JP6534582B2 - 判定装置、基板検査装置および判定方法 - Google Patents
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Description
3 移動機構
5a,5b プローブ部
7 処理部
50 基板
51 プローブピン
80 判定処理
Ca,Cb,Cc 輪郭
Fa〜Fe 図形
L1,L2 直線
Pc 被接触点
Psa,Psb,Psc 基準点
W 幅
Claims (4)
- プローブピンをそれぞれ有する一対のプローブ部を基板の表面に平行な平面に沿って移動させて当該基板の被接触点に当該各プローブピンの先端部をそれぞれ接触させた接触状態における当該各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定処理を実行する処理部を備え、
前記処理部は、前記判定処理において、前記表面に垂直な向きから見た前記接触状態における前記各プローブ部の各々の輪郭および各々の前記先端部の位置に相当する各基準点を示す2つの図形を特定し、前記2つの図形のうちのいずれか一方としての第1図形の前記基準点を通りかつ当該各図形の前記各基準点を結ぶ直線に垂直な直線を対称軸として当該第1図形を反転した第2図形を想定し、当該第2図形の前記基準点を前記2つの図形のうちの他方の前記輪郭に沿って移動させたときに当該第2図形の輪郭によって描かれる第3図形を想定し、当該第3図形の外周に沿って予め決められた幅だけ当該第3図形を拡大させた第4図形を想定し、当該第4図形内に前記第1図形の前記基準点が含まれているときに前記各プローブ部同士が干渉すると判定し、前記第4図形内に前記第1図形の前記基準点が含まれていないときに前記各プローブ部同士が干渉しないと判定する判定装置。 - 前記処理部は、前記基板を設計どおりに形成した基準基板に設けられているマークの位置と、検査対象の前記基板に設けられている前記マークの位置と、前記基準基板における前記被接触点の位置とに基づいて前記検査対象の基板における被接触点の位置を特定する特定処理を実行する請求項1記載の判定装置。
- 請求項1または2記載の判定装置と、前記一対のプローブ部を移動させる移動機構と、当該移動機構を制御する制御部と、前記プローブ部を介して入出力する電気信号に基づいて前記検査対象基板を検査する検査部とを備え、
前記制御部は、前記移動機構を制御して前記各プローブ部を移動させ、前記判定装置によって前記各プローブ部同士が干渉しないと判定された前記被接触点にのみ前記先端部を接触させる基板検査装置。 - プローブピンをそれぞれ有する一対のプローブ部を基板の表面に平行な平面に沿って移動させて当該基板の被接触点に当該各プローブピンの先端部をそれぞれ接触させた接触状態における当該各プローブ部同士の干渉の有無を判定する判定処理を実行する判定方法であって、
前記判定処理において、前記表面に垂直な向きから見た前記接触状態における前記各プローブ部の各々の輪郭および各々の前記先端部の位置に相当する各基準点を示す2つの図形を特定し、前記2つの図形のうちのいずれか一方としての第1図形の前記基準点を通りかつ当該各図形の前記各基準点を結ぶ直線に垂直な直線を対称軸として当該第1図形を反転した第2図形を想定し、当該第2図形の前記基準点を前記2つの図形のうちの他方の前記輪郭に沿って移動させたときに当該第2図形の輪郭によって描かれる第3図形を想定し、当該第3図形の外周に沿って予め決められた幅だけ当該第3図形を拡大させた第4図形を想定し、当該第4図形内に前記第1図形の前記基準点が含まれているときに前記各プローブ部同士が干渉すると判定し、前記第4図形内に前記第1図形の前記基準点が含まれていないときに前記各プローブ部同士が干渉しないと判定する判定方法。
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