JP6048770B2 - パージノズル - Google Patents
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Description
前記開口を開く位置に前記ポッド本体が配置された際の前記開口の側辺の各々に沿うように一対として固定され、
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口部に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記連通路に配置されて前記第1のパージノズル室から前記第2のパージノズル室に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル室用フィルタと、
を有することを特徴とする。
前記開口を開く位置に前記ポッド本体が配置された際の前記開口の側辺の各々に沿うように一対として固定され、
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口部に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記スリットに配置されて前記第2のパージノズル室から前記開口部に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル用フィルタと、
前記スリットの開口と対応して前記パージノズル用フィルタの外側に配置される流れ制御部と、
を有することを特徴とする。
なお、前述したパージノズルにあっては、前記パージノズル用フィルタの圧損は前記連通路で生じる圧損よりも大きいことが好ましい。
また、上述した各々のパージノズルにおいて、微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、前記被収容物が収容される前記ポッドの前記開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記開口を開放することにより前記開口を介して前記ポッド本体の内部へのガスの供給を行うガスパージ装置に設けられることがより好ましい。
Claims (7)
- 略立方体形状であって、内部に被収容物を収容する収容空間を有し、一側面に前記収容空間に連通する開口を有しているポッド本体に対し、前記開口を通じて前記ポッド本体の内部へパージガスを供給するパージノズルであって、
前記開口を開く位置に前記ポッド本体が配置された際の前記開口の側辺の各々に沿うように一対として固定され、
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記連通路に配置されて前記第1のパージノズル室から前記第2のパージノズル室に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル室用フィルタと、
を有することを特徴とするパージノズル。 - 前記スリットに配置されるパージノズル用フィルタを有することを特徴とする請求項1記載のパージノズル。
- 前記パージノズル用フィルタの圧損は前記パージノズル室用フィルタの圧損よりも大きいことを特徴とする請求項2記載のパージノズル。
- 前記ガス供給配管は前記第1のパージノズル室と平行に延在し、前記ガス供給配管の延在方向の途中にて前記延在方向とは異なる方向から前記第1のパージノズル室に前記パージガスを供給することを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のパージノズル。
- 略立方体形状であって、内部に被収容物を収容する収容空間を有し、一側面に前記収容空間に連通する開口を有しているポッド本体に対し、前記開口を通じて前記ポッド本体の内部へパージガスを供給するパージノズルであって、
前記開口を開く位置に前記ポッド本体が配置された際の前記開口の側辺の各々に沿うように一対として固定され、
ガス供給配管より前記パージガスが供給される第1のパージノズル室と、
前記第1のパージノズル室と連通路を介して連通されて前記パージガスを前記開口に向けて吹出すスリットを有する第2のパージノズル室と、
前記スリットに配置されて前記第2のパージノズル室から前記開口に流れる前記パージガスの流速及び流量を制御するパージノズル用フィルタと、
前記スリットの開口と対応して前記パージノズル用フィルタの外側に配置される流れ制御部と、
を有することを特徴とするパージノズル。 - 前記パージノズル用フィルタの圧損は前記連通路で生じる圧損よりも大きいことを特徴とする請求項5記載のパージノズル。
- 微小空間を外部空間から分離する壁の一部を構成するサイドプレートと前記サイドプレートが有する開口部を閉鎖可能なドアとを有し、前記被収容物が収容される前記ポッド本体の前記開口を前記開口部と対向させるとともに、前記開口に取付けられる蓋を前記ドアが保持して前記開口を開放することにより前記開口を介して前記ポッド本体の内部へのガスの供給を行うガスパージ装置に設けられる、請求項1乃至6の何れか一項に記載のパージノズル。
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JP2015128233A JP6048770B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | パージノズル |
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JP2015128233A Active JP6048770B2 (ja) | 2015-06-26 | 2015-06-26 | パージノズル |
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