JP5016618B2 - Sf6を含む排ガスの処理方法 - Google Patents
Sf6を含む排ガスの処理方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5016618B2 JP5016618B2 JP2009006538A JP2009006538A JP5016618B2 JP 5016618 B2 JP5016618 B2 JP 5016618B2 JP 2009006538 A JP2009006538 A JP 2009006538A JP 2009006538 A JP2009006538 A JP 2009006538A JP 5016618 B2 JP5016618 B2 JP 5016618B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- exhaust gas
- fluorine
- temperature
- treatment
- containing compound
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 27
- 229910018194 SF 6 Inorganic materials 0.000 claims description 63
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 53
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 37
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 30
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 27
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 26
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 18
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 10
- 238000010304 firing Methods 0.000 claims description 8
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 238000003672 processing method Methods 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 2
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 22
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 21
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 5
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- -1 CHF 3 Chemical class 0.000 description 3
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 3
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminum fluoride Inorganic materials F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 2
- AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L calcium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Ca+2] AXCZMVOFGPJBDE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001861 calcium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000920 calcium hydroxide Substances 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 2
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 2,2,3,3,3-pentafluoropropanal Chemical compound FC(F)(F)C(F)(F)C=O IRPGOXJVTQTAAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N Carbon monoxide Chemical compound [O+]#[C-] UGFAIRIUMAVXCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 1
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001341 alkaline earth metal compounds Chemical class 0.000 description 1
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000003912 environmental pollution Methods 0.000 description 1
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 1
- 238000011049 filling Methods 0.000 description 1
- 239000003546 flue gas Substances 0.000 description 1
- 150000002222 fluorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 description 1
- 239000002574 poison Substances 0.000 description 1
- 231100000614 poison Toxicity 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 description 1
- GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N vanadium Chemical compound [V]#[V] GPPXJZIENCGNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010792 warming Methods 0.000 description 1
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Treating Waste Gases (AREA)
Description
前記排ガス処理方法において、フッ素含有化合物処理剤は、SF6除去率が95%以下に低下時には交換するのがよく、また、SF 6 を含む排ガスの処理は、SO 2 の排出濃度を許容濃度以下に抑えつつ行うのがよい。
本発明で使用するフッ素含有化合物処理剤について説明すると、該処理剤の原材料であるAl(OH)3は、その平均粒子径が55μm以上、好ましくは、60μm以上160μm以下、より好ましくは90μm以上120μm以下である。ここで、平均粒子径とは、メディアン径を意味し、粒子径ごとに頻度(含有量)を積算し、含有量の累積が最小粒子径からはじめて50%になる点での粒子径である。
該処理剤のもう一つの原材料であるCa(OH)2の平均粒子径はA1(OH)3の平均粒径によって変動するが、A1(OH)3よりもCa(OH)2の平均粒子径(メディアン径)は小さい方が好ましい。Ca(OH)2の平均粒子径(メディアン径)としては、好ましくは1μm以上10μm以下、より好ましくは3μm以上8μm以下、最も好ましくは4μm以上6μm以下である。
本発明で使用するフッ素含有化合物処理剤は、上記混合物を押出し成形して得た成形物を乾燥し、430℃よりも高く890℃以下の温度範囲、好ましくは580℃〜850℃、より好ましくは650℃〜780℃の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成することにより得られる。
このことから、高熱焼成処理により酸化アルミニウムが結晶化してしまい、活性が劣化することによると考えられる。
本発明のフッ素含有化合物処理剤とSF6を含む排ガスとを接触させる処理温度は、SF6処理量とSO2リーク量から、550〜650℃、好ましくは、600〜650℃がよい。この範囲内で温度を高くすると、SF6除去率95%以上で、SF6処理量は増加するが、SO2リーク量も増加し、また温度を低くすると、SO2リーク量は減少するが、SF6処理量も減少する。また処理温度を750℃にすると、SF6処理量も少なく、SO2リーク量も増加してしまう。
SF6+CaO→CaF2+SO2
CaF2とSO2が生成し、さらにこのSO2とCaOが反応して、
CaO+SO2→CaSO4
となり、安定な化合物に変化すると考えられる。
処理剤が劣化したり、温度が高いと、SF6の分解に全てのCaOが使われてしまい、SO2はCaSO4に変化せずに、そのままSO2が排出されてしまうのではないかと考えられる。
図1は、本発明で用いる装置の一例を示す断面構成図である。
図1において、1aは左反応槽、1bは右反応槽、2a、2bは熱交換部、3a、3bはヒーター、4a、4bはフッ素含有化合物処理剤、5は被処理排ガス流入口、6は処理済排ガス流出口、7はSF6検知器、8は吸引ファンである。この装置を用いた排ガスの処理では、反応槽は2槽直列に接続される。まず、SF6を含む排ガスは、吸引ファン8による吸気により排ガス流入口5から導入されて、左反応槽1aの熱交換部2aで高温の処理済排ガスと熱交換され、フッ素含有化合物処理剤4aの充填された左反応槽1a内に導入されて、ヒーター3aにより、550℃〜650℃に昇温されて排ガス中のSF6が分解処理される。左反応槽1aで処理された排ガスは、熱交換部2aの加熱側を通り、右反応槽1bの熱交換部2bの被加熱側に入り、高温の処理済排ガスと熱交換され、右反応槽1bに導入されて、ヒーター3bにより、550℃〜650℃に加熱されているフッ素含有化合物処理剤4bにより排ガス中に残留しているSF6が分解されて除去される。SF6が除去された排ガスは、熱交換部2bの加熱側を通り、処理済排ガス流出口6から排出される。
このように、被処理排ガスの処理経路を変更することにより、反応槽内の処理剤を使い切ることができ、処理剤の有効活用を図ることができる。
(1) フッ素含有化合物処理剤の調製
均一に加熱できるように外部ヒーターを全周に具備する小型カラム(寸法:径150mm×高さ850mm)に、A1(OH)3とCa(OH)2との混合物〔A1(OH)3の平均粒子径90μm、Ca(OH)2の平均粒子径5μm、A1(OH)3とCa(OH)2との配合割合3:7〕を押出し成形して得た造粒品14Lを充填して、カラム内部に多量の水蒸気が滞留しないようにN2流量:50L/minを上向流と下向流とで与えた。反応槽の温度を600℃に調整して、最初にN2上向流を5〜6時間流してA1(OH)3とCa(OH)2との充填物層のうち上層の半分を焼成し、次にN2下向流を2〜3時間流してA1(OH)3とCa(OH)2との充填物層のうち下層の半分を焼成した。
石英製処理筒に(1)で調製した処理剤を定量充填し、これをセラミックス製管状炉に装着し、所定の温度に加熱して、次の条件でSF6を含む排ガスを通ガスした。
ガス流量 :65ml/min
SF6濃度 :10000ppm
処理筒容量 :49ml
ガス滞留時間 :45sec
処理済温度 :650℃、600℃、550℃
処理結果を表1に示す。
下記表1及び表2において、SF6処理量(L/L)は、SF6除去率が95%になるまで低下した時点でのそれまでのフッ素含有化合物処理剤1L当たりの標準状態に換算したSF6処理量(L/L)である。
なお、比較のため、処理剤温度750℃で、ガス流量100ml/min、ガス滞留時間29sec、SF6濃度1830ppmで処理した場合、SF6除去率95%に低下するまでに176時間、SF6処理量は39.4(L/L)であり、SO2リークは510ppmであった。また、排出SO2が2ppmを超えるまでの処理時間は56hrであった。
SF6の除去率95%をSF6処理の破過、及びSO2の許容値をTLV値である2ppmとすると、比較例の750℃処理時では、SF6処理の破過とSO2の許容値以上の排出のタイミングが、大きくずれていた。しかし、処理温度を550〜650℃にすると、SF6濃度が10000ppm、4320ppmいずれの場合もSF6除去率が95%に至る時間に対して5%以内の時間差でSO2が2ppmを超えており、もしくはSF6除去率が95%に達するよりもSO2排出濃度が2ppmに達する方が遅くなっている。また、SF6、SO2の処理量を多く、SO2の破過に至るまでの時間を長くするために、600〜650℃で処理することがより望ましい。本実施例ではSF6の除去率95%を処理剤の破過としたが、破過値を90%とする場合も、同じ傾向である。
(a) XRD分析
結晶性化合物の同定を行った。結果を、650℃は図2に、600℃は図3に、550℃は図4に示す。
(b) XRF分析
成分含有量を分析した。FとSの含有量を表2に示す。SF6のうちFやSが混合体に反応固定されていた。
上記の結果から、処理後の混合体にCaF2やCaSO4の結晶性化合物が存在しており、FとSの含有量から、SF6は混合体に反応固定されていることがわかった。
Claims (3)
- SF6を含む排ガスの処理方法において、該排ガスを、平均粒子径(メディアン径)55μm以上160μm以下のAl(OH)3とCa(OH)2とのモル比が3:7〜5:5である混合物を成形して乾燥し、430℃よりも高く890℃以下の温度範囲で、窒素流又は空気流中で焼成して得られるフッ素含有化合物処理剤と、600〜650℃温度で接触させることを特徴とするSF6を含む排ガス処理方法。
- 前記フッ素含有化合物処理剤は、SF6除去率が95%以下に低下時には交換することを特徴とする請求項1記載のSF6を含む排ガス処理方法。
- 請求項1又は2記載のSF6を含む排ガス処理方法は、SO2の排出濃度を許容濃度以下に抑えつつSF6を処理することを特徴とするSF6を含む排ガス処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009006538A JP5016618B2 (ja) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | Sf6を含む排ガスの処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009006538A JP5016618B2 (ja) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | Sf6を含む排ガスの処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010162475A JP2010162475A (ja) | 2010-07-29 |
JP5016618B2 true JP5016618B2 (ja) | 2012-09-05 |
Family
ID=42579112
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009006538A Active JP5016618B2 (ja) | 2009-01-15 | 2009-01-15 | Sf6を含む排ガスの処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5016618B2 (ja) |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001219031A (ja) * | 2000-02-08 | 2001-08-14 | Air Liquide Japan Ltd | パーフルオロ化合物の分解方法及び分解装置 |
JP4255114B2 (ja) * | 2003-05-07 | 2009-04-15 | 電気化学工業株式会社 | フロンガスの分解処理方法 |
JP4454275B2 (ja) * | 2003-09-22 | 2010-04-21 | 京セラ株式会社 | フッ素化合物の分解処理剤および分解処理方法 |
JP5048208B2 (ja) * | 2004-03-19 | 2012-10-17 | 株式会社荏原製作所 | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 |
JP4715991B2 (ja) * | 2004-03-24 | 2011-07-06 | 戸田工業株式会社 | フッ素及び/又はホウ素を吸着する吸着剤 |
JP4511227B2 (ja) * | 2004-03-29 | 2010-07-28 | 京セラ株式会社 | 水酸化物粒子の製造方法 |
WO2009008454A1 (ja) * | 2007-07-10 | 2009-01-15 | Ebara Corporation | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 |
JP5020136B2 (ja) * | 2007-07-10 | 2012-09-05 | 株式会社荏原製作所 | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 |
-
2009
- 2009-01-15 JP JP2009006538A patent/JP5016618B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010162475A (ja) | 2010-07-29 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5284873B2 (ja) | ガス処理装置および半導体製造装置 | |
US6790421B2 (en) | Method for treating exhaust gas containing fluorine-containing compound | |
TWI406702B (zh) | 鹵素系氣體除害劑及使用其之鹵素系氣體之除害方法 | |
JP5020136B2 (ja) | フッ素固定剤及びpfc分解処理剤並びにこれらの調製方法 | |
CN1195573C (zh) | 用于分解氟化合物的反应剂和方法及其用途 | |
JP5016616B2 (ja) | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び処理用反応槽 | |
JP2004351364A (ja) | 三フッ化塩素を含む無機ハロゲン化ガス含有排ガスの処理方法、処理剤及び処理装置 | |
KR100808618B1 (ko) | 플루오르-함유 화합물 및 co를 함유하는 가스의처리방법 및 처리장치 | |
JP5016618B2 (ja) | Sf6を含む排ガスの処理方法 | |
JP5346482B2 (ja) | フッ素回収方法及びフッ化カルシウムの精製方法 | |
JP5350809B2 (ja) | 予備処理槽を備えた排ガス処理装置 | |
KR100939307B1 (ko) | 불소-함유 화합물을 함유하는 배기 가스의 처리 방법 및장치 | |
JP4699919B2 (ja) | 排ガス処理方法および処理装置 | |
JP5066021B2 (ja) | Pfc処理装置及びpfc含有ガスの処理方法 | |
JP5297208B2 (ja) | フッ素含有化合物処理剤及び排ガスの処理方法 | |
JP2012055836A (ja) | ガス処理方法 | |
JP5476043B2 (ja) | フッ素化合物を含有する排ガスの処理方法及び装置 | |
JP5132489B2 (ja) | フッ化物ガスの分解処理方法、分解処理剤及び分解処理装置 | |
JP5284773B2 (ja) | 処理温度を上昇させる排ガス処理方法、排ガス処理装置の運転方法、および排ガス処理装置 | |
JP4831924B2 (ja) | Hf含有ガスの乾式処理装置及び処理方法 | |
JP4459648B2 (ja) | フッ素含有化合物を含むガスの処理方法及び装置 | |
JP2006314905A (ja) | フッ素化合物含有ガスの処理方法及び処理装置 | |
KR100968089B1 (ko) | 불소화합물 가스의 흡착처리제, 그를 이용한 불소화합물 가스 처리방법 및 불소화합물 가스 처리장치 | |
JP5170040B2 (ja) | Hf含有ガスの乾式処理装置及び処理方法 | |
JP2004269946A (ja) | ハロゲン耐食性部材及びパーフルオロコンパウンド分解処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110517 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A132 Effective date: 20120116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120315 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120521 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120608 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150615 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5016618 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |