JP5214448B2 - 顕微鏡検査方法および顕微鏡 - Google Patents
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Description
物理的な絞りを設ける必要がなく、かつ合焦に基づき照明の空間的な制限性が付与されるので、検出側で空間的自由度が獲得される。照明用光線束を例えば点状に合焦させる場合、検出した試料放射をスペクトル分割することが可能であり、例えばライン検出器によってスペクトル分解して検出することができる。このように、追加された自由度(または追加された空間座標)は、検出工程でスペクトル的に検出するために、また同時に、画像エリアの画像の所望の深度弁別された生成を実現するために利用できる。
代替案として、両方の検出工程を、少なくとも1つの照明工程中に時間的に前後して実施することも可能である。この場合は、1つの検出器を両方の照明工程に使用することができる。
上記の課題はさらに、冒頭に挙げた種類の顕微鏡において、各照明工程中に、検出モジュールが第1および第2の検出工程を実施し、第1の検出工程では焦点内および焦点外で発生した試料放射が検出され、第2の検出工程では、焦点内で発生した第1の検出工程より少ない割合の試料放射および焦点外で発生した試料放射が検出され、かつ評価モジュールが、第1の検出工程で検出した試料放射の焦点外の割合を減らすために、第2の検出工程で検出した試料放射が利用されることによって解決される。
さらに照明モジュールは、照明用光線束を、点状または線状に合焦させた照明用光線束として、画像エリア上に向けることができる。
図1に示された実施形態では、顕微鏡は、走査型レーザ顕微鏡として形成されており、光源モジュール1、スキャン・モジュール2、対物レンズ3、記録モジュール4、および評価モジュール5を含んでいる。
図2に概略的に示されているように、検出モジュール4は、検出光学系11ならびに第1および第2の検出器D1、D2を含んでおり、これらの検出器の信号が、評価モジュール5に送られる。検出器D1上には、画像エリアの焦点領域(つまりレーザ・ビームLS1が合焦する領域)が結像され、一方、検出器D2上には、それに隣接する領域が結像される。
Sc=S1−n・S2
Snc=S1+n・S2−Sc=2・n・S2
ここで、S1およびS2は、検出器D1およびD2の信号である。定数nは、経験的に、例えば測定中の基礎信号の最小化から決定することができる。nの典型的な値は1〜1.3である。
一般的に検出器は、両方の検出器D1とD2との間の境界を、検出器D1上の焦点からのスポット分布の中心から、約1〜2Airy−Unit半径だけ離れているように配置するのが実用的である。Airy−Unit(AU)は、対物側で1AU=1.22λ/NAと定義され、ここで、λは照明用光線束LS1の真空波長であり、NAは対物レンズ3の開口数である。図3に簡略化されて図示されているように、両方の領域B1とB2との間隔は、(例えば桁材による)両方の検出器D1とD2との間の例えば1AUより小さくても問題ない。
もちろん合焦は点状または線状に限定されるものではない。合焦が、画像エリアにおいて少なくとも1つの方向で、好ましくはできるだけ鮮鋭な位置的境界を有していることが重要である。この境界の鮮鋭度は、好ましくは少なくとも対物レンズ3の限界周波数の半分の空間周波数に対応すべきである。
Claims (14)
- 検査試料の所定の深度にある画像エリアの画像を生成するための顕微鏡検査方法であって、
それぞれ該画像エリアの一部を、該試料との相互作用により試料放射を発生させる合焦した照明用光線束で照明する複数の照明工程と、
発生した該試料放射を検出する検出工程と、
検出した該試料放射を基に該画像を生成する評価工程とを備え、
各照明工程中に第1および第2の検出工程が実施され、
該第1の検出工程では、該焦点内および該焦点外で発生した試料放射の信号が検出され、
該第2の検出工程では、該焦点内で発生した該第1の検出工程より少ない割合の該試料放射と、該焦点外で発生した試料放射との信号が検出され、
該評価工程において、該第1の検出工程で検出される該試料放射の該焦点外の割合を減らすために、前記第1の検出工程で検出した前記信号から、前記第2の検出工程で検出した前記信号が差し引かれることを特徴とする方法。 - 両方の前記検出工程が、少なくとも1つの照明工程中に同時に実施される、請求項1に記載の方法。
- 両方の前記検出工程が、少なくとも1つの照明工程中に時間的に前後して実施される、請求項1に記載の方法。
- 前記第1の検出工程では前記試料表面の第1の区間から出射する前記試料放射が検出され、前記第2の検出工程では前記試料表面の第2の区間から出射する前記試料放射が検出され、両方の区間が互いに隣接しているか、または該第2の区間が該第1の区間を部分的に覆っている、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試料の深度弁別された複数の断面画像を生成するために、前記試料の様々な所定深度における複数の画像エリアに対して、前記照明工程、両方の前記検出工程、および前記評価工程を実施する、請求項1から4のいずれか一項に記載の方法。
- 前記照明用光線束が点状または線状に合焦される、請求項1から5のいずれか一項に記載の方法。
- 両方の前記検出工程において、前記試料放射をスペクトル分解して検出する、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。
- 検査試料の所定の深度にある画像エリアの画像を生成するための顕微鏡であって、
複数の照明工程において該画像エリアを照明する照明モジュールであって、各照明工程において、それぞれ該画像エリアの一部を、該試料との相互作用により試料放射を発生させる合焦した照明用光線束で照明する、照明モジュールと、
発生した該試料放射を検出する検出モジュールと、
検出した該試料放射を基に該画像を生成する評価モジュールとを備え、
各照明工程中に、該検出モジュールが第1および第2の検出工程を実施し、
該第1の検出工程では該焦点内および該焦点外で発生した試料放射の信号を検出し、
該第2の検出工程では、該焦点内で発生した該第1の検出工程より少ない割合の該試料放射と、該焦点外で発生した試料放射との信号を検出し、
該評価モジュールが、該第1の検出工程で検出される該試料放射の該焦点外の割合を減らすために、前記第1の検出工程で検出した前記信号から、前記第2の検出工程で検出した前記信号を差し引くことを特徴とする顕微鏡。 - 前記検出モジュールが2つの検出器を有し、そのため両方の前記検出工程の同時実施が可能である、請求項8に記載の顕微鏡。
- 前記検出モジュールが、両方の前記検出工程のために1つの検出器を有する、請求項8に記載の顕微鏡。
- 前記第1の検出工程では前記試料表面の第1の区間から出射する前記試料放射を検出し、前記第2の検出工程では前記試料表面の第2の区間から出射する前記試料放射を検出し、前記試料表面の両方の該区間が互いに隣接しているか、または該第2の区間が該第1の区間を部分的に覆っている、請求項8から10のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記照明モジュールが、前記照明用光線束を前記画像エリア上に向けるスキャン・モジュールを有する、請求項8から11のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 前記照明モジュールが、点状または線状に合焦させた照明用光線束で前記画像エリアを照明する、請求項8から12のいずれか一項に記載の顕微鏡。
- 両方の前記検出工程において、前記試料放射をスペクトル分解して検出する、請求項8から13のいずれか一項に記載の顕微鏡。
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