CN101313628B - 电声变换器 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种电声变换器，该电声变换器能够廉价提供并且不导致零部件数量的增加及制造工序的复杂化，而且能够在整个宽的频率范围内得到大的声压，能够力图薄型化。电声变换器1的第1、第2压电元件6、7配置在框架4的开口部4a内，一端部6a、7a与框架4固定，以悬臂梁形态被支持，并且与框架4及压电元件6、7粘贴柔性薄膜5，使得至少覆盖该压电元件6、7与框架4的间隙，压电元件6、7的与一端部6a、7a相反侧的前端6b、7b形成自由端，前端6b、7b隔开间隔A相对配置。

Description

电声变换器

技术领域

本发明涉及用作为例如扬声器等的发声体的电声变换器，更详细来说，涉及具有将压电元件用一端支持的悬臂梁结构的支持结构的电声变换器。

背景技术

以往，扬声器及蜂呜器等中广泛使用利用压电效应的电声变换器。例如，在下述的专利文献1中，揭示了图11用正面剖视图表示的发声体101。发声体101具有箱体102。压电振动元件103的一端与箱体102的内壁连接。压电振动元体103具有在压电陶瓷板的两面形成电极103a及103b的结构。另外，从电极103a及103b施加交流电场，从而压电陶瓷板被极化，以便能够振动。

在发声体101中，压电振动元体103的一端被支持，另一端为自由端。即，压电振动元体103由于以悬臂梁被支持，因此在自由端一侧能够产生大的位移。这样，能够得到大的声压。

另外，在下述的专利文献2中，揭示了图12所示的压电陶瓷扬声器。在压电陶瓷扬声器111中，压电振动元体113的一端与框架112连接。压电振动元体113的一端为自由端，以悬臂梁被支持。然后，在该自由端一侧，圆锥状振动板114的中心部与压电振动元体113固定。因而，在压电振动元体113弯曲振动时，与压电振动元体113的前端连接的圆锥状振动板114振动，能得到大的声压。

专利文献1：实开昭63-191800号公报

专利文献2：实用新案登录第3068450号公报

在发声体101中，压电振动元体103与箱体102连接的部分以外的周边部分，露出在箱体102内。因此，在压电振动元体103振动时，压电振动元体103的一个面一侧存在的空气的压力、与另一个面一侧存在的空气的压力互相抵消，存在低频区的声音出不来的问题。即，不能在整个宽的频率范围内得到大的声压。

另外，在专利文献2所述的压电陶瓷扬声器111中，产生声波的是与空气直接作用的圆锥状振动板114。因此，除了压电振动元体113以外，需要大的圆锥状振动板114，不得不大型化，很难实现薄型化。再加上，由于零部件数量增加，制造工序数多，因此成本高。

另外，产生圆锥状振动板114的固有面内振动，从而还具有频率特性恶化的问题。再加上，压电振动元体113虽然以悬臂梁被支持，但自由端一侧与圆锥状振动板114连接。因此，存在压电振动元体113的自由端一侧几乎没有位移的振动模式，其结果，有时在频率特性上产生大的下降。

本发明鉴于上述的以往技术的现状，其目的在于提供一种电声变换器，该电声变换器能够在整个比较宽的频率范围内确实得到大的声压，而且能够没有导致零部件数量的增加及制造工序的复杂化，还有助于小型化，特别有助于薄型化。

发明内容

根据本发明，提供一种电声变换器，具有：有开口部的框架；配置在前述框架的开口部内、而且一端部与前述框架连接的多片压电元件；以及在前述框架的开口部与前述框架及多个压电元件粘贴的柔性薄膜，使得至少覆盖前述框架与前述多个压电元件之间的间隙，前述多个压电元件的与一端部相反侧的端部为自由端，多个压电元件的自由端在前述框架的开口部内隔开间隔相对配置。

在本发明有关的电声变换器的某特定方面中，将前述柔性薄膜配置成覆盖前述框架的开口部的全部区域，多个压电元件在各压电元件的一个主面的全部区域中与柔性薄膜粘接。

在本发明有关的电声变换器的其它特定方面中，前述多个压电元件具有包括上底及下底的实质上梯形的形状，与前述框架连接的一端部是下底。

在本发明有关的电声变换器的再有的其它特定方面中，在前述多个压电元件与前述框架连接的前述一端部一侧，该压电元件与框架连接的部分的长度在前述多个压电元件相对的间隔中，小于前述开口部的与前述长度相同方向的前述开口部尺寸。

在本发明有关的电声变换器的再有的别的特定方面中，在前述多个压电元件相对的间隔中，还具有与前述柔性薄膜粘贴、而且刚性比柔性薄膜要高的刚体板。

根据本发明有关的电声变换器的再有的别的特定方面，在前述多片压电元件中，至少1片压电元件的基本模式的谐振频率与其它的压电元件的基本模式的谐振频率不同。

在本发明有关的电声变换器的再有的其它特定方面中，至少1片前述压电元件的平面形状，与剩下的压电元件的平面形状不同。

根据本发明有关的电声变换器的再有的其它特定方面，至少1片压电元件的厚度，与剩下的压电元件的厚度不同。

在本发明有关的电声变换器的再有的别的特定方面中，用1片压电陶瓷板，将前述框架及多片压电元件构成为一体。

在本发明有关的电声变换器中，多个压电元件在各自的一端部与框架连接，另一端为自由端。因而，多个压电元件由于以悬臂梁被支持，因此自由端能够产生大的位移。而且，与框架及多个压电元件粘贴柔性薄膜，使得至少埋入多个压电元件与框架之间的间隙。这样，与产生大的位移的压电元件粘贴的柔性薄膜也同样产生大的位移。因而，能够得到非常大的声压。

而且，由于只要将压电元件及柔性薄膜安装在框架上即可，因此能够容易力图使电声变换器小型化，特别是薄型化。再有，由于也没有导致零部件数量增加，而且组装也容易，因此也能够降低成本。

在将上述柔性薄膜配置成覆盖框架的全部区域、而且多个压电元件在各压电元件的一个主面的全部区域中与该柔性薄膜粘接时，柔性薄膜能够与框架粘贴成覆盖框架的开口部的全部区域，而且对于多个压电元件，也能够容易与柔性薄膜粘接。因而，能够提供更进一步能够容易制造、更廉价的电声变换器。

多个压电元件具有包括上底及下底的实质上梯形的形状，与框架连接的一端部是下底，在这种情况下，相当于上底的自由端一侧更进一步容易产生位移。因而，能够得到更大的声压。

在多个压电元件与框架连接的一端部一侧，压电元件与框架连接的部分的长度在多个压电元件相对的间隔中，小于与上述长度相同方向的开口部尺寸，在这种情况下，由于在多个压电元件相对的间隔一侧，压电元件能够容易产生位移，因此能够得到更大的声压。

在上述多个压电元件相对的间隔中，与上述柔性薄膜粘贴刚体板，在这种情况下，通过在间隔中设置刚体板的部分产生位移，能够得到更大的声压。

在多片压电元件中，至少1片压电元件的基本模式的谐振频率与其它的压电元件的基本模式的谐振频率不同，在这种情况下，能够在整个更宽的频率范围内得到大的声压。至少1片压电元件的平面形状与剩下的压电元件的平面形状不同，在这种情况下，能够容易使至少1片压电元件的基本模式的谐振频率与其它的压电元件的基本模式的谐振频率不同。同样，至少1片压电元件的厚度与剩下的压电元件的厚度不同，在这种情况下，也能够容易使至少1片压电元件的谐振频率与其它的压电元件的基本模式的谐振频率不同。

上述框架及多个压电元件用1片压电陶瓷板构成为一体，在这种情况下，能够提供可力图减少零部件数量、同时容易小型化的电声变换器。

附图说明

图1(a)及(b)为本实施形态的第1实施形态有关的电声变换器的正面剖视图及平面图。

图2(a)及(b)为表示本发明的第1实施形态的变形例及其它变形例有关的各电声变换器的平面图。

图3为说明本发明的第2实施形态有关的电声变换器用的平面图。

图4为说明本发明的第3实施形态有关的电声变换器用的平面图。

图5(a)及(b)为说明本发明的第4实施形态有关的电声变换器用的正面剖视图及平面图。

图6为表示第4实施形态有关的电声变换器的频率特性的示意图。

图7为表示第1实施形态有关的电声变换器的频率特性的示意图。

图8为说明本发明的第5实施形态有关的电声变换器用的正面剖视图。

图9为说明本发明的第1实施形态的电声变换器的制造方法一个例子用的示意平面图。

图10(a)及(b)为说明第1实施形态的再有的其它变形例有关的电声变换器用的平面图及平面剖视图。

图11为说明作为以往的电声变换器的发声体用的正面剖视图。

图12为说明作为以往的电声变换器的压电扬声器用的正面剖视图。

标号说明

1…电声变换器

2…框状构件

3…框状构件

4…框架

4a…开口部

5…柔性薄膜

6…第1压电元件

6A、7A…压电元件

6a、7a…端部

6b、7b…前端

7…第2压电元件

8、9…电极膜

8a、9a…缺口

10、11…端子电极

12…电声变换器

13…电声变换器

21…电声变换器

22…刚体板

31…电声变换器

32～35…第1～第4压电元件

36…刚体板

41…电声变换器

42、43…压电元件

51…电声变换器

52、53…第1、第2压电元件

71…压电陶瓷板

71a…缺口

71b、71c…侧面

72…第1压电元件

73…第2压电元件

74…电极膜

75…内部电极

A…间隔

具体实施方式

以下，一面参照附图、一面说明本发明的具体实施形态，从而理解本发明。

图1(a)及(b)所示为本发明的第1实施形态有关的电声变换器的正面剖视图及平面图。

电声变换器1适用作为压电扬声器。电声变换器1具有将第1、第2框状构件2、3粘贴而成的框架4。框状构件2、3可以利用金属或陶瓷等合适的刚性材料构成。在本实施形态中，框状构件2、3利用金属构成。

框架4具有开口部4a。在开口部4a内，将柔性薄膜5与框架4粘贴成覆盖开口部4a的全部区域。更具体来说，在框状构件2、3之间，夹住柔性薄膜5的周边部分，将柔性薄膜5固定成覆盖开口部4a的全部区域。

柔性薄膜5利用具有柔性的薄膜构成，构成这样的柔性薄膜的材料虽无特别限定，但最好是内部损耗大、易弹性变形、弹性复原性好、耐环境特性好的材料。作为这样的材料，可以使用具有橡胶弹性的合成橡胶、天然橡胶或弹性体等。作为这样的合成橡胶的例子，可以举出有乙烯-丁二烯橡胶或苯乙烯-丁二烯橡胶等。

柔性薄膜5的厚度虽无特别限定，但在本实施形态中，设定为30～100μm左右。对柔性薄膜5要求具有不妨碍后述的压电元件因弯曲振动而产生的位移那样程度的柔性。

在柔性薄膜5的上面，粘贴第1、第2压电元件6、7。在本实施形态中，压电元件6、7使用层叠型的压电元件，它是在整个面具有一层内部电极，在内部电极的两侧层叠由钛酸锆酸铅系列陶瓷构成的压电陶瓷层。该层叠型的压电元件在两个主面还具有电极膜(在图1(a)中省略)。这样的层叠型压电元件能够利用内部电极-陶瓷一体烧成技术得到，以往在压电扬声器或压电蜂呜器中广泛使用。在本实施形态中，上述内部电极由Ag-Pt合金构成，两个主面的电极膜是利用溅射形成Ni-Cu合金，在压电元件6、7的端面进行电连接。另外，如图1(b)所示，对于压电元件6、7的上面形成的电极膜8、9，在1个转角部附近形成缺口8a、9a。在该缺口8a、9a内，设置端子电极10、11。端子电极10、11与压电元件6、7的端面连接，在端面中，与内部电极(未图示)电连接。驱动时，只要在端子电极10、11与电极膜8、9之间施加交流电压即可。另外，压电元件6、7由2层构成，分别互相沿厚度方向按相同指向进行极化。

上述层叠型的压电元件6、7在一端部6a、7a一侧，与框架4固定并且被支持。更具体来说，如图1(a)所示，在压电元件6、7的端部6a、7a的附近，压电元件6、7被框状构件2、3夹住，并进行固定。因而，压电元件6、7的与端部6a、7a相反侧的端部即前端6b、7b成为自由端，换句话说，压电元件6、7以悬臂梁被支持。因而，由于压电元件6、7的前端6b、7b是自由端，因此前端6b、7b能够产生大的位移。前端6b与前端7b隔开间隔A相隔。

另外，被上述框架构件2、3夹住的压电元件6、7及柔性薄膜5使用众所周知的粘接剂进行粘接和固定。作为这样的粘接剂，虽无特别限定，但在本实施形态中，使用热固化型硅粘接剂。当然，也可以使用环氧系列粘接剂等其它的粘接剂，另外也可以使用热固化型以外的固化型粘接剂。

在本实施形态的电声变换器1中，使用压电元件6、7以同相进行弯曲振动。因而，使用时，只要将端子电极10、11与一端的电位连接，将电极膜8、9及下面的电极膜与另一端的电位连接，在两者之间施加交流电压即可。这样，压电元件6、7以同相进行弯曲振动，柔性薄膜5追随压电元件6、7的振动而振动。因而，利用柔性薄膜5的上面与下面的空气的压力差而发声。

如上述那样，在制造的电声变换器1中，由于柔性薄膜5的上面侧与下面侧的空气被隔断，因此两者的压力差不会抵消。因而，在从低频区到高频区，能够得到大的声压。

而且，由于压电元件6、7以悬臂梁被支持，前端6b、7b容易位移，因此柔性薄膜5在其中心即设置间隔A的部分附近产生大的位移。这样，能够得到大的声压。

加之，由于柔性薄膜5及压电元件6、7构成的主要部分仅将压电元件6、7与柔性薄膜5粘贴就可得到，因此这些结构存在于几乎同一面内，所以能够有助于薄型化。再有，由于不需要将圆锥状振动板等与压电元件6、7连接，因此能够力图减少零部件数量及简化制造工序，能够有效地降低电声变换器的成本。

另外，由于压电元件6、7本身起到作为振动板的作用，因此几乎不需要考虑压电元件6、7以外的固有振动。加之，由于不仅利用以悬臂梁被支持的压电元件6、7的前端6b、7b，而且利用压电元件6、7的整个面的位移，因此在频率特性上不容易产生大的下降。这样，在整个宽的频率范围内能够得到更平坦的高声压特性。

另外，在本实施形态中，虽然将柔性薄膜5设置成覆盖开口部4a的全部区域，但将柔性薄膜5设置成只要至少覆盖框架4的与压电元件6、7之间的间隙即可。即，也可以将压电元件6、7的周边部分与柔性薄膜5连接，不一定必须将压电元件6、7的一个主面的全部区域像上述实施形态那样与柔性薄膜5粘贴。

另外，压电元件6、7不限于2层，也可以由3层、4层等多个压电层构成。

图2(a)为说明本实施形态的电声变换器1的变形例用的平面图。在该变形例的电声变换器12中，压电元件6A、7A是使用具有上底和比上底的边要长的下底的梯形的压电陶瓷板构成的。即，在下底侧，压电元件6A、7A被框架4支持，上底侧成为前端部的压电元件6A的上底、与压电元件7A的上底隔开间隔A相对。其它方面，电声变换器12与电声变换器1同样构成。

如上所述，压电元件6A、7A的前端侧，形成比下底的宽度方向尺寸要小的上底。因而，压电元件6A、7A的前端侧即上底侧与框架4的间隔变宽，能够产生自由而且大的位移。因而，电声变换器12与电声变换器1相比，能够容易得到大的声压。

图2(b)所示为电声变换器1的再有的其它变形例的平面图。在该变形例的电声变换器13中，除了框架4设置的开口部4b的形状与图1(b)所示的开口部4a不同之外，与电声变换器1同样构成。开口部4b如图2(b)所示，随着到达压电元件6、7的前端6b、7b一侧，其宽度方向尺寸相应增大。这里，所谓开口部4b的宽度方向尺寸，是指压电元件6、7的被框架4支持的部分的长度方向尺寸、即图2(b)的用箭头X所示方向的尺寸。在设置间隔A的部分，上述开口部4b的上述宽度方向尺寸最大，换句话说，从压电元件6、7的被框架4支持的一侧起，随着向前端6b、7b一侧移动，开口部4b的宽度方向尺寸相应增大。这样，压电元件6、7的与框架4连接的部分的长度、即沿上述X方向的宽度方向尺寸，小于间隔A的开口部4b的上述宽度方向尺寸。因而，与上述电声变换器1的情况相比，压电元件6、7的前端6b、7b能够更进一步迅速地产生位移。因此，与电声变换器12相同，在电声变换器13中，与图1的电声变换器1相比，也能够容易得到大的声压。

在能够得到大的声压这一点上，电声变换器12、13比第1实施形态的电声变换器1要好。但是，若考虑到制造工序简化及框架4的机械强度等，则与电声变换器12、13相比，希望用电声变换器1。

图3所示为本发明的第2实施形态有关的电声变换器的平面图。在电声变换器21中，在框架4的开口部4a中，压电元件6、7隔开间隔A相对。然后，在该间隔A中，与柔性薄膜5粘贴刚性比柔性薄膜5要高的刚体板22。关于构成刚体板22的材料，可以使用刚性比柔性薄膜5要高的适当的材料。在本实施形态中，上述刚体板22利用与压电元件6、7相同厚度的纤维增强塑性构成。另外，刚体板22的厚度不一定必须设定为与压电元件6、7相同的厚度。当然，希望刚体板22用尽可能轻、而且刚性高的材料形成。

由于刚体板22也与柔性薄膜5粘贴，因此在压电元件6、7产生位移时，刚体板22在位于柔性薄膜5的间隔A的部分进行大的移动。与仅柔性薄膜5在间隔A产生位移的情况相比，由于在柔性薄膜5上粘贴了刚体板22，因此能够得到大的声压。这是由于以最大位移进行振动的部分的面积增加。

图4所示为本发明的第3实施形态有关的电声变换器的平面图。在电声变换器31中，在框架4的开口部4a内，配置了第1～第4压电元件32～35。在开口部4a内，也可以配置3个以上的压电元件。

压电元件32～35具有与电声变换器12中使用的压电元件6A、7A相同的实质上梯形的形状。然后，上底侧作为前端侧，在下底侧与框架4固定。在本实施形态中，将柔性薄膜5与框架4固定成也覆盖开口部4a的全部区域。另外，在设置在实质上梯形形状的压电元件32～35的前端的间隔A中，将矩形的刚体板30与柔性薄膜5粘贴。因而，在本实施形态中，因存在刚体板30而能够增加以最大位移进行振动的面积，能够提高声压。

加之，在本实施形态中，由于设置压电元件32～35，压电元件的数量增加，因此能够配置大、或更重的刚体板。因而，取决于此，能够更进一步提高声压。

在图4中，虽然配置了实质上梯形的压电元件32～35，但在配置3个以上的压电元件时，它的平面形状不限于梯形，可以采用矩形、三角形等各种各样的形状。

图5(a)及(b)为说明本发明的第4实施形态有关的电声变换器用的正面剖视图及平面图。

在本实施形态的电声变换器41中，使用平面形状是矩形的第1、第2压电元件42、43。压电元件42、43在一端部42a、43a中，与框架4固定，前端42b、43b通过间隔A相对配置。即，压电元件42、43也以悬臂梁被支持。

第1、第2压电元件42、43的平面面积不同，压电元件42的面积大于压电元件43的面积。关于其它方面，电声变换器41与电声变换器1同样构成。

由于压电元件42的面积大于压电元件43的面积，因此取决于压电元件42的基波的谐振频率、与压电元件43振动时的基波的谐振频率不同。因而，在本实施形态中，能够在整个宽的频率范围内得到大的声压。

在本实施形态中，由于第1压电元件42与第2压电元件43的谐振频率不同，因此能够在整个宽的频率范围内得到大的声压，这是根据以下的理由。

图6所示为电声变换器41那样地第1、第2压电元件42、43的谐振点不同时的声压-频率特性，图7所示为电声变换器1那样地第1、第2压电元件6、7的谐振点一致时的声压-频率特性。

图6及图7都是仿真结果，由于没有考虑到损耗，因此在谐振点的峰值显示出很尖，但实际上，在谐振点成为再稍微带圆角的波形。

无论如何，在图6中，与图7的情况相比，如用箭头Y、Z所示，出现多个谐振点，据此可知，能够在整个宽的频率范围内得到大的声压。即，在电声变换器中，由于谐振点附近的声压增高，因此若谐振点不同，而且连续，则能够在整个宽的频率范围内得到大的声压。

另外，在图5(a)、(b)所示的电声变换器41中，第1、第2压电元件42、43的面积不同。与此不同的是，在图8所示的电声变换器51中，压电元件52、与压电元件53的厚度不同。即，如图8的剖视图所示，构成第1压电元件52的压电陶瓷板的厚度、比构成第2压电元件53的压电陶瓷板的厚度要厚。因而，与电声变换器41的情况相同，在电声变换器51中，第1压电元件52的振动的基波的谐振频率、与第2压电元件53振动时的基波的谐振频率也不同。这样，在电声变换器51中，也能够在整个更宽的频率范围内得到大的声压。

另外，制造上述电声变换器1、21、31、41、51的方法虽无特别限定，但最好采用对1片压电元件固定后、切断该压电元件的方法比较合适。即，如图9用平面图所示，将矩形的压电元件61与框架4固定之后，在虚线B、C的部分利用激光等切断压电元件61，或者使用切割机等进行机械切断，通过这样能够形成图1所示的压电元件6、7。在这种情况下，柔性薄膜5开始与框架4固定。因而，可不切断柔性薄膜5那样地进行上述切断。

如上所述，在固定1片压电元件61之后进行切断的方法中，在组装时，为了得到1个电声变换器1，只要仅准备1片压电元件即可。因而，能够力图简化工序。另外，在与框架固定后切断压电元件时，与从一开始就准备2片压电元件的情况相比，压电元件6、7之间不容易产生偏移。因而，能够提高具有多片压电元件的电声变换器的精度。

另外，关于本发明有关的电声变换器，也可以将框架及压电元件用压电陶瓷板构成为一体。图10(a)及(b)为表示这样一体化结构的电极结构的平面图及表示内部电极的平面剖视图。

如图10(a)所示，在1片陶瓷板71上形成缺口71a，通过这样，设置第1、第2压电元件部分72、73。缺口71a的形成可利用激光或切割等适当的方法进行。另外，在上述缺口71a形成之前，在陶瓷板71的上面预先形成电极膜74。电极膜74从压电陶瓷板71的一个侧面71b的一侧的端部边缘向另一个侧面71c的一侧延伸，但没有到达上述另一个侧面71c。

另外，在压电陶瓷板71的下面，也只要形成与电极膜74相同的电极膜即可。而且，在压电陶瓷板71内，预先形成图10(b)所示的内部电极75。内部电极75从侧面71c向另一个侧面71b的一侧延伸，但没有到达侧面71b。

另外，在与外部电连接时，只要将电极膜74、与设置在下面的电极膜在侧面71b一侧进行电连接，在该侧面71b的一侧与外部连接即可。另外，关于内部电极75，只要在另一个侧面71c的一侧形成外部电极，将上述外部电极与外部连接即可。因而，能够在例如第1或第2压电元件的一个压电元件的支持部一侧，聚集与外部的电连接部分，能够简化引线等的配置。

即，在电声变换器1中，在第1、第2压电元件6、7的各自一侧，必须与外部进行电连接，与此不同的是，根据本实施形态，能够简化电连接结构及提高设计自由度。

Claims (9)

1.一种电声变换器，其特征在于，具有：

有开口部的框架；

配置在所述框架的开口部内、而且一端部与所述框架连接的多片压电元件；以及

在所述框架的开口部与所述框架及多个压电元件粘贴的柔性薄膜，使得至少覆盖所述框架与所述多个压电元件之间的间隙，

所述多个压电元件的与一端部相反侧的端部为自由端，多个压电元件的自由端在所述框架的开口部内隔开间隔相对配置。

2.如权利要求1所述的电声变换器，其特征在于，

将所述柔性薄膜配置成覆盖所述框架的开口部的全部区域，多个压电元件在各压电元件的一个主面的全部区域中与柔性薄膜粘接。

3.如权利要求1或2所述的电声变换器，其特征在于，

所述多个压电元件具有包括上底及下底的实质上梯形的形状，与所述框架连接的一端部是下底。

4.如权利要求1或2所述的电声变换器，其特征在于，

在所述多个压电元件与所述框架连接的所述一端部一侧，该压电元件与框架连接的部分的长度在所述多个压电元件相对的间隔中，小于所述开口部的与所述长度相同方向的所述开口部尺寸。

5.如权利要求1或2所述的电声变换器，其特征在于，

在所述多个压电元件相对的间隔中，还具有与所述柔性薄膜粘贴、而且刚性比柔性薄膜要高的刚体板。

6.如权利要求1或2所述的电声变换器，其特征在于，

在所述多片压电元件中，至少1片压电元件的基本模式的谐振频率与其它的压电元件的基本模式的谐振频率不同。

7.如权利要求6所述的电声变换器，其特征在于，

至少1片所述压电元件的平面形状，与剩下的压电元件的平面形状不同。

8.如权利要求6所述的电声变换器，其特征在于，

至少1片压电元件的厚度，与剩下的压电元件的厚度不同。

9.如权利要求1、2、7、8的任一项所述的电声变换器，其特征在于，

用1片压电陶瓷板，将所述框架及多片压电元件构成为一体。

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