JP2008076265A - 慣性力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】上記検出素子1において角速度を検出する際は、角速度発生時に、互いに正極となる第2感知電極部19bの上部電極15と第4感知電極部20bの上部電極15から出力された出力値を加算した第1加算値と、互いに負極となる第1感知電極部19aの上部電極15と第3感知電極部20aの上部電極15から出力された出力値を加算した第2加算値と、互いに正極となる第1感知電極部19aの下部電極14と第3感知電極部20aの下部電極14から出力された出力値を加算した第3加算値と、互いに負極となる第2感知電極部19bの下部電極14と第4感知電極部20bの下部電極14から出力された出力値を加算した第4加算値に基づき検出する構成である。
【選択図】図1
Description
第1感知手段19の第1、第2感知電極部19a、19bおよび第2感知手段20の第3、第4感知電極部20a、20bの内、
互いに正極となる第2感知電極部19bの上部電極15と第4感知電極部20bの上部電極15から出力された出力値を加算した第1加算値と、
互いに負極となる第1感知電極部19aの上部電極15と第3感知電極部20aの上部電極15から出力された出力値を加算した第2加算値と、
互いに正極となる第1感知電極部19aの下部電極14と第3感知電極部20aの下部電極14から出力された出力値を加算した第3加算値と、
互いに負極となる第2感知電極部19bの下部電極14と第4感知電極部20bの下部電極14から出力された出力値を加算した第4加算値に基づき、第1加算値と第2加算値との差動増幅値および第3加算値と第4加算値との差動増幅値から検出している。
互いに正極となる第1感知電極部19aの上部電極15と第3感知電極部20aの上部電極15から出力された出力値を加算した第1加算値と、
互いに負極となる第2感知電極部19bの上部電極15と第4感知電極部20bの上部電極15から出力された出力値を加算した第2加算値と、
互いに正極となる第2感知電極部19bの下部電極14と第4感知電極部20bの下部電極14から出力された出力値を加算した第3加算値と、
互いに負極となる第1感知電極部19aの下部電極14と第3感知電極部20aの下部電極14から出力された出力値を加算した第4加算値に基づき、第1加算値と第2加算値との差動増幅値および第3加算値と第4加算値との差動増幅値から検出している。
第1感知手段19の第1、第2感知電極部19a、19bおよび第2感知手段20の第3、第4感知電極部20a、10bの内、
第1感知手段19の互いに正極となる第2感知電極部19bの上部電極15と第1感知電極部19aの下部電極14から出力された出力値を加算した第1加算値と、
前記第1感知手段の互いに負極となる第1感知電極部19aの上部電極15と第2感知電極部19bの下部電極14から出力された出力値を加算した第2加算値と、
第2感知手段20の互いに正極となる第4感知電極部20bの上部電極15と第3感知電極部20aの下部電極14から出力された出力値を加算した第3加算値と、
第2感知手段20の互いに負極となる第3感知電極部20aの上部電極15と第4感知電極部20bの下部電極14から出力された出力値を加算した第4加算値に基づき、第1加算値と第3加算値とを加算した加算値と、第2加算値と第4加算値とを加算した加算値との差動増幅値から検出している。
第1感知手段19の互いに正極となる第1感知電極部19aの上部電極15と第2感知電極部19bの下部電極14から出力された出力値を加算した第1加算値と、
前記第1感知手段の互いに負極となる第2感知電極部19bの上部電極15と第1感知電極部19aの下部電極14から出力された出力値を加算した第2加算値と、
第2感知手段20の互いに正極となる第3感知電極部20aの上部電極15と第4感知電極部20bの下部電極14から出力された出力値を加算した第3加算値と、
第2感知手段20の互いに負極となる第4感知電極部20bの上部電極15と第3感知電極部20aの下部電極14から出力された出力値を加算した第4加算値に基づき、第1加算値と第2加算値とを加算した加算値と、第2加算値と第4加算値とを加算した加算値との差動増幅値から検出している。
2 第1アーム
4 第2アーム
6 支持部
8 固定用アーム
10 第3アーム
11 錘部
12 凹部
13 圧電体
14 下部電極
15 上部電極
17 第1駆動手段
17a 第1駆動電極部
17b 第2駆動電極部
18 第2駆動手段
18a 第3駆動電極部
18b 第4駆動電極部
19 第1感知手段
19a 第1感知電極部
19b 第2感知電極部
20 第2感知手段
20a 第3感知電極部
20b 第4感知電極部
Claims (6)
- 可撓体に配置され前記可撓体の歪を感知させる感知手段を有する検出素子と、
前記感知手段に接続され前記可撓体に係る慣性力を検出する検出回路部を備え、
前記感知手段は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる感知電極部を有し、前記検出回路部は、前記感知電極部の上部電極から出力される出力値と、前記感知電極部の下部電極から出力される出力値に基づいて、前記可撓体に係る慣性力を検出する慣性力センサ。 - 前記可撓体に配置され前記可撓体を駆動振動させる駆動手段を設け、
前記駆動手段は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる駆動電極部を有し、
前記検出回路部は、前記感知電極部の上部電極から出力される出力値と、前記感知電極部の下部電極から出力される出力値と、前記駆動電極部の下部電極から出力される出力値に基づいて、前記可撓体に係る慣性力を検出する請求項1記載の慣性力センサ。 - 前記可撓体に配置され前記可撓体を駆動振動させる駆動手段と、前記可撓体に配置され前記可撓体の駆動状態を検知する検知手段を設け、前記検知手段は、圧電体を介在させた上部電極と下部電極とからなる検知電極部を有し、前記検出回路部は、前記感知電極部の上部電極から出力される出力値と、前記感知電極部の下部電極から出力される出力値と、前記検知電極部の下部電極から出力される出力値に基づいて、前記可撓体に係る慣性力を検出する請求項1記載の慣性力センサ。
- 前記可撓体は複数のアームを有し、一方の前記アームには第1感知手段を配置し、他方の前記アームには第2感知手段を配置しており、
前記第1感知手段および前記第2感知手段は各々2つの感知電極部を有し、
4つの前記感知電極部の内、
互いに正極の2つの上部電極から出力された出力値を加算した加算値と、
互いに負極の2つの上部電極から出力された出力値を加算した加算値と、
互いに正極の2つの下部電極から出力された出力値を加算した加算値と、
互いに負極の2つの上部電極から出力された出力値を加算した加算値に基づいて、
前記可撓体に係る慣性力を検出する請求項1記載の慣性力センサ。 - 前記可撓体は複数のアームを有し、一方の前記アームには第1感知手段を配置し、他方の前記アームには第2感知手段を配置しており、
前記第1感知手段および前記第2感知手段は各々2つの感知電極部を配置し、
前記第1感知手段の2つの前記感知電極部の内、
前記第1感知手段の互いに正極の上部電極と下部電極から出力された出力値を加算した加算値と、
前記第1感知手段の互いに負極の上部電極と下部電極から出力された出力値を加算した加算値と、
前記第2感知手段の2つの前記感知電極部の内、
前記第2感知手段の互いに正極の上部電極と下部電極から出力された出力値を加算した加算値と、
前記第2感知手段の互いに負極の上部電極と下部電極から出力された出力値を加算した加算値に基づいて、前記可撓体に係る慣性力を検出する請求項1記載の慣性力センサ。 - 前記可撓体は、第1アームを第2アームに略直交方向に連結して形成した2つの直交アームと、2つの前記第1アームを支持した支持部と、前記支持部に連結するとともに実装基板に固定した固定用アームとを有し、互いに対向する2つの前記第2アームの一方に第1感知手段を設けるとともに前記第2アームの他方に第2感知手段を設けた請求項4または請求項5記載の慣性力センサ。
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