JP5206409B2 - 角速度センサ - Google Patents
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Description
2 第1アーム
4 第2アーム
6 支持部
8 固定用アーム
9 固定部
10 第3アーム
11 錘部
12,13,14,15 増幅器
16 対向部
17 駆動部
17a 第1駆動電極部
17b 第2駆動電極部
18 検知部
18a 第1検知電極部
18b 第2検知電極部
19 第1感知部
19a 第1感知電極部
19b 第2感知電極部
20 第2感知部
20a 第3感知電極部
20b 第4感知電極部
21 駆動回路部
25 検出回路部
30,34,40 減算器
32,36,38 加算器
42,44 検波回路部
46,48 ローパスフィルタ部
50 故障診断用信号発信器
Claims (4)
- 第1、第2、第3、第4の直交アームと、第1の前記直交アームに配置し、第1、第2、第3、第4の前記直交アームを駆動振動させる駆動部と、
第2の前記直交アームに配置し、第2の前記直交アームの歪を感知させる第1感知部と、
第3の前記直交アームに配置し、第3の前記直交アームの歪を感知させる第2感知部と、
前記駆動部に接続され前記駆動部を駆動させる駆動回路部と、
前記第1、第2感知部に接続され角速度を検出する検出回路部とを備え、
第1、第2、第3、第4の前記直交アームのそれぞれは、一端が支持部に接続され、かつ、他端が錘部に接続され、
前記駆動回路部は前記駆動部に2つの駆動信号を入力し、
前記検出回路部は前記第1感知部から出力される2つの感知信号に基づいて第1差動信号を出力し、
前記第2感知部から出力される2つの感知信号に基づいて第2差動信号を出力し、
前記第1感知部から出力される2つの感知信号に基づいて第1加算信号を出力し、
前記第2感知部から出力される2つの感知信号に基づいて第2加算信号を出力し、
前記第1差動信号と前記第2差動信号に基づく加算信号と、前記第1加算信号と前記第2加算信号に基づく差動信号から角速度を検出する、角速度センサ。 - 互いに同位相または逆位相の2つの故障診断用信号を前記駆動部に入力して、前記加算信号と前記差動信号から擬似的な角速度を検出する故障診断部を設けた、請求項1記載の角速度センサ。
- 前記駆動信号と前記故障診断用信号とは互いに90度位相の異なる信号波形とした、請求項2記載の角速度センサ。
- 前記第1感知部は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる第1感知電極部と第2感知電極部を有し、
前記第2感知部は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる第3感知電極部と第4感知電極部を有し、
前記第1感知電極部と前記第2感知電極部とは対向させて前記第2の直交アームに配置するとともに前記第1、第2感知電極部から2つの感知信号を出力し、
前記第3感知電極部と前記第4感知電極部とは対向させて前記第3の直交アームに配置するとともに前記第3、第4感知電極部から2つの感知信号を出力する、請求項1記載の角速度センサ。
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