報１３２ｂは、半導体ウェハセット５Ａではなく製品５Ｃの品種と当該品種の製品５Ｃの性能を評価するときに使用される固定治具３５０Ｃの種類とを関連付ける。

第１取得部１１は、具体例１と比較して、ＭＥＳサーバ７００から評価命令を受け付ける点で相違する。上述したように、評価命令には、評価対象となる製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報が付される。そのため、第１取得部１１は、搬送対象（評価対象）の製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報を取得する。

第２取得部１２は、具体例１と比較して、複数の検査装置３００Ａの代わりに複数の評価装置３００Ｃに対して情報を要求し、複数の評価装置３００Ｃの各々から、固定治具３５０Ｃの種類を識別する器具識別情報と評価状況を示す状況情報とを取得する点で相違する。

出庫指示部１５は、具体例１と比較して、半導体ウェハセット５Ａではなく製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報が付される出庫指示を出力する点で相違する。

器具交換指示部１６は、具体例１と比較して、制御部１３から受けた装置ＩＤによって識別される評価装置３００Ｃに設置されている固定治具３５０Ｃを、制御部１３から受けた器具識別情報によって識別される種類の固定治具３５０Ｃに交換する器具交換指示を出力する点で相違する。

制御部１３は、第１取得部１１が評価命令を受け付けたことに応じて、第２取得部１２、自動搬送指示部１４、出庫指示部１５、および器具交換指示部１６の動作を制御する。制御部１３による各部の制御方法は、以下の３点を除いて、具体例１と同様である。
・半導体ウェハセット５Ａではなく製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報を用いる。
・プローブカード３５０Ａではなく固定治具３５０Ｃの種類を識別する器具識別情報を用いる。
・検査装置３００Ａではなく評価装置３００Ｃの評価状況を示す状況情報を用いる。

また、指示サーバ１００、評価装置３００Ｃ、保管庫６００および搬送ロボット２００における処理の流れは、上記の３点を除いて、具体例１において説明した図９から１２に示すフローチャートにそれぞれ従う。

＜利点＞
具体例３によれば、搬送ロボット２００によって、搬送対象の製品５Ｃは、当該製品５Ｃの品種に応じた種類の固定治具３５０Ｃが設置された評価装置３００Ｃに搬送される。これにより、従来の作業者による搬送の手間が削減される。その結果、製品５Ｃの効率的な搬送が実現可能となる。

＜変形例＞
具体例１において記載した変形例１～５は、具体例３に係る搬送システム１Ｃにも適用される。

なお、評価装置３００Ｃは、評価された性能に応じて、製品５Ｃの校正を実行してもよい。すなわち、評価装置３００Ｃは、予め定められた基準性能に対する評価された性能のずれを出力してもよい。

また、保管庫６００は、入出庫機構６２を備えていなくてもよい。この場合、作業者は、保管庫６００から台６４へ製品５Ｃを出庫するとともに、出庫した製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報が付された評価命令を指示サーバ１００に入力すればよい。製品５Ｃが保管庫６００から出庫されているため、指示サーバ１００は、出庫指示を出力する必要がない。そのため、指示サーバ１００は、出庫指示部１５を備えていなくてもよい。

§５ 具体例４
＜具体例４の概要＞
図２８は、実施の形態の具体例４に係る搬送システムを示す図である。図２８に示されるように、具体例４に係る搬送システム１Ｄは、搬送対象の物品５として、苗５Ｄを搬送する。搬送システム１Ｄは、複数の装置３００として、複数の田植え機３００Ｄを備える。田植え機３００Ｄには、器具３５０として植え付け爪３５０Ｄが設置される。田植え機３００Ｄは、植え付け爪３５０Ｄを用いて苗５Ｄを植え付ける。

具体例４に係る指示サーバ１００＿４は、田植え機３００Ｄへの苗５Ｄの搬送に関する処理を実行する。

具体的には、指示サーバ１００＿４は、田植え開始命令に応じて、保管庫６００から搬送対象（植え付け対象）となる苗５Ｄを出庫させる。指示サーバ１００＿４は、入力装置（キーボード、マウスなど）と接続され、入力装置から田植え開始命令を受ける。

指示サーバ１００＿４は、台６４に載置された苗５Ｄを田植え機３００Ｄに搬送する搬送指示を搬送ロボット２００に送信する。これにより、搬送ロボット２００は、搬送指示に応じて、台６４に載置された苗５Ｄを田植え機３００Ｄに搬送する。搬送された苗５Ｄは、田植え機３００Ｄに設置されている植え付け爪３５０Ｄによって固定される。田植え機３００Ｄは、設置されている植え付け爪３５０Ｄを用いて、苗５Ｄを田に植え付ける。

苗５Ｄの品種に応じて、異なる種類の植え付け爪３５０Ｄを用いる必要がある。そのため、搬送対象となる苗５Ｄは、品種に応じた植え付け爪３５０Ｄが設置された田植え機３００Ｄに搬送される必要がある。そのため、指示サーバ１００＿４は、ステップ（１Ｄ）～（５Ｄ）の処理を実行する。

まず、指示サーバ１００＿４は、搬送対象の苗５Ｄの品種を識別する品種識別情報を取得する（ステップ（１Ｄ））。

次に、指示サーバ１００＿４は、複数の田植え機３００Ｄの各々に設置された植え付け爪３５０Ｄの種類を識別する器具識別情報を取得する（ステップ（２Ｄ））。

次に、指示サーバ１００＿４は、苗５Ｄの品種と当該品種の苗５Ｄを植え付けるときに用いる植え付け爪３５０Ｄの種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、品種識別情報によって識別される品種に関連付けられた植え付け爪３５０Ｄの種類を特定する（ステップ（３Ｄ））。すなわち、指示サーバ１００＿４は、搬送対象の苗５Ｄに対応する植え付け爪３５０Ｄを特定する。

次に、指示サーバ１００＿４は、器具識別情報を用いて、複数の田植え機３００Ｄのうち、特定した種類の植え付け爪３５０Ｄが設置された田植え機３００Ｄを対象田植え機として選択する（ステップ（４Ｄ））。

指示サーバ１００＿４は、搬送ロボット２００に対して、搬送対象の苗５Ｄを対象田植え機に搬送する指示（搬送指示）を出力する（ステップ（５Ｄ））。

＜機能構成＞
図２９は、図２８に示す搬送システムの機能構成の一例を示す模式図である。

（田植え機）
田植え機３００Ｄは、器具固定部３１Ｄと、器具管理部３２Ｄと、植え付け部３３Ｄと、通信部３４Ｄと、位置姿勢センサ３５Ｄと、を備える。

器具固定部３１Ｄは、植え付け爪３５０Ｄを保持する。器具管理部３２Ｄは、器具固定部３１Ｄによって固定された植え付け爪３５０Ｄの種類を識別する器具識別情報を管理する。器具管理部３２Ｄは、例えば、植え付け爪３５０Ｄに付されたコード（二次元コードまたはバーコード）を読み込むことにより、器具識別情報を取得する。この場合、植え付け爪３５０Ｄに付されたコードは、当該植え付け爪３５０Ｄの種類を示す。あるいは、器具管理部３２Ｄは、植え付け爪３５０Ｄに付されたＲＦＩＤタグを読み込むことにより、器具識別情報を取得してもよい。

植え付け部３３Ｄは、器具固定部３１Ｄによって固定された植え付け爪３５０Ｄを用いて、苗５Ｄを田に植え付ける。植え付け部３３Ｄは、植え付け状況を示す状況情報を生成する。状況情報は、苗５Ｄを植え付け中であるか、次の苗５Ｄの投入の待機中であるかのいずれかを示す情報を含む。

位置姿勢センサ３５Ｄは、公知の技術を用いて、田植え機３００Ｄの位置姿勢を計測する。例えば、位置姿勢センサ３５Ｄには、Lidar(Light Detection And Ranging)での周辺環境計測結果による自己位置推定手法、ＧＰＳ、ビーコン測位手法、方位センサなどが適用され得る。

通信部３４Ｄは、指示サーバ１００＿４からの要求に応じて、器具管理部３２Ｄが管理する最新の器具識別情報と植え付け部３３Ｄによって生成された最新の状況情報と位置姿勢センサ３５Ｄによって計測された位置姿勢を示す最新の第６位置姿勢データとを指示サーバ１００＿４に送信する。

（保管庫）
保管庫６００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、保管データベース６１において、フィールド６１ｃ（図７参照）には、対応する収容空間６５に保管されている苗５Ｄの品種を識別する品種識別情報が記述される。また、入出庫機構６２は、具体例１と比較して、半導体ウェハセット５Ａの代わりに苗５Ｄの入庫動作および出庫動作を行なう点で相違する。コントローラ６３の処理内容は、具体例１と同様である。

（搬送ロボット）
搬送ロボット２００は、具体例１と同様の構成を備える。ただし、搬送ロボット２００は、半導体ウェハセット５Ａではなく苗５Ｄを田植え機３００Ｄに搬送する。そのため、教示データベース２３４に含まれる第１教示データは、保管庫６００の台６４に置かれた苗５Ｄをピッキングして、ラック２０５にプレースするための駆動手順を示す。教示データベース２３４に含まれる第２教示データは、ラック２０５に置かれた苗５Ｄをピッキングして、田植え機３００Ｄの保持部材にプレースするための駆動手順を示す。

（指示サーバ）
指示サーバ１００＿４は、図２３に示す指示サーバ１００＿３と比較して、制御部１３＿３および検査装置管理部１２＿３の代わりに制御部１３＿４および第２取得部１２＿４をそれぞれ備える点で相違する。

なお、指示サーバ１００＿４の位置データベース１３２ｅに含まれる相対位置姿勢データは、田植え機３００Ｄに対する、当該田植え機３００Ｄの保持部材にマニピュレータ２２０がアクセスするときに自律走行ロボット２１０の取るべき相対位置姿勢を示す。

関連付け情報１３２ｂは、半導体ウェハセット５Ａではなく苗５Ｄの品種と当該品種の苗５Ｄを植え付けるときに使用される植え付け爪３５０Ｄの種類とを関連付ける。

第１取得部１１は、具体例１と比較して、入力装置から田植え開始命令を受け付ける点で相違する。田植え開始命令には、植え付け対象となる製品５Ｃの品種を識別する品種識別情報が付される。そのため、第１取得部１１は、搬送対象（植え付け対象）の苗５Ｄの品種を識別する品種識別情報を取得する。

第２取得部１２＿４は、複数の田植え機３００Ｄに対して情報を要求し、各田植え機３００Ｄから、最新の器具識別情報、最新の状況情報および最新の第６位置姿勢データを取得する。第２取得部１２＿４は、制御部１３＿４からの要求指示に応じて、複数の田植え機３００Ｄに対して情報を要求する。

出庫指示部１５は、具体例１と比較して、半導体ウェハセット５Ａではなく苗５Ｄの品種を識別する品種識別情報が付される出庫指示を出力する点で相違する。

器具交換指示部１６は、具体例１と比較して、制御部１３＿４から受けた装置ＩＤによって識別される田植え機３００Ｄに設置されている植え付け爪３５０Ｄを、制御部１３＿４から受けた器具識別情報によって識別される種類の植え付け爪３５０Ｄに交換する器具交換指示を出力する点で相違する。

制御部１３＿４は、第１取得部１１が田植え開始命令を受け付けたことに応じて、第２取得部１２＿４、自動搬送指示部１４、出庫指示部１５、および器具交換指示部１６の動作を制御する。制御部１３＿４による各部の制御方法は、以下の４点を除いて、図２３に示す制御部１３＿３の制御方法と同様である。
・半導体ウェハセット５Ａではなく苗５Ｄの品種を識別する品種識別情報を用いる。
・プローブカード３５０Ａではなく植え付け爪３５０Ｄの種類を識別する器具識別情報を用いる。
・検査装置３００Ａではなく田植え機３００Ｄの植え付け状況を示す状況情報を用いる。
・自律走行ロボット３７０から取得した第５位置姿勢データではなく、田植え機３００Ｄから取得した第６位置姿勢データを用いる。

また、指示サーバ１００＿４、田植え機３００Ｄ、保管庫６００および搬送ロボット２００における処理の流れは、上記の４点を除いて、具体例１において説明した図９から１２に示すフローチャートにそれぞれ従う。

＜利点＞
具体例４によれば、搬送ロボット２００によって、搬送対象の苗５Ｄは、当該苗５Ｄの品種に応じた種類の植え付け爪３５０Ｄが設置された田植え機３００Ｄに搬送される。これにより、従来の作業者による搬送の手間が削減される。その結果、苗５Ｄの効率的な搬送が実現可能となる。

＜変形例＞
具体例１において記載した変形例１，２は、具体例４に係る搬送システム１Ｄにも適用される。

上記の説明では、田植え機３００Ｄの位置姿勢は、田植え機３００Ｄが備える位置姿勢センサ３５Ｄによって計測されるものとした。しかしながら、田植え機３００Ｄの位置姿勢は、別の手法によって計測されてもよい。例えば、搬送システム１Ｄは、田植え機３００Ｄの移動範囲を撮像する１台以上のカメラと、当該カメラから得られた画像データを解析することにより田植え機３００Ｄの位置姿勢を計測し、第６位置姿勢データを出力する演算部と、を備えていてもよい。カメラは、移動範囲に配置された固定ポールに取り付けられてもよいし、移動範囲を飛行可能なドローンに取り付けられてもよい。演算部は、最新の第６位置姿勢データを指示サーバ１００に出力する。

§６ 付記
以上のように、本実施の形態は以下のような開示を含む。

（構成１）
搬送システム（１，１Ａ～１Ｄ，１Ａ＿１～１Ａ＿５）であって、
物品（５，５Ａ～５Ｄ）に対して所定の処理が実施される複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）と、
搬送ロボット（２００，２００＿１）と、
指示部（１００，１００＿１～１００＿４）と、を備え、
前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）の各々には、複数種類の器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）から任意に選択される種類の器具が設置され、
前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ，３００Ａ＿１）の各々において、設置された前記器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）を用いて前記所定の処理が実施され、
前記指示部（１００，１００＿１～１００＿４）は、
搬送対象の物品（５，５Ａ～５Ｄ）の品種を識別する第１識別情報を取得する第１取得部（１１，１０１）と、
前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ，３００Ａ＿１）の各々に設置された前記器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）の種類を識別する第２識別情報を取得する第２取得部（１２，１２＿１～１２＿４，１０１）と、
物品（５，５Ａ～５Ｄ）の品種と当該品種の物品（５，５Ａ～５Ｄ）に対して前記所定の処理を実施するための器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）の種類とを関連付けた関連付け情報（１３２ｂ）を用いて、前記第１識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具の種類を特定する特定部（１３ａ，１０１）と、
前記第２識別情報を用いて、前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ，３００Ａ＿１）のうち、特定した種類の器具が設置された装置を対象装置として選択する選択部（１３ｂ，１０１）と、
前記搬送ロボット（２００，２００＿１）に対して、前記搬送対象の物品（５，５Ａ～５Ｄ）を前記対象装置に搬送する搬送指示を出力する第１出力部（１４，１０１）と、を含む、搬送システム（１，１Ａ～１Ｄ，１Ａ＿１～１Ａ＿５）。

（構成２）
前記搬送ロボット（２００，２００＿１）は、
自律走行ロボット（２１０）と、
前記自律走行ロボット（２１０）に搭載され、前記物品（５，５Ａ～５Ｄ）の受け渡しを行なう第１機構（２２０）と、
前記自律走行ロボット（２１０）および前記第１機構（２２０）を制御する制御部（２２～２４，２２＿１，２０１）と、を含み、
前記制御部（２２～２４，２２＿１，２０１）は、前記搬送指示に応じて、
前記搬送対象の物品の回収場所に応じた第１目標位置姿勢に前記自律走行ロボット（２１０）を移動させ、
前記自律走行ロボット（２１０）が前記第１目標位置姿勢に到達した後に、前記第１機構（２２０）に前記搬送対象の物品を回収する第１回収動作を実行させ、
前記第１回収動作の完了後に、前記対象装置に応じた第２目標位置姿勢に前記自律走行ロボットを移動させ、
前記自律走行ロボット（２１０）が前記第２目標位置姿勢に到達した後に、前記第１機構（２２０）に前記搬送対象の物品を前記対象装置に配布する第１配布動作を実行させる、構成１に記載の搬送システム（１，１Ａ～１Ｄ，１Ａ＿１～１Ａ＿５）。

（構成３）
複数の物品（５，５Ａ～５Ｄ）を保管可能な保管庫（６００）をさらに備え、
前記保管庫（６００）は、指定された物品（５，５Ａ～５Ｄ）を出庫する第２機構（６２）を有し、
前記第１目標位置姿勢は、前記保管庫（６００）から出庫された前記物品（５，５Ａ～５Ｄ）の場所に応じて定められ、
前記指示部（１００，１００＿１～１００＿４）は、前記搬送対象の物品の出庫指示を前記保管庫（５，５Ａ～５Ｄ）に出力する第２出力部（１５，１０１）をさらに含む、構成２に記載の搬送システム（１，１Ａ～１Ｄ，１Ａ＿１～１Ａ＿５）。

（構成４）
複数の物品（５，５Ａ～５Ｄ）を載置可能な棚（５００）をさらに備え、
前記棚（５００）は、
複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）と、
前記複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）の各々と載置されている物品（５，５Ａ～５Ｄ）の品種とを対応付けた管理情報（５５）を管理する第１管理部（５３）と、を有し、
前記第１目標位置姿勢は、前記複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）のうち前記第１識別情報によって識別される品種の物品（５，５Ａ～５Ｄ）が置かれている対象載置部に応じて定められ、
前記対象載置部は、前記管理情報（５５）に基づいて、前記複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）の中から特定される、構成２に記載の搬送システム（１Ａ＿１，１Ａ＿２）。

（構成５）
複数の物品（５，５Ａ～５Ｄ）を保管可能な保管庫（６００）をさらに備え、
前記保管庫（６００）は、
保管している各物品（５，５Ａ～５Ｄ）の品種を管理する第２管理部（６３）と、
指定された物品（５，５Ａ～５Ｄ）を出庫する第２機構（６２）と、を有し、
前記棚（５００）は、前記複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）の各々について、物品（５，５Ａ～５Ｄ）が載置されている第１状態と物品（５，５Ａ～５Ｄ）が載置されていない第２状態とのいずれであるかを検知する検知部（５２ａ～５２ｃ）をさらに有し、
前記第１管理部（５３）は、前記第２機構（６２）が前記指定された物品（５，５Ａ～５Ｄ）の出庫を完了した後、前記複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）のうち最初に前記第２状態から前記第１状態に変化した載置部と前記指定された物品の品種とが対応するように前記管理情報（５５）を更新する、構成４に記載の搬送システム（１Ａ＿１，１Ａ＿２）。

（構成６）
前記保管庫（６００）から出庫された物品（５，５Ａ～５Ｄ）を前記複数の載置部（５１ａ～５１ｃ）のうち前記第２状態である１つの載置部に移動させる第３機構（９１）をさらに備える、構成５に記載の搬送システム（１Ａ＿２）。

（構成７）
前記制御部（２２～２４，２２＿１，２０１）は、
前記自律走行ロボット（２１０）が前記第２目標位置姿勢に到達した後であり、前記第１機構（２２０）に前記第１配布動作を実行させる前に、前記第１機構（２２０）に、前記対象装置に置かれている前記所定の処理が実施された物品（５，５Ａ～５Ｄ）を回収させる第２回収動作を実行させ、
前記第１配布動作の完了後に、前記所定の処理が実施された物品（５，５Ａ～５Ｄ）の配布場所（１０００）に応じた第３目標位置姿勢に前記自律走行ロボット（２１０）を移動させ、
前記自律走行ロボット（２１０）が前記第３目標位置姿勢に到達した後に、前記所定の処理が実施された物品（５，５Ａ～５Ｄ）を前記配布場所に配布する第２配布動作を前記第１機構（２２０）に実行させる、構成２から６のいずれかに記載の搬送システム（１Ａ＿３）。

（構成８）
生産計画に従って、前記搬送対象の物品（５，５Ａ～５Ｄ）に対する前記所定の処理の実施命令を前記指示部（１００，１００＿１～１００＿３）に出力するサーバ（７００）をさらに備え、
前記サーバ（７００）は、前記第２識別情報に基づいて、前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｃ，３００Ａ＿１）における前記器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｃ）の交換頻度を下げるように前記生産計画を修正する、構成１から７のいずれかに記載の搬送システム（１Ａ＿４）。

（構成９）
前記複数の装置（３００Ａ＿１，３００Ｄ）の各々は、移動可能であり、
前記第２目標位置姿勢は、前記対象装置の位置姿勢に応じて定められる、構成２に記載の搬送システム（１Ａ＿５，１Ｄ）。

（構成１０）
前記複数の装置（３００Ａ＿１，３００Ｄ）の各々は、予め定められた位置に設けられるマークを有し、
前記搬送ロボット（２００）は、カメラをさらに含み、
前記制御部（２２～２４，２２＿１，２０１）は、
前記自律走行ロボット（２１０）が前記第２目標位置姿勢に到達した後の前記カメラの撮像により得られた画像に基づいて、前記マークの位置を計算し、
計算された前記マークの位置と基準位置との差分だけ、前記第１配布動作を補正する、構成９に記載の搬送システム（１Ａ＿５，１Ｄ）。

（構成１１）
前記複数の装置（３００Ａ＿１，３００Ｄ）の各々は、予め定められた位置に設けられる特徴物を有し、
前記搬送ロボット（２００）は、前記特徴物の位置を検知するセンサをさらに含み、
前記制御部（２２～２４，２２＿１，２０１）は、
前記自律走行ロボット（２１０）が前記第２目標位置姿勢に到達したときに前記センサによって検知された位置と基準位置との差分だけ、前記自律走行ロボットの位置姿勢を調整する、構成９に記載の搬送システム（１Ａ＿５，１Ｄ）。

（構成１２）
前記物品は、生産物を構成する部品（５Ｂ）であり、
前記器具は、前記部品を収容するためのトレー（３５０Ｂ）であり、
前記装置（３００Ｂ）において、前記トレー（３５０Ｂ）に収容された前記部品（５Ｂ）を用いて前記生産物が組み立てられる、構成１から１１のいずれかに記載の搬送システム（１Ｂ）。

（構成１３）
前記器具は、前記物品を固定するための治具（３５０Ｃ）であり、
前記装置（３００Ｃ）は、前記治具（３５０Ｃ）によって固定された前記物品（５Ｂ）の性能を評価する、構成１から１１のいずれかに記載の搬送システム（１Ｃ）。

（構成１４）
前記物品は、苗（５Ｄ）であり、
前記器具は、前記苗（５Ｄ）を植え付けるための植え付け爪（３５０Ｄ）であり、
前記装置は、前記植え付け爪（３５０Ｄ）を用いて前記苗（５Ｄ）を植え付ける、構成１から１１のいずれかに記載の搬送システム（１Ｄ）。

（構成１５）
搬送システム（１，１Ａ～１Ｄ，１Ａ＿１～１Ａ＿５）における搬送方法であって、
前記搬送システム（１，１Ａ～１Ｄ，１Ａ＿１～１Ａ＿５）は、
物品（５，５Ａ～５Ｄ）に対して所定の処理が実施される複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）と、
搬送ロボット（２００，２００＿１）と、を備え、
前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）の各々には、複数種類の器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）から任意に選択される種類の器具が設置され、
前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）の各々において、設置された前記器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）を用いて前記所定の処理が実施され、
前記搬送方法は、
搬送対象の物品（５，５Ａ～５Ｄ）の品種を識別する第１識別情報を取得するステップと、
前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）の各々に設置された前記器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）の種類を識別する第２識別情報を取得するステップと、
物品（５，５Ａ～５Ｄ）の品種と当該品種の物品（５，５Ａ～５Ｄ）に対して前記所定の処理を実施するための器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）の種類とを関連付けた関連付け情報（１３２ｂ）を用いて、前記第１識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）の種類を特定するステップと、
前記第２識別情報を用いて、前記複数の装置（３００，３００Ａ～３００Ｄ）のうち、特定した種類の器具（３５０，３５０Ａ～３５０Ｄ）が設置された装置を対象装置として選択するステップと、
前記搬送ロボット（２００，２００＿１）に対して、前記搬送対象の物品（５，５Ａ～５Ｄ）を前記対象装置に搬送する搬送指示を出力するステップと、を備える、搬送方法。

本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１，１Ａ～１Ｄ 搬送システム、５ 物品、５Ａ 半導体ウェハセット、５Ｂ 部品、５Ｃ 製品、５Ｄ 苗、６ａ 半導体ウェハ、６ｂ カセット、１１ 第１取得部、１２，１２＿４ 第２取得部、１２＿３ 検査装置管理部、１３，１３＿１～１３＿４ 制御部、１４ 自動搬送指示部、１５ 出庫指示部、１６ 器具交換指示部、１７ 第３取得部、１８ 第４取得部、２１，３４Ａ～３４Ｄ 通信部、２２，２２＿１ 統合制御部、２３，３９ 走行制御部、２４ 上物制御部、３１Ａ 器具装着機構、３１Ｄ 器具固定部、３２Ａ～３２Ｄ 器具管理部、３３Ａ 検査部、３３Ｂ 組立部、３３Ｃ 評価部、３３Ｄ 植え付け部、３５Ｄ，２１１，３７４ 位置姿勢センサ、３６ 情報取得部、３７ 通信制御部、３８ 無線通信部、５１ａ～５１ｃ 載置部、５２ａ～５２ｃ 検知部、５３ 載置データベース管理部、５４ 出庫情報取得部、５５ 載置データベース、６１ 保管データベース、６２ 入出庫機構、６３，９３ コントローラ、６４ 台、６５ 収容空間、７１ 生産計画データベース、７２ 命令部、９１ ピックアンドプレース機構、９２，２３４ 教示データベース、１００，１００＿１～１００＿４ 指示サーバ、１０１，２０１，３７１ プロセッサ、１０２，２０２，３７２ メモリ、１０３，２０３，３７３ ストレージ、１０４，３７７ 通信インターフェイス、１０５，２０６，３７８ 無線通信インターフェイス、１３１ 搬送指示プログラム、１３２ データベース群、１３２ａ，１３２ｃ，１３２ｄ，１３２ｅ 位置データベース、１３２ｂ 関連付け情報、１３３ 特定部、１３４ 選択部、２００，２００＿１ 搬送ロボット、２０４，２０７ 在荷センサ、２０５，２０８ ラック、２１０，３７０ 自律走行ロボット、２１２，３７５ 駆動部、２１３，３７６ 車輪、２２０ マニピュレータ、２３１，３８０ 走行制御プログラム、２３２ マニピュレータ制御プログラム、２３３ 統合制御プログラム、２３５ 在荷情報記憶部、３００ 装置、３００Ａ 検査装置、３００Ｂ 作業台、３００Ｃ 評価装置、３００Ｄ 田植え機、３５０ 器具、３５０Ａ プローブカード、３５０Ｂ 専用トレー、３５０Ｃ 固定治具、３５０Ｄ 植え付け爪、３８１ 通信制御プログラム、５００ 仮置き棚、６００，１０００ 保管庫、７００ ＭＥＳサーバ、８００ 端末、９００ 移載ロボット。

Claims (15)

1. 搬送システムであって、
   物品に対して所定の処理が実施される複数の装置と、
   搬送ロボットと、
   指示部と、を備え、
   前記複数の装置の各々には、複数種類の器具から任意に選択される種類の器具が設置され、
   前記複数の装置の各々において、設置された前記器具を用いて前記所定の処理が実施され、
   前記指示部は、
   搬送対象の物品の品種を識別する第１識別情報を取得する第１取得部と、
   前記複数の装置の各々に設置された前記器具の種類を識別する第２識別情報を取得する第２取得部と、
   物品の品種と当該品種の物品に対して前記所定の処理を実施するための器具の種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、前記第１識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具の種類を特定する特定部と、
   前記第２識別情報を用いて、前記複数の装置のうち、特定した種類の器具が設置された装置を対象装置として選択する選択部と、
   前記搬送ロボットに対して、前記搬送対象の物品を前記対象装置に搬送する搬送指示を出力する第１出力部と、を含む、搬送システム。
2. 前記搬送ロボットは、
   自律走行ロボットと、
   前記自律走行ロボットに搭載され、前記物品の受け渡しを行なう第１機構と、
   前記自律走行ロボットおよび前記第１機構を制御する制御部と、を含み、
   前記制御部は、前記搬送指示に応じて、
   前記搬送対象の物品の回収場所に応じた第１目標位置姿勢に前記自律走行ロボットを移動させ、
   前記自律走行ロボットが前記第１目標位置姿勢に到達した後に、前記第１機構に前記搬送対象の物品を回収する第１回収動作を実行させ、
   前記第１回収動作の完了後に、前記対象装置に応じた第２目標位置姿勢に前記自律走行ロボットを移動させ、
   前記自律走行ロボットが前記第２目標位置姿勢に到達した後に、前記第１機構に前記搬送対象の物品を前記対象装置に配布する第１配布動作を実行させる、請求項１に記載の搬送システム。
3. 複数の物品を保管可能な保管庫をさらに備え、
   前記保管庫は、指定された物品を出庫する第２機構を有し、
   前記第１目標位置姿勢は、前記保管庫から出庫された前記物品の場所に応じて定められ、
   前記指示部は、前記搬送対象の物品の出庫指示を前記保管庫に出力する第２出力部をさらに含む、請求項２に記載の搬送システム。
4. 複数の物品を載置可能な棚をさらに備え、
   前記棚は、
   複数の載置部と、
   前記複数の載置部の各々と載置されている物品の品種とを対応付けた管理情報を管理する第１管理部と、を有し、
   前記第１目標位置姿勢は、前記複数の載置部のうち前記第１識別情報によって識別される品種の物品が置かれている対象載置部に応じて定められ、
   前記対象載置部は、前記管理情報に基づいて、前記複数の載置部の中から特定される、請求項２に記載の搬送システム。
5. 複数の物品を保管可能な保管庫をさらに備え、
   前記保管庫は、
   保管している各物品の品種を管理する第２管理部と、
   指定された物品を出庫する第２機構と、を有し、
   前記棚は、前記複数の載置部の各々について、物品が載置されている第１状態と物品が載置されていない第２状態とのいずれであるかを検知する検知部をさらに有し、
   前記第１管理部は、前記第２機構が前記指定された物品の出庫を完了した後、前記複数の載置部のうち最初に前記第２状態から前記第１状態に変化した載置部と前記指定された物品の品種とが対応するように前記管理情報を更新する、請求項４に記載の搬送システム。
6. 前記保管庫から出庫された物品を前記複数の載置部のうち前記第２状態である１つの載置部に移動させる第３機構をさらに備える、請求項５に記載の搬送システム。
7. 前記制御部は、
   前記自律走行ロボットが前記第２目標位置姿勢に到達した後であり、前記第１機構に前記第１配布動作を実行させる前に、前記第１機構に、前記対象装置に置かれている前記所定の処理が実施された物品を回収させる第２回収動作を実行させ、
   前記第１配布動作の完了後に、前記所定の処理が実施された物品の配布場所に応じた第３目標位置姿勢に前記自律走行ロボットを移動させ、
   前記自律走行ロボットが前記第３目標位置姿勢に到達した後に、前記所定の処理が実施された物品を前記配布場所に配布する第２配布動作を前記第１機構に実行させる、請求項２から６のいずれか１項に記載の搬送システム。
8. 生産計画に従って、前記搬送対象の物品に対する前記所定の処理の実施命令を前記指示部に出力するサーバをさらに備え、
   前記サーバは、前記第２識別情報に基づいて、前記複数の装置における前記器具の交換頻度を下げるように前記生産計画を修正する、請求項１から７のいずれか１項に記載の搬送システム。
9. 前記複数の装置の各々は、移動可能であり、
   前記第２目標位置姿勢は、前記対象装置の位置姿勢に応じて定められる、請求項２に記載の搬送システム。
10. 前記複数の装置の各々は、予め定められた位置に設けられるマークを有し、
    前記搬送ロボットは、カメラをさらに含み、
    前記制御部は、
    前記自律走行ロボットが前記第２目標位置姿勢に到達した後の前記カメラの撮像により得られた画像に基づいて、前記マークの位置を計算し、
    計算された前記マークの位置と基準位置との差分だけ、前記第１配布動作を補正する、請求項９に記載の搬送システム。
11. 前記複数の装置の各々は、予め定められた位置に設けられる特徴物を有し、
    前記搬送ロボットは、前記特徴物の位置を検知するセンサをさらに含み、
    前記制御部は、
    前記自律走行ロボットが前記第２目標位置姿勢に到達したときに前記センサによって検知された位置と基準位置との差分だけ、前記自律走行ロボットの位置姿勢を調整する、請求項９に記載の搬送システム。
12. 前記物品は、生産物を構成する部品であり、
    前記器具は、前記部品を収容するためのトレーであり、
    前記装置において、前記トレーに収容された前記部品を用いて前記生産物が組み立てられる、請求項１から１１のいずれか１項に記載の搬送システム。
13. 前記器具は、前記物品を固定するための治具であり、
    前記装置は、前記治具によって固定された前記物品の性能を評価する、請求項１から１１のいずれか１項に記載の搬送システム。
14. 前記物品は、苗であり、
    前記器具は、前記苗を植え付けるための植え付け爪であり、
    前記装置は、前記植え付け爪を用いて前記苗を植え付ける、請求項１から１１のいずれか１項に記載の搬送システム。
15. 搬送システムにおける搬送方法であって、
    前記搬送システムは、
    物品に対して所定の処理が実施される複数の装置と、
    搬送ロボットと、を備え、
    前記複数の装置の各々には、複数種類の器具から任意に選択される種類の器具が設置され、
    前記複数の装置の各々において、設置された前記器具を用いて前記所定の処理が実施され、
    前記搬送方法は、
    搬送対象の物品の品種を識別する第１識別情報を取得するステップと、
    前記複数の装置の各々に設置された前記器具の種類を識別する第２識別情報を取得するステップと、
    物品の品種と当該品種の物品に対して前記所定の処理を実施するための器具の種類とを関連付けた関連付け情報を用いて、前記第１識別情報によって識別される品種に関連付けられた器具の種類を特定するステップと、
    前記第２識別情報を用いて、前記複数の装置のうち、特定した種類の器具が設置された装置を対象装置として選択するステップと、
    前記搬送ロボットに対して、前記搬送対象の物品を前記対象装置に搬送する搬送指示を出力するステップと、を備える、搬送方法。

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