JP5068271B2 - マイクロリソグラフィ照明システム、及びこの種の照明システムを含む投影露光装置 - Google Patents
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Description
US2004/0119961A1は、視野ラスター要素及び瞳孔ラスター要素が、照明システムのラスターチャンネル間のクロストークの発生を防止する付加的なプリズム効果をもたらすように構成されたマイクロリソグラフィ照明システムを開示している。
WO2006/084478A1は、光の均一化のための円柱レンズアレイを開示している。
この目的は、本発明により、請求項1の特徴付け部分に示す特徴を有する照明システムによって達成される。
本発明は、全照明強度に対する第1のラスターアレイのラスターチャンネルの強度寄与が照明視野にわたって変化するように照明光に影響を与えるために第1のラスターデバイスの付近に配置された付加的な光学効果を有するデバイスが、照明システムの視野依存光学効果を発生させるための付加的な自由度をもたらすという事実に基づいている。付加的な光学効果を有する本発明のデバイスは、照明システム又は更に投影光学器械の他の構成要素の視野依存光学効果の補正又は補償を可能にする。補正可能又は補償可能な効果は、例えば、光学構成要素のその直径にわたる透過率変化を含む。そのような透過率変化は、例えば、付加的な光学効果を有する本発明のデバイスによって予め補償するか又は過補償することができる。このようにして、例えば、全ての視野点が、あらゆる望ましい照明方向からの事実上同じ強度の光に露光され、照明角度にわたる強度変化が、全ての視野点で±1%の範囲に収まるように、照明システムの照明視野又は物体視野を照らすことができる。照明角度露光の均一性に関する基準値の役目をすることにより、それぞれ異なる方向又は照明角度から視野点を照射する強度の関係を判断することが考えられる。この関係は、楕円率とも呼ばれる。付加的な光学効果を有するデバイスを用いてビーム方向に影響を与える可能な方法は、特に、照明光ビーム全体のビーム方向全体を同じ方法で影響を与える、すなわち、偏向する代わりに、照明光の特定の部分光ビームを所定の方法で偏向、減衰、又は位相制御する一方で、他の部分光ビームの偏向、減衰、又は位相制御を全くしないか又は異なる程度に行うことである。第1のラスターアレイに対する付加的な光学効果を有するデバイスの空間的隣接位置関係は、付加的な光学効果を有するデバイスが、第1のラスターアレイとは別の構成要素であり、ラスターアレイの直近に配置されるという事実によって保証される。照明システムの別の実施形態では、付加的な光学効果を有する空間的隣接デバイスは、例えば、ラスターアレイの少なくとも1つに付加したコーティングという形態で第1又は別のラスターアレイと直接接触することができる。第1のラスターアレイ及び少なくとも別の潜在的ラスターアレイのラスター要素は、好ましくは屈折性である。第1のラスターアレイは、必ずしも基板上にモノリシックに、すなわち、一体的に形成する必要はない。第1のラスターアレイはまた、2つの部分で形成することができ、第1のラスターの横列が第1の基板上に形成され、第1のラスターの縦列が第2の基板上に形成される。これらの基板の間には、特に、付加的な光学効果を有するデバイスが、照明光の2次元強度分布が形成される第1の平面の直ぐ上流に配置されるような距離が存在する。この平面は、特に、照明システムの瞳孔面である。次に、強度寄与の視野依存性を用いて、特定の視野点での選択された照明角度に対する望ましい強度増加、特定の視野点での全照明強度の強度増加、又はこれらの両方の組合せを系統的に達成することができる。これは、特に、照明又は投影光学器械に発生する視野依存効果による透過損失を補償する役割をすることができる。照明システムは、照明システムの照明光学器械に適応させた光源又は放射光源を含むことができるが、これは必須ではない。従って、照明システムはまた、相応に適応させた別の光源又は放射光源の下流に配置された光学構成要素のみを含むことができる。
請求項6に記載の照明角度変動デバイスは、視野依存全強度分布を目的としており、照明視野にわたる強度の照明角度依存性はない。これは、損失補償において特に有用である。
請求項8及び請求項9に記載の照明角度変動デバイスは、発生させることができる偏向角に関して、それぞれの投影用途に適応させた自由度を提供する。
請求項13に記載の照明角度変動デバイスは、容易に作製される。従って、屋根縁は、第1のラスターアレイのラスター横列又はラスター縦列のいずれかに平行に整列する。
請求項14及び請求項15に記載の付加的な光学効果を有するデバイスは、望ましい視野依存照明強度分布に対して微調整することができる。
請求項17に記載の楔要素は、正確に定められた楔角で作製することができる。
請求項18に記載の逆屋根縁型プリズムは、照明強度の視野依存性をもたらし、その結果、光学開口の縁部が増大した強度を受ける。これは、それぞれ照明光学器械又は投影光学器械における近縁損失の補償の役割をすることができる。
請求項19に記載の屈折円錐面は、強度の回転対称視野依存性を生じる。
請求項21に記載の照明システムは、ラスター横列とラスター縦列を別々に作製することができるので、第1のラスターアレイの作製に関する要件を低減する。同様に、第2のラスターアレイも、横列アレイと列アレイに分割することができる。
請求項22に記載の付加的な光学効果を有するデバイスの配列は、照明角度変動デバイス、横列アレイ、及び縦列アレイの複合ビーム誘導効果に関して特に有効であることを証明している。
請求項25に記載の光学変動コーティングの部分配列では、周縁光線は、ラスターモジュールの縁区域に基礎を置くラスター要素チャンネルによって強められる。照明システム内の他の光学構成要素の影響を無視すると、照明光の周縁光線は、この照明光が垂直入射から相当程度異なる照明角度で到達する場合には、物体視野点の視野から見た時により強まっている。この効果は、照明システムの他の構成要素の光学特性の補償又は補正に対して特に興味深いものであり、その理由は、特に極端な照明角度の場合に、他の光学構成要素が、多くの場合に他の種類の光線のために周縁光線を抑制するからである。
従って、同じことが請求項27に記載の変動コーティングに適用される。
それぞれのラスター要素上の入射点によってその効果が判断される請求項28又は請求項29に記載の変動コーティングは、補正又は補償が必要な位置でのみ有効である。
請求項31に記載の変動コーティングは、照明光が一般的に未被覆ラスター要素に当たる時に反射損失を被るという事実を利用する。部分コーティングは、照明光が被覆区域内でより少量の損失しか被らないことを保証することができ、これは、照明視野にわたって変化する強度寄与を定める上で有用である場合がある。
形態変動として構成された請求項33に記載の光学デバイスは、照明視野にわたって変化する強度寄与を定めるために、ラスター要素上の入射点によって判断される照明−光屈折、及びその結果、偏向角度分布の変動を利用する。形態変動は、通常は静的であり、これは、アクチュエータを通じて能動的に定められないことを意味する。
請求項35及び請求項36に記載の形態変動は、この形態変動を含むラスター要素の強度寄与をもたらし、この強度寄与は、照明視野にわたって対応する対称性を示す。
変動フィルタ要素の減衰、特に変動フィルタ要素の表面にわたるこの減衰の推移は、請求項39に記載の組込み粒子によって微調整することができる。
金属粒子、特に請求項40に記載のクロム粒子は、特にUV照明光に関連して変動フィルタ要素の設計に特に適することが証明されている。
請求項43に記載の最小直径は、粒子によって引き起こされる望ましくない屈折効果を回避する。
請求項44に記載の最小直径は、UV照明光に対して特に適切である。
請求項45に記載の変動フィルタ要素は、照明システムの照明視野依存光学効果に関して高変動帯域幅を達成することを可能にする。
この目的は、本発明により、請求項46に記載のマイクロリソグラフィ投影露光装置、請求項47に記載の作製方法、及び請求項48に記載の構成要素によって達成される。これらの主題の利点は、照明システムに関して上記に列挙した利点から明らかになる。
以下に本発明の実施形態を図面を用いてより詳細に説明する。
視野レンズとも呼ばれる別の集光装置17は、ラスターモジュール13の下流に配置される。第2のラスターアレイ16と共に、集光装置17は、照明面11を照明システム5の中間視野面18へと結像する。レチクルマスクシステム(REMA)19は、中間視野面18に配置することができ、それによってレチクルマスクシステム19は、照明光強度分布の鋭い縁部の発生のための可調節影形成絞りとしての役割をする。下流の対物器械20は、中間視野面18をレチクル面4内に配置されたレチクル、すなわち、リソグラフィ型板上に結像する。投影対物器械21は、レチクル面4を走査方向に断続的又は連続的に移動するウェーハ(図1には示していない)上のウェーハ面22内に結像する役割をする。
第1のラスターアレイ12は、縦列及び横列に配列した個々の第1のラスター要素23を有する。第1のラスター要素23は、例えば、2/1のx/yアスペクト比(y:走査方向)を有する矩形の開口を有する。第1のラスター要素23の他の特により高いアスペクト比も同様に想定することができる。
角度変動部分30は、入射照明光ビーム24の偏向を防止するように、共面ラスター要素として構成される。チャンネルIの開口全体が、等しい強度の照明光ビーム24に露光されると仮定すると、中間視野面18内の照明視野35にわたって一定値I0を有する第1のチャンネルIの強度寄与34が、中間視野面18において得られる。
角度αの上記偏向により、照明視野3におけるチャンネルIIの強度寄与36は、ある一定の方式で影響を受け、これに関してこれより図4を用いて説明する。照明光ビーム25(破線で示している)は、入射側で下部から上部へと番号を振った3つの部分照明ビーム251、252、及び253に分割される。同様に3つの部分照明ビームに分割され、チャンネルII内へと光軸2に対して平行に発せられた図4に実線で示している照明光ビームを比較のために示している。
チャンネルIIIに割り当てた照明角度変動デバイス14の角度変動部分32は、出射側において楔角αよりも小さい楔角γを有する。図2によると、角度変動部分32は、楔形で下向きに漸減する。この結果、角度変動部分32を用いた照明光ビーム26の偏向角γは、角度変動部分31によって発生する偏向角αよりも小さい。従って、チャンネルIIIでは、縁部近くの部分照明ビームと中心部の部分照明ビームとの間でより小さい距離差しかなく、その結果、図2の照明視野35にわたってその上部から下部へとチャンネルIIの強度寄与36よりも小さい減少量で減少するチャンネルIIIの強度寄与37が得られる。
チャンネルIVの角度変動部分33は、入射面と出射表面の間において楔角γで上向きに漸減する図2の楔として構成され、この楔角の絶対値は、チャンネルIIIの角度変動部分32の楔角γに対応する。その結果、照明視野にわたって線形に変化し、強度寄与37が光軸2の回りにミラー反転されたものに対応するチャンネルIVの強度寄与38が得られる。従って、チャンネルIVの強度寄与38の例では、最小強度は、図2の上側視野縁部の近くに存在し、最大強度は、図2の下側視野縁部の近くに存在する。視野縁部近くの強度寄与37及び38の最小及び最大強度は、ほぼ等しい絶対値を有する。
照明視野35の上縁部におけるチャンネルIの強度寄与I0を「0」によって表している。強度寄与36の強度は、照明視野35の上縁部において最大値に達し、これを「++」で表している。同様に、チャンネルIIIの強度寄与37の強度も上側の視野縁部で最大値に達するが、この最大値は、チャンネルIIの強度寄与36の強度よりも小さく、それに伴ってこれを「+」で表している。チャンネルIVの強度寄与38の強度は、上側の視野縁部で最も低く、それに伴ってこれを「−」で表している。
従って、上側の視野縁部におけるチャンネルI〜IVの全ての可能な照明方向からの強度寄与は、チャンネルIIの寄与が最も高く、チャンネルIIIの強度寄与及びチャンネルIの強度寄与がそれに続くようになる。チャンネルIVの強度寄与が全てのうちで最も低い。
従って、照明視野35の下側の視野縁部では、チャンネルIVの強度寄与38が最も高く、チャンネルIの強度寄与34、チャンネルIIIの強度寄与37、及びチャンネルIIの強度寄与36がこれに続くという強度組成が存在する。
従って、照明視野35の全視野点は、チャンネルI〜IVによって照らされるが、可能な照明方向からの異なる強度寄与で照らされる。
照明角度変動デバイス40は、光軸2と交わって図5の作図面に対して直角な屋根縁部41を含む屋根縁型プリズムとして構成される。照明角度変動デバイス40は、2つの角度変動部分42、43のみ、すなわち、図5の屋根縁部41の上で楔形に上向きに漸減する角度変動部分42、及び図5の屋根縁部41の下で同じく楔形に下向きに漸減する角度変動部分43のみを有する。照明角度変動デバイス40のこの形状により、チャンネルI及びIIの角度変動部分42によって引き起こされる角度γの下向きの偏向が生じ、これに対して角度変動部分43は、チャンネルIII及びIVを角度γだけ上向きに偏向させる。この偏向角γの絶対値は、図2による照明角度変動デバイス14の角度変動部分32、33によって発生する偏向角γに対応する。
チャンネルI及びIIの強度寄与44は、事実上全く等しく、照明視野35にわたるこれらの推移は、図2による実施形態における強度寄与38の推移に対応する。チャンネルIII及びIVの強度寄与は、事実上全く等しく、これらの推移は、図2による実施形態における強度寄与37のものに対応する。
角度変動部分42、43に対応する楔角を有する角度変動部分は、照明角度変動デバイスの平均合計厚みが光軸2に対して直角な平面内で一定に留まるようにフレスネルレンズに類似した楔段で構成することができる。照明角度変動デバイス40のこの別の実施形態は、角度変動部分42、43にわたって等しい楔角を有する角度変動副部分から成るラスターを有する。
照明角度変動デバイス47は、第1のラスターアレイ12のものに対応するラスターを有する角度変動部分48のラスターアレイとして構成される。従って、角度変動部分48の開口は、第1のラスター要素23の開口に対応する。各角度変動部分48は、出射表面において各角度変動部分48の縁部間の中心部に配置された図7の作図面に対して直角な屋根縁部49を含む逆屋根縁型プリズムとして構成される。図7による屋根縁部49の上方には、楔形で上向きに拡大する第1の角度変動副部分が形成される。図7による各屋根縁部49の下方には、楔形で下向きに拡大する第2の角度変動副部分が形成される。
これに相応して、照明視野依存全強度分布54が照明視野35で得られ、全てのチャンネルの寄与が同じであるから、異なる照明視野点は、可能な照明方向から等しい強度で露光される。
照明角度変動デバイスの別の実施形態(示していない)は、屈折性を有するもの又は混成のものとすることができる。
微細構造構成要素のマイクロリソグラフィ製作に対しては、投影露光装置1の投影対物器械21を用いて、レチクルの少なくとも一部がそれぞれウェーハ又は基板上の感光コーティングの区域上に結像される。
図8による配列に対する代替物として、縦列アレイ12’と横列アレイ12”の位置を互いに入れ替えることができる。
図面では示していない別の代替物では、第2のラスターアレイ16も同様に、横列アレイと縦列アレイに分割される。
図1から図8による照明角度変動デバイスの代わりに、図9から図12による実施形態には、照明光ビーム8の特性に影響を与えるための第2のラスターアレイ16の第2のラスター要素28上の光学変動コーティング55である光学活性デバイスが設けられる。変動コーティング55は、第2のラスターアレイ16の第1のラスターアレイ12に対面する側に付加される。第2のラスター要素28の各々には、個々の透過コーティングが設けられる。透過コーティングは、例えば、干渉コーティングである。それぞれの透過コーティングの厚みは、イオンビーム仕上げ(IBF)を用いて微調整することができる。これらの透過コーティングのうちの1つ、すなわち、図9の下部に示す第2のラスター要素28(チャンネルIV)の透過コーティング56の効果に関して、図10による拡大詳細図を用いて以下に説明する。
チャンネルIの第2のラスター要素28は、ここでもまた、チャンネルIVの透過コーティング56に対応する透過コーティング56で被覆される。照明光ビーム24は、図9によるラスターモジュール13によって照明光ビーム27と同じ程度に影響を受け、その結果、照明光ビーム24も、強度寄与59に対応する照明視野35にわたる強度寄与をもたらす。
透過コーティング56、60、及び62の透過率の差異は、異なるコーティング厚の透過コーティングにより、又はこれらの透過コーティングにおいて異なる材料を用いることによって得ることができる。しかし、差異は、通常いくつかの層から成るこれらの透過コーティングにおいて異なる材料シーケンスを用いることによっても得ることができる。
照明視野35内及びその下流のレチクル面4における物体野3内では、縁部に近い照明光ビーム、すなわち、例えば照明光ビーム24及び27は、これらの縁部において強度増加をもたらし、それによって照明システム5及び/又は投影対物器械21内で発生する効果を補正又は補償することが可能になる。
透過コーティングは、透過コーティングの75nmのコーティング厚で強度寄与Imax=1をもたらす材料又は材料シーケンスから構成される。従って、第2のラスター要素28にわたって75nmのコーティング厚を有する透過コーティングは、中央ストリップ65における透過コーティング62としての役割をすることができる。
82nmの均一なコーティング厚を有する透過コーティングは、図9による強度寄与61に対応する強度寄与を生じる。中心光線56に関しては、この82nmの透過コーティングは、0.98の透過率を生じる。周縁光線58に関しては、0.99の透過率が得られる。82nmの透過コーティングは、中間ストリップ66の第2のラスター要素28に対して付加することができる。
更に、図12は、変動コーティング55の透過コーティングにおける他の有望なコーティング厚代替値を示している。コーティング厚68nmを有する透過コーティングは、中心光線57に関してほぼ0.992の透過率、及び周縁光線58に関してほぼ0.99の透過率を示す(強度寄与67を参照されたい)。この場合には、透過率は、周縁光線におけるよりも中心光線において高い。これはまた、中央ストリップにおける中心光線の透過率が、中央ストリップにおける周縁光線の透過率を上回り、周縁光線及び中心光線の両方が、周縁ストリップにおいて等しい測定値で透過し、又は中心光線の透過率が、周縁光線の透過率を超える代替的な第2のラスターアレイを作成するのに有用なものとすることができる。
更に、図12は、61nmコーティングの強度寄与68を示している。この場合には、透過率は、中心光線においてほぼ0.964、周縁光線においてほぼ0.966である。
例えば、第2の光学ラスターアレイ16を異なる光学効果を有する5つのストリップ64、66、65、66、64に分割する代わりに、別の分割を選択することができる。照明視野にわたる照明強度に対して、漸次的な光学効果の代わりに連続的な光学効果をもたらす中央ストリップ65と隣接ストリップの間の移行を達成するように、特に、走査方向yに対して直角方向、すなわち、x方向に連続的に変化する光学効果を選択することができる。例えば、2つのストリップ、3つのストリップ、4つのストリップ、又は5つよりも多くのストリップへの分割も想定することができる。互いに対するストリップの相対幅も同様に異なるものとすることができる。すなわち、縁ストリップ64、66と比較すると、中央ストリップ65は、図11による例におけるものよりも幅狭とすることができる。
E(x)=((IQ1(x)+IQ3(x))/(IQ2(x)+IQ4(x))−1)x100%
値E(x)は、楕円率とも呼ばれる。
上述のように、付加的な光学効果を有するデバイスは、楕円率E(x)が物体視野3にわたってx方向に±1%よりも小さく変化するように構成することができる。
2次導関数81を用いた形態変動79の設計の結果、第1のラスター要素23と第2のラスター要素28との複合効果により、照明光ビーム80は、照明光ビーム80の中心部の近くよりも縁部の近くで大きく拡大される。
入射照明光ビーム8に対して、チャンネルIからIVは、正方形の4つのコーナに配置される。
ラスターモジュールが図16による形態変動79を有する時に、中間視野面18内で得られるそれぞれの照明効果を、図17から図19の3つの異なる位置又は視野点、それぞれ、a、b、cに対して示す。
上記によると、視野点aは、弱いy双極子の形態にある強度依存照明角度分布で露光される。一方、視野点bは、全チャンネルIからIVの方向から同じ強度I0で露光される。
視野点cは、視野点aと同じ強度依存照明角度分布で露光される。
形態変動88は、奇数部分を有する関数の形態にある2次導関数89を有する。図26に2次導関数89を破線で示している。形態変動88を用いていない光線83を形態変動88を用いた光線84と比較すると分るように、形態変動88では、この2次導関数89は、図25の下部に示すビーム区域に比較して、図25の上部に示すビーム区域においてより広範囲に照明光ビーム80を拡大させる。x方向に奇数挙動を示すこの拡大効果の結果、例えば、図2の実施形態における強度寄与38に対応する照明視野35において傾斜した強度寄与90を生じる。
チャンネルI及びチャンネルIIIの形態変動88は、照明光ビーム8の中心光線を含むyz平面に関して互いに正確に鏡面対称である。図25に同じく示すように、強度寄与90は、チャンネルIIIの形態変動88の光学効果によって得られる。それに応じて、チャンネルIの形態変動88の鏡面対称設計は、チャンネルIの鏡面対称強度寄与91をもたらす。チャンネルIIは、この場合には基本強度寄与85が得られるように形態変動なしで設計される。
従って、x方向に見ると、照明光学器械の縁部を通過する方向から照らされた時に、縁部に近い視野点は、最も大きい強度で露光される。これは、照明光学器械の透過率が、縁部の近くでその残りの開口にわたる部分よりも若干低い場合に、補償の役割をすることができる。
変動要素93から96の透過率の入射点依存推移は、担体材料の単位体積当たりのクロム粒子の予め設定した数によって定められる。代替的又は追加的に、変動フィルタ要素93から96の入射面にわたる透過率推移は、粒子サイズによって定めることができる。粒子のより大きなものは、その反射性がより高い。入射面は、変動フィルタ要素93から96の表面区域によって形成され、これらの表面区域は、それぞれのチャンネルIからIVに割り当てられる。
変動フィルタ要素95は、入射点にわたって一定の透過率をもたらし、従って、一定の基本強度寄与99が生じる。
変動フィルタ要素96は、強度寄与98のものに対応する定性的推移を有する強度寄与100をもたらし、強度寄与100は、より高い絶対増加量dI/dxを示している。
図27の配列は、強度寄与に対する視野依存効果に関する限り、図2のものに匹敵する。
それぞれの形態変動79、88を含むラスター要素28の光学活性表面は、特に自由造形表面として構成することができる。自由造形表面は、それらが球面関数又は非球面関数のような回転対称関数によって説明されないような、しかし、それらが回転対称であるように特に構成される。
5 マイクロリソグラフィ照明システム
8 照明光
9、10 配光デバイス
11 第1の照明面
12、16 ラスターアレイ
14 照明角度変動デバイス
23、28 ラスター要素
Claims (13)
- −第1のラスター横列及び第1のラスター縦列に配列された第1のラスター要素(23)を含み、かつ2次光源のラスターアレイの発生のために第1の平面(11)に又はそれに隣接して配置された第1のラスターアレイ(12;102)と、
−前記2次光源の照明光(8)の誘導を照明視野(3)内に重ね合わせるための透過光学器械(17、19、20)と、
を含む、1次光源(6)の照明光(8)による照明視野(3)の照明のためのマイクロリソグラフィ照明システム(5)であって、
−付加的な光学効果を有するデバイス(14;55;70;79;88;92;106)が、第1のラスターアレイ(12;102)に空間的に隣接して配置されるか、又は該第1のラスターアレイ(12;102)が配置された平面と光学的に共役な平面に配置され、
−前記付加的な光学効果を有する前記デバイス(14;55;70;79;88;92;106)は、
−−強度、
−−位相、
−−ビーム方向、
の群に含まれる照明光(8)の特性に影響を与え、
−前記影響は、全照明強度(39;46;54)に対するラスター要素(23、28;103)の強度寄与(36〜38;44、45;54;59、61、63;61;67;68、69)が、照明視野(3)にわたって所定の方法で変化するようなものであり、さらに、
−前記第1のラスターアレイ(12)の上流に隣接する前記光路に、又は該第1のラスターアレイ(12)が配置された平面に光学的に共役な平面に配置された、前記付加的な光学効果を有する前記デバイスとして機能する照明角度変動デバイス(14;40;47)であって、
−−前記照明角度変動デバイス(14;40;47)に当たる照明光(8)を前記光軸(2)に直角の異なる偏向角(α’、γ’)を有する少なくとも2つの角度変動部分(30〜33;42、43;50、51)に偏向し、
−−前記照明角度変動デバイス(14;40;47)によって発生した最大偏向角(α’、γ’)が、前記全照明強度(39;46;54)に対する前記第1のラスターアレイ(12)のラスター要素(23)の強度寄与(36〜38;44、45;54)が前記照明視野(3)にわたって変化するような大きさを有する、
ようなデバイス(14;40;47)を備える
照明システム。 - 照明システム(5)の光軸(2)に直角な前記第1の平面(11)に前記照明光(8)から所定の2次元強度分布を発生させるための配光デバイス(9、10)を特徴とする請求項1に記載の照明システム。
- 前記第1のラスターアレイ(12)の下流の前記照明光の経路に配置され、かつ第2のラスター要素(28)を含み、該第1のラスターアレイ(12)と共にラスターモジュール(13)を形成する第2のラスターアレイ(16)を特徴とする請求項1又は請求項2に記載の照明システム。
- 前記照明光(8)の前記特性の影響が、前記第1のラスターアレイ(12)の近傍に設定され、該影響は、前記透過光学器械(17)によって照明視野依存全強度分布(39)に変換され、異なる照明視野点が、可能な照明方向(I〜IV)からの異なる強度寄与(34、36〜38)に露出されるような前記付加的な光学効果を有する前記デバイス(14)の設計を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記照明光(8)の前記特性の影響が、前記第1のラスターアレイ(12)の近傍に設定され、該影響は、前記透過光学器械(17)によって照明視野依存全強度分布(54)に変換され、異なる照明視野点が、可能な照明方向(I〜IV)からの等しい強度(54)に露出されるような前記付加的な光学効果を有する前記デバイス(47)の設計を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記照明光(8)の前記特性の影響が、前記第1のラスターアレイ(12)の区域に設定され、該影響は、前記透過光学器械(17)によって照明視野独立全強度分布(46)に変換され、異なる照明視野点が、可能な照明方向(I〜IV)からの異なる強度寄与(44、45)に露出されるような前記付加的な光学効果を有する前記デバイス(40)の設計を特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記発生した偏向角(α’、γ’)がその間で異なる少なくとも2つの角度変動部分(30、33;42、43;50、51)への前記照明角度変動デバイス(14;40;47)の分割を特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記それぞれの発生した偏向角がその間で異なる少なくとも4つの角度変動部分(30〜33)への前記照明角度変動デバイス(14)の分割を特徴とする請求項7に記載の照明システム。
- 前記付加的な光学効果を有する前記デバイス(14;40;47)は、回折性であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記付加的な光学効果を有する前記デバイス(14;40;47)は、屈折性であることを特徴とする請求項1から請求項8のいずれか1項に記載の照明システム。
- 前記照明角度変動デバイス(40;47)は、少なくとも1つの屋根縁型プリズム(40;48)を有することを特徴とする請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の照明システム。
- 請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の照明システム(5)を含むマイクロリソグラフィ投影露光装置(1)。
- 微細構造構成要素をマイクロリソグラフィにより製造する方法であって、
−感光材料のコーティングが少なくとも一部に付加された基板の準備、
−結像される構造を有するレチクルの準備、
−請求項12に記載の投影露光装置(1)の準備、
−前記投影露光装置(1)による前記コーティングの区域上への前記レチクルの少なくとも一部の投影、
の段階を含むことを特徴とする方法。
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