JP5129655B2 - 基板検査装置および該基板検査装置が備える基板定置レールのレール幅変更方法 - Google Patents
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Description
12,16 基板定置レール
13,17 レール本体
14,18 チャック部
22,26,32,36 検査ヘッド
23,27,33,37 ヘッド本体
24,28,34,38 コンタクトプローブ
Claims (3)
- レール間幅の拡縮、被検査基板の搬送およびその位置固定を可能にして配設される一対の基板定置レールと、前記被検査基板の少なくとも一側表面上に配設される二以上の検査ヘッドとで構成され、
該検査ヘッドは、前記被検査基板の面方向に沿わせての平行移動が可能に配設されたヘッド本体と、該ヘッド本体の移動方向とは交差する方向での移動が可能に前記ヘッド本体に配設されたコンタクトプローブとを備え、
前記検査ヘッドは、プロービング検査時における前記コンタクトプローブの移動ストロークを短縮させるべく、今回検査分の前記被検査基板の定置面と同じ面内に非検査時に退避させる定位置と検査時の各検査位置とを設定して配設したことを特徴とする基板検査装置。 - 前記検査ヘッドは、前記被検査基板の両表面側に配設した請求項1に記載の基板検査装置。
- 今回検査分の被検査基板の面サイズ情報の入力処理と、基板定置レールのレール間の現在幅の読出し処理と、各検査ヘッドの現在位置の読出し処理と、各検査ヘッドが備えるコンタクトプローブの高さ位置を最も高い位置に移動させる上昇処理と、搬送方向と直交する方向での前記各検査ヘッドの現在位置が前記被検査基板の横幅サイズよりも内側にあるか否かの判別処理と、該判別処理を経て前記各検査ヘッドの現在位置が前記被検査基板の横幅サイズよりも内側にあると判断された場合に限り、前記基板定置レールのレール間幅を現在幅から今回検査分である前記被検査基板の横幅サイズに変更して該被検査基板のセットを可能とするレール幅変更処理とを少なくとも含むことを特徴とする基板検査装置が備える基板定置レールのレール幅変更方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008144493A JP5129655B2 (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | 基板検査装置および該基板検査装置が備える基板定置レールのレール幅変更方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008144493A JP5129655B2 (ja) | 2008-06-02 | 2008-06-02 | 基板検査装置および該基板検査装置が備える基板定置レールのレール幅変更方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009293924A JP2009293924A (ja) | 2009-12-17 |
JP5129655B2 true JP5129655B2 (ja) | 2013-01-30 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5129655B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102554060B1 (ko) * | 2019-03-26 | 2023-07-11 | 도레이 카부시키가이샤 | n형 반도체 소자, n형 반도체 소자의 제조 방법, 무선 통신 장치 및 상품 태그 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0735808A (ja) * | 1993-07-21 | 1995-02-07 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | コンタクトプローブ移動式回路基板両面検査装置 |
JP2003168891A (ja) * | 2001-11-30 | 2003-06-13 | Cabin Industrial Co Ltd | プリント基板等の外観検査装置における基板等の搬送装置 |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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