JP4454275B2 - フッ素化合物の分解処理剤および分解処理方法 - Google Patents
フッ素化合物の分解処理剤および分解処理方法 Download PDFInfo
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Description
平均細孔直径50〜200Åの細孔を有する酸化アルミニウムが用いられており、AlとM(アルカリ土類金属)の原子数比(モル比と同じ)が0.05〜5である。
水酸化アルミニウム→非晶質の酸化アルミニウム→γアルミナ→αアルミナ
分解反応において、非晶質の酸化アルミニウムを触媒として使用する場合、高温安定相であるαアルミナでは化学反応性が低いため、γアルミナなどの中間相に留めるのが化学反応性を上げるためには必要で、よってγアルミナよりも非晶質の酸化アルミニウムの方がより活性が高いと考えられる。
(2) M(OH)2→MO+H2O(水酸化マグネシウムまたは水酸化カルシウムとの加熱下での反応 M:MgまたはCa)
(3)CF4+2H2O→4HF+CO 2
すなわち、本発明によりフッ素化合物の分解を行う際は、フッ素化合物を含有するガス、を例えば300℃程度で加熱することで、上記(1)の反応のように分解処理剤における水酸化アルミニウムが非晶質(アモルファス)の酸化アルミニウム(a−Al2O3)と水蒸気となりはじめる。
先ず、水酸化アルミニウム(純度99%)粉末および、水酸化マグネシウム(純度99%)粉末または水酸化カルシウム(純度98%)粉末とを用いて、表1に示す如くモル比となるように配合し、ミキサーで乾式混合した。得られた混合粉体を一軸プレス成形することによって直径38mm×厚み2mmの成形体を作製し、それを破砕することにより分解処理剤を得た。
この分解処理剤を内径25mmのSUS製反応容器に49cc充填し、図1に示すような分解処理装置にセットした。
2:窒素ガス供給ライン
3:サンプリングポート
4:ガス導入管
5:反応容器
6:温度センサー
7:ヒーター
8:断熱材
9:温度コントローラー
10:分解処理剤
11:サンプリングポート
12:ガス排出管
Claims (6)
- フッ素化合物を加熱下で分解するための分解処理剤であって、水酸化アルミニウムと水酸化マグネシウムまたは水酸化カルシウムとを用いて成るとともに、ランタノイド化合物を含まず、上記水酸化アルミニウムが、加熱下で水蒸気を供給して主として非晶質の酸化アルミニウムとなり、上記水酸化マグネシウムまたは上記水酸化カルシウムが、加熱下で水蒸気を供給して酸化マグネシウムまたは酸化カルシウムとなることを特徴とするフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記水酸化アルミニウムと上記水酸化マグネシウムまたは上記水酸化カルシウムとの含有量が、モル比で1:1〜1:4であることを特徴とする請求項1に記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記水酸化アルミニウムがギブサイトであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 上記フッ素化合物がCF4であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れかに記載のフッ素化合物の分解処理剤。
- 請求項1乃至請求項4の何れかに記載の分解処理剤を用いたフッ素化合物の分解処理方法であって、上記フッ素化合物を含有するガスを加熱下で上記分解処理剤と接触させて分解することを特徴とする分解処理方法。
- 上記フッ素化合物を含有するガスを加熱下で上記分解処理剤と接触させ、上記水酸化アルミニウムを主として非晶質の酸化アルミニウムと水蒸気とに、水酸化マグネシウムまたは水酸化カルシウムを酸化マグネシウムまたは酸化カルシウムと水蒸気とにそれぞれ分解し、上記フッ素化合物を水蒸気と反応させることによってフッ化水素に変換した後、該フッ化水素を上記酸化マグネシウムまたは上記酸化カルシウムと反応させることで、フッ化マグネシウムまたはフッ化カルシウムと水蒸気とに変換することを特徴とする請求項5に記載の分解処理方法。
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