JP2006105756A - 角速度センサ - Google Patents

Abstract

【課題】車両のピッチ軸、ロール軸、ヨー軸の３つの回転軸の内、少なくとも２つの回転軸に対する角速度を算出することができ、小型化を可能にするとともに、特性を向上した角速度センサを提供することを目的としている。
【解決手段】Ｘ軸方向に第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３を駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出する構成である。
【選択図】図１

Description

本発明は、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いる角速度センサに関するものである。

以下、従来の角速度センサについて説明する。

従来の角速度センサは、例えば、音さ形状の振動子を振動させて、コリオリ力の発生に伴う振動子の歪を電気的に検知して、角速度を算出する。このような角速度センサは、車両に搭載したナビゲーション装置等に用いられるが、通常、１つの角速度センサによって、１つの回転軸に対する角速度が算出できる。

この角速度センサに用いる振動子の形状としては、音さ形状やＨ形状やＴ字形状等、各種の形状がある。

なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１や特許文献２が知られている。
特開平１１−７２３３４号公報 特開２００３−２２７８４４号公報

上記構成では、１つの角速度センサによって１つの回転軸に対する角速度しか算出できないので、例えば、車両の姿勢制御に用いる場合は、車両のピッチ軸、ロール軸、ヨー軸における角速度を各々算出する必要があり、単純に３つの角速度センサが必要となる。

すなわち、複数の角速度センサを用いることとなり、小型化ができないという問題点を有していた。

また、複数の角速度センサ間において、駆動振動の周波数状態が、各々微妙に異なる場合があり、この際には、各々の角速度センサが互いに干渉して特性を劣化するという問題点を有していた。

本発明は上記問題点を解決するもので、車両のピッチ軸、ロール軸、ヨー軸の３つの回転軸の内、少なくとも２つの回転軸に対する角速度を算出することができ、小型化を可能にするとともに、特性を向上した角速度センサを提供することを目的としている。

本発明は上記問題点を解決するために、互いに略直交させ連結した第１アームと第２アームとを有するＴ字形状の第１振動子を備え、互いに略直交したＸ軸とＹ軸とＺ軸において、第１アームをＸ軸方向に配置するとともに、前記第１アームの一部を支軸として、Ｘ軸方向に前記第１振動子の第２アームを駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への前記第１振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への前記第１振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出する構成である。

上記構成により、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸において、第１アームをＸ軸方向に配置するとともに、第１アームの一部を支軸として、Ｘ軸方向に第１振動子の第２アームを駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への第１振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への第１振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出すれば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸の２つの回転軸に対する角速度を算出することができる。

すなわち、車両のピッチ軸、ロール軸、ヨー軸の３つの回転軸の内、いずれか２つの回転軸に対する角速度を算出することができ、小型化を可能にするとともに特性を向上した角速度センサを提供することができる。

以下、実施の形態を用いて、本発明の全請求項に記載の発明について、図面を参照しながら説明する。

図１は本発明の一実施の形態における角速度センサの振動子の駆動振動時の動作状態を示す斜視図、図２はＺ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図、図３はＺ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第３振動子および第４振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図、図４は同角速度センサの第１振動子と第２振動子に接続された検知算出回路図、図５はＹ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図、図６はＸ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第３振動子および第４振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図、図７は同角速度センサの振動子の平面図、図８は図７における同角速度センサの振動子のＡ部の拡大斜視図、図９は図８における同角速度センサの振動子のＡ−Ａ断面図、図１０は図８における同角速度センサの振動子のＢ−Ｂ断面図、図１１は振動子を搭載した同角速度センサの斜視図である。

図１において、本発明の第１の実施の形態における角速度センサの振動子１は、互いに略直交させ連結した第１アーム２と第２アーム３とを有するＴ字形状の第１振動子４、第２振動子５、第３振動子６、第４振動子７を備え、第１振動子４の第１アーム２と第２振動子５の第１アーム２とを互いに略同軸上に連結するとともに、第３振動子６の第１アーム２と第４振動子７の第１アーム２とを互いに略同軸上に連結し、さらに、第１振動子４の第１アーム２と第３振動子６の第１アーム２とを互いに略直交させ連結して、連結された連結部８を支軸としている。

この振動子１は、互いに略直交したＸ軸とＹ軸とＺ軸において、第１振動子４および第２振動子５の第１アーム２をＸ軸方向に配置するとともに、第３振動子６および第４振動子７をＹ軸方向に配置している。

この状態において、Ｘ軸方向に第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３を駆動振動させるとともに、Ｙ軸方向に第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３を駆動振動させている。このとき、連結部８を挟んで、対向する第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３とを互いに同位相で駆動振動させるとともに、対向する第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３とを互いに同位相で駆動振動させ、かつ、第１振動子４と第３振動子６の第２アーム３とを互いに同位相で駆動振動させている。

すなわち、図１（ａ）において、第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に駆動する際は、同時に、第２振動子５の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動し、第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動する際は、同時に、第２振動子５の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に駆動している。

また、図１（ｂ）において、第３振動子６の第２アーム３が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に駆動する際は、同時に、第４振動子７の第２アーム３が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に駆動し、第３振動子６の第２アーム３が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に駆動する際は、同時に、第４振動子７の第２アーム３が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に駆動している。

さらに、第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に駆動する際には、同時に、第３振動子６の第２アーム３が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に駆動し、第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動する際には、同時に、第３振動子６の第２アーム３が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に駆動している。

よって、第１振動子４から第４振動子７の第２アーム３は、同時に、連結部８に近づく方向に駆動するとともに、同時に、連結部８から遠ざかる方向に駆動し、これらを交互に繰り返すように駆動振動している。

このような振動子１に角速度が生じた場合について説明する。

Ｚ軸周りの角速度は、図２に示すように、Ｙ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出する、あるいは、図３に示すように、Ｘ軸方向への第３振動子６または第４振動子７の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出する。

この屈曲振動の際、第１振動子４と第２振動子５の屈曲方向は互いに反対方向となり、図２（ａ）と図２（ｂ）を交互に繰り返す。また、第３振動子６と第４振動子７の屈曲方向も互いに反対方向となり、図３（ａ）と図３（ｂ）を交互に繰り返す。

ここで、Ｚ軸周りの角速度が、Ｚ軸の左回りの角速度であるか、または、Ｚ軸の右回りの角速度であるかは、図１に示した第１振動子４から第４振動子７の第２アーム３の駆動振動の方向と、図２、図３に示した第１アーム２の屈曲振動の方向を比較することにより判断できる。

例えば、Ｚ軸の左回りに角速度が生じた場合、図１に示した第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に、第２振動子５の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動した際（第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３が連結部８に近づく方向に駆動する）、図２（ａ）に示すように、第１振動子４の第１アーム２が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に屈曲し、第２振動子５の第１アーム２が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に屈曲したとすると、Ｚ軸の右回りに角速度が生じた場合は、第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に、第２振動子５の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動した際、図２（ｂ）に示すように、第１振動子４の第１アーム２が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に屈曲し、第２振動子５の第１アーム２が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に屈曲する。つまり、第１アーム２の駆動振動の方向に対して第２アーム３の屈曲振動の方向が互いに反対となるので、左回りか右回りかの判断が可能となる。

なお、この際、図４に示すように、検知算出回路９によって、第１振動子４と第２振動子５の屈曲振動による各々の屈曲信号を、互いに差動した差動信号として検知して算出してもよい。この検知算出回路９は、従来の角速度センサのようなＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の１軸を検知する１軸検知用の一般的なものでもよい。また、第３振動子６と第４振動子７についても、同様である。

Ｙ軸周りの角速度は、図５に示すように、Ｚ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出する。

この屈曲振動の際、第１振動子４と第２振動子５の屈曲方向は互いに反対方向となり、図５（ａ）と図５（ｂ）を交互に繰り返す。

ここで、Ｙ軸周りの角速度が、Ｙ軸の左回りの角速度であるか、または、Ｙ軸の右回りの角速度であるかは、図１に示した第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３の駆動振動の方向と、図５に示した第１アーム２の屈曲振動の方向を比較することにより判断できる。

例えば、Ｙ軸の左回りに角速度が生じた場合、図１に示した第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に、第２振動子５の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動した際（第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３が連結部８に近づく方向に駆動する）、図５（ａ）に示すように、第１振動子４の第１アーム２が（Ｚ軸）の（−Ｚ）方向に屈曲し、第２振動子５の第１アーム２が（Ｚ軸）の（＋Ｚ）方向に屈曲したとすると、Ｙ軸の右回りに角速度が生じた場合は、第１振動子４の第２アーム３が（Ｘ軸）の（−Ｘ）方向に、第２振動子５の第２アーム３が（Ｘ軸）の（＋Ｘ）方向に駆動した際、図５（ｂ）に示すように、第１振動子４の第１アーム２が（Ｚ軸）の（＋Ｚ）方向に屈曲し、第２振動子５の第１アーム２が（Ｚ軸）の（−Ｚ）方向に屈曲する。つまり、第１アーム２の駆動振動の方向に対して第２アーム３の屈曲振動の方向が互いに反対となるので、左回りか右回りかの判断が可能となる。

Ｘ軸周りの角速度は、図６に示すように、Ｚ軸方向への第３振動子６または第４振動子７の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出する。

この屈曲振動の際、第３振動子６と第４振動子７の屈曲方向は互いに反対方向となり、図６（ａ）と図６（ｂ）を交互に繰り返す。

ここで、Ｘ軸周りの角速度が、Ｘ軸の左回りの角速度であるか、または、Ｘ軸の右回りの角速度であるかは、図１に示した第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３の駆動振動の方向と、図６に示した第１アーム２の屈曲振動の方向を比較することにより判断できる。

例えば、Ｘ軸の左回りに角速度が生じた場合、図１に示した第３振動子６の第２アーム３が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に、第４振動子７の第２アーム３が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に駆動した際（第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３が連結部８に近づく方向に駆動する）、図６（ａ）に示すように、第３振動子６の第１アーム２が（Ｚ軸）の（−Ｚ）方向に屈曲し、第４振動子７の第１アーム２が（Ｚ軸）の（＋Ｚ）方向に屈曲したとすると、Ｘ軸の右回りに角速度が生じた場合は、第３振動子６の第２アーム３が（Ｙ軸）の（−Ｙ）方向に、第４振動子７の第２アーム３が（Ｙ軸）の（＋Ｙ）方向に駆動した際、図６（ｂ）に示すように、第３振動子６の第１アーム２が（Ｚ軸）の（＋Ｚ）方向に屈曲し、第４振動子７の第１アーム２が（Ｚ軸）の（−Ｚ）方向に屈曲する。つまり、第１アーム２の駆動振動の方向に対して第２アーム３の屈曲振動の方向が互いに反対となるので、左回りか右回りかの判断が可能となる。

また、上記のような、第１振動子４、第２振動子５、第３の振動子６、第４振動子７に駆動振動を与えるための駆動電極や、角速度に起因する屈曲振動を検出するための検出電極は、図７に示すように、配置される。

図８は図７のＡ部における拡大斜視図であるが、第３振動子６の第１アーム２には、駆動負電極１０を２つの駆動正電極１１で挟むように、駆動正電極１１および駆動負電極１０を配置するとともに、これら、駆動正電極１１と駆動負電極１０を挟むように、検出正電極１２と検出負電極１３を配置している。さらに、第３振動子６の第２アーム３には、第１アーム２に配置した駆動正電極１１および駆動負電極１０を、各々、第２アーム３の中央から両端に向かって延長して配置している。駆動負電極１０はＴ字形状に配置され、駆動正電極１１はＬ字形状に配置される。

その他、第１振動子４、第２振動子５、第４振動子７も同様に、駆動正電極１１、駆動負電極１０、検出正電極１２、検出負電極１３を配置している。この際、２つの駆動正電極１１の内、一方の駆動正電極１１は駆動振動をモニタするモニタ正電極とし、駆動負電極１０をモニタ負電極として共用してもよい。

また、振動子１の連結部８には、各々の電極の給電端子１４を設けている。この連結部８は振動子１の駆動または屈曲の振動の節、すなわち、振動子１の駆動の不動点でもあるので、この給電端子１４で結線することにより外部からの外乱振動が、振動子１の駆動または屈曲の振動とほとんど混在しない。

この振動子１は、シリコン板１５の上にＰｔの下部電極１６を高周波スパッタにて形成し、この下部電極１６の上部には高周波スパッタにてＰＺＴ圧電体１７を形成し、さらに、その上部にＡｕ蒸着にて上部電極１８を形成する。

このように、下部電極１６と上部電極１８によって、ＰＺＴ圧電体１７を挟み込んだ、駆動正電極１１と駆動負電極１０に、シリコンが共振する共振周波数の交流電解を印加すると、駆動正電極１１側と駆動負電極１０側の各々において、ＰＺＴ圧電体１７の伸縮が生じ、第２アーム３が駆動振動する。すなわち、図１に示すように、第１振動子４および第２振動子５の第２アーム３は（Ｘ軸）方向に、第３振動子６および第４振動子７の第２アーム３は（Ｙ軸）方向に振動する。特に、第２アーム３における２つの駆動正電極１１と駆動負電極１０には駆動用の同相の交流電界が印加されるので、第１振動子４と第２振動子５との間では、シリコン板１５は（Ｘ軸）方向に駆動振動はせず、第３振動子６と第４振動子７との間では、シリコン板１５は（Ｙ軸）方向に駆動振動しない。

そして、角速度に起因して、コリオリ力を受け、シリコン板１５に歪（屈曲振動）が生じた場合、ＰＺＴ圧電体１７に電荷が発生して、これを検出正電極１２と検出負電極１３で検出する。

このような上記振動子１は、図１１に示すように、屈曲振動を検知して算出する検知算出回路９を有する電子回路基板１９に実装し、角速度センサとして用いる。この際、振動子１の連結部８を支軸として、電子回路基板１９に実装している。電気的接続は、振動子１の給電端子１４と電子回路基板１９の機密端子とをワイヤーボンディングして行う。

上記構成により、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸において、この振動子１は、互いに略直交したＸ軸とＹ軸とＺ軸において、第１振動子４および第２振動子５の第１アーム２をＸ軸方向に配置するとともに、第３振動子６および第４振動子１をＹ軸方向に配置して、第１振動子４から第４振動子７の連結部８を支軸として、Ｘ軸方向に第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３を駆動振動させるとともに、Ｙ軸方向に第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３を駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して検出する、あるいは、Ｘ軸方向への第３振動子６または第４振動子７の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出し、Ｘ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への第３振動子６または第４振動子７の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出すれば、互いに直交するＸ軸とＹ軸とＺ軸の３つの回転軸に対する角速度を算出することができる。

すなわち、車両のピッチ軸、ロール軸、ヨー軸の３つの回転軸に対する角速度を算出することができ、小型化を可能にするとともに特性を向上した角速度センサを提供することができる。

また、連結部８を挟んで、対向する第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３とを互いに同位相で駆動振動させるとともに、対向する第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３とを互いに同位相で駆動振動させるので、第２アーム３の駆動状態は連結部８を中心にして対称となり、外乱振動を抑制できる。このとき、第２アーム３の中点で第１アーム２を略直交して連結させれば、より外乱振動を抑制できる。

特に、第１振動子４と第２振動子５と第３振動子６と第４振動子７の各々の第２アーム３を互いに同位相で駆動振動させれば、第１振動子４から第４振動子７の第２アーム３は、同時に、連結部８に近づく方向に駆動するとともに、同時に、連結部８から遠ざかる方向に駆動し、これらを交互に繰り返すように駆動振動するので、より上記効果を向上できる。なお、第１振動子４と第２振動子５の第２アーム３が同時に連結部８に近づく方向に駆動する際に、第３振動子６と第４振動子７の第２アーム３が同時に連結部８に遠ざかる方向に駆動させるようにしてもよいが、上記構成の方がより外乱振動を抑制できる。

なお、本実施の形態では、第１振動子４から第４振動子７を有する振動子１について説明したが、第１振動子４と第２振動子５のみを有する振動子１についても同様である。ただし、この場合は、Ｘ軸周りの角速度を検出できず、Ｙ軸周りとＺ軸周りの２軸を検知できる。

図１２は第１振動子と第２振動子のみを有する他の角速度センサの振動子の駆動振動時の動作状態を示す斜視図、図１３はＺ軸周りに角速度が生じた場合の第１振動子と第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図、図１４はＹ軸周りに角速度が生じた場合の第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図である。

図１２において、他の角速度センサの振動子１は、互いに略直交させ連結した第１アーム２と第２アーム３とを有するＴ字形状の第１振動子４および第２振動子５とを備え、第１振動子４の第１アーム２と第２振動子５の第１アーム２とを互いに略同軸上に連結するとともに、連結された連結部８を支軸としている。互いに略直交したＸ軸とＹ軸とＺ軸において、第１アーム２をＸ軸方向に配置し、図１２に示すように、Ｘ軸方向に第１振動子４および第２振動子５の第２アーム３を駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、図１３（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｙ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、図１４（ａ）、（ｂ）に示すように、Ｚ軸方向への第１振動子４または第２振動子５の第１アーム２の屈曲振動を検知して算出する。これらの動作状態は、図１（ａ）、図２、図５に示すものと同様の状態となる。

以上のように、本発明にかかる角速度センサは、航空機、自動車、ロボット、船舶、車両等の移動体の姿勢制御やナビゲーション等、各種電子機器に用いることができる。

本発明の一実施の形態における角速度センサの振動子の駆動振動時の動作状態を示す斜視図 Ｚ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図 Ｚ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第３振動子および第４振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図 同角速度センサの第１振動子と第２振動子に接続された検知算出回路図 Ｙ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図 Ｘ軸周りに角速度が生じた場合の同角速度センサの第３振動子および第４振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図 同角速度センサの振動子の平面図 図７における同角速度センサの振動子のＡ部の拡大斜視図 図８における同角速度センサの振動子のＡ−Ａ断面図 図８における同角速度センサの振動子のＢ−Ｂ断面図 振動子を搭載した同角速度センサの斜視図 他の角速度センサの振動子の駆動振動時の動作状態を示す斜視図 Ｚ軸周りに角速度が生じた場合の他の角速度センサの第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図 Ｙ軸周りに角速度が生じた場合の他の角速度センサの第１振動子および第２振動子の屈曲振動の動作状態を示す斜視図

符号の説明

１ 振動子
２ 第１アーム
３ 第２アーム
４ 第１振動子
５ 第２振動子
６ 第３振動子
７ 第４振動子
８ 連結部
９ 検知算出回路
１０ 駆動負電極
１１ 駆動正電極
１２ 検出正電極
１３ 検出負電極
１４ 給電端子
１５ シリコン板
１６ 下部電極
１７ ＰＺＴ圧電体
１８ 上部電極
１９ 電子回路基板

Claims (6)

1. 互いに略直交させ連結した第１アームと第２アームとを有するＴ字形状の第１振動子を備え、互いに略直交したＸ軸とＹ軸とＺ軸において、第１アームをＸ軸方向に配置するとともに、前記第１アームの一部を支軸として、Ｘ軸方向に前記第１振動子の第２アームを駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への前記第１振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への前記第１振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出する角速度センサ。
2. 互いに略直交させ連結した第１アームと第２アームとを有するＴ字形状の第２振動子を備え、前記第１振動子の第１アームと前記第２振動子の第１アームとを互いに略同軸上に連結するとともに、連結された連結部を前記支軸として、Ｘ軸方向に前記第２振動子の第２アームを駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への前記第１振動子または第２振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出し、Ｙ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への前記第１振動子または前記第２振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出する請求項１記載の角速度センサ。
3. 互いに略直交させ連結した第１アームと第２アームとを有するＴ字形状の第３振動子と第４振動子とを備え、前記第３振動子の第１アームと前記第４振動子の第１アームとを互いに略同軸上に連結するとともに、前記第１振動子の第１アームと前記第３振動子の第１アームとを互いに略直交させ連結し、連結された連結部を前記支軸として、Ｙ軸方向に前記第３振動子と第４振動子の第２アームを駆動振動させ、Ｚ軸周りの角速度は、Ｙ軸方向への前記第１振動子または第２振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出する、あるいはＸ軸方向への前記第３振動子または第４振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出し、Ｘ軸周りの角速度は、Ｚ軸方向への前記第３振動子または第４振動子の第１アームの屈曲振動を検知して算出する請求項２記載の角速度センサ。
4. 前記連結部を挟んで、対向する前記第１振動子と前記第２振動子の第２アームとを互いに同位相で駆動振動させた請求項２記載の角速度センサ。
5. 前記連結部を挟んで、対向する前記第１振動子と前記第２振動子の第２アームとを互いに同位相で駆動振動させるとともに、対向する前記第３振動子と前記第４振動子の第２アームとを互いに同位相で駆動振動させた請求項３記載の角速度センサ。
6. 前記第１振動子と前記第２振動子と前記第３振動子と前記第４振動子の各々の第２アームを互いに同位相で駆動振動させた請求項５記載の角速度センサ。

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