JP6341693B2 - 基板保持装置および基板検査装置 - Google Patents
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Description
2 基板保持装置
3a,3b プロービング装置
4 処理部
12a〜12d 当接部
13a〜13d 押圧機構
14 移動機構
15 測定部
22 先端部材
122 先端部材
22a 先端
23 開口部
24 テーパ面
124 テーパ面
41a,41b プローブユニット
42 プローブ
100 基板
105a〜105d 隅部
Claims (7)
- 基板の被当接部に当接可能な当接部と、前記被当接部に前記当接部を当接させて当該被当接部を押圧させる押圧処理を行う押圧機構とを備えて、前記基板を保持可能に構成された基板保持装置であって、
柱状に形成されて先端に開口部が形成された先端部材を備えて、前記被当接部としての前記基板の隅部を前記開口部に挿入させた状態で前記先端部材の前記先端を当該隅部に当接可能に構成された前記当接部を2個以上備え、
前記押圧機構は、前記基板における2個以上の隅部に対して前記押圧処理を行う基板保持装置。 - 前記開口部は、平面視円形に形成されている請求項1記載の基板保持装置。
- 前記開口部の縁部には、テーパ面が形成されている請求項1または2記載の基板保持装置。
- 前記当接部をN個(Nは、3以上の整数)備え、
前記押圧機構は、前記基板におけるN箇所の隅部に対して前記押圧処理を行う請求項1から3のいずれかに記載の基板保持装置。 - 前記基板を移動させる移動機構と、前記移動機構および前記押圧機構を制御する制御部とを備え、
前記制御部は、前記移動機構を制御して予め決められた保持位置に前記基板を移動させる移動処理を行うと共に、前記押圧機構を制御して前記保持位置に位置している前記基板に対して前記押圧処理を実行させる請求項1から4のいずれかに記載の基板保持装置。 - 前記基板の位置を測定可能な測定部を備え、
前記制御部は、前記測定部の測定結果に基づいて前記移動処理を行う請求項5記載の基板保持装置。 - 請求項1から6のいずれかに記載の基板保持装置と、当該基板保持装置によって保持されている前記基板に対してプローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記基板にプロービングさせた前記プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部とを備えている基板検査装置。
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