JP7272743B2 - 表面性状測定装置の制御方法 - Google Patents
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Description
これら、ワークを"点"で検出するセンサ(プローブ)を本明細書ではポイントセンサと称することにする。ポイントセンサでワーク表面を走査すれば、走査線上におけるワーク表面の形状、粗さ、うねりなどが詳細にわかる。
この場合、画像センサでワーク全体を画像測定してワーク画像を予備的に取得しておく。画像認識技術によってワーク形状を認識し、ワーク座標系を自動設定する。さらに、ワーク画像の中で測定開始点を自動認識し、測定開始点にポイントセンサを移動させて測定を開始する。これで、オペレータが意図した通りの測定が実行され、所望の測定結果が得られる。
ただし、画像センサや画像認識機能を形状測定装置に搭載するとなると、多大なコストを要するという問題がある。
例えば、図1において、ワークWの表面性状(表面の粗さやうねり)を倣い測定で測定したいとする。倣い測定で走査すべき測定ラインMLは測定パートプログラムに予め組み込まれて設定されているとする。この場合、測定パートプログラム上では、例えばワークの設計CADデータを基にして、ワーク座標系が規定され、このワーク座標系上で測定ラインMLが指定される。図1において、手前の第1エッジEd1をワーク座標系のXw軸とし、第1エッジEd1(Xw軸)に交差する第2エッジEd2をYw軸とする。Xw軸とYw軸との交点をワーク座標系の原点Owとする。測定開始点、測定ラインML(あるいはポイントセンサの進行方向)、測定終了点などは、このワーク座標系上で設定されている。(図1中では表現の都合上、エッジと座標軸とを少しずらして描いている。)
同じように、予備測定ラインPL15-PL18を走査するとき、急激に測定値が変化する点がある。これら変化点をCP15~CP18とすると、変化点CP15から変化点CP18を結ぶ線によって一本の直線SL2が規定される。
CPSは、測定光の焦点合わせを利用するので光の波長オーダーの極めて高い分解能を有している。また、非接触式センサであるから測定圧はゼロなのであり、測定対象物の剛性は全く問わない。
しかし、非常に手間が掛かる上に、測定結果がばらついてしまうという問題が生じる。
あるいは、仮に測定レンジが十分に長いとしても、非接触式センサの場合、光学式、静電容量式、磁気式など種々の検出方式がある。各検出方式にはそれぞれ特長があり、検出できない材質や表面性状があるため、ワークのエッジ部分そのものを検出できず、エラーになってしまうこともある。
これにより、座標系設定時のオペレータごとのばらつきを低減するとともに、座標系設定の作業性改善を図る。
接触式あるいは非接触式のプローブで測定対象物表面を走査して測定対象物表面の形状を測定する表面性状測定装置の制御方法であって、
予め設定された予備測定経路に沿って前記プローブで前記測定対象物表面を走査していき、
前記プローブの検出エラーが発せられた場合、前記検出エラーが発生する直前の測定値を仮エッジ点として仮登録し、
引き続き前記予備測定経路に沿って所定距離走査する間、前記検出エラーが継続したとき、前記仮登録した仮エッジ点をエッジ点とする
ことを特徴とする。
前記予備測定経路は、マシン座標系において、仮想的にセットされた仮想の測定対象物に対し、仮想測定対象面から仮想エッジを越えて、そのまま直進するように設定されている
ことが好ましい。
接触式あるいは非接触式のプローブで測定対象物表面を走査して測定対象物表面の形状を測定する表面性状測定装置の制御方法であって、
予備測定経路を測定対象物の外側から測定対象物に向かうように予め設定しておき、
前記測定対象物の外側で前記予備測定経路に沿ってプローブが走査しているときには検出エラーとなり、
前記プローブが前記測定対象物のエッジに到達したときに測定値を取得し、
前記検出エラーで測定点が取得できない状態から測定値が得られるように変化した点をエッジ点とする
ことを特徴とする。
前記プローブは、クロマチックポイントセンサである
ことが好ましい。
(第1実施形態)
図3は、第1実施形態に係る表面性状測定装置100を示す図である。
表面性状測定装置100は、三次元測定機200と、三次元測定機200を駆動制御すると共に必要なデータ処理を実行する制御コンピュータユニット300と、を具備する。
架台210上に測定対象物であるワークWを載置する移動テーブル220が装着されている。
移動テーブル220は、図示しないY軸駆動機構によってY軸方向に駆動される。架台210の後端部には上方に延びるフレーム230が固定されている。フレーム230の上部から前面に張り出したカバー240の内部には図示しないX軸駆動機構およびZ軸駆動機構が配設されている。
これらX軸駆動機構およびZ軸駆動機構によってクロマチックポイントセンサ(CPS)260が支持されている。
Z軸駆動機構は、Z軸コラムと、Z軸コラム内に昇降自在に設けられたZスピンドル250と、を有する。CPS260は、移動テーブル220を上部から臨むように、Zスピンドル250の下端に設けられている。
ホストコンピュータ400は、CPUとメモリとを有するいわゆるコンピュータである。
ホストコンピュータ400は、制御プログラムとしての測定パートプログラム410の指示に従って三次元測定機200を駆動制御する。測定パートプログラム410には、例えば測定対象物の設計CADデータに基づいて、ワークのどこをどの順番で走査して測定するかが測定プログラムとして設定されている。このときはワークが位置指定の基準になるから、測定プログラムはワーク座標系で指定されている。また、ワーク座標系を自動設定するための予備測定プログラム411も設定されているが、この点はフローチャートを参照しながら後述する。
駆動制御部420は、三次元測定機200の移動機構を駆動制御する移動機構制御部421と、CPS260の合焦判定を行う合焦判定部422と、を備える。移動機構制御部421は、測定パートプログラム410に予め設定された移動指令に従って移動機構に移動指令を与える。
図7、図12、図13、図15のフローチャートを参照しながら、原点設定方法を説明する。
自動原点設定は、予備測定プログラム411の実行によってなされる。
予備測定プログラム411によって図12、図13、図15のフローチャートのステップが実行されるのであるが、その前に、オペレータは測定パートプログラム410に予め予備測定経路を設定しておく(図7のST110)。
ワークWの設計CADデータを基にして、ワークWを移動テーブル220のほぼ中央に載置したと仮定したときに測定対象面Swが移動テーブル220上のどの位置にくるかはおおよそ決まる。ワークWを仮想的に移動テーブル220上に載置したときのワークWを"仮想測定対象物IW"とし、"仮想測定対象物"の測定対象面Swを"仮想測定対象面ISw"と称することにする。仮想測定対象面のエッジを"仮想エッジIEd"と称することにする。
ここでは、手前側の第1仮想エッジIEd1を跨ぐ方向に4本の予備測定経路PLを設定し、さらに、第1仮想エッジIEd1に交差する第2仮想エッジIEd2を跨ぐ方向に3本の予備測定経路PLを設定するとする。
このとき、当然のことながら、実際のワークWは"仮想測定対象物IW"の位置からわずかにずれるし、わずかに回転もしているだろうが、予備測定経路PLがワークWのエッジEdを横切っていれば問題はない。この状態でオペレータは自動原点設定モードを選択し、表面性状測定装置100は予備測定プログラム411の実行によって自動原点設定を行う(ST200)。
まずST210において、予備測定経路PLを読み出す。設定された予備測定経路PLは複数本ある。ここでは、1つずつ順番に読み出すとする。
エッジ点座標の取得動作を図13、図15のフローチャートを参照しながら説明する。
光量が十分であって検出エラーが無ければ(ST222:NO)、通常の測定動作と同じである。フォーカス信号に基づいてフォーカスが合うようにCPS260の高さ合わせをし(ST223)、フォーカスが合ったところで測定値(xm、ym、zm)をサンプリングする(ST224)。例えば、図14において点PP1から点PP2まではワークの測定対象面Swを通常通り倣い測定していることに等しい。
ここで、検出エラーが発生した状態のままで予備測定経路PLに沿って"走査"する方法として一例を挙げておく。例えば、光量不足で検出エラーが発生している状態のときには、設定された予備測定経路上に仮想的に焦点が合うようにCPS260の高さ位置を合わせるとする(図14参照)。この状態でサンプリングピッチずつ予備測定経路に沿って走査をしていく。(もちろん、合焦しないので"測定値"の取得はなく、検出エラー信号が出力されるだけである。)
ここで、検出エラーがあった場合に(図13のST222:YES)、その時点で"エッジ点を取得できた"ことにしてもよいかもしれないが、本実施形態では図15のST225からST228において、検出エラーが発生している場合であっても予備測定経路の残りの部分も走査することとしている。そして、残り経路でもずっと光量不足の検出エラーが継続した場合に(ST227:YES)、仮登録していた仮エッジ点をエッジ点として本登録することとしている(ST228)。
予備測定経路PLを設定する際にこのような孔12を避けることを考えるかもしれないが、実際にワークWを移動テーブル220上にセットする(図11)際には、実際のワークは"仮想測定対象物"の位置からわずかにずれるし、わずかに回転もしているだろうから、予備測定経路上に実際に孔12が来てしまうことは避けられない。そこで、検出エラーがあったあとでも(ST222:YES)、検出エラーを許容しながら予備測定経路PLを最後まで走査し、最後の検出エラーの直前のサンプリング値をエッジ点として取得することとした。
第1実施形態において、予備測定経路PLは開始点と終点とを繋ぐ線として設定していた。
ここで、変形例1としては、予備測定経路PLを、開始点PPsの座標と、方向ベクトルVdと、で設定するようにしてもよい(図17)。この場合、エッジ検出用の長さ閾値Ltを設定しておくとよい。すなわち、検出エラーがあったあと(図13のST222:YES)、前記長さ閾値Ltの距離だけスキャンを継続しても検出エラーが継続する場合に、仮登録した仮エッジ点をエッジ点として本登録するようにする。
エッジあるいは孔の縁をCPS260が通過すると、光量不足で検出エラー(図13のST222)となり、検出エラーをトリガーとして直前のサンプリング値を仮エッジ点として登録する(図18のST325)。
引き続き、検出エラーが発生した状態を許容し、CPS260を予備測定経路PLの方向ベクトルVdに従って1サンプリングピッチ分移動させる(ST326)。方向ベクトルVdに従って所定の長さ閾値Ltの距離分CPS260を移動させても検出エラーが継続する場合には(ST327:YES)、仮エッジ点として登録していた座標値をエッジ点とすればよい(ST319)。
ポイントセンサとしては、CPSを例示したが、例えば、接触式のスタイラスであってもよい。
測定軸が一軸のみであって、かつ、トラッキングレンジが極めて短いセンサ(プローブ)(例えば±3mm程度や、あるいは、±0.3mm程度など)であれば本発明の課題を共通に有しているし、本発明により有効に課題を解決できる。
もちろん、本発明はプローブセンサを限定せず、エッジ検出がうまくできないという課題があれば、広く適用できるものである。
逆に、検出エラーで測定点が取得できない状態から測定データが得られるように変化した点をエッジ点として認識するようにすることもできる。
この場合、予備測定経路PLをワークの外側からワークに向かうように設定しておく。そして、ワークの外側で予備測定経路PLに沿ってプローブ(例えばCPS260)が走査しているときには検出エラーとなるが、ワークのエッジに到達したとき、初めて測定値を得る。したがって、検出エラーで測定点が取得できない状態から測定データが得られるように変化した点をエッジ点とすればよい。
200…三次元測定機、
210…架台、220…移動テーブル、230…フレーム、240…カバー、250…Zスピンドル、260…CPS(クロマチックポイントセンサ)、
300…制御コンピュータユニット、
400…ホストコンピュータ、
410…測定パートプログラム、411…予備測定プログラム、
420…駆動制御部、421…移動機構制御部、422…合焦判定部、
430…形状解析部。
Claims (4)
- 接触式あるいは非接触式のプローブで測定対象物表面を走査して測定対象物表面の形状を測定する表面性状測定装置の制御方法であって、
当該表面性状測定装置は、
予め設定された予備測定経路に沿って前記プローブで前記測定対象物表面を走査していき、
前記プローブが前記測定対象物表面を検出できないことを起因とする検出エラーが発せられた場合、前記検出エラーが発生する直前の測定値を仮エッジ点として仮登録し、
引き続き前記予備測定経路に沿って所定距離走査する間、前記検出エラーが継続したとき、前記仮登録した仮エッジ点をエッジ点とし、
前記プローブが前記測定対象物表面を検出できないことを起因とする検出エラーは、前記測定対象物表面が前記プローブの測定レンジから外れてオーバーレンジになったことを起因とする検出エラーである
ことを特徴とする表面性状測定装置の制御方法。 - 請求項1に記載の表面性状測定装置の制御方法において、
前記予備測定経路は、マシン座標系において、仮想的にセットされた仮想の測定対象物に対し、仮想測定対象面から仮想エッジを越えて、そのまま直進するように設定されている
ことを特徴とする表面性状測定装置の制御方法。 - 接触式あるいは非接触式のプローブで測定対象物表面を走査して測定対象物表面の形状を測定する表面性状測定装置の制御方法であって、
予備測定経路を測定対象物の外側から測定対象物に向かうように予め設定しておき、
当該表面性状測定装置は、前記予備測定経路に沿って前記プローブを移動させ、前記測定対象物の外側で前記予備測定経路に沿ってプローブが走査しているときには、前記プローブが前記測定対象物表面を検出できないことを起因とする検出エラーとなり、前記プローブが前記測定対象物のエッジに到達したときに測定値を取得し、前記検出エラーで測定点が取得できない状態から測定値が得られるように変化した点をエッジ点とし、
前記プローブが前記測定対象物表面を検出できないことを起因とする検出エラーは、前記測定対象物表面が前記プローブの測定レンジから外れてオーバーレンジの状態にあることを起因とする検出エラーである
ことを特徴とする表面性状測定装置の制御方法。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の表面性状測定装置の制御方法において、
前記プローブは、クロマチックポイントセンサである
ことを特徴とする表面性状測定装置の制御方法。
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DE102018215087.7A DE102018215087A1 (de) | 2017-09-05 | 2018-09-05 | Verfahren zum Steuern einer Oberflächentexturmessvorrichtung |
CN201811033220.9A CN109425320B (zh) | 2017-09-05 | 2018-09-05 | 表面纹理测量设备的控制方法 |
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3435032B1 (de) * | 2017-07-26 | 2020-11-11 | Hexagon Technology Center GmbH | Optischer rauheitssensor für eine koordinatenmessmaschine |
US20220097163A1 (en) | 2019-03-13 | 2022-03-31 | Nippon Steel Corporation | Method for monitoring welding of electric resistance welded steel pipe, method for manufacturing electric resistance welded steel pipe, device for monitoring welding of electric resistance welded steel pipe, and device for manufacturing electric resistance welded steel pipe |
CN110132158A (zh) * | 2019-06-10 | 2019-08-16 | 广东省特种设备检测研究院珠海检测院 | 一种起重机主梁腹板局部翘曲度检测*** |
DE102021004537A1 (de) * | 2020-11-19 | 2022-05-19 | Mitutoyo Corporation | Messvorrichtung, Steuerungs- bzw. Regelungsvorrichtung, Steuerungs- bzw. Regelungsverfahren und Programm |
CN112595260B (zh) * | 2020-12-29 | 2022-05-31 | 广东三姆森科技股份有限公司 | 提取不规则弧面轮廓的方法、***、存储介质及设备 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005201864A (ja) | 2004-01-19 | 2005-07-28 | Mitsutoyo Corp | 被測定物座標系決定方法、及び座標測定機 |
Family Cites Families (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6036903A (ja) * | 1983-08-09 | 1985-02-26 | Kawasaki Steel Corp | 帯状物体の中心線プロフイ−ル測定方法 |
JPS61231403A (ja) * | 1985-04-06 | 1986-10-15 | Nireko:Kk | 炉内走行鋼板ストリツプの耳端部位置検出装置 |
JP3366497B2 (ja) * | 1995-07-12 | 2003-01-14 | 松下電器産業株式会社 | 部品検出方法 |
JP4041372B2 (ja) | 2002-09-17 | 2008-01-30 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機の原点設定方法および装置 |
US6895359B2 (en) * | 2002-11-25 | 2005-05-17 | Mitutoyo Corporation | Workpiece coordinate system origin setting method, workpiece coordinate system origin setting program and workpiece coordinate system origin setting device of a surface property measuring machine |
JP4359485B2 (ja) | 2002-11-25 | 2009-11-04 | 株式会社ミツトヨ | 表面性状測定機のワーク座標系原点設定方法とそのプログラムおよび装置 |
JP3858994B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2006-12-20 | 株式会社山武 | 位置検出方法および装置 |
JP2006038639A (ja) * | 2004-07-27 | 2006-02-09 | Brother Ind Ltd | 端部位置検出装置及び方法、並びにプログラム |
DE102005051053A1 (de) * | 2005-10-25 | 2007-04-26 | Sms Demag Ag | Verfahren zur Bandkantenerfassung |
CN101221040B (zh) * | 2007-01-11 | 2010-07-21 | 宝山钢铁股份有限公司 | 钢板板坯尺寸测量方法及装置 |
CN100570278C (zh) * | 2007-05-09 | 2009-12-16 | 哈尔滨理工大学 | 基于边缘格雷码和线移的结构光3d测量方法 |
JP2008292199A (ja) * | 2007-05-22 | 2008-12-04 | Mitsutoyo Corp | 真円度測定装置、真円度測定方法、及び真円度測定プログラム |
CN100565096C (zh) * | 2007-06-06 | 2009-12-02 | 徐一华 | 一种全自动影像测量仪 |
CN201047757Y (zh) * | 2007-06-28 | 2008-04-16 | 武汉钢铁(集团)公司 | 线形绿激光测宽仪 |
JP4611403B2 (ja) * | 2008-06-03 | 2011-01-12 | パナソニック株式会社 | 形状測定装置及び形状測定方法 |
CN101639342B (zh) * | 2008-07-29 | 2012-03-28 | 株式会社山武 | 边缘检测装置及边缘检测装置用线传感器 |
CN101920268B (zh) * | 2009-06-09 | 2013-04-03 | 鞍钢股份有限公司 | 冷轧机板形控制测量值处理方法 |
US7905027B2 (en) * | 2009-07-01 | 2011-03-15 | Hexagon Metrology, Inc. | Method and apparatus for probe tip diameter calibration |
US8650939B2 (en) * | 2009-10-13 | 2014-02-18 | Mitutoyo Corporation | Surface texture measuring machine and a surface texture measuring method |
CN104215179B (zh) * | 2013-06-05 | 2017-10-24 | 新兴铸管新疆有限公司 | 使用激光位移传感器动态测量钢坯宽度的方法 |
CN105486251B (zh) * | 2014-10-02 | 2019-12-10 | 株式会社三丰 | 形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元 |
US9958266B2 (en) * | 2015-07-09 | 2018-05-01 | Mitutoyo Corporation | Chromatic range sensor including dynamic intensity compensation function |
JP6400767B2 (ja) | 2017-03-28 | 2018-10-03 | オリンパス株式会社 | 計測内視鏡装置 |
-
2017
- 2017-09-05 JP JP2017170153A patent/JP7272743B2/ja active Active
-
2018
- 2018-08-31 US US16/119,342 patent/US10571262B2/en active Active
- 2018-09-05 CN CN201811033220.9A patent/CN109425320B/zh active Active
- 2018-09-05 DE DE102018215087.7A patent/DE102018215087A1/de active Pending
Patent Citations (1)
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