CN117296140A - 基板收纳容器 - Google Patents

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Abstract

基板收纳容器(1)具备：容器主体(2)；盖体(3)；能将基板收纳空间(27)与容器主体(2)的外部的空间连通的通气通道(98、99)；气体喷出喷嘴部(8)，具有将流入通气通道(98、99)的气体向基板收纳空间(27)供给的多个开口部(841)；以及能使气体从多个开口部(841)以均匀化了的流量流出的气体流量均匀化部(801、803、804)，气体流量均匀化部具有：气体滞留室(801)；气体流出前保持室(804)；以及室间间隔部(812、822)，阻止将气体滞留室(801)与气体流出前保持室(804)直线地连通，并形成将气体滞留室(801)与气体流出前保持室(804)连通的室间流道(806)。

Description

基板收纳容器
技术领域
本发明涉及在收纳、保管、搬运、输送半导体晶片、掩膜板、印刷基板等基板等时使用的基板收纳容器。
背景技术
作为收纳各种基板的基板收纳容器，以往已知有一种具备容器主体和盖体的构成。
容器主体的一端部具有容器主体开口部。容器主体的另一端部具有封闭的筒状的壁部。在容器主体内形成有基板收纳空间。基板收纳空间由壁部包围形成，能够收纳基板。盖体相对于容器主体开口部可装拆，能够封闭容器主体开口部。侧方基板支承部以在基板收纳空间内成对的方式设置在壁部。当容器主体开口部未被盖体封闭时，侧方基板支承部能够在使相邻的基板之间以规定的间隔分开排列的状态下支承基板的边缘部。
在作为盖体一部分且当封闭容器主体开口部时与基板收纳空间相对的部分上，设置有前部保持构件(盖体侧基板支承部)。在容器主体开口部被盖体封闭时，前部保持构件能够支承基板的边缘部。另外，以与前部保持构件成对的方式，在壁部设置有后侧基板支承部。后侧基板支承部能够支承基板的边缘部。在容器主体开口部被盖体封闭时，后侧基板支承部与前部保持构件协同动作支承基板，由此在使相邻的基板之间以规定的间隔分开排列的状态下支承基板。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本实用新型公开公报特表2016-538732号
专利文献2：日本专利公开公报2017-17264号
专利文献3：日本专利公开公报2016-004949号
发明内容
本发明要解决的技术问题
在具有将基板收纳空间与基板收纳容器的外部连通的通气孔亦即扫气孔的基板收纳容器中，在将盖体取下的状态下，使用清洁干燥空气(CDA)、氮气(N2)作为吹扫气体，从基板收纳容器的外部的装入口供给的该吹扫气体从容器主体的下表面(外表面)通过贯通孔向设置在基板收纳容器内表面的气体喷出喷嘴部供给。由此进行气体吹扫。此时，为了可靠地进行利用气体吹扫的吹扫气体的置换，要求从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给吹扫气体。
本发明的目的在于提供在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器。
用于解决技术问题的技术方案
本发明提供一种基板收纳容器，其包括：容器主体，具备在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部且另一端部封闭的筒状的壁部，并由所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；盖体，相对于所述容器主体开口部能够装拆，能够封闭所述容器主体开口部；通气通道，能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通；气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气通道的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，所述气体流量均匀化部具有气体滞留室、气体流出前保持室以及室间间隔部，所述室间间隔部阻止将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室直线地连通，并形成将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室连通的室间流道。
另外优选的是，所述气体流量均匀化部具有划分壁，所述划分壁将所述气体流出前保持室划分成多个气体流出前保持分室。另外优选的是，所述多个气体流出前保持分室具有均匀的容积。另外优选的是，所述气体滞留室被分室间间隔部隔开成多个气体滞留分室。另外优选的是，形成有与全部的所述气体滞留分室连通的气体供给流道。
另外优选的是，所述气体喷出喷嘴部具有与开口部连通的喷嘴部室，所述喷嘴部室通过疏水性膜与所述气体流出前保持室连通。另外优选的是，所述喷嘴部室与所有开口部以及所有所述气体流出前保持分室连通。另外优选的是，所述气体喷出喷嘴部具有规定方向流出部，所述规定方向流出部使气体从所述开口部朝向规定的方向流出。
另外优选的是，所述开口部分别与收纳于所述基板收纳空间的多个所述基板的每一个对应地形成。另外优选的是，所述基板收纳容器具备具有所述气体喷出喷嘴部以及所述气体流量均匀化部的柱状的突出部，所述突出部的基部***形成于所述容器主体的所述壁部且形成所述通气通道的孔的、设置有密封部件的孔中，并且将所述突出部的前端侧的部分相对于所述容器主体的所述壁部固定，由此所述突出部固定在所述容器主体。
发明效果
按照本发明，可提供一种在基板收纳空间中能够从气体喷出喷嘴部的多个开口部均匀地供给气体的基板收纳容器。
附图说明
图1是表示在本发明实施方式的基板收纳容器1中收纳有多个基板W的情况的分解立体图。
图2是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。
图3是表示本发明实施方式的基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。
图4是表示在图3的A-A线切断的容器主体2的侧方断面图。
图5是表示基板收纳容器1的突出部8的立体图。
图6是表示基板收纳容器1的突出部8的分解立体图。
图7是表示构成基板收纳容器1的突出部8的突出部主体部81内部的吹扫气体流动的分解立体图。
图8是表示基板收纳容器1的突出部8的后方立体断面图。
图9是表示基板收纳容器1的突出部8的前方立体断面图。
图10是表示构成基板收纳容器1的突出部8的喷嘴部室形成部84的侧视图。
具体实施方式
[基板收纳容器1的整体构成]
以下，边参照附图边对本实施方式的基板收纳容器1进行说明。
图1是表示在基板收纳容器1中收纳有多个基板W的情况的分解立体图。图2是表示基板收纳容器1的容器主体2的上方立体图。图3是表示基板收纳容器1的容器主体2的下方立体图。图4是表示在图3的A-A线切断的容器主体2的侧方断面图。
在此，为了方便说明，将从后述的容器主体2朝向盖体3的方向(从图1中的右上朝向左下的方向)定义为前方D11，将其相反的方向定义为后方D12，将它们合起来定义为前后方向D1。另外，将从后述的下壁24朝向上壁23的方向(图1中的朝上方)定义为上方D21，将其相反的方向定义为下方D22，将它们合起来定义为上下方向D2。另外，将从后述的第二侧壁26朝向第一侧壁25的方向(从图1中的右下朝向左上的方向)定义为左方D31，将其相反的方向定义为右方D32，将它们合起来定义为左右方向D3。在主要的图中图示了表示这些方向的箭头。
另外，收纳在基板收纳容器1中的基板W(参照图1)是圆盘状的硅晶片、玻璃晶片、蓝宝石晶片等，是用于工业的薄基板。本实施方式中的基板W是直径300mm的硅晶片。
如图1～图4所示，基板收纳容器1收纳由上述这样的硅晶片构成的基板W，用作在工厂内的工序中搬运的工序内容器，或用作用于通过陆运手段/空运手段/海运手段等输送手段输送基板的发货容器，由容器主体2以及盖体3构成。容器主体2具备作为侧方基板支承部的基板支承板状部5、以及后侧基板支承部6。盖体3具备作为盖体侧基板支承部的未图示的前部保持构件。
容器主体2具有在一端部形成容器主体开口部21且另一端部封闭的筒状的壁部20。在容器主体2内形成有基板收纳空间27。基板收纳空间27由壁部20包围形成。在作为壁部20的一部分且形成基板收纳空间27的部分上配置有基板支承板状部5。如图1所示，在基板收纳空间27中能够收纳多个基板W。
基板支承板状部5是以在基板收纳空间27内成对的方式配置的内置件，可装拆地固定设置在壁部20。基板支承板状部5通过与多个基板W的边缘部抵接，能够在使相邻的基板W之间彼此以规定的间隔分开排列的状态下，支承多个基板W的边缘部。在基板支承板状部5的后侧，与基板支承板状部5一体成型地设置有后侧基板支承部6。
后侧基板支承部6以在基板收纳空间27内与后述的未图示的前部保持构件成对的方式设置在壁部20。后侧基板支承部6通过与多个基板W的边缘部抵接，能够支承多个基板W的边缘部的后部。
盖体3相对于形成容器主体开口部21的开口周缘部28可装拆，能够封闭容器主体开口部21。未图示的前部保持构件设置在作为盖体3的一部分且当容器主体开口部21被盖体3封闭时与基板收纳空间27相对的部分上。前部保持构件以在基板收纳空间27的内部与后侧基板支承部6成对的方式配置。
前部保持构件在容器主体开口部21被盖体3封闭时通过与多个基板W的边缘部抵接，能够支承多个基板W的边缘部的前部。前部保持构件在容器主体开口部21被盖体3封闭时通过与后侧基板支承部6协同动作支承多个基板W，能够在使相邻的基板W之间以规定的间隔分开排列的状态下保持基板W。
基板收纳容器1由塑料材料等树脂构成，在没有特别说明的情况下，作为该材料的树脂，例如可以例举出聚碳酸酯、环烯烃聚合物、聚醚酰亚胺、聚醚酮、聚对苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物这样的热塑性树脂或它们的合金等。在对这些成型材料的树脂赋予导电性的情况下，选择性地添加碳纤维、碳粉末、碳纳米管、导电性聚合物等导电性物质。另外，为了提高刚性，也可以添加玻璃纤维、碳纤维等。
[容器主体2]
以下，对各部分详细地进行说明。如图1～图4所示，容器主体2的壁部20具有后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26。后壁22、上壁23、下壁24、第一侧壁25以及第二侧壁26由上述的材料构成，并一体成型。
第一侧壁25与第二侧壁26相对，上壁23与下壁24相对。上壁23的后端、下壁24的后端、第一侧壁25的后端以及第二侧壁26的后端全部与后壁22连接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一侧壁25的前端以及第二侧壁26的前端构成开口周缘部28，该开口周缘部28形成呈大致长方形的容器主体开口部21。
开口周缘部28设置在容器主体2的一端部，后壁22位于容器主体2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主体2的外形为箱形。壁部20的内表面亦即后壁22的内表面、上壁23的内表面、下壁24的内表面、第一侧壁25的内表面以及第二侧壁26的内表面形成由它们包围的基板收纳空间27。由开口周缘部28形成的容器主体开口部21与被壁部20包围且形成在容器主体2的内部的基板收纳空间27连通。在基板收纳空间27中最大能够收纳25个基板W。
在作为上壁23以及下壁24的一部分且在开口周缘部28附近的部分上形成有朝向基板收纳空间27的外部凹陷的插销卡合凹部231A、231B、241A、241B。插销卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23以及下壁24的左右两端部附近各形成有一个，合计形成有四个。
在上壁23的外表面上，与上壁23一体成型地设置有肋235。肋235提高容器主体2的刚性。另外，在上壁23的中央部固定有顶部凸缘236。顶部凸缘236是在AMHS(自动晶片搬运***)、PGV(晶片基板搬运台车)等上悬挂基板收纳容器1时在基板收纳容器1上成为被挂住并悬挂的部分的部件。
在下壁24固定有底板244。底板244具有与构成下壁24的外表面的下表面的大致整个面相对配置的大致长方形的板状，固定于下壁24。
在下壁24的四角附近形成有作为两种贯通孔的供气孔242以及排气孔243。在本实施方式中，下壁24的前部的两个部位的贯通孔是用于排出容器主体2的内部的气体的排气孔243，后部的两个部位的贯通孔是用于向容器主体2的内部供给气体的供气孔242。
在作为供气孔242的贯通孔上配置有作为附加部件的供气用过滤器部98，在作为排气孔243的贯通孔上配置有排气用过滤器部99。即，供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99的内部的气体的流道构成能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的通气通道的一部分。另外，供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99配置在壁部20，在供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99，气体能够通过过滤器(未图示)在容器主体2的外部的空间与基板收纳空间27之间通过。向供气用过滤器部98供给的吹扫气体能向基板收纳空间27供给。排气用过滤器部99能够使气体从基板收纳空间27向容器主体2的外部的空间通过。
[突出部8]
后壁22具有具备气体喷出喷嘴部的突出部8(参照图5)。如图6所示，突出部8具有突出部主体部81、内部壁部82、疏水性膜83以及喷嘴部室形成部84，如图6所示，它们依次以该顺序相互固定并构成突出部8。
突出部8以两个成对的方式设置。形成有环状的槽8191，在槽8191嵌入有作为未图示的密封部件的O形环的突出部主体部81的基部819，其以与供气用过滤器部98的内部的通气通道气密连通的方式，通过各一个合计两个***结构***形成于两个供气孔242附近的容器主体2的下壁24的一部分的孔中，由此固定于容器主体2的下壁24。在形成于容器主体2的下壁24的该孔也设置有相对基部819进行密封的未图示的密封部件。另外，作为突出部8的前端侧的一部分的突出部8的上部通过卡扣装配(snap-fit)或者熔接等固定在构成壁部20的后壁22上。
通过该构成，一对突出部8肋状地朝向容器主体开口部21突出，平行地从后壁22的上端部延伸到下端部。突出部8为中空的柱状。
突出部8具有：多个开口部841，将流入通气通道的气体向基板收纳空间27供给，所述通气通道是能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的、供气用过滤器部98的内部的气体的流道；以及气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从多个开口部841流出。
具体地说，气体流量均匀化部位于能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通的通气通道(供气用过滤器部98的内部的气体的流道)与开口部841之间。气体流量均匀化部具有：气体滞留室801；气体流出前保持室804；室间间隔部(主体侧间隔部812、内壁侧间隔部822)，阻止将气体滞留室801与气体流出前保持室804直线地连通，并形成将气体滞留室801与气体流出前保持室804连通的室间流道806；以及喷嘴部室803。
如图8、图9等所示，气体滞留室801由被突出部主体部81、内部壁部82、室间间隔部(主体侧间隔部812、内壁侧间隔部822)包围的空间构成。气体流出前保持室804由被突出部主体部81、以堵塞内部壁部82以及形成于内部壁部82的贯通孔的方式设置的疏水性膜83、以及室间间隔部(主体侧间隔部812、内壁侧间隔部822)包围的空间构成。喷嘴部室803由被以堵塞内部壁部82以及形成于内部壁部82的贯通孔的方式设置的疏水性膜83以及喷嘴部室形成部84包围的空间构成。
如图6、图7所示，气体滞留室801被在上下方向上以规定的间隔设置的分室间间隔部811隔开成多个气体滞留分室。分室间间隔部811不是完全地划分气体滞留室801并使吹扫气体不能在多个气体滞留分室之间流通，而是在与内部壁部82之间形成有气体流通空间8011。因此，在沿上下方向相邻的气体滞留分室之间吹扫气体能够流通。
气体流通空间8011不是在上下方向上从突出部8的最下部到最上部直线状地连通气体滞留室801。具体地说，从内部壁部82向气体滞留室801的内部延伸的分室间间隔部823设置在内部壁部82。因此，从供气用过滤器部98的通气通道向气体滞留室801流入的吹扫气体通过由分室间间隔部811以及分室间间隔部823形成为曲柄形状的气体流通空间8011的、与所有气体滞留分室连通的气体滞留室801的部分，从气体滞留室801的最下端朝向最上端流动。
如图6、图7所示，气体流出前保持室804由在上下方向上以规定的间隔设置的划分壁813划分成多个气体流出前保持分室。划分壁813完全地划分气体流出前保持室804，使吹扫气体不能在多个气体流出前保持分室之间流通。因此，流入了各气体流出前保持分室的吹扫气体通过疏水性膜83流入喷嘴部室803。如图6、图7所示，由划分壁813划分的多个气体流出前保持分室具有均匀的容积。
疏水性膜83以嵌入在形成于内部壁部82的多个贯通孔821的周围且形成在内部壁部82的前侧的凹部的状态被固定。疏水性膜83由在清洗基板收纳容器1的容器主体2时即使湿润、流动阻力也不变化的疏水性的膜构成。具体地说，作为疏水性膜83，使用具有通气性/疏水性能的多孔膜、片、或者具有疏水性能的涂层品等，在本实施方式中，使用PTFE膜。
在喷嘴部室803的内部未设置分室间间隔部或划分壁。因此，作为从下端部到上端部连续地延续的一个室形成。如图10所示，在形成有喷嘴部室803的喷嘴部室形成部84的前侧，形成有多个开口部841。开口部841的个数与基板收纳空间27中能够收纳的基板W的每一个对应，具体地说，形成有25个开口部841。喷嘴部室803与所有开口部841连通，另外，通过疏水性膜83，与由划分壁813划分成多个的所有气体流出前保持分室连通。
如图10所示，在开口部841的上侧以比开口部841的下侧更向前方D11突出的方式设置有随着分别向前方D11去而向下方D22倾斜的倾斜檐842。倾斜檐842彼此平行地延伸。倾斜檐842阻止在清洗容器主体2时清洗液从开口部841向喷嘴部室803流入。另外，倾斜檐842构成使气体从开口部841向下方D22流出的规定方向流出部。
[盖体3]
如图1所示，盖体3具有与容器主体2的开口周缘部28的形状大致一致的大致长方形。盖体3相对于容器主体2的开口周缘部28可装拆，通过将盖体3安装到开口周缘部28，盖体3能够以被开口周缘部28包围的位置关系封闭容器主体开口部21。
在盖体3的内表面(图1所示的盖体3的背侧的面)且与形成在盖体3封闭容器主体开口部21时紧挨着开口周缘部28的后方D12的位置的台阶部分的面(密封面281)相对的面上，以环绕盖体3的外周缘部一周的方式安装有环状的密封部件4。密封部件4以环绕盖体3一周的方式配置。密封部件4为能够弹性变形的聚酯系、聚烯烃系等各种热塑性弹性体、氟橡胶制、硅橡胶制等。
在将盖体3安装到开口周缘部28时，密封部件4被容器主体2的密封面281与盖体3的内表面夹住并弹性变形。即，通过使密封部件4介于盖体3与容器主体2之间，在盖体3与开口周缘部28彼此不抵接地分离的状态下，盖体3能够封闭容器主体开口部21。通过将盖体3从开口周缘部28取下，能够相对于容器主体2内的基板收纳空间27取出或放入基板W。
在盖体3设置有插销机构。插销机构设置在盖体3的左右两端部附近，如图1所示，插销机构具备能够从盖体3的上边向上方D21突出的两个上侧插销部32A、32A以及能够从盖体3的下边向下方D22突出的两个下侧插销部32B、32B。两个上侧插销部32A、32A配置在盖体3的上边的左右两端附近，两个下侧插销部32B、32B配置在盖体3的下边的左右两端附近。
在盖体3的外表面设置有操作部33。通过从盖体3的前侧操作操作部33，能够使上侧插销部32A、32A、下侧插销部32B、32B从盖体3的上边、下边突出，或者，能够使上侧插销部32A、32A、下侧插销部32B、32B成为不从上边、下边突出的状态。上侧插销部32A、32A从盖体3的上边向上方D21突出，与容器主体2的插销卡合凹部231A、231B卡合，并且下侧插销部32B、32B从盖体3的下边向下方D22突出，与容器主体2的插销卡合凹部241A、241B卡合，由此将盖体3固定在容器主体2的容器主体开口部21。
在盖体3的内侧(图1中的盖体3的后方D12侧)形成有向基板收纳空间27的外侧(前方D11)凹陷的凹部(未图示)。在凹部固定设置有前部保持构件(未图示)。
前部保持构件(未图示)具有前部保持构件基板承接部(未图示)。前部保持构件基板承接部(未图示)以在左右方向上以规定的间隔分开并成对的方式两个两个地配置。这样地以成对的方式两个两个地配置的前部保持构件基板承接部以在上下方向上排列25对的状态设置。通过将基板W收纳到基板收纳空间27内并关闭盖体3，前部保持构件基板承接部支承基板W的边缘部的端部边缘。
[实施方式的效果]
按照上述构成的本实施方式的基板收纳容器1，能够得到如下的效果。
本实施方式的基板收纳容器1具备：容器主体2，具备在一端部具有形成容器主体开口部21的开口周缘部28且另一端部封闭的筒状的壁部20，并由壁部20的内表面形成能够收纳基板W且与容器主体开口部21连通的基板收纳空间27；盖体3，相对于容器主体开口部21可装拆，并能够封闭容器主体开口部21；通气通道(供气用过滤器部98以及排气用过滤器部99的内部的气体的流道)，能够将基板收纳空间27与容器主体2的外部的空间连通；突出部8，作为具有将流入了通气通道的气体向基板收纳空间27供给的多个开口部841的气体喷出喷嘴部；以及气体流量均匀化部(气体滞留室801、气体流出前保持室804)，能够使气体以均匀化后的流量从多个开口部841流出，气体流量均匀化部具有：气体滞留室801；气体流出前保持室804；以及室间间隔部(主体侧间隔部812、内壁侧间隔部822)，阻止将气体滞留室801与气体流出前保持室804直线地连通，并形成将气体滞留室801与气体流出前保持室804连通的室间流道806。
通过该构成，滞留在气体滞留室801中的吹扫气体能够通过室间流道806流向气体流出前保持室804的多个各气体流出前保持分室，并流入喷嘴部室803滞留，从喷嘴部室形成部84的多个开口部841分别均匀地流出。其结果，能够从多个开口部841均匀地将吹扫气体向收纳在基板收纳空间27中的基板W供给。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，气体流量均匀化部具有将气体流出前保持室804划分成多个气体流出前保持分室的划分壁813。通过该构成，流入了气体流出前保持室804的吹扫气体能够被分给多个气体流出前保持分室，并暂时滞留。由此，即使在流入了多个气体流出前保持分室的吹扫气体的量存在差异的情况下，由于暂时滞留，所以暂时滞留并在各气体流出前保持分室中均匀化了的吹扫气体流入喷嘴部室803。因此，能够抑制流入了喷嘴部室803的吹扫气体从规定的开口部841强烈地流出。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，多个气体流出前保持分室具有均匀的容积。通过该构成，能够强有力地抑制从规定的气体流出前保持分室通过疏水性膜83流入喷嘴部室803的吹扫气体的量产生差异。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，气体滞留室801被分室间间隔部811隔开成多个气体滞留分室。通过该构成，能够抑制流入了气体滞留室801的下端部的吹扫气体猛烈地到达气体滞留室801的上端部。因此，能够抑制大量的吹扫气体流向气体滞留室801的上端部。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，形成有作为与所有气体滞留分室连通的气体供给流道的气体流通空间8011。通过该构成，能够使流入了气体滞留室801的吹扫气体与所有气体滞留分室连通，并从各气体滞留分室流向构成气体流出前保持室804的各气体流出前保持分室。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，作为气体喷出喷嘴部的突出部8具有与开口部841连通的喷嘴部室803，喷嘴部室803通过疏水性膜83与气体流出前保持室804连通。通过该构成，当清洗基板收纳容器1的容器主体2时，疏水性膜83的流动阻力不变化，并且能够防止清洗液流入气体流出前保持室804。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，喷嘴部室803与所有开口部841、以及构成气体流出前保持室804的所有气体流出前保持分室连通。通过该构成，能够使流入了构成气体流出前保持室804的所有气体流出前保持分室的吹扫气体流入与所有开口部841连通的喷嘴部室803。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，作为气体喷出喷嘴部的突出部8具有作为使气体从开口部841朝向规定的方向流出的规定方向流出部的倾斜檐842。通过该构成，在清洗容器主体2时，能够抑制清洗液从开口部841流入喷嘴部室803。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，开口部841分别与收纳在基板收纳空间27中的多个基板W的每一个对应地形成。通过该构成，由于将从一个开口部841流出的吹扫气体分配给一个基板W，所以能够可靠地向一个一个基板W流出吹扫气体。
另外，按照本实施方式的基板收纳容器1，具备具有气体喷出喷嘴部以及气体流量均匀化部的柱状的突出部8，突出部8的基部819***作为形成于容器主体2的壁部20且形成通气通道的孔并设置有密封部件的孔中，并且使突出部8的前端侧的部分相对于容器主体2的壁部20固定，由此将突出部8固定在容器主体2。通过该构成，能够容易且可靠地使突出部8相对于容器主体2固定。
[变形例]
本发明不限于上述的实施方式，在权利要求记载的范围内可以变形。
例如，在实施方式中，构成突出部的突出部主体部、内部壁部、疏水性膜、喷嘴部室形成部等的构成均不限于构成突出部8的突出部主体部81、内部壁部82、疏水性膜83、喷嘴部室形成部84等的构成。
另外，容器主体以及盖体的形状、容器主体中能够收纳的基板的个数及尺寸不限于本实施方式的容器主体2以及盖体3的形状、容器主体2中能够收纳的基板W的个数及尺寸。
附图标记说明
1 基板收纳容器
2 容器主体
3 盖体
5 侧方基板支承部
6 后侧基板支承部
8 突出部
20 壁部
21 容器主体开口部
25第一侧壁(侧壁)
26第二侧壁(侧壁)
27 基板收纳空间
83 疏水性膜
801气体滞留室(气体流量均匀化部)
803喷嘴部室
804气体流出前保持室(气体流量均匀化部)
811分室间间隔部
812主体侧间隔部(室间间隔部)
813 划分壁
819 基部
822内壁侧间隔部(室间间隔部)
841开口部
842倾斜檐(规定方向流出部)
8011 气体流通空间
W 基板

Claims (10)

1.一种基板收纳容器，其特征在于，包括：
容器主体，具备在一端部具有形成容器主体开口部的开口周缘部且另一端部封闭的筒状的壁部，并由所述壁部的内表面形成能够收纳基板且与所述容器主体开口部连通的基板收纳空间；
盖体，相对于所述容器主体开口部能够装拆，能够封闭所述容器主体开口部；
通气通道，能够将所述基板收纳空间与所述容器主体的外部的空间连通；
气体喷出喷嘴部，具有将流入所述通气通道的气体向所述基板收纳空间供给的多个开口部；以及
气体流量均匀化部，能够使气体以均匀化后的流量从所述多个开口部流出，
所述气体流量均匀化部具有气体滞留室、气体流出前保持室以及室间间隔部，所述室间间隔部阻止将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室直线地连通，并形成将所述气体滞留室与所述气体流出前保持室连通的室间流道。
2.根据权利要求1所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述气体流量均匀化部具有划分壁，所述划分壁将所述气体流出前保持室划分成多个气体流出前保持分室。
3.根据权利要求2所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述多个气体流出前保持分室具有均匀的容积。
4.根据权利要求3或3所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述气体滞留室被分室间间隔部隔开成多个气体滞留分室。
5.根据权利要求4所述的基板收纳容器，其特征在于，
形成有与全部的所述气体滞留分室连通的气体供给流道。
6.根据权利要求2～5中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述气体喷出喷嘴部具有与开口部连通的喷嘴部室，
所述喷嘴部室通过疏水性膜与所述气体流出前保持室连通。
7.根据权利要求6所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述喷嘴部室与所有开口部以及所有所述气体流出前保持分室连通。
8.根据权利要求1～7中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述气体喷出喷嘴部具有规定方向流出部，所述规定方向流出部使气体从所述开口部朝向规定的方向流出。
9.根据权利要求1～8中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述开口部分别与收纳在所述基板收纳空间中的多个所述基板的每一个对应地形成。
10.根据权利要求1～9中任一项所述的基板收纳容器，其特征在于，
所述基板收纳容器具备柱状的突出部，所述突出部具有所述气体喷出喷嘴部以及所述气体流量均匀化部，
所述突出部的基部***形成于所述容器主体的所述壁部且形成所述通气通道的孔的、设置有密封部件的孔中，并且通过所述突出部的前端侧的部分相对于所述容器主体的所述壁部固定，所述突出部固定在所述容器主体。
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