JP5241607B2 - 基板収納容器 - Google Patents
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Description
複数のパージバルブの構成を同一とし、
各パージバルブは、両端部間で空気あるいは不活性ガスを流通させる中空のバルブケースと、このバルブケースに往復動可能に挿入支持され、このバルブケースを開閉する中空の内圧調整弁体と、この内圧調整弁体に往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体を開閉する外圧調整弁体と、バルブケースと内圧調整弁体及び外圧調整弁体との間に介在されるフィルタとを含み、バルブケースの一端部を開口して容器本体の外部に向け、バルブケースの他端部を容器本体の内部に向け、このバルブケースの他端部に少なくとも通気性を付与するとともに、バルブケースの他端部内と内圧調整弁体及び外圧調整弁体との間にフィルタを介在し、
バルブケースの一端部から他端部方向に不活性ガスが流通する場合には、外圧調整弁体を往動させてその閉じた内圧調整弁体との間を開放し、バルブケースの他端部から一端部方向に容器本体内の空気が流通する場合には、内圧調整弁体を往動させてその閉じたバルブケースとの間を開放するようにしたことを特徴としている。
複数のパージバルブの構成を同一とし、
各パージバルブは、両端部間で空気あるいは不活性ガスを流通させる中空のバルブケースと、このバルブケースに往復動可能に挿入支持され、このバルブケースを開閉する中空の外圧調整弁体と、この外圧調整弁体に往復動可能に挿入支持され、外圧調整弁体を開閉する内圧調整弁体と、バルブケースと外圧調整弁体及び内圧調整弁体との間に介在されるフィルタとを含み、バルブケースの一端部を開口して容器本体の外部に向け、バルブケースの他端部を容器本体の内部に向け、このバルブケースの他端部に少なくとも通気性を付与するとともに、バルブケースの他端部内と外圧調整弁体及び内圧調整弁体との間にフィルタを介在し、
バルブケースの一端部から他端部方向に不活性ガスが流通する場合には、外圧調整弁体を往動させてその閉じたバルブケースとの間を開放し、バルブケースの他端部から一端部方向に容器本体内の空気が流通する場合には、内圧調整弁体を往動させてその閉じた外圧調整弁体との間を開放するようにしたことを特徴としている。
また、容器本体の内部後方に、容器本体の背面壁内面との間に気体隔離用のチャンバ領域を形成する区画遮蔽板を取り付け、チャンバ領域にパージバルブを連通させ、区画遮蔽板には、基板方向に不活性ガスを噴出する噴出口を形成することができる。
また、区画遮蔽板に、区画遮蔽板の内部と噴出口とを隔離するフィルタを取り付け、このフィルタにより、所定の圧力に蓄積された気体を噴出口から外部に噴出させることが可能である。
また、バルブケースの保持ケースに中空のノズルタワーを突出形成し、このノズルタワーには、気体用の噴出孔を設けても良い。
さらに、ノズルタワーの噴出孔を、ノズルタワーの内部から外部に向かうにしたがい徐々に広がるよう形成しても良い。
なお、フィルタ保持具46は、リングに形成されてその開口部内にフィルタ48を直接的に支持したり、仕切りリブ47を介して間接的に支持しており、保持ケース29内に着脱自在に嵌合される。その他の部分については、上記実施形態と略同様であるので説明を省略する。
3 底板
4 貫通孔
7 背面壁
10 蓋体
20 パージバルブ
21 バルブケース
22 筒形ケース
23 ガイド傾斜面
25 支持部
27 コイルバネ
29 保持ケース
27 コイルバネ
32 Oリング
35 スペーサリング
37 緩み防止リング
39 内圧調整弁体
40 Oリング(シール部材)
41 コイルバネ
42 ガイド支持斜面
44 外圧調整弁体
45 Oリング(シール部材)
46 フィルタ保持具
48 フィルタ
51 ノズルタワー
52 噴出孔
53 チャンバ領域
54 区画遮蔽板
55 噴出口
57 接触キャップ
58 流通口
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備え、これら容器本体と蓋体のいずれか一方に複数の貫通孔を設け、この複数の貫通孔に、気体を給排気してその流通を制御する双方向性のパージバルブをそれぞれ嵌着し、この複数のパージバルブにより、容器本体内の空気を不活性ガスに置換する基板収納容器であって、
複数のパージバルブの構成を同一とし、
各パージバルブは、両端部間で空気あるいは不活性ガスを流通させる中空のバルブケースと、このバルブケースに往復動可能に挿入支持され、このバルブケースを開閉する中空の内圧調整弁体と、この内圧調整弁体に往復動可能に挿入支持され、内圧調整弁体を開閉する外圧調整弁体と、バルブケースと内圧調整弁体及び外圧調整弁体との間に介在されるフィルタとを含み、バルブケースの一端部を開口して容器本体の外部に向け、バルブケースの他端部を容器本体の内部に向け、このバルブケースの他端部に少なくとも通気性を付与するとともに、バルブケースの他端部内と内圧調整弁体及び外圧調整弁体との間にフィルタを介在し、
バルブケースの一端部から他端部方向に不活性ガスが流通する場合には、外圧調整弁体を往動させてその閉じた内圧調整弁体との間を開放し、バルブケースの他端部から一端部方向に容器本体内の空気が流通する場合には、内圧調整弁体を往動させてその閉じたバルブケースとの間を開放するようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備え、これら容器本体と蓋体のいずれか一方に複数の貫通孔を設け、この複数の貫通孔に、気体を給排気してその流通を制御する双方向性のパージバルブをそれぞれ嵌着し、この複数のパージバルブにより、容器本体内の空気を不活性ガスに置換する基板収納容器であって、
複数のパージバルブの構成を同一とし、
各パージバルブは、両端部間で空気あるいは不活性ガスを流通させる中空のバルブケースと、このバルブケースに往復動可能に挿入支持され、このバルブケースを開閉する中空の外圧調整弁体と、この外圧調整弁体に往復動可能に挿入支持され、外圧調整弁体を開閉する内圧調整弁体と、バルブケースと外圧調整弁体及び内圧調整弁体との間に介在されるフィルタとを含み、バルブケースの一端部を開口して容器本体の外部に向け、バルブケースの他端部を容器本体の内部に向け、このバルブケースの他端部に少なくとも通気性を付与するとともに、バルブケースの他端部内と外圧調整弁体及び内圧調整弁体との間にフィルタを介在し、
バルブケースの一端部から他端部方向に不活性ガスが流通する場合には、外圧調整弁体を往動させてその閉じたバルブケースとの間を開放し、バルブケースの他端部から一端部方向に容器本体内の空気が流通する場合には、内圧調整弁体を往動させてその閉じた外圧調整弁体との間を開放するようにしたことを特徴とする基板収納容器。 - 容器本体を構成する底板の基板の投影領域と重ならない箇所に複数の貫通孔を穿孔し、各貫通孔にパージバルブをスペーサリングと緩み防止リングとを介して嵌め付けた請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 容器本体の内部後方に、容器本体の背面壁内面との間に気体隔離用のチャンバ領域を形成する区画遮蔽板を取り付け、チャンバ領域にパージバルブを連通させ、区画遮蔽板には、基板方向に不活性ガスを噴出する噴出口を形成した請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- バルブケースを、内圧調整弁体と外圧調整弁体とを収納する筒形ケースと、フィルタを収納して筒形ケースに着脱自在に嵌め合わされる少なくとも中空の保持ケースとに分割し、筒形ケースの一端部側を略漏斗形に形成してその内面を内圧調整弁体に密接してシールするガイド傾斜面とし、筒形ケース内の一端部側と残部との境界付近には、内圧調整弁体を支持する支持部を形成した請求項1、3、又は4記載の基板収納容器。
- 内圧調整弁体を筒形に形成してその一端部側の周面には筒形ケースのガイド傾斜面に密接するシール部材を取り付け、内圧調整弁体の他端部側を略漏斗形に形成してその内面をガイド支持斜面とし、外圧調整弁体を略柱形に形成してその周面には内圧調整弁体のガイド支持斜面に密接するシール部材を取り付けた請求項5記載の基板収納容器。
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