JP5532193B2 - 共焦点顕微鏡 - Google Patents
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Description
11 被検物
12 光源
13 レンズ(対物レンズ)
17a,17b,17c 遮光部材(ピンホール部材)
18a,18b,18c 光検出手段
19 ピンホール(ピンホール部材に形成されたピンホール)
20 集光点形成部材
22,23,36,37,38 透光部分
22a,23a,36a,37a,38a 入射面
24,25,39,40,41 集光点
26,52 走査手段
27,28 反射部材
27a,28a 反射面
51 円盤部材
53 ピンホール(円盤部材に形成されたピンホール)
Claims (6)
- 光源からの光を被検物に向けて集光させるレンズと、前記光を透過させる複数の透光部分を有し、該複数の透光部分のうち、少なくとも一つの該透光部分を透過した光に他の前記透光部分を透過した光との間で位相差を付与し、前記レンズを介して、前記レンズの光軸上に少なくとも2つの集光点をそれぞれ形成する集光点形成部材とを含み、前記レンズ及び前記集光点形成部材は単一光路上に配置されてなる照明光学系と、
前記2つの集光点からのそれぞれの射出光を、前記集光点形成部材を介すことなく、それぞれ集光する2つの集光レンズと、
前記2つの集光点のそれぞれと、前記各集光レンズを介して、共役な位置に配置された2つの遮光部材と、
前記各遮光部材をそれぞれ経た前記射出光をそれぞれ検出する光検出手段と、を備えることを特徴とする共焦点顕微鏡。 - 前記集光点形成部材は、前記光源から前記レンズに至る前記単一光路上に配置されることを特徴とする請求項1に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記集光点形成部材は、板状をなしており、前記複数の透光部分における前記光の光学的光路長がそれぞれ異なるように形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記複数の透光部分のそれぞれは、前記光が入射する入射面を有し、前記各入射面の面積は、該各入射面への入射光量がそれぞれ等しくなるように設定されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記光を前記標本の面内で走査する走査手段を備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡。
- 前記各遮光部材は、ピンホールを有し、該ピンホールが前記各集光レンズを介して、前記集光点と共役関係であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の共焦点顕微鏡。
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